JP4616544B2 - 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子 - Google Patents
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Description
【技術分野】
本発明は,組成物中に鉛を含有しない圧電磁器組成物及びその製造方法並びに,該圧電磁器組成物を材料とする圧電素子に関する。
【0002】
【従来技術】
従来より,圧電磁器組成物としては,鉛を含んだPZT(PbTiO3−PbZrO3)成分系磁器が用いられてきた。
上記PZTは,電気機械結合係数や圧電定数等の圧電特性に優れており,上記PZTを利用した圧電素子は,センサ,アクチュエータ,フィルター等に広く利用されている。
【0003】
ところが,上記PZTから成る圧電磁器組成物は,優れた特性を有する一方で,その構成元素に鉛を含んでいるため,PZTを含んだ製品の産業廃棄物から有害な鉛が溶出し,環境汚染を引き起こすおそれがあった。そして,近年の環境問題に対する意識の高まりは,PZTのように環境汚染の原因となりうる製品の製造を困難にしてきた。そのため,組成中に鉛を含有しない圧電磁器組成物の開発が求められ,一般式(K1-xNax)NbO3(但し,0<x<1)で表される圧電磁器組成物(非特許文献1参照)が注目されてきた。
【0004】
【非特許文献1】
“Journal of the American Ceramic Society”,米国,1962,Vol.45,No.5,p.209
【0005】
【解決しようとする課題】
しかしながら,上記一般式(K1-xNax)NbO3(但し,0<x<1)で表される圧電磁器組成物は,焼成が困難であるためホットプレス焼成を行う必要がある。そのため,製造コストが高くなるという問題があった。また,上記圧電磁器組成物は機械的品質係数Qmが低く,また誘電損失が大きいという問題があった。そのため,上記一般式(K1-xNax)NbO3(但し,0<x<1)で表される圧電磁器組成物は,PZTに代わる新しい圧電磁器組成物として有望視されているものの,ほとんど実用化には至っていない。それ故,上記の一般式で表される圧電磁器組成物が開発された後も,環境汚染のおそれがあるPZT等の鉛系圧電磁器組成物が広く利用されているのが現状である。
【0006】
本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので,鉛を含まず,常圧にて焼成が可能であり,かつ機械的品質係数が高く誘電損失が小さい圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに該圧電磁器組成物を利用した圧電素子を提供しようとするものである。
【0007】
【課題の解決手段】
第1の発明は,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0<x≦0.2,0<y<1.0,0<z≦0.4の組成範囲にある化合物を主成分とする圧電磁器組成物であって,
該圧電磁器組成物は,ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物を含有し,
上記ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物の含有量は,上記主成分1molに対してニッケル元素換算量で0.01〜10mol%であり、
圧電d31定数が30pm/V以上であり、誘電損失が0.035以下であることを特徴とする圧電磁器組成物にある(請求項1)。
【0008】
上記圧電磁器組成物におけるニッケル又はニッケルを含有してなる化合物の含有形態としては,上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表される化合物におけるLi,K,Na,Nb,Taのいずれか1種以上を,Ni原子に置換して配置する形態や,ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物をニッケル又は化合物の状態で含有する形態がある。
次に,本発明の作用効果につき説明する。
本発明の圧電磁器組成物は,上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,組成物中に鉛を含有していない。
そのため,上記圧電磁器組成物は,該圧電磁器組成物の廃棄物等から有害な鉛が自然界に流出することがなく,安全である。
【0009】
また,上記の一般式において,x,y,zがそれぞれ上記の範囲にある。そのため,後述する実施例でも明らかとなるように,上記圧電磁器組成物は,機械的品質係数Qmが高く,かつ誘電損失が小さい。そして,上記圧電磁器組成物は,常圧下での焼成によっても充分に緻密化することができる。
【0010】
したがって,本発明によれば,鉛を含まず,常圧にて焼成が可能であり,かつ機械的品質係数が高く誘電損失が小さい圧電磁器組成物を提供することができる。なお,本発明,及び後述する第2及び第3の発明における圧電磁器組成物は,圧電特性を有する磁器組成物に限らず,誘電特性を有する誘電磁器組成物をも含む概念である。
【0011】
第2の発明は,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0<x≦0.2,0<y<1.0,0<z≦0.4の組成範囲にある組成物と,ニッケル又はニッケルを含有してなる化合物とを,混合,焼成することにより上記第1の発明の圧電磁器組成物を得ることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法にある(請求項6)。
【0012】
本発明の製造方法においては,上記のごとく,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4の組成範囲(但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)にある組成物と,ニッケル又はニッケルを含有してなる化合物とを,混合,焼成する。
これにより上記混合及び焼成時に,上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表される圧電磁器組成物にニッケル又はニッケルを含有して成る化合物を容易に含有させることができる。
【0013】
また,上記焼成の際には常圧下にて上記圧電磁器組成物を焼成することができる。そしてこれにより,上記圧電磁器組成物,即ち鉛を含有せず,機械的品質係数Qmが高く,かつ誘電損失が小さい圧電磁器組成物を容易に得ることができる。
【0014】
第3の発明は,リチウムを含有してなる化合物と,ナトリウムを含有してなる化合物と,カリウムを含有してなる化合物と,ニオブを含有してなる化合物と,タンタルを含有してなる化合物と,ニッケルを含有してなる化合物とを混合,焼成することにより上記第1の発明の圧電磁器組成物を得ることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法にある(請求項7)。
【0015】
本発明においては,上記のごとく,リチウムを含有してなる化合物と,ナトリウムを含有してなる化合物と,カリウムを含有してなる化合物と,ニオブを含有してなる化合物と,タンタルを含有してなる化合物と,ニッケルを含有してなる化合物とを混合,焼成する。
これにより上記混合及び焼成時に,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表される圧電磁器組成物にニッケル又はニッケルを含有してなる化合物を容易に含有させることができる。
【0016】
また,上記焼成時には,常圧下にて上記圧電磁器組成物を焼成することができる。そして,混合及び焼成後に得られる圧電磁器組成物は,鉛を含有せず,機械的品質係数Qmが高く,かつ誘電損失が小さいものとなる。
【0017】
第4の発明は,第1の発明の圧電磁器組成物を有することを特徴とする圧電素子にある(請求項9)。
【0018】
本発明の圧電素子においては,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4の組成範囲(但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)にある化合物を主成分とする圧電磁器組成物であって,該圧電磁器組成物は,ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物を含有することを特徴とする圧電磁器組成物を用いている。
そのため,上記圧電素子は,上記圧電磁器組成物の,鉛を含有せず,機械的品質係数Qmが高く,かつ誘電損失が小さいという優れた特性をそのまま利用することができる。
【0019】
第5の発明は,第2又は第3の発明の圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器組成物を有することを特徴とする圧電素子にある(請求項10)。
【0020】
本発明の圧電素子においては,上記した製造方法により得られる圧電磁器組成物を用いている。そのため,上記圧電素子は,上記圧電磁器組成物が有する優れた特性をそのまま利用することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明において,上記圧電磁器組成物は,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4の組成範囲(但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)にある。
ここで,x>0.2,z>0.2の場合には,上記圧電磁器組成物の機械的品質係数Qmが低下し,又は誘電損失が大きくなり,所望の圧電特性を有する圧電磁器組成物を得ることができない。
【0022】
また第1の発明(請求項1)において,上記ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物の含有量は,上記主成分1molに対してニッケル元素換算量で10mol%以下であることが好ましい。
上記ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物の含有量がニッケル元素換算量で10mol%を越える場合には,上記圧電磁器組成物の圧電d31定数が低下し,上記圧電磁器組成物を圧電素子として利用することが困難になるおそれがある。また,上記含有量が0.01mol%未満の場合には,機械的品質係数Qmが上記従来の圧電磁器組成物と比べて向上しないおそれがある。そのため,上記ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物の含有量は,0.01mol%以上であることが好ましい。
【0023】
次に,上記圧電磁器組成物は,上記一般式において,Li,K,Na,Nb,Taのいずれか1種以上と置換されたニッケルを含有していることが好ましい(請求項2)。
この場合にも上記圧電磁器組成物は,ニッケルを含有しているので,上述したごとく,機械的品質係数が高く誘電損失が小さいという優れた特性を示すことができる。
【0024】
次に,上記圧電磁器組成物は,機械的品質係数Qmが200以上であることが好ましい(請求項3)。
この場合には,上記200以上という高い機械的品質係数Qmを活かして,上記圧電磁器組成物を,発熱が少なく電気的エネルギーと機械的エネルギーの変換効率に優れた圧電素子,例えば圧電アクチュエータ,圧電超音波モータ,圧電トランス,圧電振動子等として利用することができる。
【0025】
次に,上記圧電磁器組成物は,キュリー温度が200℃以上であることが好ましい(請求項4)。
この場合には,200℃以上という高いキュリー温度を活かして,上記圧電磁器組成物を,例えば自動車のエンジン付近等のように高温度の環境下にて利用することができる。
【0026】
次に,上記圧電磁器組成物は,圧電d31定数が30pm/V以上であることが好ましい。
この場合には,上記30pm/V以上という高い圧電d31定数を活かして,上記圧電磁器組成物を感度の高いセンサ素子等として利用することができる。
【0027】
次に,上記圧電磁器組成物は,電気機械結合係数Kpが0.25以上であることが好ましい(請求項5)。
この場合には,上記0.25以上という高い電気機械結合係数Kpを活かして,上記圧電磁器組成物を機械エネルギーと電気エネルギーの変換効率に優れた圧電アクチュエータ,圧電振動子等として利用することができる。
【0028】
次に,上記圧電磁器組成物は,誘電損失が0.035以下であることが好ましい。
この場合には,0.035以下という低い誘電損失を活かして,上記圧電磁器組成物を誘電損失に起因する誘電損失ノイズの少ないセンサ素子等として利用することができる。
【0029】
また,第3の発明(請求項7)においては,リチウムを含有してなる化合物はLi2CO3であり,ナトリウムを含有してなる化合物はNa2CO3であり,カリウムを含有してなる化合物はK2CO3であり,ニオブを含有してなる化合物はNb2O5であり,タンタルを含有してなる化合物はTa2O5であり,ニッケルを含有してなる化合物はNiOであることが好ましい(請求項8)。
この場合には,容易に上記圧電磁器組成物を作製することができる。
【0030】
また,第4の発明(請求項9)又は第5の発明(請求項10)において,上記圧電素子としては,例えば圧電振動子,表面波フィルター素子,圧電センサ素子,アクチュエータ素子,超音波モータ素子,圧電トランス素子,圧電ジャイロセンサ素子,ノックセンサ素子等がある。
【0031】
【実施例】
(実施例1)
本例の実施例にかかる圧電磁器組成物につき説明する。
本例では,上記の圧電磁器組成物を製造し,該圧電磁器組成物の圧電特性を測定した。
本例の圧電磁器組成物は,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4の組成範囲(但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)にある化合物を主成分とする圧電磁器組成物である。そして該圧電磁器組成物は,ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物を含有する。
以下,本例の圧電磁器組成物の製造方法につき説明する。
【0032】
本例の圧電磁器組成物の製造方法においては,リチウムを含有してなる化合物と,ナトリウムを含有してなる化合物と,カリウムを含有してなる化合物と,ニオブを含有してなる化合物と,タンタルを含有してなる化合物と,ニッケルを含有してなる化合物とを混合,焼成する。
【0033】
具体的には,まず上記リチウムを含有してなる化合物としてLi2CO3を,ナトリウムを含有してなる化合物としてNa2CO3を,カリウムを含有してなる化合物としてK2CO3を,ニオブを含有してなる化合物としてNb2O5を,タンタルを含有してなる化合物としてTa2O5を,ニッケルを含有してなる化合物としてNiOを準備し,上記圧電磁器組成物の原料とした。これらの原料としては純度99%以上の高純度のものを準備した。
【0034】
次に,これらの原料を上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3において,x=0.1,y=0.5,z=0.1となるように配合し,さらにNiOをニッケル元素換算で1mol%配合した。配合後の原料をボールミルによりアセトン中にて24時間混合して原料混合物を作製した。
【0035】
次に,この原料混合物を750℃にて5時間仮焼し,この仮焼後の原料混合物をボールミルにて24時間粉砕した。続いて,バインダーとしてポリビニールブチラールを添加し,造粒した。
造粒後の粉体を圧力2ton/cm2にて,直径13mm,厚さ2mmの円盤状に加圧成形し,成形体を常圧下,1000〜1300℃にて1時間焼成した。ここで,焼成後の成形体は相対密度98%以上に緻密化されていた。
【0036】
次に,焼成後の各成形体の両面を平行研磨し,円形研磨した後,この円盤試料の両面にスパッタ法により金電極を設けた。そして,100℃のシリコーンオイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電極間に印加し,厚み方向に分極を施して本例の圧電磁器組成物(本発明品)とした。
【0037】
上記のようにして作製した本例の圧電磁器組成物について,機械的品質係数Qm,キュリー温度,圧電d31定数,電気機械結合係数Kp,誘電損失,比誘電率及び径方向の周波数定数Npを測定した。ここで機械的品質係数Qm,圧電d31定数,電気機械結合係数Kp及び周波数定数Npは,インピーダンスアナライザーを用いて共振−反共振法により測定した。また,誘電損失及び比誘電率は,インピーダンスアナライザーを用いて,測定周波数1kHzにて測定し,キュリー温度は,上記圧電磁器組成物の温度を一分当たり2℃ずつ600℃まで上げながら比誘電率を測定し,該比誘電率が最も高いときの温度をもってキュリー温度とした。
その結果を表1に示す。
【0038】
【表1】
【0039】
また,本例では上記圧電磁器組成物の優れた特性を明らかにするために,以下のようにして比較品を作製した。
まず,比較品の原料として,純度99%以上の高純度のLi2CO3,Na2CO3,K2CO3,Nb2O5及びTa2O5を準備した。これらの原料を上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3において,x=0.1,y=0.5,z=0.1となるように配合した。配合後の原料をボールミルによりアセトン中にて24時間混合して原料混合物を作製した。
【0040】
次に,この原料混合物を750℃にて5時間仮焼し,上記本発明品と同様にして,ボールミルにて24時間粉砕,造粒した。
造粒後の粉体を圧力2ton/cm2にて,直径13mm,厚さ2mmの円盤状に加圧成形し,成形体を常圧下,1000〜1300℃にて1時間焼成した。ここで,焼成後の成形体は相対密度98%以上に緻密化されていた。
【0041】
次に,焼成後の成形体の両面を平行研磨し,上記本発明品と同様に,金電極を設けた。そして,100℃のシリコーンオイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電極間に印加し,厚み方向に分極を施して比較品とした。
【0042】
上記のようにして作製した比較品についても,機械的品質係数Qm,キュリー温度,圧電d31定数,電気機械結合係数Kp,誘電損失,比誘電率及び径方向の周波数定数Npを測定した。各測定値の測定方法は,本発明品の場合と同様とした。
その結果を表1に示す。
【0043】
表1より知られるごとく,本発明品の機械的品質係数Qmは,比較品に比べて4倍以上高い値を示した。したがって,本発明品の圧電磁器組成物は,発熱の少ない圧電アクチュエータ,超音波モータ,圧電トランス,圧電振動子部品等に利用することができる。なお,上記圧電磁器組成物をこのような圧電素子として用いる場合には,上記機械的品質係数Qmは200以上であることが好ましい。
【0044】
また,本発明品は,上記した機械的品質係数Qmに加えて,圧電d31定数においても比較品より高い値を示した。
一般に,上記圧電d31定数は,電荷検出型回路あるいは電流検出型回路を用いた場合には,加速度センサ,加重センサ,衝撃センサ及びノックセンサ等の圧電型センサの出力電圧に比例する。その点からみると,圧電d31定数が高い圧電磁器組成物ほど電荷センサ出力の大きなセンサを作ることができる。そして,比較品と同等以上の特性を有するセンサを作製するには,少なくとも30pm/V以上の圧電d31定数を有し,かつ200以上の機械的品質係数Qmを有することが好ましい。
【0045】
また,本発明品は,電気機械結合係数Kpにおいても,比較品よりも高い値を示した。
一般に上記電気機械結合係数Kpは,圧電トランス素子,超音波モータ素子,又は超音波振動子等の電気変換効率に比例する。その点からみると,電気機械結合係数Kpが高い圧電磁器組成物ほど電気変換効率の高い圧電トランス素子,超音波モータ素子,又は超音波振動子を作ることができる。そして,比較品と同等以上の特性を有する圧電トランス素子,超音波モータ素子,又は超音波振動子を作製するには,少なくとも0.25以上の電気機械結合係数Kpを有し,かつ200以上の機械的品質係数Qmを有することが好ましいといえる。
【0046】
また,本発明品の誘電損失は,比較品に比べて3分の1以下の値を示した。したがって,本発明品の圧電磁器組成物は,誘電損失に起因する誘電損失ノイズの少ないセンサ等に利用することができる。なお,このような誘電損失ノイズの少ないセンサ圧電素子として上記圧電磁器組成物を用いる場合には,上記誘電損失は0.035以下であることが好ましい。
【0047】
また,本発明品のキュリー温度は,426℃という高い値を示した。そのため,本発明品の圧電磁器組成物は,自動車のエンジン付近等の高温度部においても長時間安定に使用することができるノックセンサ等の高温用センサ部品等として利用することができる。なお,上記高温用センサ部品等として長時間安定に使用するためには,上記キュリー温度は,200℃以上であることが好ましい。
【0048】
また,本発明品の比誘電率は比較品よりも高く,725という高い値を示した。そのため,本発明品の圧電磁器組成物は,圧電体のみならず誘電体としても利用することができる。そして,上記比誘電率は,一般に積層コンデンサ部品等のコンデンサの静電容量に比例する。その点からみると,上記比誘電率が高い圧電磁器組成物ほど静電容量の大きなコンデンサを作ることができる。本発明品の圧電磁器組成物は,上記のような高い比誘電率を有しているため,大きな静電容量を有するコンデンサ等に利用することができる。
【0049】
また,本発明品の周波数定数Npは比較品よりも高い値を示した。そのため,本発明品の圧電磁器組成物を用いると,周波数が高くかつ小型の圧電振動子部品を作製することができる。
【0050】
なお,上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3の上記組成範囲内(0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4、但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)において,上記本発明品とは異なる組成範囲についても本例と同様に圧電磁器組成物を作製し圧電特性の測定をおこなったところ,本例と同様の効果が得られることを確認できた。
【0051】
(実施例2)
本例は,ニッケルの量を変えて圧電磁器組成物を作製した例である。
具体的には,まず実施例1と同様に,上記リチウムを含有してなる化合物としてLi2CO3を,ナトリウムを含有してなる化合物としてNa2CO3を,カリウムを含有してなる化合物としてK2CO3を,ニオブを含有してなる化合物としてNb2O5を,タンタルを含有してなる化合物としてTa2O5を,ニッケルを含有してなる化合物としてNiOを準備し,上記圧電磁器組成物の原料とした。これらの原料としては純度99%以上の高純度のものを準備した。
【0052】
次に,これらの原料を上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3において,x=0.1,y=0.5,z=0.1となるように,即ちLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O3となるように配合し,さらにLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O31molに対して,NiOをニッケル元素換算で,それぞれ0.1mol%,0.5mol%,2mol%,及び5mol%となるように配合し,4種類の配合物を得た。続いてこれらの配合物をボールミルによりアセトン中にて24時間混合して原料混合物を作製した。
【0053】
次に,実施例1と同様にして,これらの原料混合物を仮焼し,粉砕し,バインダーとしてポリビニールブチラールを添加し,造粒した。
さらに,実施例1と同様にして,造粒後の粉体を加圧成形し,焼成した。ここで,焼成後の成形体は相対密度98%以上に緻密化されていた。
【0054】
その後,焼成後の各成形体の両面を平行研磨し,円形研磨した後,この円盤試料の両面にスパッタ法により金電極を設けた。そして,100℃のシリコーンオイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電極間に印加し,厚み方向に分極を施して4種類の圧電磁器組成物を作製した。これらをそれぞれ試料E1,試料E2,試料E4,及び試料E5とした。
上記試料E1,E2,E4,及びE5は,いずれもLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O3を主成分とし,Niの含有量だけが互いに異なっている。
ここで,試料E1は,1molのLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O3に対して,0.1mol%のNiを含有するものである。同様に,試料E2,試料E4,試料E5は,1molのLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O3に対して,それぞれ0.5mol%,2mol%,及び5mol%のNiを含有するものである。
【0055】
次に,上記試料E1,E2,E4,及びE5について,機械的品質係数Qm,圧電d31定数,電気機械結合係数Kp,誘電損失,比誘電率及び径方向の周波数定数Npを測定した。測定方法は,実施例1と同様である。
その結果を表2に示す。なお,表2には,比較のため,実施例1の本発明品及び比較品をそれぞれ試料E3及び試料Cとし,その圧電特性及び誘電特性の結果を併せて表記した。なお,試料E3は,1molのLi0.1(K0.45Na0.45)(Nb0.9Ta0.1)O3に対して,1mol%のNiを含有するものであり,試料Cは,Niを含有していないものである。
【0056】
【表2】
【0057】
表2より知られるごとく,試料E1〜試料E5の機械的品質係数Qmは,すべて,試料Cの108という値よりも大きかった。特に,Ni含有量が1mol%(試料E3)のときに最大となり,このとき機械的品質係数Qmは,457という試料C1の4倍を越える非常に大きな値を示した。
このように高い機械的品質係数Qmを生かして,上記試料E1〜試料E5の圧電磁器組成物は,発熱の少ない優れた圧電アクチュエータ,圧電超音波モータ,圧電トランス,及び圧電振動子部品等に利用することができる。
【0058】
また,試料E1〜試料E5の圧電d31定数は,すべて,試料Cの39.6pm/Vという値よりも大きく,また電気機械結合係数Kpもすべて,試料Cの0.292という値よりも大きかった。圧電d31定数及び電気機械結合係数Kpは,特にNi含有量が2mol%(試料E4)のときに最大となり,それぞれ50.5pm/V,0.356という非常に大きな値を示した。
【0059】
一般に,圧電d31定数は,電荷或いは電流検出型回路を用いた場合の,加速度センサ,荷重センサ,衝撃センサ,及びノックセンサ等の圧電型センサの出力電圧に比例する。そのため,上記試料E1〜試料E5は,その高い圧電d31定数を生かして,感度の高く,センサ出力電圧の大きなセンサに利用することができる。
【0060】
また,試料E1〜試料E5の比誘電率は,すべて,試料Cの672という値と同等以上の高い値を示した。特に,Ni含有量が5mol%(試料E5)のときに最大となり,このとき比誘電率は822という非常に大きな値を示した。
そのため,本発明の圧電磁器組成物は,圧電体のみならず,優れた誘電体としても利用することができる。
【0061】
一般に,比誘電率は,積層コンデンサ部品等のコンデンサの静電容量に比例する。その点からみると,比誘電率の高い圧電磁器組成物ほど静電容量の大きなコンデンサを作製することができる。
上記試料E1〜E5は,その優れた比誘電率を生かして,大きな静電容量を有するコンデンサ等に利用することができる。
【0062】
また,試料E1〜試料E5の誘電損失は,すべて,試料Cの0.0388という値よりも小さかった。特に,Ni含有量が1mol%(試料E3)のときに,最小となり,このとき誘電損失は0.0123という試料C1の3分の1未満の非常に小さい値を示した。
このように小さい誘電損失を生かして,上記試料E1〜試料E5の圧電磁器組成物は,誘電損失に起因する誘電損失ノイズの少ないセンサ等に利用することができる。
【0063】
また,試料E1〜試料E5の周波数定数Npは,すべて,試料Cの2579という値よりもすべて大きかった。特に,Ni含有量が0.1mol%(試料E1)のときに最大となり,このとき,周波数定数は2747という非常に大きな値を示した。
このように高い周波数定数Npを生かして,上記試料E1〜試料E5の圧電磁器組成物は,例えば試料Cと同じ周波数の振動子を作製する場合に,より小さな圧電振動子部品を作製することが可能である。
【0064】
また,表2中には示していないが,Niの含有量を10mol%を越えて増加させると,圧電磁器組成物の圧電d31定数が低下することを確認している。そのため,この場合には,圧電素子への適用が困難になってしまうおそれがある。
【0065】
なお,上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3の上記組成範囲内(0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.4、但し、x=0、y=0、y=1、z=0を除く)において,上記試料E1〜試料E5とは異なる組成範囲についても本例と同様に圧電磁器組成物を作製し圧電特性の測定をおこなったところ,本例と同様の効果が得られることを確認できた。
Claims (10)
- 一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0<x≦0.2,0<y<1.0,0<z≦0.4の組成範囲にある化合物を主成分とする圧電磁器組成物であって,
該圧電磁器組成物は,ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物を含有し,
上記ニッケル又はニッケルを含有して成る化合物の含有量は,上記主成分1molに対してニッケル元素換算量で0.01〜10mol%であり、
圧電d31定数が30pm/V以上であり、誘電損失が0.035以下であることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 請求項1において,上記圧電磁器組成物は,上記一般式において,Li,K,Na,Nb,Taのいずれか1種以上と置換されたニッケルを含有していることを特徴とする圧電磁器組成物。
- 請求項1又は2において,上記圧電磁器組成物は,機械的品質係数Qmが200以上であることを特徴とする圧電磁器組成物。
- 請求項1〜3のいずれか1項において,上記圧電磁器組成物は,キュリー温度が200℃以上であることを特徴とする圧電磁器組成物。
- 請求項1〜4のいずれか1項において,上記圧電磁器組成物は,電気機械結合係数Kpが0.25以上であることを特徴とする圧電磁器組成物。
- 一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zTaz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0<x≦0.2,0<y<1.0,0<z≦0.4の組成範囲にある組成物と,ニッケル又はニッケルを含有してなる化合物とを,混合,焼成することにより請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電磁器組成物を得ることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。
- リチウムを含有してなる化合物と,ナトリウムを含有してなる化合物と,カリウムを含有してなる化合物と,ニオブを含有してなる化合物と,タンタルを含有してなる化合物と,ニッケルを含有してなる化合物とを混合,焼成することにより請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電磁器組成物を得ることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。
- 請求項7において,リチウムを含有してなる化合物はLi2CO3であり,ナトリウムを含有してなる化合物はNa2CO3であり,カリウムを含有してなる化合物はK2CO3であり,ニオブを含有してなる化合物はNb2O5であり,タンタルを含有してなる化合物はTa2O5であり,ニッケルを含有してなる化合物はNiOであることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電磁器組成物を有することを特徴とする圧電素子。
- 請求項6〜8のいずれか1項に記載の圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器組成物を有することを特徴とする圧電素子。
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