JP4659908B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
101、106 ローダ
102 洗浄機
103a、103b パネル実装機
104 部品供給ユニット
105 検査機
108 ラインコントローラ
109 通信ケーブル
113 ACF貼付装置
114 仮圧着装置
115、116 本圧着装置
200 パネル
201 部品
202、204、206 熱圧着加圧ヘッド
203、205、207、301 バックアップステージ
210 ACF
300 実装済パネル
302 パネル移載ステージ部
303 パネル下搬送移載軸部
304 可視光照明
305 赤外光照明
306 可視カメラ
307 赤外線(IR)カメラ
410、430、440 制御部
411、431、441 記憶部
411a マスタテーブル
412、432、442 入力部
413、433、443 表示部
414、434、444 通信I/F部
415 演算部
431a フィードバックデータ
435、445 機構部
436 データ更新部
441a 検査位置データ
446 ずれ量算出部
500、600 パネル認識マーク
501、601 部品認識マーク
502 導電性粒子
Claims (2)
- 導電性粒子を含む接着部材を介してパネル表面に部品が実装された実装済パネルの部品の所定の実装位置からのずれ量を検出する装置であって、
実装済パネルの裏面側に配設され、可視光を実装済パネル裏面に照射して、パネルに形成されたパネル認識マークに前記導電性粒子を介さずに実装済パネルの裏面側から照射する可視光照明と、
部品の裏面側に配設され、赤外光を部品裏面に照射して、前記導電性粒子を透過しないあるいは透過し難い波長の赤外光を部品に形成された部品認識マークに前記導電性粒子を介さずに部品の裏面側から照射する赤外光照明と、
パネルに部品が実装される側とは反対側の実装済パネルの裏面側に配設され、実装済パネルの裏面側から前記可視光が照射されたパネル認識マークを撮像する可視カメラと、
部品がパネルと接合しない側の部品の裏面側に配設され、部品の裏面側から赤外光が照射された部品認識マークを撮像する赤外線カメラと、
導電性粒子を介して重なる様に配置された前記パネル認識マークと前記部品認識マークとのそれぞれの撮像結果から前記パネル認識マーク及び前記部品認識マークの所定の位置関係からのずれ量を算出するずれ量算出手段とを備え、
前記可視カメラの撮像方向と赤外線カメラの撮像方向とは、前記実装済パネルを跨いで同軸上で対向しており、
前記パネル認識マークへの可視光の照射方向と前記部品認識マークへの赤外光の照射方向とは、前記導電性粒子を挟んで同軸上で対向し、
導電性粒子を介して同軸上で重なる様に配置された前記パネル認識マークと前記部品認識マークとを導電性粒子を介さずに同軸上の位置で対向する方向から認識してそのずれ量を検出する
ことを特徴とする検査装置。 - 導電性粒子を含む接着部材を介してパネルの表面に部品が実装された実装済パネルの部品の所定の実装位置からのずれ量を検出する方法であって、
実装済パネルに部品が実装されている側と反対側の実装済パネルの裏面側から可視光をパネルに形成されたパネル認識マークに前記導電性粒子を介さず照射する第1照射ステップと、
パネルに実装される側と反対側である部品の裏面側から前記導電性粒子を透過しないあるいは透過し難い波長の赤外光を部品に形成された部品認識マークに前記導電性粒子を介さず照射する第2照射ステップと、
パネルに部品が実装される側とは反対側のパネルの裏面側より、前記第1照射ステップにより可視光が照射されたパネル認識マークを撮像する第1撮像ステップと、
部品がパネルと接合しない側の部品の裏面側より、前記第2照射ステップにより赤外光が照射された部品認識マークを撮像する第2撮像ステップと、
導電性粒子を介して重なる様に配置された前記パネル認識マークと前記部品認識マークとのそれぞれの撮像結果から前記パネル認識マーク及び前記部品認識マークの所定の位置関係からのずれ量を算出するずれ量算出ステップとを含み、
前記可視カメラの撮像方向と赤外線カメラの撮像方向とは、前記実装済パネルを跨いで同軸上で対向しており、
前記パネル認識マークへの可視光の照射方向と前記部品認識マークへの赤外光の照射方向とは、前記導電性粒子を挟んで同軸上で対向し、
導電性粒子を介して同軸上で重なる様に配置された前記パネル認識マークと前記部品認識マークとを導電性粒子を介さずに同軸上の位置で対向する方向から認識してそのずれ量を検出する
ことを特徴とする検査方法。
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