JP4512290B2

JP4512290B2 - 高周波焼入方法及び装置

Info

Publication number: JP4512290B2
Application number: JP2001161821A
Authority: JP
Inventors: 秀明片沼; 木藤　　清明; 洋平粟田; 巧治大林; 利之水野; 高範若杉; 文敏大久保
Original assignee: Denki Kogyo Co Ltd; Aisin AW Co Ltd; Aisin AW Industries Co Ltd
Current assignee: Denki Kogyo Co Ltd; Aisin AW Co Ltd; Aisin AW Industries Co Ltd
Priority date: 2001-05-30
Filing date: 2001-05-30
Publication date: 2010-07-28
Anticipated expiration: 2021-05-30
Also published as: JP2002356712A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品の被処理面を高周波焼入する高周波焼入方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、自動車のトランスミッション部品１を示している。このトランスミッション部品１は、図６に示すように、軽量化のために３つの部材（具体的には、上部品２、中部品３、及び下部品４）を溶接して１つの部品を構成して成るものである。なお、図５において、Ｗは溶接部である。下部品４の材料としては炭素鋼を使用しているが、上部品２及び中部品３の材料については、コストの低減のために塑性加工の適用可能な軟鋼を使用している。
【０００３】
上述のトランスミッション部品１は、上部品２に形成された複数の小孔５と下部品４に形成された複数の小孔６とをそれぞれ位置合わせし、これらの小孔５，６にシャフト（図示せず）を上下方向に挿入配置した状態で使用されるようになっている。
【０００４】
ところで、上部品２は既述の如く塑性加工の適用可能な軟鋼から成るものであり、炭素鋼に比べて材料硬度が低いのが実状である。そのため、シャフト嵌合部である上部品２の小孔５に摩耗を生じるのを防止すべく小孔５の耐摩耗性を向上させる必要がある。特に、小孔５の内周面をａ−ａ’、ｂ−ｂ’、ｃ−ｃ’、ｄ−ｄ’（図５参照）で分けたとき、上部品２の部品中心線側に位置する内周面（半円部分）に、回転時の応力を大きく受けるため、それらの箇所における摩耗量が多い。そこで、従来より、小孔５の耐摩耗性を向上させる手段として、高周波焼入を施すようにしている。具体的には、図７に示すように、上部品２の小孔５内に高周波誘導加熱コイル７のコイル頭部７ａを挿入配置して所要温度に高周波誘導加熱し、その直後に加熱部分に冷却液（焼入水等）を噴射して急冷させることにより、小孔５の内径部の周面に焼入硬化層Ｓ₁，Ｓ₂を形成して所要の表面硬さ（焼入品質）を得るようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来より行なっていたような小孔５の高周波焼入方法では、小孔５を高周波焼入することにより耐摩耗性を確保することができるものの、小孔５の内径部に大きな歪みを生じてしまうという問題点がある。すなわち、部品（ワーク）と高周波誘導加熱コイルとを相対的に回転させない状態でのいわゆる静止加熱を行なう場合には高周波誘導加熱コイルの形状の影響を大きく受けるため、小孔５の内径部に大きな歪みを生じる。すなわち、小孔５内に挿入配置されたコイル頭部７ａのうちのリード部７ｂ側に位置する小孔５の内径部箇所Ｐにおいて、その表面がオーバーヒート状態になったり、或いはその表面部分が溶けてしまうような事態が発生し、これに伴って小孔５の内径部が大きく変形してしまう場合がある。このような変形（焼入歪み）を生じると、上部品２の小孔５と下部品４の小孔６とが互いに位置ずれしてシャフト通し精度（位置精度）が悪くなり、後工程において上部品２の小孔５と下部品４の小孔６にシャフトを挿入する際に、シャフトを挿通することができなくなるという不具合を生じることとなる。
【０００６】
小孔５の内径部を加熱する高周波誘導加熱コイル７のコイル頭部７ａは小孔５内に挿入配置されることから、コイル頭部７ａの外径寸法（直径）は小孔５の内径寸法より小さい。このようにコイル頭部７ａの直径が小さいと、高周波誘導加熱コイル７のインピーダンスが小さくなり、被加熱体である上部品２と高周波誘導加熱コイル７との結合率が良くない。また、コイル頭部７ａの直径が小さいことから、高周波誘導加熱コイル７の一対のリード部７ｂ（図７参照）間の隙間が２次コイルとなり易く、コイル頭部７ａの中心軸を挟んでリード対向側の小孔部分αよりもリード寄りの側の小孔部分βが強く高周波誘導加熱される。その結果、コイル頭部７ａの中心軸を挟んで焼入硬化層パターンが図７に示す如く異なったパターン（Ｓ₁，Ｓ₂）となる。従って、上部品２の内径部のうちリード側に位置する部位が高周波誘導加熱され易いので、リード対向側の小孔部分を所定の焼入硬化層深さにすると、リード側の小孔部分βの表面温度が高くなり過ぎてオーバーヒート状態となり、場合によってはその部位（具体的には、図７に示す角部Ｍ）に溶けが発生する。
【０００７】
本発明は、上述のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、部品の被処理面にオーバーヒートや溶けを生じることなく高周波誘導加熱を行なうことができ、歪みの少ない良好な焼入品質を得ることができるような高周波誘導加熱方法及び装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明は、上下方向に延びる筒形状に形成されたコイル頭部と、前記コイル頭部と上下方向に間隔を空けて配置される冷却液吐出口と、前記コイル頭部に電力を供給し、前記コイル頭部及び前記冷却液吐出口の間で上下方向に延び、かつ前記コイル頭部の上端における径方向の一方に偏った位置と連結する線状のリード部とを有する高周波誘導加熱コイルを用いて、部品に形成された小孔の内径部を高周波焼入する高周波焼入方法であって、前記部品を第１の冷却液の中に浸漬すると共に、前記高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を前記第１の冷却液の中に浸漬した状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して前記コイル頭部の外周を近接させるように、前記コイル頭部を前記部品の小孔内に挿入配置し、超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、第２の冷却液を前記冷却液吐出口から前記コイル頭部と前記リード部との連結部分に向かって流しながら、前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしている。
また、本発明では、前記小孔の内径部に向けて流される第２の冷却液は、前記高周波誘導加熱コイルを冷却するために前記高周波誘導加熱コイルの中空部に導入されるコイル冷却液であるようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液を、前記高周波誘導加熱コイルの中空部を通過して前記高周波誘導加熱コイルを冷却した後に、前記小孔の内径部に向けて流すようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液を、高周波誘導加熱を開始する前の時点から前記小孔の内径部に向けて流し始めると共に、高周波誘導加熱中並びに高周波誘導加熱後にも前記小孔の内径部に向けて流すようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液の流量を、２Ｌ／min〜２０Ｌ／minに設定するようにしている。
また、本発明では、
（Ａ）第１の冷却液が充填され、かつ、被焼入体である前記部品が前記第１の冷却液の中に浸漬された状態で収容配置される冷却液槽と、
（Ｂ）上下方向に延びる筒形状に形成され、かつ被加熱部である部品の小孔の内径部に対してその外周を近接させるように前記小孔に挿入配置されるコイル頭部、第２の冷却液が流される冷却液流通用の中空部、前記コイル頭部と上下方向に間隔を空けて配置され、かつ前記中空部に連通する冷却液吐出口、並びに前記コイル頭部に電力を供給し、前記コイル頭部及び前記冷却液吐出口の間で上下方向に延び、かつ前記コイル頭部の上端における径方向の一方に偏った位置と連結する線状のリード部を有する高周波誘導加熱コイルと、
（Ｃ）前記高周波誘導加熱コイルに超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり供給する高周波電源と、
（Ｄ）前記高周波誘導加熱コイルの中空部に前記第２の冷却液を供給するコイル冷却液供給機構と、
をそれぞれ具備し、
前記小孔の内径部を前記冷却液槽内の第１の冷却液の中に浸漬した状態の下で、前記第２の冷却液を前記冷却液吐出口から前記コイル頭部と前記リード部との連結部分に向かって流しながら、前記小孔の内径部を高周波誘導加熱して焼入冷却するように構成している。
【０００９】
すなわち、本発明では、部品に形成された小孔の内径部を高周波誘導加熱する際にコイル冷却液等の第２の冷却液（部品が浸漬される第１の冷却液とは別の冷却液）を前記小孔の内径部に向けて流すことにより、小孔の内周表面部におけるオーバーヒートを少なくし、安定した良好な焼入品質を得るようにしている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図１〜図４を参照して説明する。なお、図１〜図４において、図５〜図７と同様の部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態に係る高周波焼入方法を施行するために用いられる高周波焼入装置１０を示すものであって、本装置１０は、トランスミッション部品１の上部を構成する上部品２の小孔５の内径部を高周波焼入するためのものである。本実施形態の高周波焼入装置１０は、図１に示す如く、冷却液１１が充填（貯溜）された冷却液槽１２と、前記小孔５内に挿入されて小孔５の内周面（被処理面）に近接して配置されるコイル頭部１３ａを有する高周波誘導加熱コイル１３と、この高周波誘導加熱コイル１３に接続された変成器１４と、この変成器１４を介して高周波誘導加熱コイル１３に高周波電力（高周波電流）を供給する高周波電源１５と、この高周波電源１５を調整制御する制御盤１６とをそれぞれ備えている。
【００１２】
上述の冷却液槽１２は、冷却水等の冷却液１１が充填されるようになっており、その底部１２ａ上には被焼入体（ワーク）であるトランスミッション部品１を保持するワーク受け治具１７が配設されている。かくして、トランスミッション部品１は、ワーク受け治具１７に保持された状態の下で冷却液槽１２内においてその全体が冷却液１１中に浸漬されるようになっている。なお、この場合、トランスミッション部品１の上部を構成する上部品２は、冷却液１１の液面１１ａの付近の比較的浅い位置に配置されるように設定されている。
【００１３】
また、上述の高周波誘導加熱コイル１３は、図１及び図２に示すように、変成器１４に接続される一対のリード部２０ａ，２０ｂと、これらのリード部２０ａ，２０ｂにそれぞれ連設された一対のリード部２０ｃ，２０ｄと、前記リード部２０ａ，２０ｂ間に介在された絶縁板２１と、前記一対のリード部２０ｃ，２０ｄ間に接続された断面ほぼ円筒形状のコイル頭部１３ａとから構成されている。なお、コイル頭部１３ａの外径寸法は、トランスミッション部品１の小孔５の内径寸法よりも僅かに小さく設定されており、従って、前記コイル頭部１３ａが前記小孔５内に僅かな隙間をもって挿入配置（近接配置）されるように構成されている。また、本実施形態では、高周波発振の結合効率を良くするために、磁性材料から成るダストコア２３がコイル頭部１３の中空部２２内に挿入配置されている。
【００１４】
さらに、高周波誘導加熱コイル１３の一対のリード部２０ａ，２０ｂには、インレットパイプ２４ａ，２４ｂがそれぞれ取付けられており、これらのインレットパイプ２４ａ，２４ｂの一端部は、前記リード部２０ａ，２０ｂの内部に設けられた中空部（図示せず）にそれぞれ接続されている。そして、インレットパイプ２４ａ，２４ｂの他端部は、図外のコイル冷却液供給機構に接続されており、このコイル冷却液供給機構からインレットパイプ２４ａ，２４ｂを通して前記リード部２０ａ，２０ｂの中空部にコイル冷却液（第２の冷却液）が導入されてその中を流れながら高周波誘導加熱コイル１３を冷却するようになっている。また、リード部２０ａ，２０ｂのコイル頭部１３ａ寄りの端部箇所には、アウトレットパイプ２５ａ，２５ｂがそれぞれ取付けられており、このアウトレットパイプ２５ａ，２５ｂの端部開口が、コイル頭部１３ａの近傍位置において冷却液吐出口２６ａ，２６ｂとして配置されている。
【００１５】
このような構成の高周波誘導加熱装置１０を用いてトランスミッション部品１の小孔５の内径部を高周波焼入する際の手順及び作用の一例につき述べると、次の通りである。
【００１６】
まず、冷却液槽１２内に冷却水等の冷却液を充填し、焼入対象物であるトランスミッション部品１を冷却液槽１２内のワーク受け治具１７に嵌着して冷却液槽１２内に保持する。これに伴い、トランスミッション部品１の全体が冷却液１１中に浸漬されると共に、被焼入部である上部品２の小孔５が冷却液１１の液面１１ａの近傍位置に配置される。次いで、高周波誘導加熱コイル１３のコイル頭部１３ａのみを冷却液１１中に入れて前記小孔５内に挿入し、コイル頭部１３ａの外周面と小孔５の内径部との間に僅かな隙間を隔てた状態で配置する。
【００１７】
このような設定状態の下で高周波誘導加熱を開始するのであるが、高周波誘導加熱を開始する前に、高周波誘導加熱コイル１３のリード部２０ａ，２０ｂに図外のコイル冷却液供給機構からコイル冷却液を供給し始める。しかる後に、高周波電源１５から出力ケーブル２３及び変成器１４を順次に介して高周波誘導加熱コイル１３に超高周波帯の周波数（例えば、１ＭＨｚ〜４ＭＨｚ）の高周波電力を短時間（例えば、０.４ｓｅｃ以下）にわたって供給し、これにより小孔５の内径部を高周波誘導加熱する。この際、高周波誘導加熱コイル１３自体も加熱されるが、インレットパイプ２４ａ，２４ｂを通してリード部２０ａ，２０ｂの中空部に導入されるコイル冷却液にてリード部２０ａ，２０ｂが冷却される。そして、図３において矢印Ｒで示すように、これらのリード部２０ａ，２０ｂを通過したコイル冷却液Ｒはアウトレットパイプ２５ａ，２５ｂのコイル冷却液吐出口２６ａ，２６ｂから前記小孔５の内径部に向けて流される。なお、本実施形態では、コイル冷却液は、小孔５の内径部のうちで最も過熱され易い部位すなわち高周波誘導加熱コイル１３のリード２０ｃ，２０ｄ寄りの部位（小孔部分β）に特に多く流されるようにしている。
【００１８】
かくして、高周波誘導加熱コイル１３のコイル頭部１３ａに対向する前記小孔５の内径部が高周波誘導加熱されると同時に、冷却液槽１２内の冷却液（第１の冷却液）１１、並びに、高周波誘導過熱コイル１３を冷却するコイル冷却液（第２の冷却液）による焼入冷却がなされて前記小孔５の内径部に焼入硬化層が形成される。なお、コイル冷却液の流通は、高周波誘導加熱中に継続して行われると共に、高周波誘導加熱後においても所定時間にわたり継続して行われる。
【００１９】
図４は、上述のような高周波誘導加熱方法及び装置を用いて小孔５の内径部を高周波焼入した場合に、小孔５の内周面に得られる焼入硬化層パターンＰ₁，Ｐ₂を示している。本実施形態においては、既述の如くコイル冷却液を特に小孔５の内径部のうち高周波誘導加熱コイル１３のリード部２０ｃ，２０ｄ寄りの部位により多く流すようにしているので、最も高周波誘導加熱され易いリード部２０ｃ，２０ｄ寄りの内径部箇所（小孔部分β）の加熱温度を効果的に低下せしめることができ、その結果、図４に示す焼入硬化層パターンＰ₂からわかるように、リード部２０ｃ，２０ｄ側に位置する小孔５の周縁の角部Ｍの過熱が防止されて焼入長さＨが従来の場合よりも小さく抑えられる。さらに、小孔５の内径部に向かうコイル冷却液の流れにより、被焼入部である小孔５の内径部表面における熱交換が良くなるため、冷却効率が上がり、表面硬度や焼入硬化層深さの安定化を図ることが可能となる。
【００２０】
以下に、本発明の具体的な実施例を示す。
実施例
(１) ワーク（被焼入体）：トランストランスミッション部品
（ａ）材質：ＳＡＰＨ
（ｂ）小孔の直径：１２.０ｍｍ
（ｃ）板厚：４.５ｍｍ
(２) 高周波誘導加熱条件
（ａ）高周波電力：１６ＫＷ
（ｂ）周波数：２.５ＭＨｚ（超高周波帯）
（ｃ）加熱時間：０.４ｓｅｃ
（ｄ）コイル冷却液の流量：５Ｌ／ｍin
【００２１】
上記加工条件により上部品２の小孔５の内径部を焼入処理した場合の高周波誘導加熱コイル１３のリード部２０ｃ，２０ｄ側に位置する角部Ｍの焼入長さＨは、０.８ｍｍであった。従来方法では、この部位の焼入硬化層深さは、１．５ｍｍである。このように焼入長さＨが従来の場合よりも短くなるのは、高周波誘導加熱コイル１３から排出されるコイル冷却液により加熱部の温度が下げられるからである。また、小孔５の内径部の表面硬度は、Ｈｖ５００であり、所定の表面硬度（Ｈｖ４００以上）が確保された。
【００２２】
また、特に高い強度が要求される高周波誘導加熱コイル１３のリード対向部（リード部２０ｃ，２０ｄから最も離れた小孔部分α）の焼入硬化層深さを０.３ｍｍ〜０.５ｍｍの範囲にしてその焼入硬化層深さをできるだけ浅くするようにすれば、小孔５の内径部の焼入歪みを少なく抑えることができることが実験により確認された。さらに、焼入部の各部においてオーバーヒートや溶け等の不具合を生じることはなく、小孔５の内径部の焼入歪み（変形）の程度は、トランスミッション部品１の組立作業時において小孔５，６へのシャフト挿入に問題を生じるレベルではなくなった。
【００２３】
以上、本発明の一実施形態につき述べたが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及変更が可能である。例えば、既述の実施形態ではコイル冷却液をリード部２０ａ，２０ｂに配設されたアウトレットパイプ２５ａ，２５ｂのコイル冷却液吐出口２６ａ，２６ｂから小孔５の内径部に向けて流すようにしているが、コイル冷却液吐出口をリード部２０ａ，２０ｂに穿設しても良い。また、コイル頭部１３ａがコイル冷却液流通用の中空部を形成できる寸法である場合には、コイル頭部１３ａにコイル冷却液吐出口を設けるようにしても良い。また、トランスミッション部品１の小孔５を高周波焼入するようにしているが、トランスミッション部品１以外の各種の部品に形成される小孔の内径部を高周波焼入する場合にも本発明を適用することが可能である。また、焼入対象部である小孔５は、円孔に限らず、楕円形状、半円形状、矩形形状等の各種形状の場合であっても本発明を適用することが可能である。さらに、既述の実施形態では、コイル冷却液を第２の冷却液として利用するようにしたが、コイル冷却液とは別の冷却液を第２の冷却液として小孔５の内径部に向けて流すようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上の如く、本発明は、上下方向に延びる筒形状に形成されたコイル頭部と、前記コイル頭部と上下方向に間隔を空けて配置される冷却液吐出口と、前記コイル頭部に電力を供給し、前記コイル頭部及び前記冷却液吐出口の間で上下方向に延び、かつ前記コイル頭部の上端における径方向の一方に偏った位置と連結する線状のリード部とを有する高周波誘導加熱コイルを用いて、被焼入体である部品に形成された小孔の内径部を高周波焼入する高周波焼入方法であって、前記部品を前記第１の冷却液の中に浸漬すると共に、前記高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を第１の冷却液（部品冷却液）の中に浸漬した状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して前記コイル頭部の外周を近接させるように、前記コイル頭部を前記部品の小孔内に挿入配置し、超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、第２の冷却液（例えば、コイル冷却液）を前記冷却液吐出口から前記コイル頭部と前記リード部との連結部分に向かって流しながら、前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしたものであるから、高周波誘導加熱コイルより部品の被処理面に向けて流される前記第２の冷却液の作用により、被処理面におけるオーバーヒートを少なく抑えることができ、ひいては部品の焼入歪み（変形）を少なくすることができる。従って、本発明によれば、部品の被処理面の焼入処理に際し、安定した良好な焼入品質を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高周波焼入方法を施行するために用いられる高周波焼入装置の構成図である。
【図２】図１に示す高周波焼入装置に使用されている高周波誘導加熱コイルの斜視図である。
【図３】高周波誘導加熱時におけるコイル冷却液の流れを示す説明図である。
【図４】図１の高周波誘導加熱装置にて小孔の内径部を高周波焼入した場合に得られる焼入硬化層パターンを示す断面図である。
【図５】被焼入体である自動車のトランスミッション部品を示す斜視図である。
【図６】上述のトランスミッション部品の分解斜視図である。
【図７】従来の高周波焼入方法により小孔の内径部に得られる焼入硬化層パターンを示す断面図である。
【符号の説明】
１トランスミッション部品
２上部品
５小孔
１０高周波焼入装置
１１第１の冷却液
１２冷却液槽
１３高周波誘導加熱コイル
１３ａコイル頭部
１５高周波電源
２０ａ〜２０ｄリード部
２６ａ，２６ｂ冷却液吐出口
α，β 小孔部分
Ｍ角部
Ｐ₁，Ｐ₂ 焼入硬化層パターン
Ｒコイル冷却液（第２の冷却液）の流れ方向

Claims

上下方向に延びる筒形状に形成されるコイル頭部と、前記コイル頭部と上下方向に間隔を空けて配置される冷却液吐出口と、前記コイル頭部に電力を供給し、前記コイル頭部及び前記冷却液吐出口の間で上下方向に延び、かつ前記コイル頭部の上端における径方向の一方に偏った位置と連結する線状のリード部とを有する高周波誘導加熱コイルを用いて、部品に形成された小孔の内径部を高周波焼入する高周波焼入方法であって、
前記部品を第１の冷却液の中に浸漬すると共に、前記高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を前記第１の冷却液の中に浸漬した状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して前記コイル頭部の外周を近接させるように、前記コイル頭部を前記部品の小孔内に挿入配置し、
超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、第２の冷却液を前記冷却液吐出口から前記コイル頭部と前記リード部との連結部分に向かって流しながら、前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、
これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしたことを特徴とする高周波焼入方法。
前記小孔の内径部に向けて流される第２の冷却液は、前記高周波誘導加熱コイルを冷却するために前記高周波誘導加熱コイルの中空部に導入されるコイル冷却液であることを特徴とする請求項１に記載の高周波焼入方法。
前記コイル冷却液を、前記高周波誘導加熱コイルの中空部を通過して前記高周波誘導加熱コイルを冷却した後に、前記小孔の内径部に向けて流すようにしたことを特徴とする請求項２に記載の高周波焼入方法。
前記コイル冷却液を、高周波誘導加熱を開始する前の時点から前記小孔の内径部に向けて流し始めると共に、高周波誘導加熱中並びに高周波誘導加熱後にも前記小孔の内径部に向けて流すようにしたことを特徴とする請求項２又は３に記載の高周波焼入方法。
前記コイル冷却液の流量を、２Ｌ／min〜２０Ｌ／minに設定したことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の高周波焼入方法。
（Ａ）第１の冷却液が充填され、かつ、被焼入体である前記部品が前記第１の冷却液の中に浸漬された状態で収容配置される冷却液槽と、
（Ｂ）上下方向に延びる筒形状に形成され、かつ被加熱部である部品の小孔の内径部に対してその外周を近接させるように前記小孔に挿入配置されるコイル頭部、第２の冷却液が流される冷却液流通用の中空部、前記コイル頭部と上下方向に間隔を空けて配置され、かつ前記中空部に連通する冷却液吐出口、並びに前記コイル頭部に電力を供給し、前記コイル頭部及び前記冷却液吐出口の間で上下方向に延び、かつ前記コイル頭部の上端における径方向の一方に偏った位置と連結する線状のリード部を有する高周波誘導加熱コイルと、
（Ｃ）前記高周波誘導加熱コイルに超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり供給する高周波電源と、
（Ｄ）前記高周波誘導加熱コイルの中空部に前記第２の冷却液を供給するコイル冷却液供給機構と
をそれぞれ具備し、
前記小孔の内径部を前記冷却液槽内の第１の冷却液の中に浸漬した状態の下で、前記第２の冷却液を前記冷却液吐出口から前記コイル頭部と前記リード部との連結部分に向かって流しながら、前記小孔の内径部を高周波誘導加熱して焼入冷却するように構成していることを特徴とする高周波焼入装置。