JP4698904B2 - 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品 - Google Patents

錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品 Download PDF

Info

Publication number
JP4698904B2
JP4698904B2 JP2001286554A JP2001286554A JP4698904B2 JP 4698904 B2 JP4698904 B2 JP 4698904B2 JP 2001286554 A JP2001286554 A JP 2001286554A JP 2001286554 A JP2001286554 A JP 2001286554A JP 4698904 B2 JP4698904 B2 JP 4698904B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tin
plating bath
acid
bath
plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001286554A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003096590A (ja
Inventor
惠吾 小幡
雅一 吉本
清貴 辻
衛 内田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ishihara Chemical Co Ltd
Daiwa Fine Chemicals Co Ltd
Original Assignee
Ishihara Chemical Co Ltd
Daiwa Fine Chemicals Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ishihara Chemical Co Ltd, Daiwa Fine Chemicals Co Ltd filed Critical Ishihara Chemical Co Ltd
Priority to JP2001286554A priority Critical patent/JP4698904B2/ja
Priority to TW091120644A priority patent/TWI301516B/zh
Priority to KR1020020057123A priority patent/KR100916879B1/ko
Priority to US10/247,936 priority patent/US20030150743A1/en
Publication of JP2003096590A publication Critical patent/JP2003096590A/ja
Priority to KR1020090049493A priority patent/KR100953228B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of JP4698904B2 publication Critical patent/JP4698904B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/30Electroplating: Baths therefor from solutions of tin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/56Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
    • C25D3/60Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of tin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/30Electroplating: Baths therefor from solutions of tin
    • C25D3/32Electroplating: Baths therefor from solutions of tin characterised by the organic bath constituents used
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/244Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、めっき技術に関し、特にはんだ付け性の良好な錫又は(及び)錫系合金めっきを得るためのめっき浴、該浴を建浴、維持・補給又は濃度調整するために用いられる錫塩溶液又は酸若しくは錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製造した電気・電子部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
電気・電子部品に使用されている錫−鉛系はんだから溶出する鉛によって引き起こされる環境汚染を防止するために、鉛フリーのはんだ(ろう材)について多くの研究が行われ、これに対応して、これらのろう材を受ける側のめっき皮膜についても、従来広く用いられてきた錫−鉛の合金めっきを、鉛フリーの代替皮膜に変更しようとして研究が行われてきた。代替皮膜は金、銀、パラジウム等のめっき皮膜も検討されているが、主流は錫めっき皮膜又は錫系合金めっき皮膜となるであろうと考えられており、概ねここ数年間に錫−鉛合金めっきの代替として、錫−銅、錫−亜鉛、錫−銀、錫−インジウム、錫−ビスマスなどを中心とした鉛を含有しない錫系合金めっき(いわゆる鉛フリーめっき)に関して多くの報告或いは特許出願がなされてきた。
しかしながら、錫−鉛合金めっき皮膜は極めてはんだ付けに適した合金であり、実際にはいわゆる鉛フリーめっき皮膜で錫−鉛合金めっき皮膜に匹敵するはんだ付け特性を有するめっき皮膜は得られていないのが実状である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の発明者らは、鉛等の有害とされる金属元素の環境への影響を最小限に抑えつつ、いわゆる鉛フリーのはんだ付け性皮膜のはんだ付け特性を改善し、もって鉛による環境問題を解決することを本発明の研究課題とした。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の発明者らは、これまで鉛フリーはんだ付け性皮膜の研究・開発者達が完全に排除しようとしていた鉛を微量に添加することによって、錫及び錫系合金めっき皮膜のはんだ付け特性を大きく改善できることを見出した。加えて、その毒性やコスト等からこれまで鉛フリーめっき浴に対する微量添加が検討されてこなかった鉛以外の金属、即ち、周期律表で錫の周辺にあり融点の低い金属で錫系合金めっきの成分以外の金属、具体的には砒素、カドミウム、アンチモン、ガリウム、ゲルマニウム等の金属についても、環境に配慮して必要最小限の濃度で錫又は錫系合金めっき浴に含有させることによって、はんだ付け特性を大きく改善できることを見出し、はんだ付け用のめっき皮膜の鉛による環境問題を解決するに至った。
【0005】
従って、本発明の主題は、
・錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下に限定した量で、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素、即ち銅、亜鉛、銀、インジウム、金及びビスマス(以下、合金化金属と呼称する)を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上、具体的にはアンチモン、砒素、カドミウム、ゲルマニウム、ガリウム又は鉛から選ばれる金属の1種又は2種以上を含有させてなる錫めっき浴又は錫と前記合金化金属から選ばれる1種又は2種以上の金属との錫系合金めっき浴、
・該めっき浴を建浴、維持・補給又は濃度調整するために用いられる錫塩溶液及び酸又は錯化剤溶液、並びに
・該めっき浴を用いて錫又は錫系合金めっきを施した半導体デバイス、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フィルムキャリアー、コネクター、スイッチ、抵抗、可変抵抗、コンデンサ、フィルタ、インダクタ、サーミスタ、水晶振動子、リード線、電池用電極等の電気・電子部品
である。
【0006】
【発明の実施の形態】
上記の周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち、錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素を除く元素から選ばれる金属(以下、微量添加金属と呼称する)は、それぞれ単独で用いても併用添加しても効果を示し、好適に用いられるが、アンチモン、砒素、カドミウム、ゲルマニウム又はガリウムがさらに好適に用いられ、その中でもアンチモン又は砒素が一層好適に用いられる。
ただし、これらの金属は極微量の共析でも効果があるため、必ずしも全てのケースにおいて共析が確認されたわけではない。下記のようにはんだ付け性の向上に効果があることが確認されたけれども、ICPにおけるめっき皮膜の分析においてそれらの微量添加金属が検出されないケースもあった。
【0007】
錫に対して20ppm未満ではそれらの微量添加金属によるはんだ付け性の大きい向上は認められなかった。含有量を増加させるとはんだ付け性は向上するが、多量に添加した浴から得られためっき皮膜は、模擬腐食液に対して該金属が溶出することが確認されたので、環境に対する影響を考慮して2000ppm以下に限定することが重要であることを確認した。
本願においては、錫めっき浴とは、錫及び上記記載の微量添加金属以外の金属のめっき浴中での含有量が錫に対して0.1%未満のめっき浴を言い、また錫系合金めっき浴とは、上記の微量添加金属以外の金属として、0.1%以上の合金化元素から選ばれる1種又は2種以上の金属を含むめっき浴を言うと定義する。
【0008】
本発明は、錫めっき浴又は錫と下記(い)群:銅、亜鉛、銀、インジウム、金及びビスマスから選ばれる1種又は2種以上の金属との錫系合金めっき浴において、少なくとも下記成分(A)〜(D):
(A)5g/L以上200g/L以下の2価の錫イオン、
(B)2価の錫イオンに対して化学量論的に当量以上の、該2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上、
(C)錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち、錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上、
(D)酸化防止剤の1種又は2種以上
を必須の成分として含有する錫又は前記錫系合金めっき浴である。
【0009】
本発明のめっき浴には、第1の必須成分として2価の錫イオンを含有させる。その好適な濃度は、5g/L以上200g/L以下であり、さらに好ましくは、10g/L以上100g/L以下で用いられる。バレルめっき等に適用する場合には比較的低濃度が、高速度めっき等に適用する場合には比較的高濃度が好適に用いられる。
【0010】
該2価の錫イオンは、後述する2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤との塩又は錯体として、又はそれらの水溶液としてめっき浴に供給することができる。
【0011】
該めっき浴には、第2の必須成分として、2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の、2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上が含有される。
【0012】
上記2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の内、遊離の酸又は錯化剤の濃度が、1g/L以上500g/L以下であることが好ましい。1g/L以上300g/L以下が一層好ましく、200g/L以下が最も好適に用いられる。ここで、遊離の酸又は錯化剤とは、2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の酸又は錯化剤が含有されたときに、2価の錫イオンと結びつかずに存在する酸又は錯化剤をいう。
【0013】
2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の種類としては、硫酸、塩酸、ホウフッ化水素酸、ケイフッ化水素酸、スルファミン酸、酢酸、燐酸及び(又は)縮合燐酸から選ばれる酸の1種又は2以上、
下記の一般式(I)〜(II)で表される脂肪族スルホン酸又は一般式(III)で表される芳香族スルホン酸:
一般式(I)
【化4】
Figure 0004698904
[ここで、R1はC1〜C5のアルキル基を表し、X1は水素、水酸基、アルキル基、アリール基、アルキルアリール基、カルボキシル基、又はスルホン酸基を表し、そしてアルキル基の任意の位置にあってよく、nは0〜3の整数である。]
弟表わされる脂肪族スルホン酸、
一般式(II)
【化5】
Figure 0004698904
[ここで、R2はC1〜C5のアルキル基又はC1〜C3のアルキレン基を表し、アルキレン基の任意の位置に水酸基があってよく、X2は塩素又は(及び)フッ素のハロゲンを表し、アルキル基又はアルキレン基の水素と置換された塩素又は(及び)フッ素の置換数は1からアルキル基又はアルキレン基に配位したすべての水素が飽和置換されたものまでを表し、置換されたハロゲン種は1種又は2種であり、塩素又はフッ素の置換基は任意の位置にあってよい。Yは水素又はスルホン酸基を表し、Yで表されるスルホン酸基の置換数は0〜2の範囲にある。]
で表わされる脂肪族スルホン酸、
一般式(III)
【化6】
Figure 0004698904
[ここで、X3は、水酸基、アルキル基、アリール基、アルキルアリール基、アルデヒド基、カルボキシル基、ニトロ基、メルカプト基、スルホン酸基又はアモノ基を表し、或いは2個のX3はベンゼン環と一緒になってナフタリン環を形成でき、mは0〜3の整数である。]
で表わされる芳香族スルホン酸、
或いは、下記(a)〜(h):
(a)アルキル基の炭素数が0〜3の脂肪族ジカルボン酸、(例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸など)
(b)アルキル基の炭素数が1〜2の脂肪族ヒドロキシモノカルボン酸、(例えば、グリコール酸、乳酸など)
(c)アルキル基の炭素数が1〜3の脂肪族ヒドロキシポリカルボン酸、(例えば、酒石酸、クエン酸、タルトロン酸、リンゴ酸など)
(d)単糖類の一部が酸化されたポリヒドロキシカルボン酸、(例えば、アスコルビン酸、グルコヘプトン酸、グルコン酸など)
(e)アルキル基の炭素数が1〜4の脂肪族モノ−又はジ−アミノモノカルボン酸、脂肪族モノ−又はジ−アミノジカルボン酸、(例えば、グリシン、アラニン、バリン、ロイシン、イソロイシン、リジン、セリン、スレオニン、フェニルアラニン、アスパラギン酸、グルタミン酸、メチオニンなど)
(f)アルキル基の炭素数が2〜3の脂肪族モノメルカプトモノカルボン酸、脂肪族モノメルカプトジカルボン酸又は脂肪族モノメルカプトモノアミノモノカルボン酸、(例えば、メルカプトコハク酸、シスチン)
(g)アルキル基の炭素数が2〜3の脂肪族モノスルホモノカルボン酸、(例えば、スルホコハク酸など)
(h)下記のアミンカルボン酸:エチレンジアミンテトラ酢酸、イミノジ酢酸、ニトリロトリ酢酸、ジエチレントリアミンペンタ酢酸、トリエチレンテトラミンヘキサ酢酸、エチレンジオキシビス(エチルアミン)−N、N、N'、N'−テトラ酢酸、グリコールエチレンジアミンテトラ酢酸、N−ヒドロキシエチルエチレンジアミンテトラ酢酸など
から選ばれるカルボン酸或いは錯化剤が好適に用いられる。
【0014】
中でも、メタンスルホン酸、2−プロパノールスルホン酸、トリフロロメタンスルホン酸、フェノールスルホン酸等の各種脂肪族又は芳香族の有機スルホン酸、又は酒石酸、グルコン酸、クエン酸、EDTA等の各種カルボン酸又は錯化剤が一層好適に用いられる。
【0015】
該めっき浴には、第3の必須成分として、浴中の錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の微量添加金属、即ち周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち、錫、水銀、タリウム及び前記合金化合物を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上を含有させる。具体的には、アンチモン、砒素、カドミウム、ゲルマニウム、ガリウム又は鉛から選ばれる金属の1種又は2種以上を含有させる。当該範囲内におけるこれらの金属の添加がはんだ付け性を大きく改善させる。
【0016】
上記の微量添加金属は、それぞれ単独でも併用添加しても効果を示し好適に用いられるが、アンチモン、砒素、カドミウム、ゲルマニウム又はガリウムがさらに好適に用いられ、その中でもアンチモン及び砒素が一層好適に用いられる。
実施例に於いて後述するが、錫イオンに対して合計して20ppm以上の上記金属を含有させることによって、それらの金属を含有しない場合に比べてはんだ付け性及びその経時特性が著しく改善される。鉛フリーはんだ付け皮膜用のめっきの開発において、従来の開発者達が鉛を含むそれらの有害性が認められる金属を完全に排除しようとしたことが困難を大きくしていた。環境に著しく大きい影響を及ぼさない範囲でそれらの金属の微量を含有させることによって、現実に使用できるレベルのはんだ付け性を有した皮膜が得られ、はんだ接合における鉛の環境問題を解決するに至ったのである。
【0017】
微量添加金属も、前述の2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤との塩又は錯体として、又は、それらの水溶液としてめっき浴に供給することができる。さらに、後述するが、錫塩溶液又は(及び)酸或いは錯化剤の溶液に溶解させてめっき液に供給することができる。
