JP4593875B2 - 不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイ及びその製造方法 - Google Patents
不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4593875B2 JP4593875B2 JP2002379865A JP2002379865A JP4593875B2 JP 4593875 B2 JP4593875 B2 JP 4593875B2 JP 2002379865 A JP2002379865 A JP 2002379865A JP 2002379865 A JP2002379865 A JP 2002379865A JP 4593875 B2 JP4593875 B2 JP 4593875B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- gate
- base
- forming
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims description 106
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 46
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 46
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 44
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 23
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 18
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 7
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42324—Gate electrodes for transistors with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は不揮発性メモリ素子及びその製造方法に関するものであり、さらに具体的には、メモリトランジスタと選択トランジスタが直列に接続されたFLOTOX(floating gate tunneling oxide)EEPROM及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、EEPROMセルはEPROM(Erasable programmable read only memory)セルのように浮遊ゲートを有し、浮遊ゲートに電子を注入、または放出することによって、データを貯蔵する。しかし、EEPROMの電子注入及び放出方式は非常に異なる方法を採択している。
【0003】
EPROMではHCI(Hot carrier injection)によりフローティングゲートに電子が注入され、フローティングゲートに照射される紫外線のエネルギーによりフローティングゲートから電子が放出される。これに比べて、EEPROMで、フローティングゲートへの電子の注入及び放出は薄いトンネル絶縁膜を通じて発生するトンネリングを使用する。すなわち、トンネル酸化膜の両端に10MeV/cm内外の高電界を印加すると、トンネル絶縁膜を通じて電流が流れるようになり、これをFNトンネリング(Folow−Nordheim tunneling)という。EEPROMでの電子の注入及び放出は上述のFNトンネリングを利用する。
【0004】
EEPROMメモリのうちで、特に、FLOTOX型のメモリは直列に連結された二つのトランジスタ、すなわち、セルを選択するための選択トランジスタと、データを貯蔵するメモリトランジスタが一つのメモリセルを構成する。メモリトランジスタは電荷を貯蔵する浮遊ゲートとメモリトランジスタを制御するための制御ゲート電極及びこれら間に介在されたゲート層間誘電膜で構成される。
【0005】
図1乃至図3は従来の不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【0006】
図1を参照すると、半導体基板100上にゲート絶縁膜102を形成し、前記半導体基板100の所定の領域内にチャネル拡散層110を形成する。図示しないが、前記ゲート絶縁膜102を形成する前に、前記半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成して活性領域を限定する。前記ゲート絶縁膜102は前記活性領域の上部に形成される。前記ゲート絶縁膜102の一部を除去して前記チャネル拡散層110の所定の領域を露出させる。前記露出された領域にトンネル絶縁膜118を形成する。すなわち、前記トンネル絶縁膜118は前記チャネル拡散層110の上部に位置する。前記半導体基板100の全面に下部導電膜及び誘電膜を順次に形成し、パターニングして前記チャネル拡散層110を覆う浮遊ゲートパターン120a及び前記浮遊ゲートパターン120aから所定の間隔離隔された下部選択ゲートパターン120bを形成する。前記浮遊ゲートパターン120aの上部にゲート層間誘電膜122aが形成され、前記下部選択ゲートパターン120bの上部に層間誘電膜パターン122bが形成される。
【0007】
図2を参照すると、前記結果物に熱処理工程を施して前記浮遊ゲートパターン120a及び前記下部選択ゲートパターン120bの側壁に側壁絶縁膜124を形成する。続けて、前記側壁絶縁膜124が形成された結果物の全面に上部導電膜126を形成する。
【0008】
図3を参照すると、前記上部導電膜126をパターニングして前記ゲート層間誘電膜122a上に制御ゲート電極126aを形成すると同時に、前記層間誘電膜パターン122bの上部に上部選択ゲート126bを形成する。
【0009】
図示しないが、上述とは異なり、前記下部導電膜、前記誘電膜及び前記上部導電膜を全部形成した後に、前記上部導電膜、前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングして制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極に自己整列されたゲート層間誘電膜及び浮遊ゲートパターンを形成すると同時に、上部選択ゲート及び前記上部選択ゲートに自己整列された層間誘電膜パターン及び下部選択ゲートパターンを形成することもできる。
【0010】
前記浮遊ゲートパターン120a,前記ゲート層間誘電膜122a及び前記制御ゲート電極126aはメモリトランジスタのゲートパターンを構成し、前記下部選択トランジスタ120b、前記層間誘電膜パターン122b及び前記上部選択ゲート126bは選択トランジスタのゲートパターンを構成する。
【0011】
次に、前記メモリゲートパターン及び前記選択ゲートパターンの間の半導体基板内に不純物を注入して前記チャネル拡散層110を含むチャネル領域110aを形成し、前記メモリゲートパターン及び前記選択ゲートパターンの前記チャネル領域110aの反対側に隣接した半導体基板内に各々ソース領域108及びドレイン領域112を形成する。
【0012】
図4は従来の不揮発性メモリ素子の問題点を説明するための断面図である。
【0013】
図4を参照すると、一般的に、選択トランジスタとメモリトランジスタで構成されたメモリセルを有するFLOTOX型不揮発性メモリ素子のセルアレイは隣り合うメモリセルが互いに対称的に配置される。すなわち、各メモリセルは一側に隣接したメモリセルとソース領域を共有し、他の側に隣接したメモリセルとドレイン領域を共有する。したがって、前記浮遊ゲートパターン120a及び前記下部選択ゲートパターン120bが誤整列(mis−align)されて形成されたときには、セルアレイで前記ソース領域108と前記チャネル領域110aとの間の間隔が一定にならない。これはメモリトランジスタのしきい値電圧のばらつきを増加させる結果をもたらす。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、メモリセルのチャネル領域及びソース領域の間の間隔が一定な不揮発性メモリ素子及びその製造方法を提供することにある。
【0015】
本発明の他の課題は、セルアレイを構成するメモリトランジスタのしきい値電圧のばらつきが小さい不揮発性メモリ素子及びその製造方法を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上述の技術的課題はメモリトランジスタ及び選択トランジスタが直列に連結されたFLOTOX型不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイ及びその製造方法により提供されることができる。この素子は、半導体基板上に所定の間隔離隔されて配置された第1基底パターン及び第2基底パターンと、前記第1、第2基底パターンの間の半導体基板内に形成されたチャネル領域を含む。前記第1基底パターンの前記チャネル領域の反対側に隣接した半導体基板内に形成されたソース領域と、前記第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側に隣接した半導体基板内に形成されたドレイン領域が存在する。前記第1基底パターン上部をメモリゲートが覆い、前記メモリゲートは前記第1基底パターンの上部から拡張されて前記チャネル領域の所定の領域の上部を覆う。前記メモリゲート及び前記チャネル領域の間にトンネル酸化膜が介在される。選択ゲートが前記第2基底パターンを覆う。隣接する前記不揮発性メモリ素子は、前記ソース領域を共有する、前記ソース領域と前記チャネル領域との間の距離は、隣接する前記不揮発性メモリ素子同士でそれぞれ同じ距離である。
【0017】
本発明の一実施形態で、前記メモリゲートは、前記第1基底パターン及び前記チャネル領域の所定の領域の上部を覆う浮遊ゲートパターンと、前記浮遊ゲートパターンの上部の制御ゲート電極を含むことができる。前記制御ゲート電極及び前記浮遊ゲートパターンの間にゲート層間誘電膜が介在される。また、前記選択ゲートは、前記第2基底パターンの上部に順次に積層された下部選択ゲートパターン、層間絶縁膜及び上部選択ゲートを含むことができる。この場合に、前記上部選択ゲート及び前記下部選択ゲートパターンは前記層間絶縁膜を貫通して互いに電気的に接続されることができる。
【0018】
この隣接する2つの不揮発性メモリ素子を含むメモリセルアレイの製造方法は、半導体基板上に所定の間隔離隔された第1基底パターン及び第2基底パターンを形成する段階を含む。所定の間隔離隔された2つの第2基底パターンと、前記2つの第2基底パターンの間に所定の間隔離隔された2つの第1基底パターンと、を半導体基板上に形成する。前記2つの第1基底パターンと前記2つの第2基底パターンとをイオン注入マスクとして使用し前記半導体基板内に不純物を注入して、隣接する前記第1基底パターン間にソース領域と、前記第1基底パターンと前記第2基底パターン間にチャネル領域と、前記第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側にドレイン領域と、を形成する。前記チャネル領域の所定の領域の上部にトンネル酸化膜を形成し、前記第1基底パターン及び前記トンネル酸化膜を覆うメモリゲートを形成する。また、前記第2基底パターンを覆う選択ゲートパターンを形成する。前記ソース領域は前記隣接する2つの不揮発性メモリ素子がそれぞれ共有し、前記第1基底パターンと前記第2基底パターンとの間の距離は等しい。前記メモリゲートは順次に積層された浮遊ゲートパターン、ゲート層間誘電膜及び制御ゲート電極を含む。前記浮遊ゲートパターンは前記第1基底パターン及び前記トンネル酸化膜を覆い、前記制御ゲート電極は前記浮遊ゲートの上部に位置する。前記ゲート層間絶縁膜が前記制御ゲート電極と浮遊ゲートパターンとの間に介在される。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図を参照して、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明はここで説明する実施形態に限定されず、他の形態で具体化させることもできる。むしろ、ここで紹介する実施形態は開示された内容が完全に理解されるように、そして当業者に本発明の思想が十分に伝達されるように提供されるものである。図面において、層及び領域の厚さは明確性のために誇張されるものである。また、層が他の層、または基板“上”にあると言及される場合に、それは他の層、または基板上に直接形成されることができるもの、またはそれらの間に第3の層が介在させることができるものである。明細書の全体にわたって同一の参照番号で表示される部分は同一の構成要素を示す。
【0020】
図5及び図6は本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の平面図及び斜視図を示す図面である。
【0021】
図5及び図6を参照すると、本発明による不揮発性メモリ素子は半導体基板の所定の領域に素子分離膜が配置されて活性領域を限定する。前記活性領域の上部をメモリゲートパターン及び選択トランジスタパターンが並んで横切る。前記メモリゲートは前記活性領域の上部を横切る制御ゲート電極220a及び前記制御ゲート電極226a及び前記活性領域の間に介在された浮遊ゲートパターン220aを含む。前記メモリゲートは前記浮遊ゲートパターン220a及び前記制御ゲートパターン226aの間にゲート層間誘電膜222aをさらに含む。前記浮遊ゲートパターン220a及び前記活性領域の間に第1基底パターン204aが介在される。
【0022】
前記選択ゲートパターンは順次に積層されて前記活性領域を横切る下部選択ゲートパターン204b、層間絶縁膜パターン222b及び上部選択ゲート220bを含む。前記下部選択ゲートパターン204bの下部に前記下部選択ゲートパターン204bと並んで前記活性領域を横切る第2基底パターン204bが位置する。前記第1基底パターン204a及び前記第2基底パターン204bの間の前記活性領域上にトンネル絶縁膜218が存在し、前記浮遊ゲートパターン220aは前記第1基底パターン204aの上部から拡張されて前記トンネル絶縁膜218の上部をさらに覆う。前記トンネル絶縁膜218を囲む前記活性領域上に前記トンネル絶縁膜218より厚いゲート絶縁膜202が存在する。前記ゲート絶縁膜202は前記第1及び第2基底パターン204a、204bと前記活性領域との間と、前記浮遊ゲートパターン220aと前記活性領域との間と、前記下部選択ゲートパターン220bと前記活性領域との間に介在されることができる。前記第1及び第2基底パターン204a、204bの間の活性領域内にチャネル領域が存在する。また、前記第1基底パターン204aの前記チャネル領域の反対側に隣接した活性領域内にソース領域208が存在し、前記第2基底パターン204bの前記チャネル領域の反対側に隣接した活性領域内にドレイン領域212が存在する。
【0023】
本発明の1実施形態で、前記メモリゲートを横切る断面で示すと、前記浮遊ゲートパターン220aの幅は前記制御ゲート電極226aの幅より広い。また、前記選択ゲートパターンを横切る断面で示すと、前記下部選択ゲートパターン220bの幅は前記上部選択ゲートパターン226bの幅より広い。前記ソース領域208は前記素子分離膜Foxを横切って隣り合うソース領域と接続される。望ましくは、前記ソース領域208の間の前記素子分離膜Foxは切断されて前記活性領域が連結され、前記連結された活性領域内にソース領域208を存在させることができる。前記浮遊ゲートパターン220a、前記ゲート層間絶縁膜222a及び前記制御ゲート電極226aはメモリゲートを構成する。また、前記下部選択ゲートパターン220b、層間絶縁膜パターン222b及び上部選択ゲートパターン226bは選択ゲートを構成する。
【0024】
図7乃至図20、図22は図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【0025】
図23は図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態の変形例を説明するための工程断面図である。
【0026】
図8乃至図21は図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【0027】
図7及び図8を参照すると、半導体基板200の所定の領域に素子分離膜Foxを形成して活性領域を限定する。前記結果物の全面にゲート絶縁膜202、基底導電膜(base conductive layer:204)、及び上部絶縁膜206を順次に形成する。前記基底導電膜204はポリシリコン膜で形成することが望ましい。前記上部絶縁膜206は前記基底導電膜204及び前記ゲート絶縁膜202とエッチング選択比を有する絶縁膜として、例えば、シリコン窒化膜で形成することが望ましい。
【0028】
