JP4638820B2 - マイクロポンプ及びその製造方法 - Google Patents
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(1)前記ポート基板と前記ダイアフラム基板とを熱拡散により接合すること。
(2)前記貫通穴の中間部を反微小流路側に拡大する円錐面に形成すると共に、前記貫通穴の中間部より反微小流路側にネジ部を形成し、前記貫通穴の中間部の円錐面に合致する外周円錐面を有するフィットと前記貫通穴のネジ部に合致する外周ネジ部を有するコネクタと前記フィット及び前記コネクタの中央部を貫通したチューブとを組み合わせて前記液体出入り口具を形成した状態で、前記貫通穴に挿入して前記フィットの外周円錐面を前記貫通穴の円錐面に密着させると共に前記フィットの内周面を前記チューブの外周面に密着させるように前記コネクタの外周ネジ部を前記貫通穴のネジ部にねじ込んで当該液体出入り口具を前記貫通穴に装着すること。
(3)弾性変形しやすく且つ耐薬品性に優れた樹脂材料であるテフロン(登録商標)、ポリスチレン、ポリカーボネイト、PEEK等で前記チューブを製作すること。
(4)変形しやすい金属材料である金、白金、パラジウム、ロジウム等の貴金属材料で前記チューブを製作すること。
(5)前記ポート基板及び前記ダイアフラム基板をステンレス鋼SUS316で製作すること。
Claims (7)
- ポート基板とダイアフラム基板との間に形成される微小流路と、
前記微小流路へ貫通する2つの貫通穴を有する前記ポート基板と、
前記ポート基板の貫通穴に取り付けられ前記微小流路へ液体を出入りさせる2つの液体出入り口具と、
前記2つの液体出入り口具にそれぞれ対向する2つのバルブダイアフラムと前記2つの液体出入り口具間の前記微小流路に面するポンプダイアフラムとを有する前記ダイアフラム基板と、
前記2つのバルブダイアフラムを変位して前記液体出入り口具の開口を開閉する2つのバルブ圧電素子と、
前記ポンプダイアフラムを変位して前記微小流路の容積を変化させるポンプ圧電素子とを備えるマイクロポンプの製造方法において、
前記バルブダイアフラム及び前記ポンプダイアフラムを形成した前記ダイアフラム基板と、2つの貫通穴を形成した前記ポート基板とを接合した後、
液体出入り流路を構成する2つのチューブを、前記ポート基板の2つの貫通穴を貫通して前記微小流路内に突出させ、前記2つのバルブダイアフラムで当該チューブの開口が開閉されるように設置して前記ポート基板の液体出入り口具を形成する
ことを特徴とするマイクロポンプの製造方法。 - 請求項1に記載のマイクロポンプの製造方法において、前記ポート基板と前記ダイアフラム基板とを熱拡散により接合することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
- 請求項1または2に記載のマイクロポンプの製造方法において、前記貫通穴の中間部を反微小流路側に拡大する円錐面に形成すると共に、前記貫通穴の中間部より反微小流路側にネジ部を形成し、前記貫通穴の中間部の円錐面に合致する外周円錐面を有するフィットと前記貫通穴のネジ部に合致する外周ネジ部を有するコネクタと前記フィット及び前記コネクタの中央部を貫通したチューブとを組み合わせて前記液体出入り口具を形成した状態で、前記貫通穴に挿入して前記フィットの外周円錐面を前記貫通穴の円錐面に密着させると共に前記フィットの内周面を前記チューブの外周面に密着させるように前記コネクタの外周ネジ部を前記貫通穴のネジ部にねじ込んで当該液体出入り口具を前記貫通穴に装着することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
- 請求項1から3の何れかに記載のマイクロポンプの製造方法において、弾性変形しやすく且つ耐薬品性に優れた樹脂材料であるテフロン(登録商標)、ポリスチレン、ポリカーボネイト、PEEK等で前記チューブを製作することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
- 請求項1から3の何れかに記載のマイクロポンプの製造方法において、変形しやすい金属材料である金、白金、パラジウム、ロジウム等の貴金属材料で前記チューブを製作することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
- 請求項4または5に記載のマイクロポンプの製造方法において、前記ポート基板及び前記ダイアフラム基板をステンレス鋼SUS316で製作することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
- ポート基板とダイアフラム基板との間に形成される微小流路と、
前記微小流路へ貫通する2つの貫通穴を有する前記ポート基板と、
前記ポート基板の貫通穴に取り付けられ前記微小流路へ液体を出入りさせる2つの液体出入り口具と、
前記2つの液体出入り口具にそれぞれ対向する2つのバルブダイアフラムと前記2つの液体出入り口具間の前記微小流路に面するポンプダイアフラムとを有する前記ダイアフラム基板と、
前記2つのバルブダイアフラムを変位して前記液体出入り口具の開口を開閉する2つのバルブ圧電素子と、
前記ポンプダイアフラムを変位して前記微小流路の容積を変化させるポンプ圧電素子とを備えたマイクロポンプにおいて、
前記微小流路内に突出されて前記2つのバルブダイアフラムでそれぞれ開閉されると共に外部からの液体を前記微小流路に出入りさせる流路を構成するチューブで前記ポート基板の液体出入り口具を構成した
ことを特徴とするマイクロポンプ。
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