JP4640504B2 - 単結晶シリコンウェーハのcop評価方法 - Google Patents
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Description
デバイスの微細化が進むにつれて合格の基準を厳しくする必要が出てきたのは事実であるが、合格の基準を過度に厳しくすることは、シリコンウェーハの製造歩留まりの低下に直結するので、シリコンウェーハにおけるCOP評価は慎重に行う必要がある。
すなわち、単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法であって、結晶育成時に導入されたCOPのパターンでないと判断されるCOPを除き、結晶育成時に導入されたCOPを評価する際に、前記ウェーハの評価領域を半径方向に同心円状に分割し、分割した評価領域ごとにCOP個数の上限値を設定し、この上限値を基準として合否判定を行う単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法である。
図2は、ウェーハにおける非結晶起因のCOPの他の発生例を示す図である。
図3は、無欠陥結晶のシリコンウェーハについてのCOP評価結果を示す図である。
図4は、現行の判定基準で、非結晶起因のCOPであるにもかかわらず不合格とされた判定例を示す図である。
図5は、新基準1による判定結果を示す図である。
図6は、新基準1による救済が適切に行われたサンプルと、過剰に行われたサンプルを例示する図で、(a)は適切に救済された例、(b)と(c)は救済が過剰に行われた例である。
図7は、サンプル全体の測定領域ごとのCOP密度を示す図である。
図8は、新基準2による不合格率を領域ごとに分けて示した図である。
図9は、新基準3による不合格率を領域ごとに分けて示した図である。
図10は、現行基準で合格と判定され、新基準2による判定で不合格とされたサンプルを例示する図で、(a)はディスクパターン有りとされた例、(b)はリングパターン有りとされた例である。
図11は、新基準1で過剰に救済され、新基準3でも過剰に救済されたサンプルを例示する図である。
図12は、新基準4による不合格率を領域ごとに分けて示した図である。
これは、パターンの存在の有無を判定するパターン判定に加えて、COP個数の総数の上限を規定するものである。この場合、分割した評価領域ごとのCOP個数の上限値の合計数をウェーハ全面でのCOP個数の上限値に合わせてもよいし、評価領域ごとのCOP個数の上限値の合計数を小さくとり、この合計数とは別に、上記のようにウェーハ全面でのCOP個数の上限値を設定してもよい。
(ii)熱酸化を行ってウェーハ表面に所定厚さの絶縁膜(酸化膜;ここでは、厚さ50nmとした)を形成する。なお、ウェーハ下部(裏面)と下部プレート(電極板)間の電気的接触を確保するため、ウェーハ下部の絶縁膜の一部をエッチングにより剥離する。
また、銅析出法により処理した後のウェーハ表面のCOPの個数カウントおよびCOP評価判定(結晶起因、非結晶起因の判別)は目視検査で実施した。
まず初めに全体像をつかむために粗い領域設定での合否判定を行った。評価領域の分割は直径100mm以下のディスク領域と直径100〜280mmのリング領域に分割した。設定したCOPの個数は直径100mm以下のディスク領域の上限値として25個、直径100〜280mmのリング領域の上限値としては50個を設定した。
このようにして求めた領域区分とCOP個数の上限値を表1に示す。
新基準1の判定基準ではR方向の領域区分が粗く、局所的にCOPが発生する場合の対応ができない場合があることが分かった。例えば、直径100mm未満の領域で、COP個数が25個以下であってもディスクパターンとなる場合があるが、その場合、新基準1では不合格と判定できない。
表2に領域区分とCOP個数の上限値を示す。なお、ウェーハ全面でのCOP個数の上限値は75個である。
新基準1、2ではウェーハ全面でのCOP個数の上限値は75個である。判定基準の緩和を意図し、新基準3として、ウェーハ全面でのCOP個数の上限が100個になるように調整した。その際、新基準2での領域間のCOP個数の比率を保ったまま、ウェーハ全面でのCOP個数が100個になるように調整した。
表3に領域区分とCOP個数の上限値を示す。
新基準1、2および3での判定状況を検討し、パターンが現れているウェーハをパターン無しと判定して合格にしたり、パターンのないウェーハを不合格にすることがないようにCOP個数の上限値を調整した。その結果として得られた基準を新基準4とした。
表4に領域区分とCOP個数の上限値を示す。
図3に、現行基準による判定結果を示す。なお、同図において、不合格率は評価に供した全ウェーハ数に対する不合格品の比率である。後述する図5、図8、図9および図12においても同様である。
図5に、新基準1による判定結果を示す。
図5において、横軸の「合計」はウェーハ全面でのCOP個数が100個を超えたため不合格となったものの比率である。「<φ100」、「φ100−280」はそれぞれ前記表1に示した基準により不合格となったもので、領域ごとの不合格率は重複するものを含んでいる。「新基準1」が、この基準で不合格となったものの総計(重複を除く)である。
前述のように、新基準1による判定では、本来ディスクパターンや、リングパターンとして不合格とするべきものまで合格にしてしまうことがわかった。そこで、合否判定の精度を向上させる方法について検討した。
この図7から、特に「<φ50」の領域と「φ250−280」の領域のCOP密度が大きいことが分かる。これは、それぞれディスクパターン、リングパターンとして発生したCOPが当該領域に多く分布していることを反映している。したがってこのようなパターンを捉えるには、新基準1で区分された領域よりも狭い領域に区切ってCOP個数を評価する必要がある。
次に、新基準3での合否判定を詳細に検討する。
新基準1、2、3による判定結果についての検討を踏まえ、新基準4を設定した。新基準4では、新基準3と比較して、「<φ50」の領域でのCOP個数の上限を10個から8個に減少させ、「φ250−280」の領域でのCOP個数の上限を16個から20個に増加させた。また、ウェーハ全面でのCOP個数を100個にするために、「φ50−100」の領域のCOP個数を23個から21個に減少させた。
新基準4での不合格率は0.1387であった。この新基準4によるCOP評価では、新基準1、2または3による評価で見られたようなパターン判定における不具合はなかった。
Claims (4)
- 単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法であって、結晶育成時に導入されたCOPのパターンでないと判断されるCOPを除き、結晶育成時に導入されたCOPを評価する際に、前記ウェーハの評価領域を半径方向に同心円状に分割し、分割した評価領域ごとにCOP個数の上限値を設定し、この上限値を基準として合否判定を行うことを特徴とする単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法。
- 前記同心円状に分割した評価領域のうちの中心部と外周部の領域のCOP個数が前記上限値を超える場合に不合格とすることを特徴とする請求項1に記載の単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法。
- 前記同心円状に分割する各評価領域の幅を15mmから30mmの範囲内とすることを特徴とする請求項1または2に記載の単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法において、さらに、前記ウェーハ全面でのCOP個数があらかじめ設定した上限値以下であることを特徴とする単結晶シリコンウェーハのCOP評価方法。
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