JP2018186195A - シリコン単結晶の欠陥領域特定方法 - Google Patents
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- CZ法により製造されたp型のシリコン単結晶を、窒素雰囲気またはアルゴン雰囲気またはアンモニア雰囲気または窒素、アルゴン、アンモニアから選択される複数種の気体の複合雰囲気のもとで熱処理を行った後に、前記シリコン単結晶中の空孔に起因した結晶欠陥の分布を測定することで前記シリコン単結晶中の空孔が過剰な領域を特定することを特徴とするシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
- 前記熱処理は、800〜1000℃、30〜240分の条件で行うことを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
- 前記結晶欠陥の分布は、X線トポグラフにより測定することを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
- 前記結晶欠陥の分布は、フローパターン欠陥の検出法により測定することを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
- 前記シリコン単結晶は、CZ法により製造されたp型のシリコン単結晶インゴットを半径方向に切り出したウェーハであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
- 前記ウェーハは、製品レベルのポリッシュドウェーハ又はそのポリッシュドウェーハを得る途中段階のウェーハであることを特徴とする請求項5に記載のシリコン単結晶の欠陥領域特定方法。
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JP2017087144A JP6731161B2 (ja) | 2017-04-26 | 2017-04-26 | シリコン単結晶の欠陥領域特定方法 |
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CN111380830A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-07 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种单晶晶圆缺陷类型及分布区域的检测方法 |
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