図9及び図10を参照すると、前記上部絶縁膜206及び前記基底導電膜204を順次にパターニングして前記活性領域の上部を覆う第1基底パターン204aを形成し、前記第1基底パターン204aから離隔されて前記活性領域を横切る第2基底パターン204bを形成する。前記第1及び第2基底パターン204a、204bの各々の上部に上部絶縁膜パターン206aが覆われる。前記第1基底パターン204aは前記活性領域の上部を覆い、そのエッジは延長されて前記素子分離膜Foxの上部に重畳される。前記第1基底パターン204a及び前記第2基底パターン204bで構成されたグループはメモリセルアレイで互いに隣り合って対称的に並んで配置される。前記第1基底パターン204a及び前記第2基底パターン204bの間の活性領域内にチャネル領域210を形成し、前記第1基底パターン204a及び前記第2基底パターン204bの前記チャネル領域210の反対側で、隣接する活性領域内に各々ソース領域208及びドレイン領域212を形成する。前記ソース領域208は前記第1基底パターン204aに隣接し、前記ドレイン領域212は前記第2基底パターン204bに隣接する。前記チャネル領域210、前記ソース領域208及び前記ドレイン領域212は前記第1及び第2基底パターン204a、204b及び前記上部絶縁膜パターン206aをイオン注入マスクとして使用して前記活性領域内に不純物を注入して形成することができる。これによって、前記チャネル領域210、前記ソース領域208及び前記ドレイン領域212は前記第1及び第2基底パターン204a、204bに自己整列されて形成される。
【0029】
前記素子分離膜Foxから隔離されて互いに隣り合う前記ソース領域208は電気的に接続されることが望ましい。このために、前記ソース領域208が形成される領域の間には素子分離膜Foxを形成しないことが望ましい。したがって、前記ソース領域208は前記素子分離膜Foxを横切って隣り合うメモリセルのソース領域と接続された共通ソースラインを形成する。
【0030】
図11及び図12を参照すると、前記順次に積層された第1基底パターン204a及び前記上部絶縁膜パターン206aの側壁に各々第1側壁スペーサ214aを形成し、前記順次に積層された第2基底パターン204bの側壁に各々第2側壁スペーサ214bを形成する。前記第1及び第2側壁スペーサ214a、214bは前記ゲート絶縁膜202とエッチング選択比を有する絶縁膜であることが望ましい。
【0031】
図13及び図14を参照すると、前記第1及び第2側壁スペーサ214a、214bが形成された結果物上にフォトレジストパターン216を形成する。前記フォトレジストパターン216は前記第1及び第2側壁スペーサ214a、214bの間の前記ゲート絶縁膜202の所定の部分を露出させる。前記フォトレジストパターン216をエッチングマスクとして使用して前記ゲート絶縁膜202の所定の部分をエッチングして前記半導体基板200の一部を露出させる。
【0032】
前記露出された領域は少なくとも前記第1基底パターン204a及び前記第2基底パターン204bの間の前記第1側壁スペーサ214aの上部を含むことが望ましい。これによって、前記半導体基板200は前記第1側壁スペーサ214aに自己整列されて露出される。
【0033】
図15及び図16を参照すると、前記フォトレジストパターン216と、前記上部絶縁膜パターン206a及び前記第1、第2側壁スペーサ214aを除去する。次に、前記露出された半導体基板上に前記ゲート絶縁膜202より薄いトンネル絶縁膜218を形成する。例えば、前記半導体基板に熱処理工程を適用して前記露出された半導体基板上に熱酸化膜を形成することによって、前記トンネル絶縁膜218を形成することができる。前記トンネル絶縁膜218が形成された結果物の全面に下部導電膜220及び誘電膜222をコンフォーマルに形成する。前記下部導電膜220はポリシリコン膜で形成することができ、前記誘電膜222はONO膜で形成することができる。
【0034】
図17及び図18を参照すると、前記誘電膜222及び前記下部導電膜220を順次にパターニングして前記第1基底パターン204a及び前記トンネル絶縁膜218の上部を覆う浮遊ゲートパターン220aと、前記浮遊ゲートパターン220aの上部を覆うゲート層間誘電膜222aを形成する。これと共に、前記第2基底パターン204bの上部に前記活性領域を横切る下部選択ゲートパターン220b及び前記下部選択ゲートパターン220bの上部に層間誘電膜パターン222bを形成する。前記第1基底パターン204a及び前記浮遊ゲートパターン220aは不揮発性メモリ素子の浮遊ゲートを構成する。また、前記第2基底パターン204b及び前記下部選択ゲートパターン220bは不揮発性メモリ素子の下部選択ゲートを構成する。この時に、前記チャネル領域210に隣接した前記第1基底パターン204aの側壁は前記浮遊ゲートパターン220aで覆われることが望ましい。また、前記チャネル領域210に隣接した前記第2基底パターン204bの側壁は前記下部選択ゲートパターン220bで覆われることが望ましい。その理由は、前記浮遊ゲートパターン220a及び前記下部選択ゲートパターン220bを形成するためのフォトリソグラフィ工程で誤整列が生じても、チャネル領域210に隣接した前記第1基底パターン204a、または前記第2基底パターン204bのエッジがエッチングされることを防止するためである。
【0035】
次に、前記浮遊ゲート及び前記下部選択ゲートの側壁に側壁絶縁膜224を形成する。前記側壁絶縁膜224は前記浮遊ゲートパターン220a及び前記下部選択ゲートパターン220bの側壁に形成されることが望ましい。しかし、前記第1基底パターン204aの側壁または前記第2基底パターン204bの側壁が露出される場合に、前記側壁絶縁膜224は前記露出された第1基底パターン204aの側壁、または前記露出された第2基底パターン204bの側壁を覆うことができる。すなわち、半導体基板上に形成された導電性を有する構造体は全部絶縁膜で囲まれる。前記側壁絶縁膜224は前記浮遊ゲートパターン220及び前記下部選択ゲートパターン220bが形成された結果物に熱処理工程を適用して形成された熱酸化膜であり得る。図19に示したように、本発明の第1実施形態は前記活性領域上に各々離隔された島形態の浮遊ゲートパターン220を有する。
【0036】
図20及び図21を参照すると、前記側壁絶縁膜224が形成された結果物の全面に上部導電膜を形成する。次に、前記上部導電膜をパターニングして前記浮遊ゲートパターン220aの上部を過ぎ、前記活性領域を横切る制御ゲート電極226a及び前記下部選択ゲートパターン220bの上部に沿って前記活性領域を横切る上部選択ゲート226bを形成する。前記上部導電膜はポリシリコン膜、またはメタルポリサイド膜を形成することが望ましい。この時に、前記制御ゲート電極226aの幅及び前記上部選択ゲート226bの幅は各々前記浮遊ゲートパターン220aの幅及び前記下部選択ゲートパターン220bの幅より狭いことが望ましい。
【0037】
本発明によると、前記浮遊ゲートパターン220aが前記第1基底パターン204aの上部をコンフォーマルに覆い、前記浮遊ゲートパターン220aの上部面は前記第1基底パターン204aの上部では高く、前記トンネル絶縁膜218の上部では低い表面屈曲を有する。したがって、本発明による不揮発性メモリ素子は制限された面積で広い面積を有するゲート層間絶縁膜を有することができる。
【0038】
前記上部導電膜を形成する前に、前記下部選択ゲートパターン220b上の前記層間誘電膜パターン222bの一部を除去することによって、前記上部選択ゲート226b及び前記下部選択ゲートパターン220bを電気的に接続させることができる。
【0039】
図22を参照すると、互いに向き合う浮遊ゲートパターン220aの間の前記ソース領域208に不純物を注入して高濃度ソース領域230を形成し、互いに向き合う下部選択ゲートパターン220bの間の前記ドレイン領域210に不純物を注入して高濃度ドレイン領域228を形成することができる。
【0040】
一方、図23を参照すると、前記高濃度ソース領域230及び前記低濃度ソース領域228を形成せず、前記制御ゲート電極226a及び前記上部選択ゲート226bが形成された結果物の全面に絶縁膜232を形成し、前記絶縁膜232をパターニングして前記ドレイン領域210を露出させるビットラインコンタクトホール234を形成する。続けて、前記絶縁膜232をイオン注入マスクとして使用して前記ビットラインコンタクトホール234に露出されたドレイン領域内に不純物を注入して高濃度ドレイン領域228aを形成することもできる。この時に、図示しないが、前記半導体基板の所定の領域で、前記ソース領域208、前記制御ゲート電極226a及び前記上部選択ゲート226bを各々露出させるコンタクトホールが形成されることができる。
【0041】
図24は本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子を示す平面図である。
【0042】
図25は本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子を示す斜視図である。
【0043】
図24及び図25を参照すると、本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子は上述の第1実施形態と類似である。上述の第1実施形態による不揮発性メモリ素子と異なる点は、浮遊ゲートパターン320a及び下部選択ゲートパターン320bが制御ゲート電極326a及び上部選択ゲートパターン326bに各々自己整列されることである。これによって、前記制御ゲート電極326aを横切る方向の断面で示すと、前記浮遊ゲートパターン320aの幅は前記制御ゲート電極326aの幅と同一であり、前記下部選択ゲートパターン320bの幅は前記上部選択ゲートパターン326bの幅と同一である。
【0044】
具体的に、半導体基板の所定の領域に素子分離膜が配置されて活性領域を限定する。前記活性領域の上部をメモリゲートパターン及び選択トランジスタパターンが並んで横切る。前記メモリゲートは前記活性領域の上部を横切る制御ゲート電極326a及び前記活性領域の間に介在された浮遊ゲートパターン320aを含む。前記メモリゲートは前記浮遊ゲートパターン320a及び前記制御ゲートパターン326aの間にゲート層間誘電膜322aをさらに含む。前記浮遊ゲートパターン320a及び前記活性領域の間に第1基底パターン204が介在される。
【0045】
前記第1及び第2基底パターン204a、204bの間の活性領域内にチャネル領域が存在する。また、前記第1基底パターン204aの前記チャネル領域の反対側に隣接した活性領域内にソース領域208が存在し、前記第2基底パターン204bの前記チャネル領域の反対側に隣接した活性領域内にドレイン領域212が存在する。前記ソース領域208は前記素子分離膜Foxを横切って隣り合うソース領域と接続される。望ましくは、前記ソース領域208の間の前記素子分離膜Foxは切断されて前記活性領域が連結され、前記連結された活性領域内にソース領域208が存在することができる。
【0046】
図26、図29及び図31は図24のIII−III'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【0047】
図27、図30、図24のIV−IV'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【0048】
図26及び図27を参照すると、第1、第2基底パターン204a、下部導電膜320及び誘電膜322を形成する段階までは図7乃至図16、図8乃至図16で上述した第1実施形態と同一に進行することができる。次に、前記誘電膜322及び前記下部導電膜320を順次にパターニングして前記素子分離膜Fox上に孤立したグルーブGを形成する。前記グルーブGの内側壁に側壁絶縁膜324を形成する。
【0049】
図28は前記グルーブが形成された結果物を示す平面図である。
【0050】
図28を参照すると、前記グルーブGは各々第1基底パターン204aの間の素子分離膜Fox及び前記トンネル絶縁膜218の間の素子分離膜Fox上に形成される。第2基底パターン204bを横切る断面で示す時に、前記グルーブGの幅は後続工程で形成される制御ゲート電極(図25の326a)の幅より大きくデザインすることが望ましい。
【0051】
図29及び図30を参照すると、前記側壁絶縁膜324が形成された結果物の全面に上部導電膜326を形成する。前記上部導電膜326及び前記下部導電膜320は前記誘電膜322及び前記側壁絶縁膜324により電気的に絶縁される。
【0052】
これと異なり、図示しないが、前記下部導電膜を形成し、グルーブを形成した後に、前記グルーブが形成された結果物の全面に誘電膜及び上部導電膜を形成することもできる。この場合に、前記下部導電膜及び前記上部導電膜は誘電膜により絶縁されることができる。
【0053】
図31を参照すると、前記上部導電膜326、前記誘電膜322及び前記下部導電膜320を順次にパターニングして前記活性領域を横切る制御ゲート電極326a及び前記制御ゲート電極326aと並んで前記活性領域を横切る上部選択ゲート326bを形成する。前記制御ゲート電極326a及び前記活性領域の間に浮遊ゲートパターン320aが形成される。前記浮遊ゲートパターン320a及び前記制御ゲート電極326aの間にゲート層間誘電膜322aが介在される。また、前記上部選択ゲート326bの下部に前記上部選択ゲート326bに自己整列された下部選択ゲートパターン320bが形成される。前記上部選択ゲートパターン326b及び前記下部選択ゲートパターン320bの間に層間絶縁膜パターン322bが介在される。この時に、前記上部導電膜326を形成する前に、前記誘電膜322の一部を除去して前記半導体基板の所定の領域で、前記上部選択ゲートパターン326b及び前記下部選択ゲートパターン320bを電気的に接続させることができる。
【0054】
前記下部選択ゲートパターン320b及び前記第2基底パターン204bは下部選択ゲートを構成し、前記第1基底パターン204a及び前記浮遊ゲートパターン320aは浮遊ゲートを構成する。
【0055】
また、前記制御ゲート電極326aを横切る断面で示すと、前記制御ゲート電極326aの幅を前記グルーブGの幅より狭くパターニングすることができる。その結果、前記制御ゲート電極326aに自己整列されて形成された前記浮遊ゲートパターン320aは島状の形態を有することができる。
【0056】
次に、上述の第1実施形態のように、前記浮遊ゲートパターン320aの間の前記ソース領域208内に高濃度ソース領域230を形成することができ、前記下部選択ゲートの間の前記ドレイン領域212に高濃度ドレイン領域228を形成することができる。
【0057】
【発明の効果】
上述のように、本発明によると、メモリゲート及び選択ゲートを形成する前に、基底パターンを形成し、前記基底パターンに自己整列されたソース領域、ドレイン領域及びチャネル領域を形成することによって、ゲートの誤整列によりソース領域及びチャネル領域の間の距離が異なってしまうことを防止することができる。これによって、セルアレイで、互いに対称になって繰り返し形成されるメモリセルのしきい値電圧が均一な不揮発性メモリ素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図2】従来の不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図3】従来の不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図4】従来の不揮発性メモリ素子の問題点を説明するための断面図である。
【図5】本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子を示す平面図である。
【図6】本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子を示す斜視図である。
【図7】図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図8】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図9】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図10】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図11】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図12】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図13】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図14】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図15】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図16】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図17】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図18】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図19】本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子を示す平面図である。
【図20】図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図21】図5のII−II'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図22】図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図23】図5のI−I'に沿って切断した本発明の第1実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図24】本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子を示す平面図である。
【図25】本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子を示す斜視図である。
【図26】図24のIII−III'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図27】図24のIV−IV'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図28】本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子を示す工程断面図である。
【図29】図24のIII−III'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図30】図24のIV−IV'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図31】図24のIII−III'に沿って切断した本発明の第2実施形態による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【符号の説明】
100…半導体基板、
204a…第1基底パターン、
204b…第2基底パターン、
208…ソース領域、
210…チャネル領域、
212…ドレイン領域、
218…トンネル絶縁膜。
Claims (28)
- 複数の不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイであって、
前記不揮発性メモリ素子は、
半導体基板上に所定の間隔離隔して配置された第1基底パターン及び第2基底パターンと、
前記第1、第2基底パターンの間の半導体基板内に形成されたチャネル領域と、
前記第1基底パターンの前記チャネル領域の反対側に隣接した半導体基板内に形成されたソース領域と、
前記第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側に隣接した半導体基板内に形成されたドレイン領域と、
前記第1基底パターンの上部を覆い、前記第1基底パターンの上部から前記チャネル領域の所定の領域の上部まで拡張されたメモリゲートと、
前記メモリゲート及び前記チャネル領域の間に介在されたトンネル絶縁膜と、
前記第2基底パターンを覆う選択ゲートと、を含み、
隣接する前記不揮発性メモリ素子は、前記ソース領域を共有し、
前記ソース領域と前記チャネル領域との間の距離は、隣接する前記不揮発性メモリ素子同士でそれぞれ同じ距離であることを特徴とするメモリセルアレイ。 - 前記メモリゲートは、
前記第1基底パターン及び前記チャネル領域の所定の領域の上部を覆う浮遊ゲートパターンと、
前記浮遊ゲートパターンの上部の制御ゲート電極と、
前記制御ゲート電極及び前記浮遊ゲートパターンの間に介在されたゲート層間誘電膜と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のメモリセルアレイ。 - 前記浮遊ゲートパターンの上部面は前記第1基底パターンの上部では高く、前記トンネル絶縁膜の上部では低い表面屈曲を有することを特徴とする請求項2に記載のメモリセルアレイ。
- 前記浮遊ゲートパターン及び前記第1基底パターンは浮遊ゲートを構成し、前記浮遊ゲートの側壁は側壁絶縁膜で覆われることを特徴とする請求項2に記載のメモリセルアレイ。
- 前記選択ゲートは、
前記第2基底パターンの上部に順次に積層された下部選択ゲートパターン、層間絶縁膜パターン及び上部選択ゲートを含み、前記上部選択ゲート及び前記下部選択ゲートパターンは前記層間絶縁膜パターンを貫通して接続されることを特徴とする請求項1に記載のメモリセルアレイ。 - 前記浮遊ゲート及び前記半導体基板の間の前記トンネル酸化膜の周辺と、前記選択ゲート及び前記半導体基板の間と、前記第1及び第2基底パターンと前記半導体基板との間に介在されたゲート絶縁膜をさらに含み、前記ゲート絶縁膜は前記トンネル絶縁膜より厚いことを特徴とする請求項1に記載のメモリセルアレイ。
- 複数の不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイであって、
前記不揮発性メモリ素子は、
半導体基板の所定の領域に配置されて活性領域を限定する素子分離膜と、
前記活性領域の上部を並んで横切るメモリゲート及び選択ゲートと、
前記メモリゲート及び前記活性領域の間に介在された第1基底パターンと、前記選択ゲートの下部に配置されて前記選択ゲートと並んで前記活性領域の上部を横切る第2基底パターンと、
前記第1、第2基底パターンの間の活性領域に形成されたチャネル領域と、
前記第1、第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側に隣接した活性領域内に各々形成されたソース領域及びドレイン領域と、
前記チャネル領域及び前記メモリゲートの間の所定の領域に介在されたトンネル絶縁膜と、を含み、
隣接する前記不揮発性メモリ素子は、前記ソース領域を共有し、
前記ソース領域と前記チャネル領域との間の距離は、隣接する前記不揮発性メモリ素子同士でそれぞれ同じ距離であることを特徴とするメモリセルアレイ。 - 前記メモリゲートは、
前記活性領域を横切る制御ゲート電極と、
前記制御ゲート電極及び前記活性領域の間に介在された浮遊ゲートパターンと、
前記制御ゲート電極及び前記浮遊ゲートパターンの間に介在されたゲート層間誘電膜を含み、前記浮遊ゲートパターンは前記第1基底パターンの上部及び前記チャネル領域の一部を覆うことを特徴とする請求項7に記載のメモリセルアレイ。 - 前記浮遊ゲートパターン及び前記第1基底パターンは浮遊ゲートを構成し、前記ゲート層間誘電膜は前記浮遊ゲートパターンの上部を覆い、前記制御ゲート電極と前記浮遊ゲートの側壁の間に側壁絶縁膜がさらに介在されることを特徴とする請求項8に記載のメモリセルアレイ。
- 前記制御ゲート電極を横切る断面で示すと、前記浮遊ゲートパターンの幅は前記制御ゲート電極の幅より広いことを特徴とする請求項8に記載のメモリセルアレイ。
- 前記浮遊ゲートパターンの上部面は前記第1基底パターンの上部では高く、前記トンネル絶縁膜の上部では低い表面屈曲を有することを特徴とする請求項8に記載のメモリセルアレイ。
- 前記制御ゲート電極を横切る断面で示すと、前記第1基底パターンの両側壁は前記浮遊ゲートパターンで覆われることを特徴とする請求項8に記載のメモリセルアレイ。
- 前記選択ゲートパターンは、
前記第2基底パターンの上部に順次に積層された下部選択ゲートパターン、層間絶縁膜パターン及び上部選択ゲートを含むことを特徴とし、前記下部選択ゲートパターン及び前記上部選択ゲートは前記層間絶縁膜を貫通して接続されることを特徴とする請求項7に記載のメモリセルアレイ。 - 前記選択ゲートを横切る断面で示すと、前記第2基底パターンの両側壁は前記選択ゲートパターンで覆われることを特徴とする請求項13に記載のメモリセルアレイ。
- 隣接する2つの不揮発性メモリ素子を含むメモリセルアレイの製造方法であって、
所定の間隔離隔された2つの第2基底パターンと、前記2つの第2基底パターンの間に所定の間隔離隔された2つの第1基底パターンと、を半導体基板上に形成する段階と、
前記2つの第1基底パターンと前記2つの第2基底パターンとをイオン注入マスクとして使用し前記半導体基板内に不純物を注入して、隣接する前記第1基底パターン間にソース領域と、前記第1基底パターンと前記第2基底パターン間にチャネル領域と、前記第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側にドレイン領域と、を形成する段階と、
前記チャネル領域の所定の領域の上部にトンネル酸化膜を形成する段階と、
前記第1基底パターン及び前記トンネル酸化膜を覆うメモリゲートを形成する段階と、
前記第2基底パターンを覆う選択ゲートを形成する段階と、を含み、
前記ソース領域は前記隣接する2つの不揮発性メモリ素子がそれぞれ共有し、
前記第1基底パターンと前記第2基底パターンとの間の距離は、隣接する前記不揮発性メモリ素子同士でそれぞれ等しいことを特徴とするメモリセルアレイの製造方法。 - 前記第1、第2基底パターンを形成する段階は、
半導体基板上にゲート絶縁膜、基底導電膜及び上部絶縁膜を順次に形成する段階を含み、
前記上部絶縁膜及び前記基底導電膜を順次にパターニングして第1基底パターン及び第2基底パターンを形成し、前記第1及び第2基底パターンの各々の上部に上部絶縁膜パターンが形成されることを特徴とする請求項15に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記トンネル絶縁膜を形成する段階は、
前記第1基底パターン及び上部絶縁膜パターンの側壁を覆う第1側壁スペーサを形成すると同時に、前記第2基底パターン及び上部絶縁膜パターンの側壁を覆う第2側壁スペーサを形成する段階と、
前記第1及び第2基底パターンの間の前記第1側壁スペーサに隣接した前記ゲート絶縁膜の一部を除去して前記半導体基板を露出させる段階と、
前記露出された半導体基板上に前記ゲート絶縁膜より薄いトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記上部絶縁膜パターン及び前記第1、第2側壁スペーサを除去する段階と、を含むことを特徴とする請求項16に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記上部絶縁膜パターン及び前記第1、第2側壁スペーサは前記ゲート絶縁膜及び前記トンネル絶縁膜とエッチング選択比を有する絶縁膜で形成することを特徴とする請求項17に記載のメモリセルアレイの製造方法。
- 前記メモリゲートを形成する段階は、
前記第1基底パターン及び前記トンネル酸化膜を覆う浮遊ゲートパターンを形成する段階と、
前記浮遊ゲートパターンの上部にゲート層間絶縁膜を形成する段階と、
前記ゲート層間誘電膜上に制御ゲート電極を形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項15に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記浮遊ゲートパターン及び前記ゲート層間誘電膜を形成する段階は、
前記第1基底パターン及び前記チャネル領域をコンフォーマルに覆う下部導電膜を形成する段階と、
前記下部導電膜の上部を覆う誘電膜を形成する段階と、
前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングして順次に積層された浮遊ゲートパターン及びゲート層間誘電膜を形成する段階と、
前記浮遊ゲートパターンの側壁を覆う側壁絶縁膜を形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項19に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記浮遊ゲートパターン及び前記ゲート層間誘電膜を形成する段階は、
前記第1基底パターン及び前記チャネル領域をコンフォーマルに覆う下部導電膜を形成する段階と、
前記下部導電膜をパターニングして前記第1基底パターン及び前記トンネル酸化膜の上部に浮遊ゲートパターンを形成する段階と、
前記浮遊ゲートパターン上に誘電膜をコンフォーマルに形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項19に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記浮遊ゲートパターン、前記ゲート層間誘電膜及び前記制御ゲート電極を形成する段階は、
前記第1基底パターン及び前記チャネル領域をコンフォーマルに覆う下部導電膜、誘電膜及び上部導電膜を順次に形成する段階と、
前記上部導電膜、前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングする段階と、を含むことを特徴とする請求項19に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 隣接する2つの不揮発性メモリ素子を含むメモリセルアレイの製造方法であって、
半導体基板の所定の領域に素子分離膜を形成して活性領域を限定する段階と、
前記活性領域上にゲート絶縁膜を形成する段階と、
所定の間隔離隔されて前記活性領域を横切る2つの第2基底パターンと、前記2つの第2基底パターンの間に所定の間隔離隔されて前記活性領域を横切る2つの第1基底パターンと、を前記半導体基板上に形成する段階と、
前記2つの第1基底パターンと前記2つの第2基底パターンとをイオン注入マスクとして使用し前記半導体基板内に不純物を注入して、隣接する前記第1基底パターン間にソース領域と、前記第1基底パターンと前記第2基底パターン間にチャネル領域と、前記第2基底パターンの前記チャネル領域の反対側にドレイン領域と、を形成する段階と、
前記第1及び第2基底パターンの間のゲート絶縁膜の一部をエッチングして前記半導体基板の所定の領域を露出させる段階と、
前記露出された半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記活性領域を並んで横切るメモリゲート及び選択ゲートを形成する段階と、を含み、
前記メモリゲートは前記第1基底パターン及び前記トンネル絶縁膜を覆い、そのエッジは前記素子分離膜に重畳された浮遊ゲートパターンと、前記浮遊ゲートの上部を過ぎて前記活性領域を横切る制御ゲート電極と、前記浮遊ゲートパターン及び前記制御ゲート電極の間に介在されたゲート層間誘電膜で形成し、
前記ソース領域は前記隣接する2つの不揮発性メモリ素子がそれぞれ共有し、
前記第1基底パターンと前記第2基底パターンとの間の距離は、隣接する前記不揮発性メモリ素子同士でそれぞれ等しいことを特徴とするメモリセルアレイの製造方法。 - 前記第1及び第2基底パターンを形成する段階は、
前記ゲート絶縁膜上に基底導電膜及び上部絶縁膜を順次に形成する段階と、
前記上部絶縁膜及び前記基底導電膜を順次にパターニングして前記活性領域を横切る第1、第2基底パターン及びこれら上部を覆う上部絶縁膜パターンを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項23に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記トンネル絶縁膜を形成する段階は、
前記第1基底パターンの側壁を覆う第1側壁スペーサ及び前記第2基底パターンの側壁を覆う第2側壁スペーサを形成する段階と、
前記第1、第2基底パターンの間の前記ゲート絶縁膜の一部を露出させるフォトレジストパターンを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンをエッチングマスクとして使用して前記ゲート絶縁膜をエッチングして前記半導体基板の所定の領域を露出させる段階と、
前記フォトレジストパターンを除去する段階と、
前記露出された半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記上部絶縁膜パターン及び前記第1、第2側壁スペーサを除去する段階と、を含むことを特徴とする請求項24に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記フォトレジストパターンは前記第1、第2基底パターンの間の前記第1側壁スペーサ及び前記第1側壁スペーサに隣接した前記ゲート絶縁膜の一部を露出させるように形成することを特徴とする請求項25に記載のメモリセルアレイの製造方法。
- 前記メモリゲート及び前記選択ゲートを形成する段階は、
前記第1及び第2基底パターンが形成された結果物の全面に下部導電膜及び誘電膜を順次にコンフォーマルに形成する段階と、
前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングして前記活性領域上に順次に積層されて前記第1基底パターン及び前記トンネル絶縁膜を覆う浮遊ゲートパターン及びゲート層間誘電膜と、前記浮遊ゲートパターンと所定の間隔離れて順次に積層され、前記活性領域を横切る下部選択ゲートパターン及び層間誘電膜パターンを形成し、前記浮遊ゲートパターン及びゲート層間誘電膜は前記素子分離膜の上部まで延長され、そのエッジは前記素子分離膜の上部に重畳されるように形成する段階と、
前記浮遊ゲートパターンの側壁に側壁絶縁膜を形成する段階と、
前記側壁絶縁膜が形成された半導体基板の全面に上部導電膜を形成する段階と、
前記上部導電膜をパターニングして前記ゲート層間絶縁膜の上部を過ぎ、前記活性領域を横切る制御ゲート電極及び前記層間誘電膜パターン上に前記下部選択ゲートパターンと並んで前記活性領域を横切る上部選択ゲートを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項23に記載のメモリセルアレイの製造方法。 - 前記メモリゲート及び前記選択ゲートを形成する段階は、
前記第1及び第2基底パターンが形成された結果物の全面に下部導電膜及び誘電膜を順次にコンフォーマルに形成する段階と、
前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングして前記活性領域の両側の前記素子分離膜の上部に前記素子分離膜の一部を露出させるグルーブを形成し、前記グルーブは前記活性領域と並んで形成する段階と、
前記グルーブの内側に側壁絶縁膜を形成する段階と、
前記側壁絶縁膜が形成された結果物の全面に上部導電膜を形成する段階と、
前記上部導電膜、前記誘電膜及び前記下部導電膜を順次にパターニングして前記活性領域を並んで横切るメモリゲートパターン及び選択ゲートパターンを形成する段階と、を含み、
前記メモリゲートは前記活性領域を横切る制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極の下部に前記第1基底パターン及び前記トンネル絶縁膜を覆い、前記素子分離膜上に前記活性領域と並ぶ側壁を有する浮遊ゲートパターンと、前記浮遊ゲートパターン及び前記制御ゲート電極との間に介在された層間誘電膜で構成され、
前記選択ゲートは順次に積層されて前記活性領域を横切る下部選択ゲートパターン、層間誘電膜パターン及び上部選択ゲートで構成されることを特徴とする請求項23に記載のメモリセルアレイの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0000451A KR100456541B1 (ko) | 2002-01-04 | 2002-01-04 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR2002-000451 | 2002-01-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003289115A JP2003289115A (ja) | 2003-10-10 |
JP4593875B2 true JP4593875B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=19718167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002379865A Expired - Fee Related JP4593875B2 (ja) | 2002-01-04 | 2002-12-27 | 不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイ及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6770920B2 (ja) |
JP (1) | JP4593875B2 (ja) |
KR (1) | KR100456541B1 (ja) |
FR (1) | FR2834583B1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI220316B (en) * | 2003-05-22 | 2004-08-11 | Powerchip Semiconductor Corp | Flash memory cell, flash memory cell array and manufacturing method thereof |
KR101044776B1 (ko) * | 2004-01-08 | 2011-06-27 | 매그나칩 반도체 유한회사 | Eeprom 소자의 제조 방법 |
KR100673018B1 (ko) * | 2005-12-09 | 2007-01-24 | 삼성전자주식회사 | 이이피롬 및 그 제조 방법 |
KR100703981B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2007-04-09 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US20090003074A1 (en) * | 2006-03-30 | 2009-01-01 | Catalyst Semiconductor, Inc. | Scalable Electrically Eraseable And Programmable Memory (EEPROM) Cell Array |
US7547944B2 (en) * | 2006-03-30 | 2009-06-16 | Catalyst Semiconductor, Inc. | Scalable electrically eraseable and programmable memory (EEPROM) cell array |
US8750041B2 (en) | 2006-09-05 | 2014-06-10 | Semiconductor Components Industries, Llc | Scalable electrically erasable and programmable memory |
KR100852236B1 (ko) * | 2006-09-05 | 2008-08-13 | 삼성전자주식회사 | 이이피롬 장치 및 그 제조 방법 |
US8139408B2 (en) * | 2006-09-05 | 2012-03-20 | Semiconductor Components Industries, L.L.C. | Scalable electrically eraseable and programmable memory |
KR100823165B1 (ko) * | 2006-11-29 | 2008-04-18 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 형성방법 |
KR100856613B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2008-09-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자의 제조 방법 |
KR100789409B1 (ko) * | 2007-01-02 | 2007-12-28 | 삼성전자주식회사 | 이이피롬 소자 및 그 제조방법 |
US7968934B2 (en) * | 2007-07-11 | 2011-06-28 | Infineon Technologies Ag | Memory device including a gate control layer |
US9399263B2 (en) | 2007-08-31 | 2016-07-26 | Hobart Brothers Company | Portable battery powered welder |
JP5982701B2 (ja) * | 2011-11-24 | 2016-08-31 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US11442855B2 (en) * | 2020-09-25 | 2022-09-13 | Apple Inc. | Data pattern based cache management |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3936298A1 (de) * | 1989-11-01 | 1991-05-02 | Bayer Ag | Substituierte aminosaeureamid-derivate deren herstellung und verwendung |
JPH0414265A (ja) * | 1990-05-07 | 1992-01-20 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US5723888A (en) * | 1993-05-17 | 1998-03-03 | Yu; Shih-Chiang | Non-volatile semiconductor memory device |
JPH0758226A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法およびメモリセル駆動方法 |
JP4070249B2 (ja) * | 1994-11-22 | 2008-04-02 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP3526090B2 (ja) * | 1994-11-25 | 2004-05-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
US5912843A (en) * | 1996-03-18 | 1999-06-15 | Integrated Memory Technologies, Inc. | Scalable flash EEPROM memory cell, method of manufacturing and operation thereof |
JPH10270578A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Seiko Instr Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
US6127224A (en) * | 1997-12-31 | 2000-10-03 | Stmicroelectronics, S.R.L. | Process for forming a non-volatile memory cell with silicided contacts |
JP3856559B2 (ja) * | 1998-03-18 | 2006-12-13 | 株式会社リコー | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
EP0969507B1 (en) * | 1998-06-30 | 2006-11-15 | STMicroelectronics S.r.l. | EEPROM memory cell manufacturing method |
IT1301880B1 (it) * | 1998-07-30 | 2000-07-07 | St Microelectronics Srl | Circuito elettronico di memoria e corrispondente metodo difabbricazione |
EP0994512B1 (en) * | 1998-10-15 | 2004-09-22 | STMicroelectronics S.r.l. | Simplified DPCC process for manufacturing FLOTOX EEPROM non-autoaligned semiconductor memory cells |
EP0996161A1 (en) * | 1998-10-20 | 2000-04-26 | STMicroelectronics S.r.l. | EEPROM with common control gate and common source for two cells |
KR100339025B1 (ko) * | 1998-10-27 | 2002-07-18 | 박종섭 | 플래쉬메모리셀의제조방법 |
US6465307B1 (en) * | 2001-11-30 | 2002-10-15 | Texas Instruments Incorporated | Method for manufacturing an asymmetric I/O transistor |
KR20030060139A (ko) * | 2002-01-07 | 2003-07-16 | 삼성전자주식회사 | 스플리트 게이트형 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
-
2002
- 2002-01-04 KR KR10-2002-0000451A patent/KR100456541B1/ko active IP Right Grant
- 2002-12-27 JP JP2002379865A patent/JP4593875B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-31 US US10/334,952 patent/US6770920B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-01-02 FR FR0300019A patent/FR2834583B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-14 US US10/867,152 patent/US7183157B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2834583B1 (fr) | 2007-04-27 |
FR2834583A1 (fr) | 2003-07-11 |
US20030127683A1 (en) | 2003-07-10 |
US6770920B2 (en) | 2004-08-03 |
KR100456541B1 (ko) | 2004-11-09 |
JP2003289115A (ja) | 2003-10-10 |
US7183157B2 (en) | 2007-02-27 |
US20040227167A1 (en) | 2004-11-18 |
KR20030059711A (ko) | 2003-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4870719B2 (ja) | モノスゲート構造を有する不揮発性メモリ素子 | |
US7301196B2 (en) | Nonvolatile memories and methods of fabrication | |
JP4593875B2 (ja) | 不揮発性メモリ素子からなるメモリセルアレイ及びその製造方法 | |
KR100224701B1 (ko) | 불휘발성 메모리장치 및 그 제조방법 | |
US6847078B2 (en) | Non-volatile memory device and method of forming the same | |
US6479346B1 (en) | Semiconductor memory device and fabrication method thereof | |
KR20120108560A (ko) | 비휘발성 메모리 장치 및 이의 제조 방법 | |
US7271080B2 (en) | Electrically erasable programmable read only memory (EEPROM) cells and methods of fabricating the same | |
US6893921B2 (en) | Nonvolatile memories with a floating gate having an upward protrusion | |
US7799635B2 (en) | Methods of forming nonvolatile memory devices | |
KR100593749B1 (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 및 그에 의하여 제조된플래쉬 메모리 소자 | |
KR20000011256A (ko) | 불휘발성메모리장치및그제조방법 | |
US6962852B2 (en) | Nonvolatile memories and methods of fabrication | |
US6995060B2 (en) | Fabrication of integrated circuit elements in structures with protruding features | |
KR20010084243A (ko) | 이층 구조의 플로팅 게이트를 갖는 불휘발성 메모리 셀 및그 제조방법 | |
KR20050069184A (ko) | 비휘발성 메모리 소자 및 그의 제조방법 | |
KR100642383B1 (ko) | 개선된 소거효율을 갖는 플래시 메모리소자 및 그 제조방법 | |
KR20030030055A (ko) | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 | |
KR100210857B1 (ko) | 비휘발성 메모리소자 및 그 제조방법 | |
KR100219535B1 (ko) | 비휘발성 반도체 메모리장치 및 그 제조방법 | |
KR100683852B1 (ko) | 반도체 소자의 마스크롬 소자 및 그 형성 방법 | |
JPH1084051A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
KR20050106848A (ko) | 리세스 채널을 갖는 어시스트 게이트 앤드형 메모리 소자및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100916 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4593875 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |