JP4662201B2 - 塗布方法 - Google Patents
塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4662201B2 JP4662201B2 JP2004287793A JP2004287793A JP4662201B2 JP 4662201 B2 JP4662201 B2 JP 4662201B2 JP 2004287793 A JP2004287793 A JP 2004287793A JP 2004287793 A JP2004287793 A JP 2004287793A JP 4662201 B2 JP4662201 B2 JP 4662201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- liquid
- flow rate
- pressure
- coating method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
(実施例1)
図1に示されるコーター10を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。なお、以下の9条件(例1〜9)のうち、例2及び例9においては、脱泡装置30(膜脱気装置)を外して実施した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。脱泡装置30の減圧値は−70kPaに設定した。
図1に示されるコーター10を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。なお、各例において、脱泡装置30(膜脱気装置)を外して実施した。
(実施例3)
図4に示されるコーター10’を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。なお、以下の8条件(例1〜8)のうち、例8のみ図1に示されるコーター10を使用した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。脱泡装置30の減圧値は−70kPaに設定した。
(比較例1)
図8は、比較例における塗布装置100の全体構成図であり、第1実施形態の図1、第2実施形態の図4に対応するものである。なお、図1と同一、類似の部材については、同様の符号を附し、その説明を省略する。
(比較例2)
図8に示されるコーター100を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。塗布液の流量を100〜1000ml/分まで変化させた。そして、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。
Claims (9)
- 塗布液をポンプにより送液配管を経てスロットダイに圧送し、連続走行する支持体上に前記スロットダイにより前記塗布液を塗布する塗布方法において、
前記塗布液の粘度を0.01N・s/m2以下とし、前記塗布液の流量を300ml/分以下とし、前記送液配管中に流量調節機構を設け、前記ポンプと前記流量調節機構の間の前記送液配管内の圧力を前記流量調節機構により0.02〜0.5MPaに制御することを特徴とする塗布方法。 - 前記スロットダイ出口における前記塗布液の脈動幅を5%以下に制御することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
- 前記送液配管中に流量計を設け、該流量計による測定結果を前記ポンプにフィードバックすることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布方法。
- 前記送液配管中に気液分離膜を備えた脱泡装置を設けることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管に振動測定手段を設け、該振動測定手段による測定結果を前記ポンプにフィードバックすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管に防振材を設けることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記ポンプ直後の前記送液配管中に第1の流量調節機構を設けるとともに、前記スロットダイ直前の前記送液配管中に第2の流量調節機構を設け、前記第1の流量調節機構直後の配管内圧力と前記第2の流量調節機構直前の配管内圧力との差圧を0〜0.3MPaに制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記ポンプが2連式以上の正流型ダイヤフラムポンプであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管の一部又は全部に、ゴム材料又は樹脂材料を使用することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の塗布方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004287793A JP4662201B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | 塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004287793A JP4662201B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | 塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006095492A JP2006095492A (ja) | 2006-04-13 |
JP4662201B2 true JP4662201B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=36235808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004287793A Expired - Fee Related JP4662201B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | 塗布方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4662201B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5195673B2 (ja) * | 2009-07-06 | 2013-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 |
JP6221596B2 (ja) * | 2013-10-03 | 2017-11-01 | コニカミノルタ株式会社 | 塗布液の製造方法 |
JP6291790B2 (ja) * | 2013-10-28 | 2018-03-14 | 日本ゼオン株式会社 | 光学部材の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10128211A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-19 | Teijin Ltd | 塗布方法及びその装置 |
JPH11188202A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性塗布液の脱気方法 |
JP2002066431A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布液の調製・脱泡方法及び装置 |
JP2003117478A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-22 | Konica Corp | 塗布方法 |
JP2003224066A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-08 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜形成装置 |
JP2004033946A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置 |
-
2004
- 2004-09-30 JP JP2004287793A patent/JP4662201B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10128211A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-19 | Teijin Ltd | 塗布方法及びその装置 |
JPH11188202A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性塗布液の脱気方法 |
JP2002066431A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布液の調製・脱泡方法及び装置 |
JP2003117478A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-22 | Konica Corp | 塗布方法 |
JP2003224066A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-08 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜形成装置 |
JP2004033946A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006095492A (ja) | 2006-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6320069A (ja) | 塗布装置 | |
US7033644B2 (en) | Apparatus and method for applying coating solution, die and method for assembling thereof | |
KR20060044646A (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP2003260400A (ja) | 塗布方法及び装置 | |
JP2009045513A (ja) | 塗布方法及び塗布装置並びに塗布膜製品の製造方法 | |
JP3941857B2 (ja) | 塗布方法及び装置 | |
US8420178B2 (en) | Liquid sending method and system | |
JP2007237128A (ja) | 塗布方法及び装置 | |
JP4662201B2 (ja) | 塗布方法 | |
JP2007245024A (ja) | 塗布方法、装置、及び光学フィルムの製造方法 | |
JPH02174965A (ja) | 重層塗布方法及び装置 | |
JP4855993B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JP4841822B2 (ja) | 塗布膜付きウエブの製造方法 | |
JP4163876B2 (ja) | 塗布方法 | |
JP4600741B2 (ja) | 塗布膜付きウエブの製造方法及び製造装置 | |
JP2006272130A (ja) | 塗布液の塗布方法、塗布液の塗布装置、光学フィルム、および反射防止フィルム | |
JP2006272269A (ja) | 塗布液の塗布方法および光学フィルム | |
JP5411716B2 (ja) | 塗布装置及びそれを用いた光学フィルムの製造方法 | |
JP2003251260A (ja) | 塗布方法 | |
JP4763325B2 (ja) | 塗布液の塗布方法、塗布液の塗布装置、および光学フィルムの製造方法 | |
JP2003200097A (ja) | 塗布方法及びスロットダイ | |
JP5335345B2 (ja) | 送液方法、及び塗布方法 | |
JP4743482B2 (ja) | 塗布液の塗布方法、および塗布装置 | |
JP2006272129A (ja) | 塗布液の塗布方法、塗布液の塗布装置、および光学フィルム | |
JP5707188B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070105 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100402 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100601 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101223 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |