JP4605997B2 - 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法 - Google Patents

砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4605997B2
JP4605997B2 JP2003168572A JP2003168572A JP4605997B2 JP 4605997 B2 JP4605997 B2 JP 4605997B2 JP 2003168572 A JP2003168572 A JP 2003168572A JP 2003168572 A JP2003168572 A JP 2003168572A JP 4605997 B2 JP4605997 B2 JP 4605997B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
working surface
abrasive
tool
abrasive grains
conductive layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003168572A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004130499A (ja
Inventor
ユルゲン・フォン・ドゥンゲン
ヨーク・ファルケンベルク
ダーク・ハイネマン
Original Assignee
ダイヤモンド イノベーションズ、インク.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ダイヤモンド イノベーションズ、インク. filed Critical ダイヤモンド イノベーションズ、インク.
Publication of JP2004130499A publication Critical patent/JP2004130499A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4605997B2 publication Critical patent/JP4605997B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/04Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
    • B24D3/06Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D18/00Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
    • B24D18/0018Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for by electrolytic deposition
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D2203/00Tool surfaces formed with a pattern

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

本発明は概括的には研削工具に関するものであり、具体的には、砥粒の配置又はパターンが精密に制御された研削工具に関する。
従前、砥粒は様々な技法で研削エレメントの外面に付着又は研削エレメント内部に埋め込まれていた。技法を問わず、研削工具の切刃は砥粒のランダムな分布で特徴付けられてきた。これは、スチールコア研削ホイールにニッケルメッキした40/50メッシュ砥粒の顕微鏡写真(倍率100×)である図1を参照すれば分かる。図2は同じ研削ホイールの倍率50×の写真である。砥粒がランダムな分布及び集中度でニッケルメッキされ、研削工具のどの領域でもこれらを制御できなかったことが分かる。このことはホイールの目詰まりの危険性が存在することを意味する。さらに、工具の所定領域で砥粒のサイズ、種類及びジオメトリーを調整する機会もほとんどない。工具にメッキされる砥粒の総量は制御できるが、かかる制御はプロセスの反復性及び品質管理に幅広い自由度を許容する。