【0018】
特に好適なものとして、硫酸、塩酸、ホウフッ酸、ケイフッ酸、スルファミン酸、ピロリン酸等の公知の酸の塩、メタンスルホン酸、2−プロパノールスルホン酸、トリフロロメタンスルホン酸、フェノールスルホン酸等の各種脂肪族又は芳香族スルホン酸の塩、又は酒石酸、グルコン酸、クエン酸、EDTA等の各種カルボン酸が挙げられ、それらの塩又はさらにその水溶液の形でめっき浴に供給することができる。例えば水溶液には溶解しにくい硫酸鉛のような化合物も、各種有機スルホン酸、ホウフッ酸等の酸や錯化剤には本発明の濃度範囲では多くの場合に容易に溶解させることができる。
【0019】
後述するけれども、本めっき浴には、ある濃度範囲で4価の錫イオン又は錫化合物が含有されている方が望ましい。一方で、4価の錫は、限度を越えて存在すると悪影響を及ぼすために、本願の錫又は錫合金のめっき浴においては、その限度を越えて4価の錫化合物又はイオンの濃度が増大しないように、第4の必須の成分として合計して少なくとも1mg/L以上10g/L以下の濃度の酸化防止剤の1種又は2種以上を含有させて好適に用いられる。さらに好ましくは、5mg/L以上2g/L以下の濃度で含有させる。最も好適には、10mg/L以上1g/L以下の濃度で含有させる。使用量が概ね10g/Lを越える場合にはかえって皮膜の平滑性を損なう可能性がある。
【0020】
酸化防止剤の種類としては、(i)ベンゼン環又はナフタレン環の水素を1〜6個の範囲で水酸基に置き換えた化合物、及びそれらにさらにカルボキシル基又はスルホン酸基を導入した化合物から選ばれるベンゼン又はナフタレンの誘導体の1種又は2種以上、或いは(ii)脂肪族ポリヒドロキシ化合物の1種又は2種以上等が好適に用いられる。
【0021】
該(i)ベンゼン又はナフタレンの誘導体の中で一層好適なものとして、具体的には、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、ピロガロール、オキシヒドロキノン、フロログルシン、3,4,5−トリヒドロキシ安息香酸、p−フェノールスルホン酸、クレゾールスルホン酸、カテコールスルホン酸、ハイドロキノンスルホン酸、没食子酸、ベータナフトール、(ii)脂肪族ポリヒドロキシ化合物としてL−ソルビン酸、ソルビトール、ブドー糖、イソアスコルビン酸等が挙げられる。その他に、次亜燐酸塩、ヒドラジンハイドレート等も好適に用いられる。
【0022】
本めっき浴には、さらに、0.1g/L以上20g/L以下の4価の錫イオン又は4価の錫化合物を含有させて好適に用いられる。さらに好ましくは0.1g/L以上10g/L以下の4価の錫イオン又は4価の錫化合物を含有させて用いられる。
2価の錫イオンからの錫又は錫合金めっきにおいて、4価の錫イオンは直接には錫の析出に関与しないはずであるが、本願発明者らの検討によると、浴種によってその濃度範囲は必ずしも厳密に一定ではないが、20g/Lを越えるような濃度においては確かにめっき皮膜の均一性を阻害し、悪影響を及ぼすけれども、0.1g/L〜20g/Lの濃度領域においては、むしろはんだ付け性の良好なめっき皮膜を与えることを見出した。コロイド状の物質がめっき皮膜の平滑性を改善することはしばしば認められることであり、4価の錫イオン又は錫化合物の存在がそのような効果を及ぼしている可能性がある。
【0023】
該4価の錫イオン又は化合物は、空気攪拌等の強制的方法又は予備電解等によって、浴中の2価の錫イオンを酸化させることによって浴中に含有させることもできるし、或いは錫酸塩、4塩化錫等の化合物を添加することによっても浴中に含有させることができる。
浴中の4価の錫の濃度は、ICP分析又は原子吸光分析によって全錫の濃度を測定し、酸化還元滴定法によって得られた2価錫の分析値を差し引くことによって分析・管理することができる。全錫の濃度は、機器分析が利用できない場合には、酸性条件下で金属アルミニウムを溶解させ4価の錫を2価に還元したのち、酸化還元滴定法によって分析することもできる。
【0024】
本発明に用いるめっき浴には、合計して0.1g/L以上200g/L以下の、炭素数が1〜10の脂肪族アルコール又は脂肪族ケトンの1種又は2種以上をさらに含有させることができる。該脂肪族アルコール又は脂肪族ケトンの炭素数は1〜6がさらに好ましい。該アルコール又はケトンがめっき皮膜を平滑化する作用を有していることが、上記のアンチモン、砒素、カドミウム、ゲルマニウム、ガリウム又は鉛等の含有とあいまってはんだ付け性を改善していると考えられる。過剰の添加はかえって皮膜の平滑性を損ねるため、200g/L以下の添加が望ましく、また、めっき浴から発生するアルコール又はケトン臭による作業環境の観点からも200g/L以下に限定することが必要である。
【0025】
該アルコールの種類は、具体的には、炭素数が1〜10の脂肪族アルコールであって、下記一般式(イ)〜(ハ)で表される脂肪族の分岐又は非分岐のアルコールから選ばれる1種又は2種以上である。
一般式(イ)
n2n+2-m(X)m
[ただし、nはmより大きく10以下の整数であり、mは1又は2の整数を表す。Xは水素又は水酸基であって、同一又は異なっていてよく、Xの内少なくとも一つは水酸基である。Xが結合する炭素の位置は問わず、炭素鎖は直鎖であっても分岐していてもよい。]
で表される鎖状の飽和脂肪族のモノ又はジアルコール。
一般式(ロ)
n2n-m(X)m
[ただし、nはmより大きく10以下の整数であり、mは1又は2の整数を表す。Xは水素又は水酸基であって、同一又は異なっていてよく、Xの内少なくとも一つは水酸基である。Xが結合する炭素の位置は問わず、炭素鎖は分岐していてもよい。]
で表される環状の飽和脂肪族のモノ又はジアルコール。
一般式(ハ)
n2n+2-ml(X)m
[ただし、nはmより大きく10以下の整数であり、mは1又は2の整数を表す。lはn−2以下の整数を表す。Xは水素又は水酸基であって、同一又は異なっていてよく、Xの内少なくとも一つは水酸基である。Xが結合する炭素の位置は問わず、炭素鎖は分岐していてもよい。Oはエーテル性の酸素を表し、2つの炭素の間にあるが、その位置は問わない。]
で表されるエーテル結合を有した鎖状の飽和脂肪族のモノ又はジアルコール。
【0026】
さらに具体的に例示すれば、脂肪族鎖状のアルコールとしてメタノール、エタノール、(n−及びiso−)プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、直鎖及び分岐のブタノール、ペンタノール及びヘキサノール、また脂肪族環状のアルコールとしてシクロヘキサノール、さらにエーテル結合を有するアルコールとしてエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等が好適に用いられ、さらに好適には、メタノール、エタノール、(n−及びiso−)プロパノールが用いられる。また、脂肪族ケトンとしては、アセトン及びメチルエチルケトンが好適に用いられる。最も好適には(n−及びiso−)プロパノールが用いられる。
【0027】
本発明に用いられる浴には、さらに、界面活性剤、平滑化剤、半光沢剤、光沢剤、電導塩、pH調整剤及びpH緩衝剤から選ばれる成分の1種又は2種以上を含有させることができる。
【0028】
上記のめっき浴を建浴、維持・補給又は濃度調整するためには、あらかじめ該めっき浴の必須成分を溶解させた錫塩溶液が好適に用いられる。該錫塩溶液は、少なくとも下記成分(E)〜(G):
(E)50g/L以上500g/L以下の濃度の2価の錫イオン、
(F)2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の、該2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上、
(G)錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上
を必須の成分として含有させることによって好適に用いられる。
【0029】
該錫塩溶液の第2の必須成分である2価の錫イオン濃度は、50g/L以上500g/L以下で好適に用いられる。さらに好適には100g/L以上250g/L以下が用いられる。
【0030】
該錫塩溶液には第2の必須成分として、2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の、該2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上が含有される。
【0031】
上記2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の内、遊離の酸又は錯化剤の該錫塩溶液中の濃度は、10g/L以上500g/L以下であることが好ましい。50g/L以上300g/L以下が一層好ましく用いられる。
【0032】
2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤には、すでにめっき浴についての説明の項で述べたものと同じ酸又は錯化剤が好適に用いられる。
【0033】
該錫塩溶液には第3の必須成分として、めっき浴と同じく、錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち錫、水銀、タリウム及び前記合金化元素を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上、を含有させる。
【0034】
さらに、該錫塩溶液にも酸化防止剤を含有させることが好ましい。その種類は、めっき浴に添加するものとして前述した酸化防止剤が好適に用いられる。
含有させる濃度は、0.001g/L以上で効果を示すが、通常は0.01g/L以上100g/L以下が好適に用いられ、さらに好適には、0.05g/L以上50g/L以下の濃度で含有させる。
【0035】
好適に用いられる酸化防止剤は、前記めっき浴について述べたものと同じものの中から1種又は2種以上を選んで用いられる。
【0036】
めっき浴に4価の錫イオン又は化合物を継続して供給することが望ましいので、該錫塩溶液には、さらに4価の錫イオン又は化合物を含有させることによって好適に用いられる。適切な濃度は沈澱の生成などを考慮してめっき浴と同じく、0.1g/L〜20g/Lの濃度が好適に用いられる。
【0037】
また、該錫塩溶液にも、めっき浴と同様に炭素数が1〜10の脂肪族アルコール又は脂肪族ケトンの1種又は2種以上を含有させることが好ましい。該錫塩溶液中に含有させる好適な濃度は、合計して0.1g/L以上200g/L以下である。
【0038】
好適に用いられる該アルコールは、前記めっき浴について述べたものと同じものの中から1種又は2種以上を選んで用いられる。
【0039】
また、該錫塩溶液にも、該めっき浴に含有させる成分、即ち、界面活性剤、平滑化剤、半光沢剤、光沢剤、電導塩、pH調整剤及びpH緩衝剤から選ばれる成分の1種又は2種以上を含有させて用いることができる。
【0040】
錫めっき浴又は錫系合金めっき浴を建浴、維持・補給又は濃度調整するために用いられる2価の錫イオンと水溶性の塩を形成する酸又は錯化剤の溶液にも、該めっき浴に含有させる成分、即ち、酸化防止剤、炭素数が1〜10の脂肪族アルコール又はケトン、界面活性剤、平滑化剤、半光沢剤、光沢剤、電導塩、pH調整剤及びpH緩衝剤から選ばれる1種又は2種以上を含有させて用いることができる。
【0041】
上述した錫めっき浴又は錫系合金めっき浴を用いて錫又は錫合金めっきを施した半導体デバイス、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フィルムキャリアー、コネクター、スイッチ、抵抗、可変抵抗、コンデンサ、フィルタ、インダクタ、サーミスタ、水晶振動子、リード線、電池用電極等の電気・電子部品は、良好なはんだ付け性を具備した電気・電子部品として好適に用いられる。
【0042】
【実施例】
以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
以下の実施例及び比較例によって、微量金属の添加の効果、酸化防止剤の効果を確認した。錫塩溶液の作成には、市販の4Nの金属錫を酸溶液に電解溶解させて調製した。該金属錫の不純物濃度の値は第1表のとおりである。
【表1】
Figure 0004698904
各例に示すめっき浴を用いて5mm×30mmの銅板試料に10μmのめっきを施し、約150℃×5時間の加熱経時処理を施してから、メニスコグラフを用いてゼロクロスタイムを測定し、はんだ付け性の良否を判定した。メニスコグラフの測定は、全ての試料を同一条件で測定する目的で、めっきの種類によらず、錫―銀のはんだ、ロジンフラックスを用いて、240℃で測定した。第2表にはんだ付け性の結果をまとめた。
微量添加金属を加えた浴を調製する際には、予め当該微量添加金属を溶解させためっき浴建浴用の錫塩溶液を調製しておき、これを用いて建浴した。微量添加金属を添加しない場合には、それらの金属を添加しない錫塩溶液を用いて建浴した。
また、酸化防止剤を添加する場合には、予め酸化防止剤を含有させた建浴用の酸溶液を調製しておき、これを建浴に用いた。めっき浴に酸化防止剤を含有させない場合には、酸化防止剤無添加の建浴用の酸溶液を用いた。
【0043】
実施例1
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(1−A)。
めっき浴及びめっき条件(1−A)
メタンスルホン酸錫(錫として) 100g/L
メタンスルホン酸 150g/L
亜砒酸(砒素として) 25mg/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 70mg/L
カテコール 3mg/L
セチルジメチルベンジルアンモニウムヒドロキシド 5g/L
N−(3−ヒドロキシブチリデン)−p−スルファニル酸 2g/L
イソプロパノール 5g/L
浴温 35℃
陰極電流密度 10A/dm2
比較例1
砒素及びアンチモンを添加しなかった以外は、上記(1−A)と同一条件でめっき試料を作成した(1−B)。
【0044】
実施例2
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(2−A)。
めっき浴及びめっき条件(2−A)
メタンスルホン酸錫(錫として) 100g/L
メタンスルホン酸 150g/L
硫酸カドミウム(カドミウムとして) 65mg/L
塩化ガリウム(ガリウムとして) 25mg/L
カテコール 3mg/L
セチルジメチルベンジルアンモニウムヒドロキシド 5g/L
N−(3−ヒドロキシブチリデン)−p−スルファニル酸 2g/L
メタノール 10g/L
浴温 35℃
陰極電流密度 10A/dm2
比較例2
カドミウム及びガリウムを添加しなかった以外は、上記(2−A)と同一条件でめっき試料を作成した(2−B)。
【0045】
実施例3
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(3−A)。
めっき浴及びめっき条件(3−A)
硫酸第一錫(錫として) 39g/L
硫酸 50g/L
クレゾールスルホン酸 60g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 30mg/L
カテコールスルホン酸 30mg/L
ホルマリン 8ml/L
No−1(石原薬品株式会社) 15g/L
No−2(石原薬品株式会社) 20ml/L
イソプロパノール 50g/L
浴温 20℃
陰極電流密度 2A/dm2
比較例3
アンチモンを添加しなかった以外は、上記(3−A)と同一条件でめっき試料を作成した(3−B)。
【0046】
実施例4
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(4−A)。
めっき浴及びめっき条件(4−A)
2−ヒドロキシプロパンスルホン酸錫(錫として) 20g/L
2−ヒドロキシプロパンスルホン酸 100g/L
硫酸鉛(鉛として) 35mg/L
レゾルシノール 100mg/L
ジメチルベンジルラウリルアンモニウムクロリド 3g/L
N−(3−ヒドロキシブチリデン)−p−スルファニル酸 1g/L
エタノール 100g/L
浴温 25℃
陰極電流密度 5A/dm2
比較例4
鉛を添加しなかった以外は、上記(4−A)と同一条件でめっき試料を作成した(4−B)。
【0047】
実施例5
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(5−A)。
めっき浴及びめっき条件(5−A)
ホウフッ化錫(錫として) 122g/L
ホウフッ酸 200g/L
ホウ酸 25g/L
塩化ゲルマニウム(ゲルマニウムとして) 2mg/L
ホウフッ化鉛(鉛として) 2mg/L
ハイドロキノン 2000mg/L
β−ナフトール 1000mg/L
ペプトン 5g/L
浴温 20℃
陰極電流密度 5A/dm2
比較例5
鉛を添加しなかった以外は、上記(5−A)と同一条件でめっき試料を作成した(5−B)。
【0048】
実施例6
上記めっき浴(5−A)を空気バブリングして浴中に4価の錫イオンを生成させた。分析の結果7.6g/Lの4価錫イオンが含有されていた。減少した2価錫イオン分を新たに補給して、4価錫イオン濃度以外の浴条件を(5−A)と同一にし、同一条件でめっき試料を作成した。この条件を(6−A)とする。
比較例6
鉛を添加しなかった以外は、上記(6−A)と同一条件でめっき試料を作成した(6−B)。
【0049】
実施例7
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(7−A)。
めっき浴及びめっき条件(7−A)
ホウフッ化錫(錫として) 122g/L
ホウフッ酸 200g/L
ホウ酸 25g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 3mg/L
ハイドロキノン 1000mg/L
β−ナフトール 1000mg/L
ペプトン 5g/L
浴温 20℃
陰極電流密度 5A/dm2
比較例7
鉛を添加しなかった以外は、上記(7−A)と同一条件でめっき試料を作成した(7−B)。
【0050】
実施例8
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(8−A)。
めっき浴及びめっき条件(8−A)
メタンスルホン酸錫(錫として) 24g/L
メタンスルホン酸銀(銀として) 0.54g/L
メタンスルホン酸 72g/L
トリス(3−ヒドキシプロピル)ホスフィン 83g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 10mg/L
メタンスルホン酸鉛(鉛として) 5mg/L
亜砒酸(砒素として) 2mg/L
塩化ゲルマニウム(ゲルマニウムとして) 3mg/L
塩化ガリウム(ガリウムとして) 5mg/L
硫酸カドミウム(カドミウムとして) 6mg/L
ハイドロキノン 500mg/L
ノイゲンEN 1g/L
テクスノールR5 1g/L
ノクセラーM60 0.1g/L
イソプロパノール 40g/L
浴温 30℃
陰極電流密度 5A/dm2
比較例8
各種微量添加元素を添加しなかった以外は、上記(8−A)と同一条件でめっき試料を作成した(8−B)。
【0051】
実施例9
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(9−A)。
めっき浴及びめっき条件(9−A)
硫酸錫(錫として) 12g/L
硫酸ビスマス(ビスマスとして) 1g/L
グルコン酸ナトリウム 131g/L
EDTA−4Na 2水和物 4.5g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 4mg/L
3,4,5−トリヒドロキシ安息香酸 600mg/L
PEG#6000 1g/L
トリトンX 1g/L
ホルマリン 1ml/L
エチレングリコール 50g/L
pH 4.3
浴温 25℃
陰極電流密度 0.5A/dm2
比較例9
アンチモンを添加しなかった以外は、上記(9−A)と同一条件でめっき試料を作成した(9−B)。
【0052】
実施例10
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(10−A)。
めっき浴及びめっき条件(10−A)
スルファミン酸錫(錫として) 12g/L
スルファミン酸インジウム(インジウムとして) 11g/L
スルホコハク酸 212g/L
2,2’−ジチオジアニリン 0.75g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 2mg/L
硫酸鉛(鉛として) 2mg/L
ピロガロール 5000mg/L
ポリオキシエチレン−α−ナフトール(EO付加モル数=10) 3g/L
ポリエチレングリコール#1000 2g/L
tert−ブチルアルコール 10g/L
pH 2.3
浴温 25℃
陰極電流密度 1.5A/dm2
比較例10
アンチモン及び鉛を添加しなかった以外は、上記(10−A)と同一条件でめっき試料を作成した(10−B)。
【0053】
実施例11
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(11−A)。
めっき浴及びめっき条件(11−A)
フェノールスルホン酸錫(錫として) 23g/L
スルファミン酸インジウム(インジウムとして) 11g/L
硫酸銅(銅として) 0.165g/L
メタンスルホン酸銀(銀として) 0.07g/L
メタンスルホン酸 192g/L
トリス(3−ヒドキシプロピル)ホスフィン 1.9g/L
2,2’−ジチオジアニリン 3.8g/L
フェノールスルホン酸鉛(鉛として) 10mg/L
塩化ゲルマニウム(ゲルマニウムとして) 10mg/L
レゾルシノール 25mg/L
イソプロパノール 20g/L
浴温 20℃
陰極電流密度 3A/dm2
比較例11
鉛及びゲルマニウムを添加しなかった以外は、上記(11−A)と同一条件でめっき試料を作成した(11−B)。
【0054】
実施例12
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(12−A)。
めっき浴及びめっき条件(12−A)
スルファミン酸錫(錫として) 23g/L
硫酸亜鉛(亜鉛として) 0.46g/L
スルホコハク酸 212g/L
トリス(3−ヒドキシプロピル)ホスフィン 1.9g/L
2,2’−ジチオジアニリン 3.8g/L
硫酸カドミウム(カドミウムとして) 20mg/L
塩化ガリウム(ガリウムとして) 20mg/L
没食子酸 15mg/L
イソプロパノール 150g/L
浴温 25℃
陰極電流密度 1A/dm2
比較例12
カドミウム及びガリウムを添加しなかった以外は、上記(12−A)と同一条件でめっき試料を作成した(12−B)。
【0055】
実施例13
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(13−A)。
めっき浴及びめっき条件(13−A)
2−ヒドロキシプロパンスルホン酸錫(錫として) 15g/L
2−ヒドロキシプロパンスルホン酸錫 40g/L
硫酸鉛(鉛として) 30mg/L
グルコン酸ナトリウム 190g/
シュウ酸 10g/L
ポリオキシエチレン−β−ナフトール(EO付加モル数=13) 2g/L
カテコール 100mg/L
イソプロパノール 60g/L
水酸化ナトリウムでpH4.0に調整
浴温 25℃
陰極電流密度 1.0A/dm2
比較例13
鉛を添加しなかった以外は、上記(13−A)と同一条件でめっき試料を作成した(13−B)。
【0056】
実施例14
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(14−A)。
めっき浴及びめっき条件(14−A)
イセチオン酸錫(錫として) 25g/L
イセチオン酸 70g/L
三塩化アンチモン(アンチモンとして) 30mg/L
グルコン酸カリウム 190g/L
酢酸カリウム 10g/L
ポリオキシエチレンラウリルエーテル(EO付加モル数=12) 2g/L
ハイドロキノン 80mg/L
t−ブタノール 1g/L
アンモニアでpH5.5に調整
浴温 25℃
陰極電流密度 1.0A/dm2
比較例14
アンチモンを添加しなかった以外は、上記(14−A)と同一条件でめっき試料を作成した(14−B)。
【0057】
実施例15
下記めっき浴及びめっき条件で試料を作成した(15−A)。
めっき浴及びめっき条件(15−A)
硫酸錫(錫として) 20g/L
硫酸銅(銅として) 1g/L
硫酸 200g/L
硫酸カドミウム(カドミウムとして) 20mg/L
亜砒酸(砒素として) 15mg/L
カテコールスルホン酸 50mg/L
ポリオキシエチレンラウリルエーテル(EO付加モル数=6) 2g/L
シクロヘキサノール 0.5g/L
pH 4.3
浴温 20℃
陰極電流密度 2A/dm2
比較例15
カテコールスルホン酸を添加しなかった以外は、上記(15−A)と同一条件でめっき試料を作成した(15−B)。
(15−A)の浴からは、1週間後にも良好なめっき皮膜を得ることができたが、酸化防止剤を添加しなかった(15−B)の浴は、2日間の経時で良好なめっき皮膜を得ることができなくなった。
【0058】
比較例16
鉛の添加量を鉛として45mg/Lとした以外は、上記(4−A)と同一条件でめっき試料を作成した(4−C)。
(4−A)の条件で作成した試料及び(4−C)の条件で作成した試料を模擬腐食液(Cl-,HCO3 -,SO4 2-各100ppmの水溶液)に30日間浸漬し、該溶液中の鉛を原子吸光によって分析した。(4−A)の条件で作成した試料を浸漬した溶液からは鉛は検出限界以下であったが、(4−C)の条件作成した試料を浸漬した溶液からは0.2ppmの鉛が検出された。
【0059】
比較例17
イソプロパノールを添加しなかった以外は、上記の実施例8(8−A)と同一条件でめっき試料を作成した(8−C)。アルコールの添加によってゼロクロスタイムが短くなった。
【0060】
上記実施例及び比較例の条件で作成しためっき試料のはんだ付け性を示すゼロクロスタイムを第2表にまとめた。
【表2】
Figure 0004698904
【0061】
実施例1〜14と比較例1〜14のそれぞれの比較から、微量添加金属の添加によって経時後のはんだ付け性が著しく改善されたことがわかる。
実施例及び比較例の5及び6の比較から、浴中の4価の錫は必須成分ではないが、微量添加金属の添加と相乗的にはんだ付け性に対して効果を示すことがわかる。実施例17と比較例17の比較から、アルコール添加の効果が理解できる。
【0062】
【発明の効果】
これまで鉛フリーはんだ付け性皮膜の研究・開発者達が完全に排除しようとしていた鉛を錫及び錫系合金めっき浴に微量で添加することによって、錫及び錫系合金めっき皮膜のはんだ付け特性を大きく改善することができた。加えて、その毒性やコスト等からこれまで鉛フリーめっき浴に対する微量添加が検討されてこなかった鉛以外の金属、即ち、周期律表で錫の周辺にあり融点の低い金属で錫系合金めっきの成分以外の金属、具体的には砒素、カドミウム、アンチモン、ガリウム、ゲルマニウム等の金属についても、環境に配慮して必要最小限の濃度で錫又は錫系合金めっき浴に含有させることによって、はんだ付け特性を大きく改善することができた。

Claims (11)

  1. 錫めっき浴又は錫と次の(い)群:銅、亜鉛、銀、インジウム、金及びビスマスから選ばれる1種又は2種以上の金属との錫系合金めっき浴であって、少なくとも下記成分(A)〜(D):
    (A)5g/L以上200g/L以下の2価の錫イオン、
    (B)2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の、該2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上、
    (C)錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上、
    (D)酸化防止剤の1種又は2種以上
    を必須の成分として含有し、
    さらに、0.1g/L以上20g/L以下の4価の錫イオン又は4価の錫化合物を含有することを特徴とする錫又は錫系合金めっき浴。
  2. 前記(B)2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の内、遊離の酸又は錯化剤の濃度が、合計して1g/L以上500g/L以下である請求項1に記載の錫又は錫系合金めっき浴。
  3. さらに、合計して0.1g/L以上200g/L以下の、炭素数が1〜10の脂肪族アルコール又は炭素数が3又は4の脂肪族ケトンの1種又は2種以上を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の錫めっき浴又は錫系合金めっき浴。
  4. さらに、界面活性剤、平滑化剤、半光沢剤、光沢剤、電導塩、pH調整剤及びpH緩衝剤から選ばれる成分の1種又は2種以上を含有させたことを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の錫めっき浴又は錫系合金めっき浴。
  5. 請求項1〜のいずれかに記載の錫めっき浴又は錫系合金めっき浴を建浴、維持・補給又は濃度調整するために用いられる錫塩溶液であって、少なくとも下記成分(E)〜(G):
    (E)50g/L以上500g/L以下の濃度の2価の錫イオン、
    (F)2価の錫イオンに対して合計して化学量論的に当量以上の、該2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の1種又は2種以上、
    (G)錫に対して合計して20ppm以上2000ppm以下の、周期律表の第4〜6周期のIB〜VB族元素のうち錫、水銀、タリウム及び前記(い)群に含まれる元素を除く元素から選ばれる金属の1種又は2種以上
    を必須の成分として含有することを特徴とする錫塩溶液。
  6. 前記(F)2価の錫イオンと水溶性の塩又は錯体を形成する酸又は錯化剤の内、遊離の酸又は錯化剤の濃度が、合計して10g/L以上500g/L以下である請求項に記載の錫塩溶液。
  7. さらに、酸化防止剤の1種又は2種以上を含有する請求項又はに記載の錫塩溶液。
  8. さらに、0.1g/L以上20g/L以下の4価の錫イオン又は4価の錫化合物を含有する請求項のいずれかに記載の錫塩溶液。
  9. さらに、合計して0.1g/L以上200g/L以下の、炭素数が1〜10の脂肪族アルコール又は炭素数が3又は4の脂肪族ケトンの1種又は2種以上を含有する請求項のいずれかに記載の錫塩溶液。
  10. さらに、界面活性剤、平滑化剤、半光沢剤、光沢剤、電導塩、pH調整剤及びpH緩衝剤から選ばれる成分の1種又は2種以上を含有する請求項のいずれかに記載の錫塩溶液。
  11. 請求項1〜のいずれかに記載の錫めっき浴又は錫合金めっき浴を用いて錫又は錫合金めっきを施した電気・電子部品。
JP2001286554A 2001-09-20 2001-09-20 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品 Expired - Fee Related JP4698904B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001286554A JP4698904B2 (ja) 2001-09-20 2001-09-20 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品
TW091120644A TWI301516B (en) 2001-09-20 2002-09-10 Tin of tin alloy plating bath,tin salt solution and acid or complexing agent solution for preparing or controlling and making up the plating bath,and electrical and electric components prepared by the use of the plating bath
KR1020020057123A KR100916879B1 (ko) 2001-09-20 2002-09-19 주석 또는 주석계열합금도금욕, 이 도금욕의 건욕용 또는유지 보급용의 주석염 및 산 또는 착화제용액 및 이도금욕을 사용해서 제작한 전기 전자 부품
US10/247,936 US20030150743A1 (en) 2001-09-20 2002-09-20 Tin or tin alloy plating bath, tin salt solution and acid or complexing agent solution for preparing or controlling and making up the plating bath, and electrical and electric components prepared by the use of the plating bath
KR1020090049493A KR100953228B1 (ko) 2001-09-20 2009-06-04 주석 또는 주석계열합금도금욕, 이 도금욕의 건욕용 또는 유지 보급용의 주석염 및 산 또는 착화제용액 및 이 도금욕을 사용해서 제작한 전기 전자 부품

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001286554A JP4698904B2 (ja) 2001-09-20 2001-09-20 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003096590A JP2003096590A (ja) 2003-04-03
JP4698904B2 true JP4698904B2 (ja) 2011-06-08

Family

ID=19109512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001286554A Expired - Fee Related JP4698904B2 (ja) 2001-09-20 2001-09-20 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20030150743A1 (ja)
JP (1) JP4698904B2 (ja)
KR (2) KR100916879B1 (ja)
TW (1) TWI301516B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2664692A2 (en) 2012-05-15 2013-11-20 Ebara Corporation Plating apparatus and plating solution management method

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6805786B2 (en) * 2002-09-24 2004-10-19 Northrop Grumman Corporation Precious alloyed metal solder plating process
US7156904B2 (en) * 2003-04-30 2007-01-02 Mec Company Ltd. Bonding layer forming solution, method of producing copper-to-resin bonding layer using the solution, and layered product obtained thereby
US7029761B2 (en) * 2003-04-30 2006-04-18 Mec Company Ltd. Bonding layer for bonding resin on copper surface
DE10340197B3 (de) * 2003-08-27 2004-09-23 Siemens Ag Verfahren zum elektrochemischen Abscheiden von Metallen aus einem Elektrolyt
US20060113683A1 (en) * 2004-09-07 2006-06-01 Nancy Dean Doped alloys for electrical interconnects, methods of production and uses thereof
EP1826295A4 (en) * 2004-10-21 2011-06-29 Fcm Co Ltd METHOD FOR FORMING A THIN FILM OF SN-AG-CU-DREAMED ALLOY ALLOY ALLOY
JP4756886B2 (ja) * 2005-03-22 2011-08-24 石原薬品株式会社 非シアン系のスズ−銀合金メッキ浴
JP4899735B2 (ja) * 2006-09-13 2012-03-21 富士通株式会社 同軸コネクタ及びその製造方法並びに超伝導装置及びその製造方法
DE102006053586B3 (de) * 2006-11-14 2008-04-17 Poligrat Gmbh Elektropolierverfahren
EP2126159A4 (en) * 2006-12-29 2010-06-02 Iljin Copper Foil Co Ltd SN-B SEPARATION SOLUTION AND SEPARATION METHOD THEREWITH
JP2008260981A (ja) * 2007-04-10 2008-10-30 Yuken Industry Co Ltd めっき液、めっき方法およびめっき皮膜が形成された物品
JP4632186B2 (ja) * 2007-08-01 2011-02-16 太陽化学工業株式会社 電子部品用錫電解めっき液、電子部品の錫電解めっき方法及び錫電解めっき電子部品
DE102007049496A1 (de) * 2007-09-14 2009-03-19 Extrude Hone Gmbh Elektrolyt für die elektrochemische Bearbeitung
JP5340590B2 (ja) * 2007-12-28 2013-11-13 株式会社シミズ 非シアン系銅−錫合金めっき浴を用いためっき方法
EP2085502A1 (en) * 2008-01-29 2009-08-05 Enthone, Incorporated Electrolyte composition and method for the deposition of a tin-zinc alloy
RU2442835C2 (ru) * 2010-05-17 2012-02-20 Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ПОРОШКОВОЙ ШИХТЫ Ag/SnO2 ДЛЯ РАЗРЫВНЫХ ЭЛЕКТРОКОНТАКТОВ
US8304272B2 (en) 2010-07-02 2012-11-06 International Business Machines Corporation Germanium photodetector
KR101012815B1 (ko) 2010-07-21 2011-02-08 주식회사 에이엔씨코리아 칩 도금용 약산성 주석 도금액
DE102011008836B4 (de) * 2010-08-17 2013-01-10 Umicore Galvanotechnik Gmbh Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Kupfer-Zinn-Legierungsschichten
US20120055612A1 (en) 2010-09-02 2012-03-08 International Business Machines Corporation Electrodeposition methods of gallium and gallium alloy films and related photovoltaic structures
US8545689B2 (en) * 2010-09-02 2013-10-01 International Business Machines Corporation Gallium electrodeposition processes and chemistries
JP6121090B2 (ja) * 2011-05-10 2017-04-26 三菱マテリアル株式会社 Sn合金めっき液へのSn成分補給用酸化第一錫粉末の製造方法及び該方法により製造された酸化第一錫粉末
JP5807377B2 (ja) * 2011-05-10 2015-11-10 三菱マテリアル株式会社 Sn合金めっき液へのSn成分補給用酸化第一錫粉末及びその製造方法
KR101346021B1 (ko) 2011-12-09 2013-12-31 주식회사 엠에스씨 주석-은 합금 도금액의 생성방법 및 그 도금액
US8888984B2 (en) 2012-02-09 2014-11-18 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Plating bath and method
JP6089164B2 (ja) * 2012-03-30 2017-03-08 石原ケミカル株式会社 スズ系メッキ液への補給方法
KR101342408B1 (ko) * 2012-06-22 2013-12-17 김동현 주석-은 합금 도금액의 제조방법
KR101367914B1 (ko) * 2012-06-28 2014-02-27 서영호 주석-아연 합금 도금액
US10072347B2 (en) * 2012-07-31 2018-09-11 The Boeing Company Systems and methods for tin antimony plating
CN103102291A (zh) * 2012-11-09 2013-05-15 柳州百韧特先进材料有限公司 一种间歇法生产甲基磺酸亚锡的方法
CN103014786B (zh) * 2013-01-22 2016-01-20 广州博泉环保材料科技有限公司 电镀液、其制备方法及应用此电镀液的镀锡工艺
US10633754B2 (en) * 2013-07-05 2020-04-28 The Boeing Company Methods and apparatuses for mitigating tin whisker growth on tin and tin-plated surfaces by doping tin with germanium
KR102233334B1 (ko) * 2014-04-28 2021-03-29 삼성전자주식회사 주석 도금액, 주석 도금 장치 및 상기 주석 도금액을 이용한 반도체 장치 제조 방법
KR101636361B1 (ko) * 2014-07-31 2016-07-06 주식회사 에이피씨티 과불소화알킬 계면활성제를 함유하는 솔더범프용 주석합금 전기도금액
CN105525312B (zh) * 2015-12-11 2017-12-29 广州市精利表面处理技术有限公司 一种镀锡溶液及其制备方法
JP2019052355A (ja) * 2017-09-15 2019-04-04 上村工業株式会社 電解Sn又はSn合金めっき液及びSn又はSn合金めっき物の製造方法
CN107881546B (zh) * 2017-10-20 2019-06-14 江西鑫力华数码科技有限公司 一种柔性线路板的电镀方法
WO2019125951A1 (en) * 2017-12-18 2019-06-27 New Mexico Tech University Research Park Corporation Tin-indium alloy electroplating solution
CN108866583B (zh) * 2018-08-28 2020-07-21 广州三孚新材料科技股份有限公司 一种应用于无引线电子元件的镀锡或锡铅合金的镀液及其制备方法和电镀方法
KR102343152B1 (ko) * 2019-02-28 2021-12-23 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 고농도 술폰산주석 수용액 및 그 제조 방법
EP4008809A4 (en) * 2019-08-01 2022-09-28 JX Nippon Mining & Metals Corporation PROCESS FOR DISSOLVING TIN(II) OXIDE
CN116239924B (zh) * 2022-11-10 2023-12-01 浙江巨化技术中心有限公司 一种电子级防护剂

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001172791A (ja) * 1999-12-16 2001-06-26 Ishihara Chem Co Ltd スズ−銅系合金メッキ浴、並びに当該メッキ浴によりスズ−銅系合金皮膜を形成した電子部品
JP2002080993A (ja) * 2000-06-23 2002-03-22 C Uyemura & Co Ltd 錫−銅合金電気めっき浴及びそれを使用するめっき方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2856857B2 (ja) * 1990-07-27 1999-02-10 石原薬品株式会社 錫、鉛または錫―鉛合金めっき浴
US5275716A (en) * 1992-03-23 1994-01-04 Nkk Corporation Method for manufacturing tin-electroplated cold-rolled steel strip
US6080497A (en) * 1992-03-27 2000-06-27 The Louis Berkman Company Corrosion-resistant coated copper metal and method for making the same
US6652990B2 (en) * 1992-03-27 2003-11-25 The Louis Berkman Company Corrosion-resistant coated metal and method for making the same
JP3776566B2 (ja) * 1997-07-01 2006-05-17 株式会社大和化成研究所 めっき方法
JPH11152594A (ja) * 1997-11-19 1999-06-08 Ishihara Chem Co Ltd スズ及びスズ合金メッキ浴、並びに当該メッキ浴の調製方法
JP3872201B2 (ja) * 1998-03-25 2007-01-24 ディップソール株式会社 錫−銀系合金酸性電気めっき浴
JP3904333B2 (ja) * 1998-09-02 2007-04-11 株式会社大和化成研究所 錫又は錫合金めっき浴
TW577938B (en) * 1998-11-05 2004-03-01 Uyemura C & Co Ltd Tin-copper alloy electroplating bath and plating process therewith
JP2001181889A (ja) * 1999-12-22 2001-07-03 Nippon Macdermid Kk 光沢錫−銅合金電気めっき浴

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001172791A (ja) * 1999-12-16 2001-06-26 Ishihara Chem Co Ltd スズ−銅系合金メッキ浴、並びに当該メッキ浴によりスズ−銅系合金皮膜を形成した電子部品
JP2002080993A (ja) * 2000-06-23 2002-03-22 C Uyemura & Co Ltd 錫−銅合金電気めっき浴及びそれを使用するめっき方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2664692A2 (en) 2012-05-15 2013-11-20 Ebara Corporation Plating apparatus and plating solution management method

Also Published As

Publication number Publication date
KR100916879B1 (ko) 2009-09-09
US20030150743A1 (en) 2003-08-14
KR20090066263A (ko) 2009-06-23
JP2003096590A (ja) 2003-04-03
KR20030025857A (ko) 2003-03-29
TWI301516B (en) 2008-10-01
KR100953228B1 (ko) 2010-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4698904B2 (ja) 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品
JP3782869B2 (ja) 錫−銀合金めっき浴
JP2001026898A (ja) 錫−銅合金電気めっき浴及びそれを使用するめっき方法
JP6432667B2 (ja) 錫合金めっき液
WO2010089882A1 (ja) 銀含有合金メッキ浴、およびこれを用いた電解メッキ方法
US10450665B2 (en) Plating solution using ammonium salt
JP3632499B2 (ja) 錫−銀系合金電気めっき浴
JP3532046B2 (ja) 非シアン置換銀めっき浴
US10174434B2 (en) Plating solution using phosphonium salt
JP4531128B1 (ja) スズ含有合金メッキ浴、これを用いた電解メッキ方法および該電解メッキが堆積された基体
JP4404909B2 (ja) 電気スズおよびスズ合金めっき液
WO2018142776A1 (ja) 錫合金めっき液
JP3034213B2 (ja) 金属錯体形成用水溶液、錫−銀合金めっき浴およびこのめっき浴を用いためっき物の製造方法
JP2017190477A (ja) 非シアン系Au−Sn合金めっき液
US10329680B2 (en) Plating solution using sulfonium salt
JP2018123402A (ja) アンモニウム塩を用いためっき液
TWI728396B (zh) 錫合金鍍敷液
WO2016152983A1 (ja) ホスホニウム塩を用いためっき液
JPH11256390A (ja) 錫−銀合金電気めっき浴
JPH1036995A (ja) 錫−銀合金めっき浴
WO2020021965A1 (ja) 錫合金めっき液
WO2016152997A1 (ja) スルホニウム塩を用いためっき液
WO2016152986A1 (ja) アンモニウム塩を用いためっき液

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080321

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20080321

RD13 Notification of appointment of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433

Effective date: 20080321

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080321

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101214

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110203

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110302

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4698904

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees