JP4655668B2 - 強誘電体コンデンサラッチ回路 - Google Patents
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Description
不揮発性メモリとして各種のものがあるが、高速性、低電圧特性、低消費電力等の観点から強誘電体メモリが注目されている。強誘電体メモリの具体的な構成は、以下の例に示すように様々である。
図15は、図14に示す強誘電体コンデンサの分極電荷−印加電圧特性を示すものである。図15において、1501、1502、1503、1504、1505、1506の各点の特性点を通る曲線が、図14の強誘電体コンデンサの第1端子1441と第2端子1442の間に加えた電圧Vと内部分極電荷Qの特性を表している。
特性点1501の状態にあった強誘電体コンデンサの第1端子1441と第2端子1442の電位差を0として開放すると、内部の分極は残留分極として保存され、特性点1502に示す状態となる。また、特性点1504の状態にあった強誘電体コンデンサの第1端子1441と第2端子1442の電位差を0として開放すると、内部の分極は残留分極として保存されて、特性点1505に示す状態となる。
ここで、図14に示す特性点1501〜1506に対応する強誘電体コンデンサの内部分極電荷の各状態を模式的に示すと、それぞれ図16(A)〜(F)に示すようになる。ただし、図15における印加電圧Vは、図16において上部のコンデンサの電極を基準として正負を定めている。
この回路は、図17に示すように、強誘電体コンデンサ1711と、N型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(以下、MOSFETと略す)1712とからなり、ワード線(WL)1713、ビット線(BL)1714、およびプレート線(PL)1715を含んでいる。ここで、MOSFETとは、Meatal−Oxide−Semiconductor−Field−Effect−Transistorの略語である。
ここで、上記の方法は、データを読み出す際に電荷を取り出す。すなわち、データを破壊してしまうので、破壊読み出しと一般的に呼ばれる方式であり、この方式の一例として特許文献1に示すものが知られている。
すなわち、図14〜図17で説明した方法、あるいは特許文献1に示されるデータを破壊読み出しする方式では、データの読み出し後に、消えたデータを再書き込みする必要がある。したがって、データを読み出した後に書き込み動作を行うので、余計な膨大な素子数の制御回路と無視できない時間を要し、アクセスタイムやサイクルタイムに影響を与える。
このため、大規模メモリの場合には、従来の前述した方式でも特に上記の点が課題にはならないと考えられる。しかし、集積回路の中に比較的小容量の読み書き可能な不揮発性メモリを内蔵する場合には、従来の方式では周辺回路の大きさと制御の煩雑さ、さらにはデータの読み書きに要する長い時間が大きな課題となる。
そこで、本発明の目的は、上記の点に鑑み、データの読み書きの際に格別な制御方式や手順を必要とせず、通常のMOSFET回路と同じような取り扱いが可能で、かつ占有面積も少ない不揮発性のラッチ回路を提供することにある。
すなわち、第1の発明は、第1電源端子と第2電源端子に接続される電源で動作する第1のインバータ回路および第2のインバータ回路と、第1の強誘電体コンデンサおよび第2の強誘電体コンデンサと、第1のコンデンサおよび第2のコンデンサと、第1、第2、第3および第4の抵抗手段と、一の入出力端子および他の入出力端子と、を備え、前記第1のインバータ回路の出力端子は前記第1の抵抗手段を介して前記第2のインバータ回路の入力端子に接続され、かつ、前記第2のインバータ回路の出力端子は前記第2の抵抗手段を介して前記第1のインバータ回路の入力端子に接続され、前記第1のインバータ回路の出力端子は前記第3の抵抗手段を介して前記一の入出力端子に接続され、かつ、前記第2のインバータ回路の出力端子は前記第4の抵抗手段を介して前記他の入出力端子に接続され、前記第1の強誘電体コンデンサの第1端子と第2端子は、前記一の入出力端子と前記第1のインバータ回路の入力端子にそれぞれ接続され、前記第2の強誘電体コンデンサの第1端子と第2端子は、前記他の入出力端子と前記第2のインバータ回路の入力端子にそれぞれ接続され、前記第1のコンデンサの第1端子と第2端子は、前記一の入出力端子と前記第2電源端子にそれぞれ接続され、前記第2のコンデンサの第1端子と第2端子は、前記他の入出力端子と前記第2電源端子にそれぞれ接続されている。
第4の発明は、第3の発明において、前記無機強誘電体からなる強誘電体薄膜は、PZTNからなる。
第5の発明は、第1または第2の発明において、前記強誘電体コンデンサの強誘電体薄膜は、有機強誘電体からなる。
第6の発明は、第5の発明において、前記有機強誘電体からなる強誘電体薄膜は、PVDF、P(VDF/TrFE)、もしくはナイロン7、ナイロン11等の奇数ナイロンからなる。
また、本発明では、回路自体の構成がデータの書き込み回路とデータ出力回路を兼ねることができる。このため、余分な制御回路や読み出し、書き込みの手順が不要になるとともに、高速かつ少ない回路素子となり、小容量の不揮発性メモリ内蔵のLSIに適用する場合には、コストと、占有面積の観点から非常に適した回路を提供できるという効果がある。
さらに、本発明において、強誘電体コンデンサの強誘電体薄膜に、分極電荷−印加電圧のヒステリシス特性において残留分極が大きく、角型特性の良い無機強誘電体のPZTN、または低温で強誘電体が形成できる有機強誘電体であるPVDF、P(VDF/TrFE)、あるいはナイロン7、ナイロン11等の奇数ナイロンを用いる場合には、諸特性が改善され、製造が容易かつ安定性を増す効果がある。そして、その結果、品質信頼性が高まるとともに、製造コストが低下するという効果がある。
(本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の第1実施形態)
図1は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の第1実施形態の構成を示す回路図である。
この第1実施形態は、図1に示すように、ラッチ回路を構成するインバータ回路135、146と、強誘電体コンデンサ11、12と、コンデンサ191、192と、抵抗手段193〜196とを備え、これらにより不揮発性のラッチ回路を構成したものである。
また、第1実施形態は、図1に示す構成により、電源の切断時に1ビットのデータを保持でき、電源再投入後には、強誘電体コンデンサ11、12の残留分極による電荷の偏りによって、電源切断時におけるラッチ回路のデータの保持状態に速やかに復帰できるようにしたものである。
インバータ回路135、146は、互いにその出力を入力として帰還させるように、たすき掛けに接続され、1ビットのデータを記憶する揮発性のラッチ回路として機能するようになっている。
インバータ回路135は、図1に示すように、導電型がN型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(以下、N型MOSFETという)13と、導電型がP型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(以下、P型MOSFETという)15とを組み合わせたCMOSインバータ回路からなる。
なお、インバータ回路135、146の具体例としてCMOSインバータ回路を挙げたが、これ以外にMOSトランジスタを用いたものであれば、各種のものを使用することができる。この点については、以下の各実施形態においても同様である。
N型MOSFET13のソース電極は−VSSの電位を持つ負極の電源端子に接続され、P型MOSFET15のソース電極は+VDDの電位を持つ正極の電源端子に接続され、N型MOSFET13とP型MOSFET15の各ゲート電極は互いに接続され、またその各ドレイン電極も互いに接続されている。そして、これらによりインバータ回路135を構成している。
インバータ回路135の出力端子は、抵抗手段193を介して入出力端子17に接続されている。強誘電体コンデンサ11は、一端側の端子が入出力端子17に接続され、他端側の端子がインバータ回路135の入力端子に接続されている。コンデンサ191は、一端側の端子が入出力端子17に接続され、他端側の端子が+VDDの電位を持つ正極の電源端子に接続されている。
なお、PZTとはPb(Zr,Ti)O3の総称であり、またPZTNとはPZTのTiの一部をNbで置き換えたものの総称であり、またSBTとはSrBi2Ta2O9もしくはそれに近い組成の総称である。また、図14における金属電極1441、1442は白金(Pt)が一般的によく用いられる。
この第1実施形態では、インバータ回路135とインバータ回路146はラッチ回路を構成しているので、ラッチ回路としては二つの安定状態を有している。
すなわち、入出力端子17が低電位に相当する−VSSであり、入出力端子18が高電位に相当する+VDDである場合の第1状態と、入出力端子17が高電位に相当する+VDDであり、入出力端子18が低電位に相当する−VSSである場合の第2状態とがある。
図3(A)(C)によれば、上記の両状態の電位状況によって、強誘電体コンデンサ11、12は、その内部に異なる分極を起こすことがわかる。
すなわち、入出力端子17が−VSSで入出力端子18が+VDDの状況(第1状態)では、図3(A)に示すように、強誘電体コンデンサ11、12内の強誘電体薄膜は、入出力端子17側の電極側が正極性の分極を、入出力端子18側の電極側が負極性の分極を、それぞれ起こす。
一方、入出力端子17が+VDDで入出力端子18が−VSSの状況(第2状態)では、図3(C)に示すように、強誘電体コンデンサ11、12内の強誘電体薄膜は、入出力端子17側の電極側が負極性の分極を、入出力端子18側の電極側が正極性の分極を、それぞれ起こす。
電源を切った場合には、強誘電体コンデンサ11、12内の分極電荷量は減少するが、図15に示す特性点1502と1505における残留分極が残り、保存される。この電源のオフ時、すなわち、入出力端子17、18がともにグラウンド電位の0電位になった場合の強誘電体コンデンサ11、12の内部分極の状態を、図3の(B)(D)に示す。
なお、図1の回路図では、負極性電源である−VSSをグラウンド電位としている。
ここで、電源を切ってからしばらくすると、各回路の電位はグラウンド電位に落ち着くが、上記のように強誘電体コンデンサ11、12の各内部分極は残留分極として保存される。
図1におけるコンデンサ191、192は、電源の切断時にはそれぞれ電荷は0となっている。そして、コンデンサ191、192の一端は+VDDの電位を持つ正極性の電源端子にそれぞれ接続されているので、電源の再投入時には、入出力端子17、18はその正極性の電源端子側の電位+VDDに追従しようとする。すなわち、強誘電体コンデンサ11、12の電極のうち、入出力端子17、18側の電極は正極性の電源端子+VDD側の電位に追従しようとする。
したがって、強誘電体コンデンサ11、12は、電源投入時に、コンデンサ電極の両端にそれぞれ電源間の電圧+VDDが加わることになる。これは図15において、電極間の電圧が0である特性点1502もしくは特性点1505にあった強誘電体コンデンサに電圧Vが加わり、特性点1504の状態にされることに相当する。
したがって、例えば図3(B)のように残留分極がある状態で電源を再投入すると、コンデンサ191の作用により、強誘電体コンデンサ11の入出力端子17側の電極には+VDDが加わって動作したかのように作用するが、このとき、強誘電体コンデンサ11の入出力端子17側の電極は図3(B)の状態では正の残留分極、すなわち電極の外側に負の電荷を誘起している状態なので、電位変動が大きい。したがって、強誘電体コンデンサ11の他端は0電位から正の電位側へ大きく変動し、インバータ回路135の入力端子に大きな正の電位を加える。
なお、この第1実施形態では、以上の動作が目的通り、かつ、速やかに進行するために、抵抗手段193〜196を備えている。すなわち、抵抗手段193〜196は、電源再投入後、インバータ回路135、146からなるラッチ回路が電源切断前の状態に向かう過渡的な短い時間において、強誘電体コンデンサから読み出された電荷がインバータ回路の入力端子以外に散逸するのを避け、また、他の経路から余計な電荷や電位が入り込むことを防止している。
図4は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の第2実施形態の構成を示す回路図である。
この第2実施形態は、図4に示すように、ラッチ回路を構成するインバータ回路435、446と、強誘電体コンデンサ41、42とを備え、これらにより不揮発性のラッチ回路を構成したものである。
また、第2実施形態は、図4に示す構成により、電源の切断時に1ビットのデータを保持でき、電源再投入後には、強誘電体コンデンサ41、42の残留分極による電荷の偏りによって、電源切断時におけるラッチ回路のデータの保持状態に速やかに復帰できるようにしたものである。
さらに、第2実施形態は、回路自体の構成がデータの書き込み回路とデータ出力回路を兼ねることができ、余分な制御回路や読み出し、書き込みの手順を不要にするようにしたものである。
インバータ回路435は、図4に示すように、N型MOSFET43とP型MOSFET45とを組み合わせたCMOSインバータ回路からなる。同様に、インバータ回路446は、N型MOSFET44とP型MOSFET46とを組み合わせたCMOSインバータ回路からなる。
N型MOSFET43のソース電極は−VSSの電位を持つ負極の電源端子に接続され、P型MOSFET45のソース電極は+VDDの電位を持つ正極の電源端子に接続され、N型MOSFET43とP型MOSFET45の各ゲート電極は互いに接続され、またその各ドレイン電極も互いに接続されている。そして、これらによりインバータ回路435を構成している。
インバータ回路435の出力端子は入出力端子47に接続されている。強誘電体コンデンサ41は、一端側の端子が入出力端子47に接続され、他端側の端子がインバータ回路435の入力端子に接続されている。
以上の構成において、強誘電体コンデンサ41と42、N型MOSFET43と44、P型MOSFET45と46はそれぞれ同一形状であり、同一特性である。さらに、以上の素子を配列し、接続したレイアウトパターンについても、同一もしくは対称形の配置であることが望ましい。
この第2実施形態では、インバータ回路435とインバータ回路446がラッチ回路を構成しているので、ラッチ回路としては二つの安定状態を有している。
すなわち、入出力端子47が低電位に相当する−VSSであり、入出力端子48が高電位に相当する+VDDである場合の第1状態と、入出力端子47が高電位に相当する+VDDであり、入出力端子48が低電位に相当する−VSSである場合の第2状態とがある。
図6(A)(C)によれば、上記の両状態の電位状況によって、強誘電体コンデンサ41、42は、その内部に異なる分極を起こすことがわかる。
一方、入出力端子47が+VDDで入出力端子48が−VSSの状況(第2状態)では、図6(C)に示すように、強誘電体コンデンサ41、42内の強誘電体薄膜は、入出力端子47側の電極側が負極性の分極を、入出力端子48側の電極側が正極性の分極を、それぞれ起こす。
電源を切った場合には、強誘電体コンデンサ41、42内の分極電荷量は減少するが、図15に示す特性点1502と1505における残留分極が残り、保存される。この電源のオフ時、すなわち、入出力端子47、48がともにグラウンド電位の0電位になった場合の強誘電体コンデンサ41、42の内部分極の状態を、図6の(B)(D)に示す。
なお、図4の回路図では、負極性電源である−VSSをグラウンド電位としている。
ここで、電源を切ってからしばらくすると、各回路の電位はグラウンド電位に落ち着くが、上記のように強誘電体コンデンサ41、42の各内部分極は残留分極として保存される。
図4の回路は図1の回路から、コンデンサ191、192と、抵抗手段193〜196を省略した構成であるが、原理的には図1と同じ動作が実現できる。
その第1の理由は、図1の抵抗手段193〜196はあえて形成しなくともコンタクト抵抗やポリシリコン抵抗で兼用でき、また、強誘電体コンデンサ41、42の片側の電極を正極側の電源と同電位の基板の上に形成すれば、これにより寄生静電容量が付加され、その寄生静電容量はコンデンサ191、192と同じ働きをする。したがって、実質的に図1の等価的な回路を図4の回路でも構成できるからである。
すなわち、図4の回路では、強誘電体コンデンサ41、42を有しており、図6に示すように、電源切断前の安定状態では安定状態における各電位に対応した内部分極をしており、それが電源切断後においても残留分極として保持されている(図6(B)(D)参照)。
また、図6(C)の状態で電源を切断した後は図6(D)の状態となり、その後、電源を再投入すれば同様の理由で図6(C)の状態に復帰する。
以上説明したように、図4の回路からなる第2実施形態では、図1に示す回路とほぼ同等の安定性が得られる上に、その回路の機能を少ない素子と占有面積で実現できる。
図7は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の第3実施形態の構成を示す回路図である。
この第3実施形態は、図7に示すように、ラッチ回路を構成するインバータ回路735、746と、強誘電体コンデンサ70とを備え、これらにより不揮発性のラッチ回路を構成したものである。
また、第3実施形態は、図7に示す構成により、電源の切断時に1ビットのデータを保持でき、電源再投入後には、強誘電体コンデンサ70の残留分極による電荷の偏りによって、電源切断時におけるラッチ回路のデータの保持状態に速やかに復帰できるようにしたものである。
インバータ回路735、746は、互いにその出力を入力として帰還させるように、たすき掛けに接続され、1ビットのデータを記憶する揮発性のラッチ回路として機能するようになっている。
インバータ回路735は、図7に示すように、N型MOSFET73とP型MOSFET75とを組み合わせたCMOSインバータ回路からなる。同様に、インバータ回路746は、N型MOSFET74とP型MOSFET76とを組み合わせたCMOSインバータ回路からなる。
N型MOSFET73のソース電極は−VSSの電位を持つ負極の電源端子に接続され、P型MOSFET75のソース電極は+VDDの電位を持つ正極の電源端子に接続され、N型MOSFET73とP型MOSFET75の各ゲート電極は互いに接続され、またその各ドレイン電極も互いに接続されている。そして、これらによりインバータ回路735を構成している。
インバータ回路735の出力端子は、入出力端子77に接続されている。インバータ回路746の出力端子は、入出力端子78に接続されている。
強誘電体コンデンサ70は、一端側の電極が入出力端子77に接続され、他端側の電極が入出力端子78に接続されている。
この第3実施形態は、図7に示すような具体的な回路からなるが、図7の回路を機能的に分かり易く表現したのが図8である。
図7、図8から構成される第3実施形態は、図4、図5から構成される第2実施形態とほぼ同じ機能を持っている。
従って、第3実施形態では、対称性に注意を払いながら回路を形成すれば、図7、図8のように1個の強誘電体コンデンサ70で、強誘電体コンデンサ41、42と同様の機能を実現できる。
図9(A)(B)は、第1状態の電源切断前の安定状態と、電源切断後の電位と分極状態を表し、かつ電源再投入後に以前の状態に復帰する対応関係を表す。また、図9(C)(D)は、第2状態の電源切断前の安定状態と、電源切断後の電位と分極状態を表し、かつ電源再投入後に以前の状態に復帰する対応関係を表している。
図9(B)(D)によれば、残留分極によって誘起される強誘電体コンデンサ70の電極の外側の電荷はラッチ回路からみると対称ではなく、偏りを持っている。
従って、第3実施形態は、その偏りに着目したものであり、第2実施形態と同様に、電源再投入後に以前の状態に復帰することができる。
次に、本発明の強誘電体トランジスタラッチ回路の第1の応用例について説明する。
この応用例の説明に先立って、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の第1、第2、および第3の実施形態でそれぞれ説明した図1、図4、図7の各回路の等価回路を、図10で定義して表現するものとする。
図11は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路を実際の回路に応用した第1の応用例を示す図である。
この第1の応用例は、図11に示すように、本発明に係る強誘電体コンデンサラッチ回路1110を、集積回路1100内に設けて使用する場合である。
なお、強誘電体コンデンサラッチ回路1110の入出力端子は、出力端子として作用する場合のインピーダンスを集積回路1100の外部の信号源のインピーダンスより充分高く設定する。
入力端子1122に集積回路1100の外部から制御信号を加える場合、高電位(High)もしくは低電位(Low)の信号を供給する。このとき、外部から加える制御信号の信号源のインピーダンスは充分低いので、強誘電体コンデンサラッチ回路1110の影響を受けることなくインバータ回路1121の入力端子に制御信号を送ることができる。また、強誘電体コンデンサラッチ回路1110は、この制御信号のデータ情報をラッチして記憶する。
しかし、図11に示すように、強誘電体コンデンサラッチ回路1110を入力端子1122に電気的に接続することにより、強誘電体コンデンサラッチ回路1110に記憶された信号がインバータ回路1121の入力端子に加わるので、集積回路1100の外部から信号を与え続けることが不要になる効果がある。
ここで、図11の強誘電体コンデンサラッチ回路1110の用い方は、そのラッチ回路1110からみると2個の入出力端子の一方のみに信号配線を接続しているので、電源を再投入しデータを復元させる際に、残留分極以外に偏りの要因として寄生静電容量の偏りが生じてしまう可能性がある。
したがって、信号配線を接続する入出力端子の他端の入出力端子にダミー配線を設けてバランスをとることが、誤動作を防ぐ上で更に望ましい。
図12は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路を実際の回路に応用した第2の応用例である。
この第2の応用例は、図12に示すように、本発明に係る2つの不揮発性のラッチ回路1241、1242を、揮発性のラッチ回路1205と組み合わせて使用するようにしたものである。
ラッチ回路1205は、MOSFETから構成されたNAND回路(非論理積回路)1243、1244からなる。すなわち、NAND回路1243の第1入力ゲートはNAND回路1244の出力端子に接続され、NAND回路1244の第2入力ゲートはNAND回路1243の出力端子に接続されている。つまり、2個のNAND路1243、1244の入力端子、出力端子を相互にたすき掛けすることにより、ラッチ回路1205が構成されている。
なお、NAND回路1243の第2入力ゲート、およびNAND回路1244の第1入力ゲートには、他の信号が入力されるようになっている。
ラッチ回路1205は、前の状態を記憶していて、次の動作に影響を与える役目をしているが、ラッチ回路1205だけでは電源を切ると状態を示すデータは消えてしまい、電源を再投入した場合には、所望の動作をさせる為には、あらためて状態を設定する必要がある。
このため、電源を一度切断し、再投入後においても、ラッチ回路1205の状態を再現できるので、電源の再投入後に状態を再設定することが不要で、電源の再投入直後から動作可能となる効果がある。
ここで、NAND回路1243、1244と強誘電体コンデンサラッチ回路1241、1242とを対称性を良くレイアウトすることは、正常な動作を実現する上で重要である。
図13は、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路を実際の回路に応用した第3の応用例である。
図13において、1343、1344はMOSFETから構成されたNAND回路である。NAND回路1343の第1入力ゲートはNAND回路1344の出力端子に接続され、NAND回路1344の第2入力ゲートはNAND回路1343の出力端子に接続されている。つまり、2個のNAND路1343、1344の入力端子、出力端子を相互にたすき掛けすることにより、ラッチ回路が構成されている。
さて、2個のNAND路1343、1344によるラッチ回路は前の状態を記憶していて、次の動作に影響を与える役目をしているが、NAND路1343、1344のラッチ回路だけでは電源を切ると、状態を示すデータは消えてしまい、電源を再投入した場合には、所望の動作をさせる為には、あらためて状態を設定する必要がある。
以上は、図12の回路において、強誘電体コンデンサラッチ回路1241、1242を除く構成と同一である。
図13の回路では、ラッチ回路の機能をNAND回路1343と1344に持たせているので、インバータ回路1353と強誘電体コンデンサ1351の組み合わせ、およびインバータ回路1354と強誘電体コンデンサ1352の組み合わせによって不揮発性の書き込みと記憶の機能を持たせれば、図12の回路と同じ機能を有する。
なお、この際、NAND路1343、1344と強誘電体コンデンサ1351と1352を対称性良くレイアウトすることは正常な動作上、重要である。
上記の各実施形態で使用される強誘電体コンデンサでは、その強誘電体の材料をPZTNやPZTやSBTの無機の強誘電体としていた。しかし、半導体製造ラインにおいて、その無機の強誘電体の成分がMOS製造工程において汚染の要因となることがあり、また結晶化の温度が高温すぎてMOSの構成要素に影響を与えることがしばしば起こる。
その有機強誘電体の材料としては、PVDF(poly( vinylidene fluoride) )、P(VDF/TrFE)(poly(vinylidene fluoride−trifluoroethylene)、もしくはナイロン7、ナイロン11等の奇数ナイロンが適している。
本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。以下に、他の実施形態などについて説明する。
本発明の各実施形態に使用される強誘電体コンデンサは、図14において無機の強誘電体薄膜としてはPZTNを好ましい例を挙げ、かつ、強誘電体薄膜の印加電圧−分極電荷特性として図15を挙げたが、必ずしもPZTNである必要はない。例えば、すでに強誘電体としてあげたPZTやSBTでもよい。
また、強誘電体薄膜として有機強誘電体を用いた場合には、電極材料の結晶軸の制約がとれるので、更に広い電極材料の選定が可能となる。
さらに、図11、図12において、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路の集積回路での適用例を挙げたが、図11のように入力端子1122のフローティング防止のみならず、同様のフローティング防止ということではデータのバスラインに用いても良い。
また、データを記憶するという目的では、図12、図13のラッチ回路のみならず、集積回路の電源再投入後に速やかに以前の状態から動作させるに必要な回路の信号の各箇所に、本発明の強誘電体コンデンサラッチ回路を接続することが効果的である。
Claims (6)
- 第1電源端子と第2電源端子に接続される電源で動作する第1のインバータ回路および第2のインバータ回路と、
第1の強誘電体コンデンサおよび第2の強誘電体コンデンサと、
第1のコンデンサおよび第2のコンデンサと、
第1、第2、第3および第4の抵抗手段と、
一の入出力端子および他の入出力端子と、を備え、
前記第1のインバータ回路の出力端子は前記第1の抵抗手段を介して前記第2のインバータ回路の入力端子に接続され、かつ、前記第2のインバータ回路の出力端子は前記第2の抵抗手段を介して前記第1のインバータ回路の入力端子に接続され、
前記第1のインバータ回路の出力端子は前記第3の抵抗手段を介して前記一の入出力端子に接続され、かつ、前記第2のインバータ回路の出力端子は前記第4の抵抗手段を介して前記他の入出力端子に接続され、
前記第1の強誘電体コンデンサの第1端子と第2端子は、前記一の入出力端子と前記第1のインバータ回路の入力端子にそれぞれ接続され、
前記第2の強誘電体コンデンサの第1端子と第2端子は、前記他の入出力端子と前記第2のインバータ回路の入力端子にそれぞれ接続され、
前記第1のコンデンサの第1端子と第2端子は、前記一の入出力端子と前記第2電源端子にそれぞれ接続され、
前記第2のコンデンサの第1端子と第2端子は、前記他の入出力端子と前記第2電源端子にそれぞれ接続されていることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。 - 請求項1において、
前記第1のインバータ回路および第2のインバータ回路は、第1の導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタと第2の導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタを有し、
前記第1の導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース電極は第1電源端子に接続され、前記第2の導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース電極は第2電源端子に接続され、前記第1の導電型と第2の導電型の2個の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイン電極とゲート電極はそれぞれ互いに接続された構成からなることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。 - 請求項1または請求項2において、
前記強誘電体コンデンサの強誘電体薄膜は、無機強誘電体からなることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。 - 請求項3において、
前記無機強誘電体からなる強誘電体薄膜は、PZTNからなることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。 - 請求項1または請求項2において、
前記強誘電体コンデンサの強誘電体薄膜は、有機強誘電体からなることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。 - 請求項5において、
前記有機強誘電体からなる強誘電体薄膜は、PVDF、P(VDF/TrFE)、もしくはナイロン7、ナイロン11等の奇数ナイロンからなることを特徴とする強誘電体コンデンサラッチ回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005047351A JP4655668B2 (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 強誘電体コンデンサラッチ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005047351A JP4655668B2 (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 強誘電体コンデンサラッチ回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006237836A JP2006237836A (ja) | 2006-09-07 |
JP4655668B2 true JP4655668B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=37045035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005047351A Expired - Fee Related JP4655668B2 (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 強誘電体コンデンサラッチ回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4655668B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6617394B2 (ja) | 2015-12-18 | 2019-12-11 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2004088469A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Fujitsu Ltd | 不揮発性データ記憶回路を有する集積回路装置 |
WO2004049346A1 (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不揮発性メモリセルおよびその制御方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60224195A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Nec Corp | スタテイツク型半導体メモリ |
EP0357982B1 (en) * | 1988-09-07 | 1995-03-01 | Texas Instruments Incorporated | Memory cell with improved single event upset rate reduction circuitry |
JP3359354B2 (ja) * | 1991-06-24 | 2002-12-24 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | 向上されたダイナミック負フィードバッグを備えた電子ラッチ |
JP3672954B2 (ja) * | 1994-12-26 | 2005-07-20 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体記憶装置 |
-
2005
- 2005-02-23 JP JP2005047351A patent/JP4655668B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001126469A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-05-11 | Ramtron Internatl Corp | 強誘電性不揮発性ラッチ |
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WO2004049346A1 (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不揮発性メモリセルおよびその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006237836A (ja) | 2006-09-07 |
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