従来技術では、電気メッキプロセス時のNiの付着を防止するための非導電性領域を生じさせるため、接着箔及び印刷技術を用いて工具表面に特定の砥粒パターンを得ている。こうしたプロセスは平面に限られ、通常の研削ホイールその他の工具の縁その他の複雑な表面形状で超砥粒の性能を最大限に活用するという産業界の要請を満足しない。例えば、欧州特許出願公開第0870578号では、接着剤層を用いて砥粒を所定位置に保持し、次いでNi層から突出した砥粒に溝を設けることが提案されている。
欧州特許出願公開第0870578号
当技術分野では、明らかに、工具作用面に設けられる砥粒の位置、集中度、グレードなどを精密に制御できるようにすることにニーズが存在する。本発明はかかるニーズに向けられたものである。
作用面を有する砥粒工具の製造方法では、まず砥粒工具の作用面に非導電層を設ける。好ましくはレーザービームを用い、作用面又は非導電層にパターンをエッチングする。作用面パターンに金属及び砥粒を電気メッキ又は無電解メッキする。作用面から非導電層を除去する。この方法を何回か繰り返すことで、作用面の異なる領域にサイズ及び種類の異なる砥粒を種々異なる集中度で設けることができる。
別法では、接着剤を砥粒工具の作用面に層として設けることもできる。次いで、接着剤層にネガパターンをエッチングする。つまり、砥粒の不要な部分の接着剤をエッチングで除去する。次に、砥粒を作用面に接触させて、残留する接着剤に付着させればよい。この場合も、この方法を何回か繰り返すことで、作用面の異なる領域にサイズ及び種類の異なる砥粒を種々異なる集中度で設けることができる。この方法でも、作用面に金属を電気メッキ又は無電解メッキすることができる。
これら二つの実施形態に共通するのは、レーザーその他の精密除去装置を用いて、砥粒工具の作用面に付着させようとする砥粒の正確な位置を決定できることである。さらに、いずれの実施形態も、複数回繰り返すように修正でき、位置に応じてサイズ、種類及び集中度が制御された砥粒の精密な配置をもつ金属被覆作用面が得られるように修正することもできる。
本発明の特質及び利点を十分に理解するには、添付の図面に関する以下の詳細な説明を参照されたい。
以下に図面をさらに詳しく説明する。
本発明の価値は、通常の研削ホイールの形状を示す図3〜図5を参照することで理解できる。具体的には、図3に示す研削ホイール10は丸み部(例えば、丸み部12)を有しており、その表面を砥粒層14(厚さは単に例示のため誇張してある。)で被覆する必要がある。丸み部12は、特に丸み部12の砥粒の集中度/種類/サイズがホイール10周辺の平坦部と異なる場合、砥粒での被覆が難しい。
図4では、ホイール16は丸み部18を有し、砥粒層20で被覆する必要がある。この場合も、丸み部18のジオメトリーは、特に丸み部12の砥粒の集中度/種類/サイズがホイール16周辺の平坦部と異なる場合、被覆が難しい。
図5では、ホイール22は一連のリッジ24〜30を有しており、かかるリッジを砥粒層32で被覆する必要がある。この場合も、リッジ24〜30のジオメトリーは、特にリッジ24〜30の砥粒の集中度/種類/サイズがホイール16周辺の平坦部と異なるか或いはリッジ毎に異なる場合、効果的な被覆が難しい。
本発明では、図6〜図9に示す明確な多段プロセスによって、砥粒配置が精密に制御された砥粒工具を製造する。まず図6を参照すると、工具コア34は簡略横断立面図に示す作用面を有する。本発明のプロセスの最初の段階では、工具コア34の作用面に非導電性コーティング又は塗膜36を設ける。工具コア34又はその作用面に悪影響を与えない限り、適宜どんなコーティングを用いてもよい。適当なコーティングには、特に、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、アクリル樹脂、アミド樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、その他当業者に公知の各種コーティングがある。コーティングに関する付加的な概説は、例えば、D.H. Solomon著,The Chemistry of Organic Film Formers,Robert E. Krieger Publishing社(米国11743ニューヨーク州ハンティントン)(1977)に見出すことができる。コーティング36についてのほぼ唯一の要件は、工具コア34に十分に密着し、工具コア34の作用面に悪影響を及ぼさず、非導電性を有し、電気メッキ処理に耐えてその性状を維持できることである。
図7は第二処理段階を示し、好ましくはレーザービーム38を用いての、コーティング36の選択的除去によって工具コア34の作用面にパターンを形成する。他の除去手段(例えば、機械的研削、電子ビームなど)も確かに実施可能であるが、コーティング36に複雑なパターンや非常に細かいパターンを形成する際の正確さの点でレーザー(例えば、YAG、CO2その他の工業用レーザー)の使用が好ましい。コーティング36にパターンを選択的に形成するのにレーザービームを使用することのもう一つの利点は、作用面のジオメトリーとは無関係にかかるパターンを形成できることである。すなわち、レーザービーム38は、工具コア34の平坦な作用面にパターンを形成する場合と同程度の精度で丸み部12(図3)、丸み部18(図4)及びリッジ24〜30(図5)にパターンを形成できる。砥粒1個を収容するのに適したサイズのパターンも可能である。レーザービーム38のコンピューター制御又は数値制御で、コーティング36での精密なパターン形成を容易に実施できることは、当業者には自明であろう。
除去すべきコーティング36の量(深さ)は、砥粒を工具コア34の作用面に電気メッキ又は無電解メッキできるのに十分なものである。コーティング36の除去が不完全であっても、十分に許容し得ることもある。
図8は、コーティング36が除去及び/又はその厚さが砥粒の電気メッキが実施できる程度に十分に低減されたパターン化領域において、工具コア34に砥粒40〜44を電気メッキする段階を示す。電気メッキは公知の技術であり、電解液のメッキ浴、金属陽極及び砥粒を形成する。加工物(例えば、工具コア34)が陰極としての役目を果たす。金属陽極(例えば、Ni)はメッキ浴に溶解する。すると、対応金属陽イオンが工具コア34の露出面に電着して工具コアと直接接した砥粒を付着させ、所定の金属層(例えば、Ni)を形成する。導電性のない加工物については、当技術分野で公知の通り、電気メッキ又は無電解メッキで被覆すべき表面に導電性コーティングを設ければよい。一般的な電気メッキ条件は、Robert Brugger著,Nickel Plating a Comprehensive Review of Theory, Practice and Applications Including Cobalt Plating,Robert Draper社(英国テディントン)(1970)に記載されている。
このメッキ技術を用いて工具コア34の作用面の露出パターン領域に砥粒をメッキすることによって、砥粒の単層粒子の数を決定できる。すなわち、パターン領域が十分に小さく砥粒を1個しか収容できなければ、砥粒1個を電気メッキ又は無電解メッキすることができる。これはあらゆる工具ジオメトリーに適用可能である。実際、上述のプロセス段階は何回も実施できる。砥粒及び金属で既に電気メッキ又は無電解メッキした領域を被覆し、他の領域をレーザービーム38でエッチングすればよい。砥粒及び金属で既に電気メッキ又は無電解メッキした領域を2回以上被覆することもできる。これらの反復プロセス段階の各々で、砥粒のサイズ、種類又は品質、集中度などを変化させてもよい。
最終段階として、図9はコーティング36の残りの領域を除去する段階を例示する。このコーティング除去段階は、美観上の理由、或いは結晶を所定レベルまでさらに埋め込む第二メッキ段階のために実施される。ただし、コーティングの存在は時として工具コア34の性能を損なうことがある。大抵の場合、コーティング36の化学的溶解が本発明の除去方法として実施される。
図10は、レーザービーム処理で塗膜を除去した領域を有する被覆工具の作用面を示す顕微鏡写真(倍率200×)である。コーティングの完全性が損なわれていることが明らかである。図11は、工具作用面のレーザービーム処理位置にメッキした砥粒結晶を示す顕微鏡写真(倍率300×)である。砥粒は意図した位置に正確に付着していた。これは図12(倍率100×)にもっと明瞭に示されており、3箇所のポケット又はクラスター又は精密に制御された配置の砥粒が工具作用面にメッキされているのが分かる。
かかる精密に制御された砥粒の配置は数々の利点を有する。これは図13を参照すれば明らかであり、本発明に従って正確な規則的配列の砥粒を付着させた工具の概略上面図である。各々の砥粒又は砥粒クラスター(例えば、代表的な結晶46)は、工具48の作用面に砥粒を電気メッキする前に決定された規則的配置に位置する。
使用に際しては、工具48は矢印50で示す方向に速度Vcで運動する。図14は、矢印50の方向に速度Vcで運動する工具48の概略側面図である。代表的な砥粒46は切屑52を除去し、砥粒54は切屑56を除去し、砥粒58は切屑60を除去することが分かる。本発明の一実施形態では、各々の砥粒46、54及び58は工具48の作用面に等間隔で配置されるので、切屑52、56及び60の平均厚さはほぼ同じはずであり、メッキ研削工具を用いる現行の技術に比べて切削性能の向上が期待される。
図15は、本発明に従って規則的な配置の砥粒(例えば、結晶64及び66)を有するホイール62の概略上面図である。図15の結晶64及び66のサイズは、各位置での砥粒の大きさ又は砥粒集中度の高さの1以上を図解するものである。最後に、ホイール62は矢印68の方向に半径方向速度Vcで運動する。
ここで、図15のホイール62に関しては以下の関係が成立する。
c↑⇒a↓
集中度↑⇒a↓
式中、aは平均切屑厚さである。
換言すれば、ホイール62の半径方向速度の増加に伴って、切屑の厚さaは減少する。同様に、砥粒の(単位面積当たりの)集中度の増加に伴って、切屑の厚さaはやはり減少する。従来のメッキ研削ホイールを用いた研削に比べ、本発明に従って製造したホイールを使用すると切屑の厚さ及び均一性の制御に優れる。
本発明に特有な点は、工具の作用面に砥粒のパターンを正確かつ規則的に形成できることである。これは図16及び図17を参照すれば分かる。図16では、工具作用面70は丸みを帯びた屈曲部を呈しているが、その周囲に砥粒72〜82が配置されている。丸み部又は屈曲部に配置された結晶76及び78は、工具作用面70の平坦部に配置された他の結晶よりもサイズが大きい。当然、図16に示す結晶の数及びサイズは代表的なものにすぎないが、粒子のサイズ、種類及び配置を制御できることが十分に例示されている。
二段階プロセスを用いると、図16に示すように、大きい結晶76及び78を正確に配置することで工具の所定の領域を強化することができる。図17は、工具84の切削リッジ付近の高密度の結晶を示すことで本発明の能力を例示する。単なる例示にすぎないが、リッジの位置する結晶群86の密度が平坦部の結晶群88の密度よりも高いことが認められよう。
作用面の所定の領域(又は作用面全体)を接着剤(つまり、金属メッキが行われるまで砥粒を少なくとも一時的に作用面に結合する材料)で被覆する別の実施形態によって、同じ砥粒コート作用面を得ることができることは当業者には自明であろう。接着剤は、例えば、上記に列挙したコーティングに処方し得る樹脂の群から処方できる。次に、砥粒の不要な領域を例えばレーザビームでエッチングする。所望の砥粒を次いで残った接着剤で作用面に付着させればよい。いうまでもなく、この技術を複数回実施すれば、作用面に正確に配置される砥粒の品質、種類及びサイズを制御できる。所望の砥粒がすべて作用面に付着したら、金属メッキ処理が最終段階となる。
適当な砥粒には、特に、合成及び天然ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、ウルツ鉱型窒化ホウ素、炭化ケイ素、炭化タングステン、炭化チタン、アルミナ、サファイア、ジルコニア、これらの組合せなどの材料がある。かかる砥粒は、例えば高融点金属酸化物(チタニア、ジルコニア、アルミナ、シリカ)でコートしてもよい(例えば、米国特許第4951427号及び同第5104422号参照。)。かかるコーティングの加工法には、砥粒表面への元素態金属(Ti、Zr、Al)の堆積後、適当な温度で試料を酸化して金属を酸化物に転化させるものがある。追加のコーティングには、高融点金属(Ti、Zr、W)及び他の金属(Ni、Cu、Al、Cr、Sn)がある。
例えば、研削エレメント、ポリッシングエレメント、切削エレメント、ドリリングエレメント、金属工具、ビトリファイドボンド工具、レジンボンド工具(フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリアミド及びポリイミド)などを始めとする多種多様な工具に本発明を適用することができる。非導電性の工具は、砥粒で電気メッキ被覆すべき作用面に導電性金属をコーティングすればよい。別法として、(少なくとも作用面の)ボンドに導電性粒子を配合すれば、非導電性工具の電気メッキ被覆が可能となる。
本発明の一実施形態では、メッキ浴の苛酷さ及び製造プロセス時の工具の取扱いに耐えるべく、コーティングは酸と塩基に耐性を有し、電気メッキに用いられる高温で安定で、工具の取扱いに十分な工具作用面との密着性示す。かかる塗膜に適したものには、例えば、上述のエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ビニル樹脂、ポリウレタン、アミン−ホルムアルデヒド樹脂、アミド−ホルムアルデヒド樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ポリアミド樹脂、ワックス、シリコーン樹脂などがある。現時点では、エポキシ樹脂が好ましい。
以上、好ましい実施形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明の技術的範囲から逸脱せずに様々な変更を行うことができ、その要素を均等物で置換し得ることは当業者には自明であろう。さらに、本発明の教示内容に特定の状況又は材料を適合させるため、本発明の本質的な技術的範囲から逸脱せずに数多くの修正を行うことができる。したがって、本発明は、本発明を実施するための最良の形態として開示した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に属するあらゆる実施形態を包含する。本願では、特記しない限り、単位はすべてメートル法に基づくもので、量及び百分率はすべて重量基準である。また、本明細書中で引用した文献の開示内容は援用によって本明細書の内容の一部をなす。
スチールコア研削ホイールにニッケルメッキした120/140メッシュ砥粒の顕微鏡写真(倍率100×)であり、ホイール製造の先行技術を例示する。 スチールコア研削ホイールにニッケルメッキした40/50メッシュ砥粒の顕微鏡写真(倍率50×)であり、ホイール製造の先行技術を例示する。 通常の研削ホイール形状の簡略側面図であり、砥粒での被覆を要する複雑なジオメトリーを示す。 通常の研削ホイール形状の簡略側面図であり、砥粒での被覆を要する複雑なジオメトリーを示す。 通常の研削ホイール形状の簡略側面図であり、砥粒での被覆を要する複雑なジオメトリーを示す。 砥粒配置が精密に制御された砥粒工具の製造に用いられるプロセス段階の略図である。 砥粒配置が精密に制御された砥粒工具の製造に用いられるプロセス段階の略図である。 砥粒配置が精密に制御された砥粒工具の製造に用いられるプロセス段階の略図である。 砥粒配置が精密に制御された砥粒工具の製造に用いられるプロセス段階の略図である。 レーザービーム処理で除去された塗膜領域を有する被覆工具の作用面を示す顕微鏡写真(倍率200×)である。 レーザービーム処理位置の工具作用面に砥粒1個をメッキしたものを示す顕微鏡写真(倍率300×)である。 3箇所のポケット又はクラスターを示す顕微鏡写真(倍率100×)であり、所定の数の砥粒が精密に制御された配置で工具作用面にメッキされているのが分かる。 本発明に従って砥粒を規則的配置で付着させた工具の概略上面図である。 規則的配置の砥粒を有するホイールの使用によって工具が工作物から略同じ大きさの切屑を取り除くことを表す概略側面図である。 本発明に従って砥粒を規則的配置で付着させたホイールの概略上面図であり、半径方向ホイール速度と切屑厚さの関係を示す。 工具の拡大概略側面図であり、砥粒のサイズ、集中度及び種類によって強化した輪郭セグメントを示す。 工具の拡大概略側面図であり、砥粒のサイズ、集中度及び種類によって強化した輪郭セグメントを示す。
符号の説明
10 研削ホイール
12 丸み部
14 砥粒層
34 工具コア
36 非導電性コーティング
38 レーザービーム
40 砥粒
42 砥粒
44 砥粒

Claims (14)

  1. 丸み部またはうね形状部を含む非平面部を有する作用面上に砥粒を金属メッキにより付着させてなる工具を製造する方法であって、
    (a)前記作用面に非導電層を形成する工程と、
    (b)前記作用面に形成された非導電層をコンピュータによる数値制御によりレーザーエッチングして選択的に除去することにより、前記非導電層の一部が除去されて作用面が露出してなる砥粒配置パターンを形成する工程と、
    (c)前記作用面を前記砥粒配置パターンを介して金属メッキすることにより、前記作用面が露出した部分に前記砥粒を付着させる工程と、
    (d)前記作用面から非導電層を除去する工程と、
    (e)前記工程(a)〜(d)を前記作用面上の砥粒付着部分と異なる部分において1若しくはそれ以上繰り返し、前記作用面にわたって前記砥粒のサイズ、種類、品質、又は密度の1若しくはそれ以上を変化させる工程と
    を有する方法。
  2. 前記砥粒が合成ダイヤモンド、天然ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、ウルツ鉱型窒化ホウ素、炭化ケイ素、炭化タングステン、炭化チタン、アルミナ、サファイア又はジルコニアの1若しくはそれ以上である、請求項1記載の方法。
  3. 前記砥粒が金属又は金属酸化物の1若しくはそれ以上で被覆される、請求項1記載の方法。
  4. 前記金属がTi、Zr、Cr、Co、Si、W、Ni、Cu、Sn又はAlの1若しくはそれ以上である、請求項記載の方法。
  5. 前記非導電層が、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ビニル樹脂、ポリウレタン、アミン−ホルムアルデヒド樹脂、アミド−ホルムアルデヒド樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ワックス、シリコーン樹脂又はポリアミド樹脂の1若しくはそれ以上から形成されるものである、請求項1記載の方法。
  6. 前記メッキが電気メッキ条件又は無電解メッキ条件の1若しくはそれ以上の条件下で実施されるものである、請求項1記載の方法。
  7. 前記砥粒工具が研削エレメント、ポリッシングエレメント、切削エレメント又はドリリングエレメントの1若しくはそれ以上である、請求項1記載の方法。
  8. 丸み部またはうね形状部を含む非平面部を有する作用面上に砥粒を金属メッキにより付着させてなる工具であって、この工具は、
    (a)前記作用面に非導電層を形成する工程と、
    (b)前記作用面に形成された非導電層をコンピュータによる数値制御によりレーザーエッチングして選択的に除去することにより、前記非導電層の一部が除去されて作用面が露出してなる砥粒配置パターンを形成する工程と、
    (c)前記作用面を前記砥粒配置パターンを介して金属メッキすることにより、前記作用面が露出した部分に前記砥粒を付着させる工程と、
    (d)前記作用面から非導電層を除去する工程と、
    前記工程(a)〜(d)を前記作用面上の砥粒付着部分と異なる部分において1若しくはそれ以上繰り返し、前記作用面にわたって前記砥粒のサイズ、種類、品質、又は密度の1若しくはそれ以上を変化させる工程と
    を有する方法によって製造されるものである、
    工具。
  9. 前記砥粒が合成ダイヤモンド、天然ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、ウルツ鉱型窒化ホウ素、炭化ケイ素、炭化タングステン、炭化チタン、アルミナ、サファイア又はジルコニアの1若しくはそれ以上である、請求項8記載の工具。
  10. 前記砥粒が金属又は金属酸化物の1若しくはそれ以上で被覆される、請求項8記載の工具。
  11. 前記金属がTi、Zr、Cr、Co、Si、W、Ni、Cu、Sn又はAlの1若しくはそれ以上である、請求項10記載の工具。
  12. 前記非導電層が、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ビニル樹脂、ポリウレタン、アミン−ホルムアルデヒド樹脂、アミド−ホルムアルデヒド樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ワックス、シリコーン樹脂又はポリアミド樹脂の1若しくはそれ以上から形成されるものである、請求項8記載の工具。
  13. 前記メッキが電気メッキ条件又は無電解メッキ条件の1若しくはそれ以上の条件下で実施されるものである、請求項8記載の工具。
  14. 前記工具が研削エレメント、ポリッシングエレメント、切削エレメント又はドリリングエレメントの1若しくはそれ以上である、請求項8記載の工具。
JP2003168572A 2002-06-14 2003-06-13 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法 Expired - Fee Related JP4605997B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/172,034 US6811579B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Abrasive tools with precisely controlled abrasive array and method of fabrication

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009225663A Division JP4664428B2 (ja) 2002-06-14 2009-09-30 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004130499A JP2004130499A (ja) 2004-04-30
JP4605997B2 true JP4605997B2 (ja) 2011-01-05

Family

ID=29583882

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003168572A Expired - Fee Related JP4605997B2 (ja) 2002-06-14 2003-06-13 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法
JP2009225663A Expired - Fee Related JP4664428B2 (ja) 2002-06-14 2009-09-30 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009225663A Expired - Fee Related JP4664428B2 (ja) 2002-06-14 2009-09-30 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6811579B1 (ja)
EP (1) EP1371451B1 (ja)
JP (2) JP4605997B2 (ja)
KR (1) KR20030096083A (ja)
DE (1) DE60307543T2 (ja)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITMC20070237A1 (it) * 2007-12-12 2009-06-13 Ghines Srl Utensile abrasivo perfezionato.
US8142532B2 (en) * 2008-12-17 2012-03-27 3M Innovative Properties Company Shaped abrasive particles with an opening
US8480772B2 (en) 2009-12-22 2013-07-09 3M Innovative Properties Company Transfer assisted screen printing method of making shaped abrasive particles and the resulting shaped abrasive particles
CN101941186B (zh) * 2010-09-15 2012-05-30 广东奔朗新材料股份有限公司 玻璃用金刚石倒角抛光轮及其制备方法
RU2013135445A (ru) 2010-12-31 2015-02-10 Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк. Абразивное изделие (варианты) и способ его формования
EP2726248B1 (en) 2011-06-30 2019-06-19 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles
CN108262695A (zh) 2011-06-30 2018-07-10 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括氮化硅磨粒的磨料制品
CN102267104A (zh) * 2011-08-05 2011-12-07 南京航空航天大学 含铜固结磨料研磨抛光垫
JP5802336B2 (ja) 2011-09-26 2015-10-28 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド 研磨粒子材料を含む研磨製品、研磨粒子材料を使用する研磨布紙および形成方法
BR112014016159A8 (pt) 2011-12-30 2017-07-04 Saint Gobain Ceramics formação de partículas abrasivas moldadas
EP2797716B1 (en) 2011-12-30 2021-02-17 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
EP3517245B1 (en) 2011-12-30 2023-12-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics Inc. Shaped abrasive particle and method of forming same
US8840696B2 (en) 2012-01-10 2014-09-23 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CA2860755C (en) 2012-01-10 2018-01-30 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same
EP2830829B1 (en) 2012-03-30 2018-01-10 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products having fibrillated fibers
KR20150020199A (ko) 2012-05-23 2015-02-25 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 형상화 연마입자들 및 이의 형성방법
EP2866977B8 (en) 2012-06-29 2023-01-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CN104822494B (zh) 2012-10-15 2017-11-28 圣戈班磨料磨具有限公司 具有特定形状的磨粒以及形成这种粒子的方法
JP2016503731A (ja) 2012-12-31 2016-02-08 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド 粒子材料およびその形成方法
CA2907372C (en) 2013-03-29 2017-12-12 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
TW201502263A (zh) 2013-06-28 2015-01-16 Saint Gobain Ceramics 包含成形研磨粒子之研磨物品
WO2015048768A1 (en) 2013-09-30 2015-04-02 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and methods of forming same
JP6290428B2 (ja) 2013-12-31 2018-03-07 サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド 成形研磨粒子を含む研磨物品
US9771507B2 (en) 2014-01-31 2017-09-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same
WO2015160854A1 (en) 2014-04-14 2015-10-22 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
JP6484647B2 (ja) 2014-04-14 2019-03-13 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド 成形研磨粒子を含む研磨物品
US9902045B2 (en) 2014-05-30 2018-02-27 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles
CN104440609B (zh) * 2014-12-04 2017-09-26 中国铁道科学研究院 一种用于制造道岔打磨砂轮的组合物及其制备方法和用途
US9914864B2 (en) 2014-12-23 2018-03-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and method of forming same
US9707529B2 (en) 2014-12-23 2017-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
US9676981B2 (en) 2014-12-24 2017-06-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle fractions and method of forming same
WO2016161157A1 (en) 2015-03-31 2016-10-06 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
TWI634200B (zh) 2015-03-31 2018-09-01 聖高拜磨料有限公司 固定磨料物品及其形成方法
CA3118239A1 (en) 2015-06-11 2016-12-15 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
CN105171626B (zh) * 2015-06-17 2016-08-17 陈爱民 一种磨轮及应用该磨轮的抛光工艺
US20170335155A1 (en) 2016-05-10 2017-11-23 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles and methods of forming same
CN109415615A (zh) 2016-05-10 2019-03-01 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料颗粒及其形成方法
EP4349896A3 (en) 2016-09-29 2024-06-12 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
US10563105B2 (en) 2017-01-31 2020-02-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10759024B2 (en) 2017-01-31 2020-09-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
CN110719946B (zh) 2017-06-21 2022-07-15 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 颗粒材料及其形成方法
EP4081609A4 (en) 2019-12-27 2024-06-05 Saint-Gobain Ceramics & Plastics Inc. ABRASIVE ARTICLES AND THEIR FORMATION PROCESSES
KR20220116556A (ko) 2019-12-27 2022-08-23 세인트-고바인 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인크. 연마 물품 및 이의 형성 방법
KR102471840B1 (ko) * 2022-04-21 2022-11-30 오롯테크주식회사 치과 보철물용 건식 샌드 블라스팅 연마재 및 그 제조방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217064A (ja) * 1984-04-12 1985-10-30 Komatsu Ltd メタルボンド砥石の製造法
JPH06114741A (ja) * 1992-10-01 1994-04-26 Komatsu Ltd 電着方法
JPH09117865A (ja) * 1995-10-25 1997-05-06 Noritake Dia Kk 電着砥石及びその製造方法
JPH11254331A (ja) * 1998-03-06 1999-09-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 研削砥石およびその製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6076965A (ja) * 1983-09-30 1985-05-01 Komatsu Ltd 砥石の製造法
JPS6430161U (ja) * 1987-08-11 1989-02-23
JP3076896B2 (ja) 1995-08-29 2000-08-14 株式会社利根 電着ダイヤモンドカッター、および、その製造方法
WO1998014307A1 (fr) 1996-09-30 1998-04-09 Osaka Diamond Industrial Co. Outil superabrasif et son procede de fabrication
JPH10329030A (ja) 1997-05-27 1998-12-15 Oudenshiya:Kk 薄刃砥石の製造方法
ATE299782T1 (de) 2000-11-22 2005-08-15 Listemann Ag Werkstoff Und Wae Verfahren zum herstellen von abrasiven werkzeugen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217064A (ja) * 1984-04-12 1985-10-30 Komatsu Ltd メタルボンド砥石の製造法
JPH06114741A (ja) * 1992-10-01 1994-04-26 Komatsu Ltd 電着方法
JPH09117865A (ja) * 1995-10-25 1997-05-06 Noritake Dia Kk 電着砥石及びその製造方法
JPH11254331A (ja) * 1998-03-06 1999-09-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 研削砥石およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE60307543D1 (de) 2006-09-28
DE60307543T2 (de) 2007-08-09
JP2010076091A (ja) 2010-04-08
JP2004130499A (ja) 2004-04-30
US6811579B1 (en) 2004-11-02
EP1371451B1 (en) 2006-08-16
JP4664428B2 (ja) 2011-04-06
KR20030096083A (ko) 2003-12-24
EP1371451A1 (en) 2003-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4605997B2 (ja) 砥粒の配置が精密に制御された砥粒工具及び製造方法
JP3782108B2 (ja) 超砥粒電着切れ刃およびその製法
CA2540733C (en) Abrasive tools made with a self-avoiding abrasive grain array
EP0732175B1 (en) Abrasive product and method for making
US20080053000A1 (en) Extended life abrasive article and method
WO2001026862A1 (en) Conditioner for polishing pad and method for manufacturing the same
EP2438609A2 (en) Corrosion-resistant cmp conditioning tools and methods for making and using same
WO2007120224A2 (en) Electroplated abrasive tools, methods, and molds
KR20020070897A (ko) 초연마입자공구 및 그 제조방법
EP1606085A2 (en) High precision multi-grit slicing blade
JP5066508B2 (ja) 固定砥粒ワイヤーソー
EP1779971A1 (en) Pad conditioner for conditioning a CMP pad and method of making such a pad conditioner
JP4711025B2 (ja) 薄刃砥石及びその製造方法
CN113199400A (zh) 一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法
JP2007203443A (ja) 電着砥石の製造方法及びこの方法により製造される電着砥石
JP3854603B2 (ja) 電着薄刃工具
JPH03208560A (ja) 人工砥石
US20080250722A1 (en) Electroplated abrasive tools, methods, and molds
US20120028553A1 (en) Flexible abrasive grinding apparatus and related methods
JP2005205587A (ja) 電着薄刃工具の製造方法
JPH0354180A (ja) ダイヤモンド被覆焼結体の製造法
JP4494590B2 (ja) 薄刃ブレードの製造方法
JP4896114B2 (ja) 電着工具の製造方法
JP5515508B2 (ja) 薄刃砥石及びその製造方法
JP2004268237A (ja) 電着工具の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20040524

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20040625

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060613

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090331

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090630

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090703

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090728

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090731

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090829

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090903

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100413

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100713

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100716

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100731

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100921

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101005

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees