JP4626117B2 - 石英ガラス部材の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は石英ガラス部材の製造方法に関するものであり、詳しくは、所定のマスクパターンを基板上に転写する投影露光装置における照明光学系、投影光学系などの結像光学系に用いるのに適した石英ガラス部材の製造方法に関するものである。
背景技術
従来より、投影露光装置としては、図18A及び図18Bに示すような構造を有するものが用いられている。
すなわち、図18Aに示す投影露光装置においては、水銀アーク灯等の光源501からの光束は楕円鏡502により集光された後、コリメータレンズ503により平行光束に変換される。そしてこの平行光束は、図18Bに示すような断面が四角形の光学素材504aの集合体よりなるフライアイレンズ504を通過することにより、これの射出側に複数の光源像が形成される。この光源像位置には、円形状の開口部を有する開口絞り505が設けられている。この複数の光源像からの光束はコンデンサーレンズ506によって集光され、被照射物体としてのレチクルRを重畳的に均一照明する。
このようにして照明光学系によって均一照明されたレチクルR上のパターンは、複数のレンズよりなる投影光学系507によって、レジストが塗布されたウェハW上に投影露光される。このウェハWは2次元的に移動するウェハステージWS上に載置されており、図18Aの投影露光装置では、ウェハ上での1ショット領域の露光が完了すると、次のショット領域への露光のために、順次ウェハステージを2次元移動させるいわゆるステップアンドリピート方式の露光が行われる。
また、近年においては、レチクルRに対し長方形状または円弧状の光束を照射し、投影光学系507に関して共役に配置されたレチクルRとウェハWとを一定方向に走査することにより、高いスループットでレチクルRのパターンをウェハW上へ転写することが可能な走査露光方式が提案されている。
上記いずれの方式の投影露光装置においても、その光学系に用いられる光学部材としては、使用する露光光に対する透過率が高いことが望まれる。これは、投影露光装置の光学系は多数の光学部材の組み合わせにより構成されており、たとえレンズ1枚当たりの光損失が少なくとも、それが光学部材の使用枚数分だけ積算されると、トータルでの透過率低下の影響が大きいからである。透過率が低い光学部材を用いると、露光光を吸収することによって光学部材の温度が上昇して屈折率が不均質となり、さらには光学部材の局所的熱膨張によって研磨面が変形する。これによって光学性能の劣化が生じる。
一方、投影光学系においては、より微細かつ鮮明な投影露光パターンを得るために、光学部材の屈折率の高い均質性が要求される。これは、屈折率のばらつきにより光の進み遅れが生じ、これが投影光学系の結像性能に大きく影響するからである。
そこで、紫外光(波長400nm以下)を利用する投影露光装置の光学系に用いられる光学部材の材料としては、紫外光に対する透過率が高く、均質性に優れた石英ガラスあるいはフッ化カルシウム結晶が一般的に用いられている。
また、近年においては、ウェハ面上により微細なマスクパターン像を転写する、すなわち解像度を向上させるために、光源の波長を短くすることが提案されている。例えば、これまでのg線(436nm)やi線(365nm)から、KrF(248nm)やArF(193nm)エキシマレーザへと短波長化が進められている。
このような短波長のエキシマレーザを用いた投影露光においては、より微細なマスクパターンを得ることを目的としているため、透過率や屈折率の均質性について、より高い特性を有する材料が用いられている。
しかしながら、透過率や屈折率が高く且つ均質な材料であっても、複数の材料を組み上げて光学系を作製した場合に所望の解像度が得られないことがあった。
発明の開示
本発明は上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、投影露光装置の結像光学系において十分に高い解像度を得るために必要な石英ガラス部材を効率よく且つ確実に得ることを可能とする石英ガラス部材の製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、先ず、投影光学系の結像性能及び投影露光装置の解像度が光学部材の複屈折の影響を受けるものであり、光学部材の複屈折の大きさ、すなわち複屈折値(絶対値)が2nm/cm以下で且つ光学部材内の複屈折値の分布が中央対称であれば、投影光学系の設計性能に近い結像性能及び投影露光装置の設計性能に近い解像度が得られることを見出し、特開平8−107060号公報において開示している。
しかしながら、投影露光装置の解像度に対する要求がさらに高まり、露光光としてより短波長の光を用いたり、光学部材として大口径且つ厚みの大きなものを用いたりする場合には、上記従来の設計思想を採用しても投影光学系の良好な結像性能及び投影露光装置の良好な解像度を得ることができない場合があった。
そこで、本発明者らはさらに研究を重ねた結果、良好な透過率や良好な屈折率の均質性を有する光学部材を使用しても所望の光学性能を有する投影光学系及び投影露光装置を得ることができない原因として、光学部材がそれぞれ複屈折値の分布を有するため、複数の光学部材を投影光学系として組み上げた場合に異なる複屈折値の分布が光学系全体で積算され、結果として光学系全体での光の波面に乱れを生じさせ、投影光学系の結像性能や投影露光装置の解像度に大きな影響を与えていることを見出した。
すなわち、従来の光学部材の複屈折値の評価は、その大きさ(絶対値)の大小で議論されているに過ぎず、また、上記の光学部材の複屈折値の分布という概念もなかった。例えば、石英ガラス部材の複屈折値を測定する場合は、部材の径の95%付近の数カ所の複屈折値を測定し、その最大値をその部材における複屈折値として用いることが当業者の認識であった。ところが、石英ガラス部材の複屈折値の分布を詳細に測定したところ、複屈折値は実際は不均一な分布を有していることを本発明者らが見出したのである。
従って、屈折率の均質性の高い石英ガラス部材であっても、部材内の複屈折値の最大値の管理だけでは部材内の複屈折の影響を十分に評価することができず、特に、複数の部材を組み合わせる場合に所望の性能を有する光学系を得ることは非常に困難であることが分かった。
このように、複数の光学部材により構成された光学系全体での複屈折の評価は、個々の光学部材の複屈折値の大きさ(絶対値)のみでは単純に表すことができないため、本発明者らは、光学部材内の複屈折値の不均一な分布が光学系に与える影響を詳細に検討した。その結果、光学部材における複屈折値の不均一な分布を進相軸の向きに注目してみた場合に、直接法による石英ガラスの合成、及びその後のアニール処理や高温熱処理において、従来の方法では石英ガラス部材の複屈折値の分布における進相軸の向きを制御することは困難であり、このようにして得られた複数の石英ガラス部材はいずれも進相軸の向きが同じである複屈折値の分布を有するので、これらを用いて光学系を構成すると複屈折値が積算されて光学系に悪影響を及ぼすことが分かった。そして、石英ガラス部材の製造工程において得られる石英ガラスインゴットが特定の温度分布を有するように制御することによって、上記従来の製造方法で得られる石英ガラス部材とは進相軸の向きが異なる複屈折値の分布を有する石英ガラス部材が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明の石英ガラス部材の第一の製造方法は、多重管構造を有するバーナを用いてケイ素化合物を酸水素火炎中で反応させて石英ガラス微粒子を得る第一のステップと、
前記バーナと対向するように配置されており回転している支持体上に、石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な少なくとも一つの面内において前記回転軸に関して対称であり且つ面の中心と周縁部との間に極大値を有する温度分布をもって、前記石英ガラス微粒子を堆積させて石英ガラスインゴットを得る第二のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な面内の複数の箇所において測定される複屈折値及びその進相軸の向きに基づいて符号付複屈折値の分布を求め、符号付複屈折値が面の中心から周縁部にむけて単調増加する石英ガラス部材を前記石英ガラスインゴットから切り出す第三のステップと、
を含むものである。
また、本発明の石英ガラス部材の第二の製造方法は、石英ガラスインゴットを所定の温度まで昇温する第四のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な少なくとも一つの面内において前記回転軸に関して対称であり且つ面の中心と周縁部との間に極大値を有する温度分布をもって、前記石英ガラスインゴットを冷却する第五のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な面内の複数の箇所において測定される複屈折値及びその進相軸の向きに基づいて符号付複屈折値の分布を求め、符号付複屈折値が面の中心から周縁部にむけて単調増加する石英ガラス部材を前記石英ガラスインゴットから切り出す第六のステップと、
を含むものである。
本発明によれば、石英ガラス部材の製造工程において石英ガラスインゴットが上記の特定の温度分布を有するように制御し、得られた石英ガラスインゴットについて、所定の面内の複数の箇所において測定される複屈折値及びその進相軸の向きに基づいて符号付複屈折値の分布を求め、符号付複屈折値の分布が面の中心から周縁部に向けて単調増加する石英ガラス部材を切り出すことによって、面の中心から周縁部に向けて単調増加する複屈折値の分布を有する石英ガラス部材を効率よく且つ確実に得ることが可能となる。そして、このようにして得られる本発明の石英ガラス部材と、面の中心から周縁部に向けて単調減少する符号付複屈折値の分布を有する従来の石英ガラス部材と、を用いることによって、光学系全体の高い透過率と高い屈折率の均質性とともに複屈折値が十分に均質化される。従って、投影露光装置の結像光学系において十分に高い解像度を得ることが可能となる。
ここで、本発明にかかる符号付複屈折値の概念について説明する。
符号付複屈折値とは、光学部材の複屈折値を求める際に屈折率楕円体において定義される進相軸の向きを考慮して複屈折値に符号を付したものである。
より詳しくは、光学部材の光軸との交点を中心とする光軸に垂直な面内において、光束の円形照射を受ける領域を略円形の有効断面とし、この有効断面上にある複屈折測定点の微小領域内の進相軸の向きと、光学部材の光軸との交点である中心からの放射方向とが平行な場合に測定された複屈折値にプラスの符号を付し、垂直な場合にマイナスの符号を付するものである。
また、上記の複屈折値への符号の付し方は、光学部材の光軸との交点を中心とする光軸に垂直な面内に複数の光束が照射される場合にも適用できる。この場合にも、光学部材の光軸との交点である中心からの放射方向と、複数の光束が照射されているそれぞれの有効断面上にある複屈折測定点の微小領域内の進相軸の向きとが平行な場合に測定された複屈折値にプラスの符号を付し、垂直な場合にマイナスの符号を付するものである。
さらに、上記の複屈折値への符号の付し方は、光学部材の光軸との交点を中心とする光軸に垂直な面内に断面円形状以外の形状を有する光束、例えば断面リング状或いは断面楕円状の光束が照射される場合にも適用できる。この場合にも、光学部材の光軸との交点である中心からの放射方向と、複数の光束が照射されているそれぞれの有効断面上にある複屈折測定点の微小領域内の進相軸の向きとが平行な場合に測定された複屈折値にプラスの符号を付し、垂直な場合にマイナスの符号を付するものである。
なお、以下の説明においては、光束が照射されている有効断面上にある複屈折測定点の微小領域内の進相軸の向きと、光学部材の光軸との交点である中心からの放射方向とが平行な場合に測定された複屈折値にプラスの符号を付し、垂直な場合にマイナスの符号を付する場合について説明する。
以下に、図1A、図1B、図2A、図2B、図3A、及び図3Bを用いて符号付複屈折値をさらに具体的に説明する。
図1Aは、光学部材L1の有効断面上の中心Oからそれぞれr1,r2,r3,r4の距離にある複屈折測定点P11,P12,P13,P14における進相軸の向きを示す模式図である。なお、この図においては説明の便宜上、複屈折測定点P11〜P14は中心O1を通り半径方向にのびる直線Q1上に設定されている。図中、各測定点の円で示される微小領域の大きさは各測定点における光路差に相当する。また、これらの微小領域内の線分W11,W12,W13,W14の向きは進相軸の向きを示す。測定点P11〜P14の進相軸の向きは全て直線Q1の方向すなわち半径方向に平行であるので、測定点P11〜P14の複屈折値は全てプラスの符号を付して表現される。このようにして得られた図1Aに示す測定点P11〜P14の符号付複屈折値A11,A12,A13,A14の半径方向に対する分布を描くと、例えば図1Bのようなプロフィールとなる。
図2Aは、図1Aと同様に光学部材L2の有効断面上の中心O2からそれぞれr1,r2,r3,r4の距離にある複屈折測定点P21,P22,P23,P24における進相軸の向きを示す模式図である。この場合には、測定点P21〜P24の進相軸W21,W22,W23,W24の向きは全て直線Q2の方向すなわち半径方向に垂直であるので、測定点P21〜P24の符号付複屈折値A21,A22,A23,A24は全てマイナスの符号を付して表現される。このようにして得られた図2Aに示す測定点P21〜P24の符号付複屈折値A21〜A24の半径方向に対する分布を描くと、例えば図2Bのようなプロフィールとなる。
図3Bは、図1Aと同様に光学部材L2の有効断面上の中心Oからそれぞれr1,r2,r3,r4,r5の距離にある複屈折測定点P31,P32,P33,P34における進相軸の向きを示す模式図である。この場合には、測定点P11〜P14の進相軸W31,W32,W33,W34,W35の向きは、測定点P31〜P33においては直線Q3の方向すなわち半径方向に平行であり、測定点P33,P34においては半径方向に垂直であるので、測定点P31〜P35において得られる符号付複屈折値A31〜A35の半径方向に対する分布は、図3Bに示すようなプロフィールとなる。
発明を実施するための最良の形態
先ず、本発明の石英ガラスの第一の製造方法について説明する。
図4は本発明の石英ガラスの第一の製造方法において用いられる石英ガラスインゴットの合成炉の一例を示す説明図である。図4においては、多重管構造を有する石英ガラス製のバーナ410が合成炉400の上部からターゲット420にその先端部を向けて設置されている。炉壁は炉枠440及び耐火物430により構成されており、観察用の窓(図示せず)、IRカメラ監視用窓450及び排気系460が設けられている。合成炉400の下部には石英ガラスインゴット形成用のターゲット420が配設されており、ターゲット420は支持軸480を介して炉の外にあるXYステージ(図示せず)に接続されている。支持軸480はモータにより回転可能とされており、XYステージはX軸サーボモータ及びY軸サーボモータによりX軸方向及びY軸方向に2次元的に移動可能とされている。
本発明の第一の製造方法においては、先ず、バーナ410から酸素含有ガス及び水素含有ガスが噴出され、これらが混合されて酸水素火炎が形成される。この火炎中に原料のケイ素化合物をキャリアガスで希釈してバーナ410の中心部から噴出させると、ケイ素化合物の加水分解により石英ガラス微粒子(スート)が発生する。ここで、本発明において使用されるケイ素化合物としては、SiCl4、SiHCl3等のケイ素の塩化物、SiF4、Si2F6などのケイ素のフッ化物、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、テトラメチルシクロテトラシロキサン等のシロキサン類、メチルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン等のシラン類、等の有機ケイ素化合物、その他、SiH4、Si2H6等が挙げられる。
次に、上記の工程において得られる石英ガラス微粒子を、回転、揺動するターゲット420上に堆積させるとともに溶融・ガラス化することによって、透明の石英ガラスインゴットが得られる。このとき、インゴット上部は火炎に覆われており、ターゲット420上に形成される石英ガラスインゴットの温度はIRカメラ(図示せず)の観測結果に基づいてその回転軸に垂直な面内において回転軸に関して対称であり且つ面の中心と周縁部との間に極大値を有する温度分布をもつように制御される。また、ターゲット420はインゴット上部の合成面の位置を常にバーナから等距離に保つようにZ方向に引き下げられる。
すなわち、上記の工程においてターゲット420上に形成される石英ガラスインゴットは回転軸に垂直な面の中心から径r方向に向けて図5に示す温度分布を有しているものであり、このように石英ガラスインゴットの温度分布を制御し、さらに後述する符号付複屈折値の分布に基づいて部材を切り出すことによって初めて、中心から径方向に単調増加する符号付複屈折値の分布を有する石英ガラス部材を得ることができる。なお、従来の直接法では、石英ガラスインゴットの周縁部が急激に冷却されて密度が高くなるのに対し、中心部は周縁部に比べて高温のまま保持されるので疎となり、得られる石英ガラスインゴットが中心から径方向に向けて単調減少する符号付複屈折値の分布を示すものと本発明者らは推察する。
図5において、ターゲット420上に形成される石英ガラスインゴットの回転軸と垂直な面の中心(r=0)の温度をT0、r=rmaxにおける温度の極大点をTmaxで表すとき、その温度差ΔT=Tmax−T0は0℃を超え200℃以下であることが好ましい。ΔTが200℃を超えると得られる石英ガラスインゴットの歪が大きくなる傾向にある。
このようにして得られる石英ガラスインゴットについて回転軸に垂直な面内の複数の箇所における複屈折値及びその進相軸の向きを測定すると、通常、中心からの距離rと符号付複屈折値Aとの間に図3Bに示すような相関が見られる。ここで、本発明にかかる複屈折値の測定方法としては、位相変調法、回転検光子法、位相補償法等が挙げられる。
位相変調法において、光学系は光源、偏光子、位相変調素子、試料及び検光子によって構成される。光源としてはHe−Neレーザーまたはレーザーダイオード、位相変調素子としては光弾性変換器、がそれぞれ使用される。光源からの光は偏光子により直線偏光となって位相変調素子に入射する。試料上に投射される位相変調素子からの光束は素子により直線偏光→円偏光→直線偏光と連続的に偏光状態が変化する変調光である。測定に際しては、試料上の測定点に入射する光束を中心として試料を回転させて検知器の出力のピークを見つけ、そのときの振幅を測定することによって進相軸の方向と複屈折位相差の大きさとを求める。なお、光源にゼーマンレーザーを用いると試料を回転させずに測定を行うことができる。また、位相シフト法、光ヘテロダイン干渉法も、本発明において使用することが可能である。
回転検光子法では、光源と光検出器との間の試料を偏光子と回転検光子とによって挟むような装置構成となっており、試料の後に配置した検光子を回転させながら検知器からの信号を測定し、検知器からの信号の最大値と最小値とから位相差を求める。
位相補償法では、光源、偏光子、試料、位相補償板、検光子、光検出器を配置する。なお、偏光子と検光子とはそれぞれの軸が互いに直交するように配置する。試料に入射した直線偏光は試料の複屈折により楕円偏光となるが、位相補償板を調節することによって再び直線偏光となり、光検出器での信号を実質的にゼロとすることができる。そして、最も良く消光したときの位相補償値が複屈折の量となる。
なお、試料の厚みが十分である場合には、クロスニコル光学系の中に被測定試料と標準試料とをそれぞれ配置して比較するといった簡便な方法であっても、複屈折値を求めることが可能である。
複屈折の測定値には、先に述べたように進相軸の方向と部材の径方向とが平行である場合には+(プラス)、垂直である場合には−(マイナス)を付す。なお、複屈折の測定値が小さい場合には進相軸は必ずしも部材の径方向と完全に平行もしくは垂直にはならず傾きを有する場合があるが、このような複屈折値には、径方向に対する進相軸の角度が45度より小さい場合には+、45度より大きい場合には−を付して取り扱えばよい。
このようにして得られる符号付複屈折値の分布に基づいて、中心(r=0)から極大値A32を与えるr=r2までの間の所定の部分を切り出すことによって、面の中心から周縁部に向けて単調増加する符号付複屈折値の分布を有する石英ガラス部材が得られる。なお、このようにして得られる本発明の石英ガラス部材は複屈折値の分布における回転対称性が十分に高いものであり、屈折率分布に起因する波面収差の光学設計による補正を容易とするものであるが、このような石英ガラス部材を得る際には、上記の切り出し工程において石英ガラス部材の幾何学的中心とインゴットの中心とを一致させることが必要である。また、本発明の第一の方法において得られる石英ガラス部材は、温度分布や炉内雰囲気が不安定となりやすいインゴット周縁部を含まないので、OHやCl等の不純物濃度が十分に低く、より高い光学特性を得ることができる。
上記の本発明の第一の製造方法においては、得られる石英ガラスインゴット又は石英ガラス部材に対してアニール処理を行ってもよい。アニール処理とは、具体的には、光学材料又は光学部材を徐冷点付近の温度(通常1000〜1200℃)まで昇温させた後同温で一定時間保持し、所定の降温速度で冷却することをいい、このような処理を行うことによって光学部材の透過率や屈折率を均質にすることができる。
なお、本発明の第一の製造方法においては、石英ガラスインゴット又は石英ガラス部材に対して高温熱処理を行わないことが好ましい。従来の製造方法では、得られる石英ガラスインゴットに脈理が見られるなど屈折率の不均質化が顕著な場合には、石英ガラスの失透温度域よりも高く且つ石英ガラスの軟化変形が起こる温度(通常1600℃以上)での高温熱処理が行われるが、本発明の第一の製造方法で得られる石英ガラスインゴット又は石英ガラス部材にこのような高温熱処理を行うと、冷却工程において周縁部から冷却されることによって中心から径方向に向けて単調減少する符号付複屈折値の分布を示すようになり、所望の石英ガラス部材が得られない傾向にある。なお、前記高温熱処理を含む従来の製造方法によって得られる石英ガラス部材には、後述する本発明の第二の製造方法によって中心から径方向に向けて単調増加する符号付複屈折値の分布が付与される。
次に、本発明の石英ガラス部材の第二の製造方法について説明する。
図6は本発明の第二の製造方法に用いられる熱処理装置の一例を示す説明図である。図6において、熱処理装置600は試料台620上に配設された1対のセラミック板610、610を備えており、セラミック板610、610の間に試料としての石英ガラスインゴットを配置することが可能となっている。また、セラミック板610、610及び試料台620はヒータ630を備える炉壁640に収容されている。そして、セラミック板610、610及びヒータ630はそれぞれコントローラ(図示せず)と電気的に接続されており、コントローラからセラミック板610、610又はヒータ630の温度を制御するための制御信号が送られる。さらに、熱処理装置600においては、IRカメラにより石英ガラスインゴットの温度分布を観測することが可能である。なお、本発明においては、熱処理装置600内の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、空気雰囲気又は水素雰囲気であることが好ましい。特に、後述する各工程を水素雰囲気中で行うと、石英ガラス中の水素分子が放出されにくくなるのでより好ましい。
本発明の第二の製造方法においては、先ず、セラミック板610、610の間に円筒状の石英ガラスインゴットを配置し、ヒータ630により熱処理装置600内の雰囲気温度を上昇させて石英ガラスインゴットを昇温させる。ここで、本発明の第二の製造方法において用いられる石英ガラスインゴットは、本発明の第一の製造方法により得られるものであってもよく、従来より公知の方法によって得られるものであってもよい。従来より公知の石英ガラスの製造方法としては、例えば、a)ケイ素化合物を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒子(スート)を得、そのガラス粒子を堆積させて多孔質ガラス(スート体)を形成させ、さらにその多孔質ガラスを軟化点(好ましくは融点)近傍以上の温度で透明化させて透明石英ガラスを得る方法、b)ケイ素化合物を酸水素火炎中で加水分解し、得られたガラス微粒子をターゲット上に堆積させると同時に透明ガラス化を行って透明石英ガラスを得る方法、等が挙げられる。aの方法はスート法、bの方法は直接法と呼ばれ、スート法における多孔質ガラスの形成方法としては、VAD法、OVD法、ゾルゲル法等が挙げられる。上記の従来の方法により得られる石英ガラスインゴットは、通常、図2Bに示す複屈折値の分布を有するものである。
昇温後の石英ガラスインゴットは、所定の温度(好ましくは1600℃以上2000℃以下)で所定の時間(好ましくは1時間以上100時間以下)保持される。そして、セラミック板610、610の温度が熱処理装置600内の雰囲気温度に対して常に低くなるように、すなわち、石英ガラスインゴットが図5に示す温度分布を有するように、セラミック板610、610及びヒータ630の温度を制御しながら石英ガラスインゴットが冷却される。ここで、熱処理装置600内の雰囲気温度とセラミック板610、610の温度との差は20℃以上300℃以下であることが好ましい。これらの温度差が前記下限値未満であると正の符号付複屈折値を有する石英ガラス部材が得られにくくなる傾向にあり、他方、温度差が前記上限値を超えると得られる部材中の符号付複屈折値の最大値と最小値との差が増加して不均質化する傾向にある。また、上記の冷却工程における降温速度は1℃/時間以上50℃/時間以下であることが好ましい。降温速度が前記下限値未満であると作業効率が低下する傾向にあり、他方、降温速度が前記上限値を超えると得られる石英ガラス部材が不均質化する傾向にある。さらに、上記の冷却工程において、所定の保持温度から500℃まで降温した後放冷すると、符号付複屈折値の分布に影響を及ぼす因子を排除したまま工程を簡便化することができるので好ましい。さらにまた、石英ガラスインゴットと当接するセラミック板の面積は目的とする石英ガラス部材の口径によって適宜選択されるが、石英ガラスインゴットの周縁部とセラミック板の周縁部との距離は20mm以上であることが好ましい。石英ガラスインゴットの周縁部とセラミック板の周縁部との距離が20mm以下であると、石英ガラスインゴットにおけるセラミック板当接部分と周縁部との間に温度差がなくなり、符号付複屈折値が中心から径方向に単調増加する石英ガラス部材が得られなくなる傾向にある。
上記の冷却工程後の石英ガラスインゴットの複数の箇所における複屈折値及びその進相軸の向きを測定すると、通常、中心からの距離rと符号付複屈折値との間に図1Bに示す相関が得られる。ここで、符号付複屈折値の測定方法としては、上記の本発明の第一の製造方法の説明において例示された符号付複屈折値の測定方法が挙げられる。
本発明においては、本発明の第一の製造方法と第二の製造方法を組み合わせることが特に好ましい。すなわち、本発明の第一の製造方法により得られる石英ガラスインゴットは既に中心から径方向に単調増加する符号付複屈折値の分布(図3B)を有するものであるが、本発明の第二の製造方法に含まれる上記の熱処理工程及び冷却工程を施すことによって符号付複屈折値の最大値と最小値との差が小さくなって屈折率がより均質化されたものとなる。そして、この符号付複屈折値の分布に基づいて所定の部分を切り出すことによって、面の中心から周縁部に向けて単調増加する符号付複屈折値の分布を有する石英ガラス部材が得られる。なお、このようにして得られる本発明の石英ガラス部材は複屈折値の分布における回転対称性が十分に高いものであり、屈折率分布に起因する波面収差の光学設計による補正を容易とするものであるが、このような石英ガラス部材を得る際には、上記の切り出し工程において石英ガラス部材の幾何学的中心とインゴットの中心とを一致させることが必要である。
なお、図6にはセラミック板620、620を備える熱処理装置600を示したが、本発明においては、雰囲気温度よりも低温の不活性ガスを石英ガラスインゴットの中央部に吹き付けることによって、石英ガラスインゴットの中央部と周縁部とが所定の温度差を保持するように冷却することもできる。ここで、本発明において使用される不活性ガスとしては、ドライエアー、窒素ガス、水素ガス等が挙げられる。また、これらの不活性ガスの温度は0〜300℃であることが好ましく、その露点は−50℃以下であることが好ましい。
本発明の第一の製造方法及び第二の製造方法においては、切り出し等の加工処理後の石英ガラス部材について、必要に応じて、急速加熱→短時間保持→急速冷却といった熱処理、あるいはフッ酸処理、芯取り加工などの処理が施される。このような処理を行うと、石英ガラス部材が本来的に有する符号付複屈折値のばらつきや切り出し工程等によって生じる加工歪みが抑制される傾向にある。なお、前記芯取り加工においては、加工歪みが発生しない程度の速度で石英ガラス部材の側面(円周面)を0.1mm程度研削することが好ましい。
このようにして得られる本発明の光学部材は、その幾何学的中心に関して対称であり且つ中心から径方向に向けて単調増加する符号付複屈折値の分布を有するものであり、中心に関して対称であり且つ中心から径方向に向けて単調減少する符号付複屈折値の分布を有する従来の光学部材と本発明の石英ガラス部材とを、複屈折値の分布が互いに打ち消し合うようにそれぞれの符号付複屈折値から光学系全体の符号付複屈折特性値を見積もりながら光学系を作製することによって、良好な結像性能を得ることができる。
ここで、本発明にかかる光学系全体の符号付複屈折特性値の概念について、図7A及び図7Bに基づいて説明する。
図7Aは、投影光学系を構成するm個の光学部材を光源から順に配列させた模式的側面図である。また、図7Bは、図7Aに示すm個の光学部材のうち光源からi番目に配置される光学部材Liの光軸に垂直な有効断面を示す模式的断面図である。
本発明においては、光学部材内の複屈折値の分布は光軸方向に平行な部材の厚み方向については均一であり、光軸に垂直な有効断面上の半径方向については不均一であると仮定する。ここで、有効断面とは光学部材の光軸に垂直な面内のうち光束の照射を受ける領域をいう。そして、光軸との交点を有効断面の中心とし、その半径を光学部材の有効断面の有効半径とする。また、投影光学系全体の符号付複屈折特性値を測定する際には、光学部材ごとにその有効断面の大きさが相違するため、図7Aに示すように各光学部材の最大有効半径rnが1となるように予め全光学部材の有効断面の大きさをノーマライズする。
なお、光学部材の光軸との交点を中心とする光軸に垂直な面内に複数の光束が照射される場合には、個々の光束に対応する有効断面について各光学部材の最大有効半径rnが1となるように予め全光学部材の有効断面の大きさをノーマライズする。
さらに、光学部材の光軸との交点を中心とする光軸に垂直な面内に断面円形状以外の形状を有する光束、例えば断面リング状或いは断面楕円状の光束が照射される場合にも、個々の光束に対応する有効断面について各光学部材の最大有効半径rnが1となるように予め全光学部材の有効断面の大きさをノーマライズする。
例えば、断面リング状の光束が照射される場合には、リングの最大外径が1となるように予め全光学部材の有効断面の大きさをノーマライズし、符号付複屈折値の測定については以下に説明する断面円形状の光束に対する測定と同様に行えばよい。また、断面楕円状の光束が照射される場合には、楕円の長軸の最大外径が1となるように予め全光学部材の有効断面の大きさをノーマライズし、符号付複屈折値の測定については以下に説明する断面円形状の光束に対する測定と同様に行えばよい。
投影光学系全体の符号付複屈折特性値を測定するためには、先ず、図7Bに示すように、1つの光学部材Liについてその有効断面上に中心をOiとし且つ中心からの半径が互いに相違する複数の同心円Cijのモデルを仮定する。次に中心Oiからの半径がrjであるj番目の同心円Cij上にあるk番目の測定点Pijkの複屈折値を測定する。さらに、測定点Pijkにおける進相軸の向きと半径方向との関係から符号を付して測定点Pijkの符号付複屈折値Aijkとする。
ここで、iは、投影光学系を構成する前記光学部材Lの番号(i=1,2,…,m;2≦m)を示す。また、jは、光学部材Lにおける光軸に垂直な有効断面上に想定される、光軸を中心とし且つ該光軸からの半径が互いに相違する同心円Cの番号(j=1,2,…,n;1≦n)を示す。さらに、kは、同心円Cの円周上にある測定点の番号(k=1,2,…,h;1≦h)を示す。このようにして同一の同心円Cij上の所定の測定点Pij1〜Pijhにおける符号付複屈折値Aij1〜Aijhを測定する。
次に、下記式(1)に従い、光学部材Liにおける同心円Cijの円周上にある測定点の符号付複屈折値の相加平均である平均符号付複屈折値Bijを算出する。
【数1】
次に、下記式(2)に従い、平均符号付複屈折値Bijと見かけの厚みTiとの積である平均符号付複屈折量を示しEijを算出する。
Eij=Bij×Ti (2)
ここで、Tiは、光学部材Liの見かけの厚みを示す。この見かけの厚みとしては、光学部材Liの有効断面内の厚みの平均値、又は、光学系内に配置した場合に光学部材Liの上下の位置に組み合わされる他の部材とのマッチングによる実効的な厚みのどちらかが適宜選択されることになる。
次に、下記式(3)に従い、投影光学系全体における平均符号付複屈折量Eijの総和を総光路長Dで除した符号付複屈折値の平均変化量Gjを算出する。
【数2】
ここで、Dは、下記式(4)で表される投影光学系全体の見かけの総光路長を示す。
【数3】
次に、下記式(5)に従い、投影光学系全体における符号付複屈折値の平均変化量Gjの総和を同心円の数nで除した投影光学系全体の符号付複屈折特性値Hを算出する。
【数4】
本発明においては、上記の手順で求めた光学系全体の符号付複屈折特性値Hが下記式(6)を満たすと、その投影光学系全体の優れた結像性能を示し、このような投影光学系を備える投影露光装置が優れた解像度を示す傾向にあるので好ましい。
−0.5≦H≦+0.5nm/cm (6)
このようにして得られる投影光学系の一例を図8に示す。
図8に示す投影光学系100は、第1物体としてのレチクルR側より順に、正のパワーの第1レンズ群G1と、正のパワーの第2レンズ群G2と、負のパワーの第3レンズ群G3と、正のパワーの第4レンズ群G4と、負のパワーの第5レンズ群G5と、正のパワーの第6レンズ群G6とから構成されている。そして、物体側(レチクルR側)及び像側(ウエハW側)においてほぼテレセントリックとなっており、縮小倍率を有するものである。また、この投影光学系のN.A.は0.6、投影倍率が1/4である。
この投影光学系においては、L45、L46、L63、L65、L66、L67の6箇所に、色収差を補正する目的でフッ化カルシウム単結晶を用いる。
上記の本発明の投影光学系は、上記式(1)〜(6)を用いた算出法により、各光学部材L11〜L610について光軸Zとの交点を中心とする光軸Zに垂直な面内の符号付複屈折値の分布から投影光学系全体の符号付複屈折特性値を算出しており、この投影光学系全体の符号付複屈折特性値が−0.5〜+0.5nm/cmとなる配置条件を満たすように各光学部材が互いに組み合わされている。
ここで、本発明にかかる投影光学系は、光学部材が、投影光学系全体の実効光路に基づく符号付複屈折値のストレール(Strehl)値が0.93以上となる配置条件をさらに満たすように互いに組み合わされていることが好ましい。
本発明者らは光学部材内の複屈折の分布の評価について、光学部材有効断面の中心及びその周辺部の実効光路を考慮した符号付複屈折値のストレール強度を用いることが有効であることを見出した。本発明者らによりはじめて導入された複屈折のストレール値は、有効断面を通過する光線の実効光路を考慮しているため、光学系全体の符号付複屈折特性値による評価と併せることにより、光学部材内のさらに精密な複屈折の分布の評価を行うことができる。
この符号付複屈折値のストレール値による各光学部材の配置条件は下記式に基づいて表現される。
0.93≦S (7)
【数5】
【数6】
[式(7)〜(9)中、λは光源の波長を表し、χは投影光学系全体の光線追跡試験により光学部材Liについて得られる実効光路に基づく符号付複屈折値の有効半径方向に対する分布から決定される符号付複屈折値の平均値を表し、σは投影光学系全体の光線追跡試験により光学部材Liについて得られる実効光路に基づいた符号付複屈折値の有効半径方向に対する分布から決定される符号付複屈折値の標準偏差を表し、Siは各光学部材Liごとの実効光路に基づいた符号付複屈折値のストレール(Strehl)強度を表し、Sは各光学部材Liを全て組み合わせた場合における投影光学系全体の実効光路に基づいた符号付複屈折値のストレール強度を表す。]
さらに、本発明にかかる投影光学系は、光学部材Liの中心Oi周辺の符号付複屈折値が0.2nm/cm以下であることが好ましい。光学部材に照射される光のほとんどは光学部材の中心部に光軸を持つため、上記の条件を満たす光学部材を用いることにより、中心部に複屈折を有する光学部材を用いた場合と比較して複屈折の影響を大幅に低減することが可能となる。
さらにまた、本発明にかかる投影光学系は、光学部材Liにおいて平均符号付複屈折値Bijの半径方向の分布が、中心Oi以外に極値を持たないことが好ましい。さらに、光学部材の符号付複屈折値の分布が中心以外に極値を持たないものであれば、光学系全体での符号付複屈折特性値を見積もることが容易であり、個々の部材の複屈折の影響を効果的に打ち消し合って所望の光学性能を得ることが可能となる。
さらにまた、本発明にかかる投影光学系は、光学部材Liにおいて平均符号付複屈折値Bijの最大値と最小値の差ΔBiが2.0nm/cm以下であることが好ましい。平均符号付複屈折値Bijの半径方向の分布における最大値と最小値の差ΔBiが大きいということは、光学部材の平均符号付複屈折値Bij、さらには符号付複屈折値Aijkのばらつきが大きいことを表し、平均符号付複屈折値Bijの最大値と最小値の差ΔBiが2.0nm/cmより大きい光学部材に光を照射する場合、光の通る位置によって符号付複屈折値Aijkの差が大きいので光束の波面に乱れを生じ、光学系の結像性能が極端に低下する傾向がある。
さらにまた、本発明にかかる投影光学系は、各光学部材Liにおいて平均符号付複屈折値Bijの半径方向における分布曲線の勾配の最大値Fiが、半径方向の幅10mm当たり0.20m/cm以下であることが好ましい。このような光学部材を用いて投影光学系を構成することにより、投影光学系の良好な結像性能を得ることができ、このような投影光学系を備える投影露光装置においてウェハ面全体にわたって均一な解像度が得られる。上記の平均符号付複屈折値Bijの半径方向の分布における最大値と最小値の差ΔBiが大きい場合と同様に、平均符号付複屈折値Bijの半径方向における分布曲線の勾配の最大値Fiが大きいということは、光学部材の平均符号付複屈折値Bij、さらには符号付複屈折値Aijkのばらつきが大きいことを表し、平均符号付複屈折値Bijの半径方向における分布曲線の勾配の最大値Fiが半径方向の幅10mm当たり0.2nm/cmより大きい光学部材に光を照射する場合、光の通る位置によって符号付複屈折値Aijkの差が大きいので光束の波面に乱れを生じ、光学系の結像性能が極端に低下する傾向がある。
次に、図8に示す投影光学系を備える投影露光装置の一例を図9に示す。
図9に示す投影露光装置は、主として露光光源303と、パターン原像の形成されたレチクルRと、露光光源303から出力される光をレチクルRに照射する照射光学系302と、レチクルRから出力されるパターン像をウェハ(感光基板)W上に投影する投影光学系304と、レチクルRとウェハWの位置合わせを行うアライメント系305とから構成されている。
ウェハWは、レベリングステージ(図示せず)上に載置され、このレベリングステージは、駆動モーター320により投影光学系の光軸方向(Z方向)に微動可能なZステージ301上に設置されている。Zステージ301は、駆動モーター320よりステップ・アンド・リピート方式で2次元方向(XY)方向に移動可能なXYステージ315に載置されている。レチクルRは水平面内で2次元移動可能なレチクルステージ306上に載置されている。露光光源303からの露光光は、照明光学系302を介してレチクルRに形成されたパターンを均一に照明し、レチクルRのパターン像は投影光学系304によってウェハWのショット領域に露光転写される。この露光光には、248nm(KrFエキシマレーザ)、193nm(ArFエキシマレーザ)、157nm(F2レーザ)等の波長を有する露光光を用いることができる。
XYステージ315は、ウェハW上の1つのショット領域に対するレチクルRのパターンの転写露光が終了すると、ウェハWの次のショット領域が投影光学系304の露光領域と一致するようにステッピング移動される。ウェハWが載置されたレベリングステージの2次元的な位置はレベリングステージに固定された移動鏡340との距離をレーザー干渉計(図示せず)で計測することによって、例えば0.01μm程度の分解能で常時モニターされており、レーザー干渉計の出力はステージコントロール系311に供給されている。
レチクルRはレチクルステージ306上で、レチクルR上の転写パターンの中心が投影光学系304の光軸AXと一致するように位置決めされる。レチクルRの位置決めは、レチクルRの外周付近に設けられた複数のレチクルアライメントマーク(レチクルマーク)を用いて行われる。レチクルマークは、X方向の位置決めを行うためのレチクルマークと、Y方向の位置決めを行うためのレチクルマークの2種類のものが設けられている。アライメント系305は、露光光源303から露光光の一部を分岐して取り出した露光光を照明光(アライメント光)として使用する。アライメント系305は各レチクルアライメントマークの位置に1つずつ設けられている。
照明光学系302を通過した照明光は、レチクルRのパターン領域の外側に設けられたレチクルマークに入射する。レチクルマークは、例えば、パターン周囲の不透明部に形成された矩形の透明窓からなる。レチクルマーク部で反射されたアライメント光は、アライメント系305に再び入射する。一方レチクルマークを通過したアライメント光は、投影光学系304を通ってウェハW上の各ショット領域の周囲に設けられた基板アライメントマーク(ウェハマーク)上に入射する。ウェハマークは各ショット領域の周囲にそれぞれ設けるのではなく、ウェハの所定の位置、例えばウェハの外周部領域にのみ設けてもよい。ウェハマークもレチクルマークに対応してX方向の位置決めを行うためのウェハマークと、Y方向の位置決めを行うためのウェハマークの2種類のものが設けられている。ウェハマークからの反射光は入射光と逆の経路を辿り、投影光学系304、レチクルマーク部を通過してアライメント系305に再び入射する。
このようにしてアライメント系305は、レチクルRとウェハWとからのアライメント光の反射を入力することにより、レチクルRとウェハWとの相対的な位置を検出する。このアライメント系305の出力は主制御系312に供給される。そして主制御系312の出力がレチクル交換系307とステージコントロール系311に供給されることにより、レチクルRとウェハWとの空間的な位置が調整される。その結果、ウェハW上の各ショット領域に形成されているパターンと、これから転写露光するレチクルRのパターン像との重ね合わせ精度を高精度に維持することができる。
図10A及び図10Bは、図9に示す投影露光装置の照明光学系302の詳細な構造を示す概略構成図である。
図10Aは、照明光学系302を図9のY方向からみた場合の正面図であり、図10Bは、照明光学系302を図9のX方向からみた場合の正面図である。なお、、いずれの図においても照明光学系302に入射する露光光の一部を分岐して使用するアライメント系302を省略している。
露光光源303(図示せず)からは、248nm(KrFエキシマレーザ)、193nm(ArFエキシマレーザ)、157nm(F2レーザ)等の波長を有するほぼ平行な光束が出力され、このときの平行光束の断面形状は矩形状となっている。この露光光源303からの平行光束は、所定の断面形状の光束に整形する光束整形部としてのビーム整形光学系20に入射する。このビーム整形光学系20は、Y方向に屈折力を持つ2つのシリンドリカルレンズ(20A、20B)で構成されており、光源側のシリンドリカルレンズ20Aは、負の屈折力を有し、X方向の光束を発散させる一方、被照射面側のシリンドリカルレンズ20Bは、正の屈折力を有し、光源側のシリンドリカルレンズAからの発散光束を集光して平行光束に変換する。従って、ビーム整形光学系20を介した露光光源303からの平行光束は、Y方向の光束幅が拡大されて光束断面が所定の大きさを持つ長方形状に整形される。なお、ビーム整形光学系20としては、正の屈折力を持つシリンドリカルレンズを組み合わせたものでも良く、さらにはアナモルフィックプリズム等でも良い。
ビーム整形光学系20からの整形された光束は、第1リレー光学系21に入射する。ここで、第1リレー光学系21は、2枚の正レンズからなる正の屈折力の前群(21A、21B)と、2枚の正レンズからなる正の屈折力の後群(21C、21D)とを有しており、第1リレー光学系21の前群(21A、21B)は、この前群のレチクルR側(後側)の焦点位置に集光点(光源像)Iを形成し、第1リレー光学系21の後群(21C、21D)は、その前群(21A、21B)の焦点位置に光源側(前側)の焦点位置が一致するように配置されている。そして、この第1リレー光学系21は、露光光源303の射出面と後述する第1多光源像形成手段としてのオプティカルインテグレータ30の入射面とを共役にする機能を有している。この第1リレー光学系21の機能によって、露光光源303からの光の角度ずれに伴うオプティカルインテグレータ30を照明する光束のずれを補正し、露光光源303からの光の角度ずれに対する許容度を大きくしている。なお、露光光源303からの光を第1多光源形成手段へと導く導光光学系は、ビーム整形光学系20と第1リレー光学系21とで構成される。
第1リレー光学系21を介した光束は、直線状に3列配列された複数の光源像を形成する第1多光源形成手段としてのオプティカルインテグレータ30に入射する。このオプティカルインテグレータ30は、ほぼ正方形状のレンズ断面を有する複数の両凸形状のレンズ素子が複数配置されて構成されており、オプティカルインテグレータ30全体としては長方形状の断面を有している。そして、各々の両凸形状のレンズ素子は、Y方向とX方向とで互いに等しい曲率(屈折力)を有している。
このため、オプティカルインテグレータ30を構成する個々のレンズ素子を通過する平行光束は、それぞれ集光されて各レンズ素子の射出側には光源像が形成される。従って、オプティカルインテグレータ30の射出側位置A1にはレンズ素子の数に相当する複数の光源像が形成され、ここには実質的に2次光源が形成される。
オプティカルインテグレータ30によって形成された複数の2次光源からの光束は、第2リレー光学系40によって集光されて、さらに複数の光源像を形成する第2多光源像形成手段としてのオプティカルインテグレータ50に入射する。
このオプティカルインテグレータ50は、長方形のレンズ断面を有する複数の両凸形状のレンズ素子が複数配置されて構成されており、このレンズ素子は断面形状がオプティカルインテグレータ30の断面形状と相似になるように構成されている。そして、オプティカルインテグレータ50全体としては正方形状の断面を有している。また、各々のレンズ素子は、図10Aの紙面方向と図10Bの紙面方向とで互いに等しい曲率(屈折力)を有している。
このため、オプティカルインテグレータ50を構成する個々のレンズ素子を通過するオプティカルインテグレータ30からの光束は、それぞれ集光されて各レンズ素子の射出側には光源像が形成される。従って、オプティカルインテグレータ50の射出側位置A2には、正方形状に配列された複数の光源像が形成され、ここには実質的に3次光源が形成される。
なお、第2リレー光学系40は、オプティカルインテグレータ30の入射面位置B1とオプティカルインテグレータ50の入射面位置B2とを共役にすると共に、オプティカルインテグレータ30の射出面位置A1とオプティカルインテグレータ50の射出面位置A2とを共役にしている。さらに、上記の説明においてオプティカルインテグレータ30及びオプティカルインテグレータ50は、フライアイレンズの形状で示したが本発明の投影露光装置の照明系に使用されるオプティカルインテグレータの形状は特に限定されるものではなく、例えば極めて微小な複数のレンズ素子から構成されるマイクロフライアイや、ロッド状内面反射型の光学素子(カレイドスコープロッド)や、回折光学素子(DOE)等を用いることが可能である。
この3次光源が形成される位置A2若しくはその近傍位置には、所定形状の開口部を有する開口絞りASが設けられており、この開口絞りASにより円形状に形成された3次光源からの光束は、集光光学系としてのコンデンサー光学系60により集光されて被照射物体としてのレチクルR上をスリット状に均一照明する。
また、図11における投影光学系304は、投影光学系全体の符号付複屈折特性値が−0.5〜+0.5nm/cmとなる配置条件を満たすように各光学部材が互いに組み合わされている。また、各光学部材が、投影光学系全体の実効光路に基づく符号付複屈折値のストレール(Strehl)値が0.93以上となる配置条件をさらに満たすように互いに組み合わされている。さらに、使用されている光学部材は、その有効断面の中心周辺の符号付複屈折値が、−0.2〜+0.2nm/cmであり、平均符号付複屈折値の半径方向の分布が、中心以外に極値を持たないものであり、平均符号付複屈折値の最大値と最小値の差ΔBiが2.0nm/cm以下であり、平均符号付複屈折値Bijの半径方向における分布曲線の勾配の最大値Fiが、半径方向の幅10mm当たり0.2nm/cm以下である。
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
実施例1
図4に示す合成炉を用いて、以下の手順に従って石英ガラス部材の製造を行った。
先ず、多重管構造を有するバーナの中央部から四塩化ケイ素(SiCl4)を流速30g/分で噴出させて、酸水素火炎(酸素/水素比:0.5)中で加水分解させて石英ガラス微粒子を得、これをターゲット(回転速度:5rpm、揺動速度:100mm/min)上に堆積させると同時に透明化して石英ガラスインゴット(直径:400mm以上)を得た。この工程におけるインゴットの回転軸に垂直な面内の温度分布を図11Aに示す。
次に、得られた石英ガラスインゴットから、円筒形状の石英ガラス部材(直径:400mm、厚さ:100mm)を、石英ガラスインゴットの回転中心と石英ガラス部材の幾何学的中心とが一致するように切り出し、これを1000時間まで昇温した後同温で10時間保持し、降温速度10℃/時間で500℃まで冷却し、さらに放冷した(アニール処理)。
得られた石英ガラス部材について、位相変調法により符号付複屈折値の測定を行った。その結果を図12Aに示す。
実施例2
四塩化ケイ素の流速を100g/分としたこと、及びアニール処理の条件を表1に示す条件1としたこと以外は実施例1と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図11Bに、符号付複屈折値の測定結果を図12Bにそれぞれ示す。
実施例3
四塩化ケイ素の流速を50g/分としたこと以外は実施例2と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図11Cに、符号付複屈折値の測定結果を図12Cにそれぞれ示す。
比較例1
四塩化ケイ素の流速を10g/分としたこと以外は実施例2と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図11Dに、符号付複屈折値の測定結果を図12Dにそれぞれ示す。
実施例4
酸素/水素比を0.25としたこと、及びアニール処理の条件を表1に示す条件1としたこと以外は実施例1と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図13Aに、符号付複屈折値の測定結果を図14Aにそれぞれ示す。
実施例5
酸素/水素比を0.4としたこと以外は実施例4と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図13Bに、符号付複屈折値の測定結果を図14Bにそれぞれ示す。
比較例2
酸素/水素比を0.5としたこと以外は実施例4と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図13Cに、符号付複屈折値の測定結果を図14Cにそれぞれ示す。
比較例3
実施例1における酸素/水素比を0.45としたこと以外は実施例1と同様にして石英ガラス部材を得、その符号付複屈折値を測定した。石英ガラスインゴット作製時の温度分布を図13Dに、符号付複屈折値の測定結果を図14Dにそれぞれ示す。
実施例6
実施例1で得られた石英ガラス部材について比較例4と同様にして高温熱処理を行い、符号付複屈折値の測定を行った。その結果を図16Cに示す。
次に、この石英ガラス部材について表1に示す条件1でアニール処理を行い、さらに、図6に示す熱処理装置を用いて表1に示す条件2で熱処理及び冷却処理を行い、得られた石英ガラス部材について符号付複屈折値を測定した。冷却開始5時間後の石英ガラス部材の温度分布を図15Aに、冷却処理後の石英ガラス部材の符号付複屈折値の分布を図16Aにそれぞれ示す。
実施例7
実施例6におけるアニール処理後の石英ガラス部材について、図6に示す装置においてセラミック板を用いる代わりに石英ガラス部材の上下両面からドライエアー(温度:25℃、露点:−70℃)を20L/分で吹き付けて冷却を行ったこと以外は実施例6と同様にして、表1に示す条件2で熱処理及び冷却処理を行い、得られた石英ガラス部材の符号付複屈折値の分布を測定した。冷却開始5時間後における石英ガラス部材の温度分布を図15Bに、冷却処理後の石英ガラス部材の符号付複屈折値の分布を図16Bにそれぞれ示す。
【表1】
比較例4
実施例1で得られた石英ガラス部材を2100℃まで昇温して同温で2時間保持し、降温速度10℃/時間で500℃まで冷却し、その後放冷した。このようにして高温熱処理した石英ガラス部材についてその符号付複屈折値を測定した。結果を図16Dに示す。
比較例5
実施例1で得られた石英ガラス部材の代わりに比較例3で得られた石英ガラス部材を用いたこと以外は比較例4と同様にして高温熱処理を行い、得られた石英ガラス部材の符号付複屈折値を測定した。結果を図16Eに示す。
このように、実施例1〜7の石英ガラス部材はいずれも、中心から径方向に単調増加する符号付複屈折値の分布を有するものであることが確認された。これに対して比較例1〜5の石英ガラス部材はいずれも、中心から径方向に単調減少する符号付複屈折値の分布を有するものであった。
(投影光学系1及び投影露光装置1の作製)
実施例1の石英ガラス部材と比較例4の石英ガラス部材とを用い、上記式(1)〜(6)を用いて得られる符号付複屈折特性値に基づいて図8に示す投影光学系を作製し、得られた投影光学系について上記式(7)〜(9)に基づき光学系全体の複屈折を評価した。一般に、ストレール値が0.95以上の投影光学系であれば所望の性能が得られるが、上記の手順で得られた投影光学系においてはストレール値0.99を達成することができ、従来の光学部材を用いた場合には得られなかった十分に高い結像性能を有することが確認された。
次に、上記の投影光学系を用いて図9に示す投影露光装置を作製し、その解像度を評価したところ、本実施の投影露光装置においては解像度約0.15μmが達成されることが確認された。
(投影光学系2及び投影露光装置2の作製)
実施例6における高温熱処理後の石英ガラス部材と実施例6における冷却処理後の石英ガラス部材とを用い、上記式(1)〜(6)を用いて得られる符号付複屈折特性値に基づいて図8に示す投影光学系を作製し、得られた投影光学系について上記式(7)〜(9)に基づき光学系全体の複屈折を評価した。このようにして得られた投影光学系においてもストレール値0.99を達成することができ、従来の光学部材を用いた場合には得られなかった十分に高い結像性能を有することが確認された。
次に、上記の投影光学系を用いて図9に示す投影露光装置を作製し、その解像度を評価したところ、解像度約0.15μmが達成されることが確認された。
(投影光学系3の作製)
図17に示す符号付複屈折値の分布を有する従来の石英ガラス部材のみを用い、上記式(1)〜(6)を用いて得られる符号付複屈折特性値に基づいて図8と同様の投影光学系を作製し、得られた投影光学系について上記式(7)〜(9)に基づき光学系全体の複屈折を評価した。このようにして得られた投影光学系のストレール値は0.70であり、所望の光学性能が得られないことが確認された。
産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明の製造方法によれば、符号付複屈折値が中心から周縁部に向けて単調増加する石英ガラス部材を効率よく且つ確実に得ることが可能となる。そして、本発明の製造方法により得られる本発明の石英ガラス部材と、符号付複屈折値が中心から周縁部に向けて単調減少する従来の石英ガラス部材と、を用いることによって、光学系全体の高い透過率や高い屈折率の均質化が達成される。従って、本発明の製造方法及びそれによって得られる本発明の石英ガラス部材によれば、投影露光装置の結像光学系において十分に高い解像度を効率よく且つ確実に得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
図1Aは符号付複屈折値の概念を示す説明図であり、図1Bは図1Aに示す光学部材内における符号付複屈折値の分布を示すグラフである。
図2Aは符号付複屈折値の概念を示す別の説明図であり、図2Bは図2Aに示す光学部材内における符号付複屈折値の分布を示すグラフである。
図3Aは符号付複屈折値の概念を示す別の説明図であり、図3Bは図3Aに示す光学部材内における複屈折値の分布を示すグラフである。
図4は本発明において用いられる石英ガラスインゴットの合成炉の一例を示す説明図である。
図5は本発明の第一の製造方法における石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な面内における中心からの距離と温度との相関を示すグラフである。
図6は本発明において用いられる熱処理装置の一例を示す説明図である。
図7Aは投影光学系を構成する複数の光学部材を示す側面図であり、図7Bは投影光学系を構成する光学部材の断面図である。
図8は本発明にかかる光学系の一例を示す概略構成図である。
図9は本発明にかかる投影露光装置の一例を示す概略構成図である。
図10A及び図10Bはそれぞれ、図9に示す投影露光装置の照明光学系の構成の一例を示す説明図である。
図11A〜図11Dはそれぞれ本発明の実施例1〜3及び比較例1の石英ガラスインゴットの製造工程におけるガラス直径と温度との相関を示すグラフである。
図12A〜図12Dはそれぞれ本発明の実施例1〜3及び比較例1で得られた石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフである。
図13A〜図13Dはそれぞれ、本発明の実施例4〜5及び比較例2〜3の石英ガラスインゴットの製造工程におけるガラス直径と温度との相関を示すグラフである。
図14A〜図14Dはそれぞれ本発明の実施例4〜5及び比較例2〜3で得られた石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフである。
図15A及び図15Bはそれぞれ本発明の実施例6及び実施例7の熱処理工程における石英ガラス部材のガラス直径と温度との相関を示すグラフである。
図16A及び図16Bはそれぞれ本発明の実施例6〜7で得られた石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフであり、図16Cは実施例6の高温熱処理後の石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフであり、図16D及び図16Eはそれぞれ比較例3及び比較例4で得られた石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフである。
図17は本発明の実施例において光学系3の作製に用いた石英ガラス部材のガラス直径と符号付複屈折値との相関を示すグラフである。
図18Aは従来の投影露光装置の一例を示す概略構成図であり、図18Bは図18Aの投影露光装置に用いられるフライアイレンズの一例を示す断面図である。
Claims (4)
- 多重管構造を有するバーナを用いてケイ素化合物を酸水素火炎中で反応させて石英ガラス微粒子を得る第一のステップと、
前記バーナと対向するように配置されており回転している支持体上に、石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な少なくとも一つの面内において前記回転軸に関して対称であり且つ面の中心と周縁部との間に極大値を有する温度分布をもって、前記石英ガラス微粒子を堆積させて石英ガラスインゴットを得る第二のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な面内の複数の箇所において測定される複屈折値及びその進相軸の向きに基づいて符号付複屈折値の分布を求め、符号付複屈折値が面の中心から周縁部にむけて単調増加する石英ガラス部材を前記石英ガラスインゴットから切り出す第三のステップと、
を含む石英ガラス部材の製造方法。 - 前記第二のステップにおいて、面の中心における温度と極大値との差が0℃を超え200℃以下である請求項1に記載の製造方法。
- 石英ガラスインゴットを所定の温度まで昇温する第四のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な少なくとも一つの面内において前記回転軸に関して対称であり且つ面の中心と周縁部との間に極大値を有する温度分布をもって、前記石英ガラスインゴットを冷却する第五のステップと、
前記石英ガラスインゴットの回転軸に垂直な面内の複数の箇所において測定される複屈折値及びその進相軸の向きに基づいて符号付複屈折値の分布を求め、符号付複屈折値が面の中心から周縁部にむけて単調増加する石英ガラス部材を前記石英ガラスインゴットから切り出す第六のステップと、
を含む石英ガラス部材の製造方法。 - 前記第五のステップにおいて、面の中心における温度と極大値との差が20℃以上300℃以下である、請求項3に記載の製造方法。
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