JP4507304B2 - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4507304B2 JP4507304B2 JP23660099A JP23660099A JP4507304B2 JP 4507304 B2 JP4507304 B2 JP 4507304B2 JP 23660099 A JP23660099 A JP 23660099A JP 23660099 A JP23660099 A JP 23660099A JP 4507304 B2 JP4507304 B2 JP 4507304B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- card
- concave portion
- linear
- flat portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 41
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/10544—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
- G06K7/10712—Fixed beam scanning
- G06K7/10762—Relative movement
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Character Input (AREA)
- Image Input (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カードに表面上に形成された凸部又は凹部の高さ方向の変位分布を検出する変位測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
被検物表面の高さ方向の変位分布を検出する装置として図23に示すような構成の光学式表面変位検出装置がある。
【0003】
図において、1は線状の光を出射する線状光源である。
この線状光源1は、図24に示すように、光源3と、この光源3を収納し、端面に線状光源生成手段であるスリット5が形成された円筒状のカバー7とから構成されている。
【0004】
図23に戻って、線状光源1から出射した線状光は、走査手段としての回転ミラー9を介して、被検物11に照射される。
被検物11での反射光は線状の光の線方向に対して複数個に分割されたPSD(半導体位置検出素子)アレイ13に入射し、被検物11表面の変位分布が検出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、図25に示すような構成のカード21が普及されている。
23は磁気情報が記録された磁気ストライプ、25は凸部又は凹部によって形成されたキャラクタ列(図25においては、12345678910、コニカタロウ、H11.5.21)を示す。
【0006】
上記構成の光学式表面変位検出装置を用いて、カード21表面の凸部又は凹部(表面の高さ方向の変位)を読む場合、カード21に印刷等が施され、カード21の表面の光の反射率が低くなっていると、凸部又は凹部が正確に読めない問題点がある。
【0007】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、光の反射率が悪いカードでもカード上の凸部又は凹部を正確に読み取ることができる変位測定装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する請求項1記載の発明は、凸部又は凹部によってキャラクタが表面上に形成されたカード上で前記カードの表面に対して交差する方向に設けられた遮光手段と、該遮光手段の一方の側に設けられ、前記カードへ線状の光を照射する光照射手段と、前記遮光手段の他方の側に設けられ、前記カード表面での正反射光、拡散光のうち少なくとも一方を受ける受光手段と、前記線状の光の線方向と交差する方向に前記カード、前記光照射手段のうち少なくとも一方を搬送する搬送手段と、を有し、前記受光手段は、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)、線方向と交差する方向にm(mは1以上の整数)分割されたPD、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)個配設されたPSDアレイのいずれかであり、前記受光手段の受光位置の違いにより前記凸部又は凹部の変位を測定することを特徴とする変位測定装置である。
【0009】
凹部によりキャラクタが形成されている場合、遮光手段の先端部をカードの表面(平面部)近傍に位置するように設けると、凹部での正反射光、拡散光に比べて、平面部での正反射光、拡散光は遮光手段でより多くカットされ、実効的な入射光線の中心の位置や角度が変わって受光手段に至る。
【0010】
よって、光の反射率の悪いカードでも平面部と凹部との判別が容易になる。
又、凸部によりキャラクタが形成されている場合、遮光手段の先端部をカードの凸部近傍に位置するように設けると、平面部での正反射光、拡散光に比べて、凸部での正反射光、拡散光は遮光手段でより多くカットされ、実効的な入射光線の中心の位置や角度が変わって受光手段に至る。
【0011】
よって、光の反射率の悪いカードでも平面部と凹部との判別が容易になる。受光手段は、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)、線方向と交差する方向にm(mは1以上の整数)分割されたPD、前記線状の光の線方向にn個配設されたPSDアレイのいずれかを用いることで、受光光の強度のみならず、受光光の明るさの中心の位置情報を得ることができ、平面部と、凹部又は凸部との読取精度が向上する。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の光照射手段は、シリンドリカルレンズを有し、直線状の1つの光を前記カードに照射することを特徴とする変位測定装置である。
【0012】
シリンドリカルレンズを用いることで、コストダウンがはかれる。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明の光照射手段は、マイクロレンズアレイを有し、略直線上に並んだ複数のスポット光を前記カードに照射することを特徴とする変位測定装置である。
【0013】
光源に大きな強度分布があった場合、一つ一つのスポット光の強度をレンズ面積等で個別に調整でき、均一なスポット光を照射できる。
又、マイクロレンズアレイを用いることで、カードの平面部か凸部又は凹部かを判別するのに、受光手段に到達したビームの径によって判定するビームサイズ法を用いることもできる。
【0014】
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の前記光照射手段で光を照射される前記カードの面は、平面部と、凹部とからなり、前記平面部で反射した光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部で反射した光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したことを特徴とする変位測定装置である。
【0015】
平面部で反射した正反射光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部で反射した正反射光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したこにより、正反射光が来たなら凹部、そうでないなら平面部とできるので、平面部と凹部との判別が容易となる。
【0016】
請求項5記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の前記光照射手段で光を照射される前記カードの面は、平面部と、凹部とからなり、前記平面部での拡散光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部での拡散光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したことを特徴とする変位測定装置である。
【0017】
平面部での拡散光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部での拡散光のみが前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したこにより、拡散光が来たなら凹部、そうでないなら平面部とでき、平面部と凹部との判別が容易となる。
【0018】
又、正反射光に比べて拡散光は一様にある立体角で広がる。
よって、受光手段の位置の自由度が大きくなり、カードに反り等があっても平面部と凹部又は凸部との判別が可能となる。
【0019】
請求項6記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の前記光照射手段からの線状の光の幅は、前記凸部又は凹部の幅より小さいことを特徴とする変位測定装置である。
【0020】
光照射手段からの線状の光の幅を凸部又は凹部の幅(好ましくは最小幅)より小さくしたことにより、線状の光が凸部又は凹部に当たっていて、平面部には当っていない状況をつくり得る。
【0021】
よって、凸部又は凹部であるか、平面部であるかが容易に検出でき、凹部又は凸部の読取精度が向上する。
【0023】
請求項7記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載の発明の前記遮光手段は前記カードの表面と略交差する方向に移動可能に設けられ、カードの表面に当接されることを特徴とする変位測定装置である。
【0024】
遮光手段は前記カードの表面と略交差する方向に移動可能に設けられ、カードの表面に当接されることにより、カードがたわんだり、カード表面に薄いICチップが設けられても、遮光手段はカード表面に追従して移動し、遮光を行なうので、平面部と凹部又は凸部との読取精度が向上する。
【0025】
請求項8記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載の発明の前記遮光手段は、前記カードと対向する端面と前記カード表面との間に隙間を形成するように前記カード以外の部分に当接される当接部を有することを特徴とする変位測定装置である。
【0026】
前記カードと対向する端面と前記カード表面との間に隙間を形成するように カード以外の部分に当接される当接部を有することにより、カードがたわんだり、カード表面に薄いICチップが設けられても、遮光手段はカードと干渉することがなくなり、平面部と凹部又は凸部との読み取りを行なうことができる。
【0053】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例は、具体的には、エンボスにより形成された凹凸のキャラクタを有するカードの一方の面を変位測定の対象としたものである。
【0054】
カード本来の平面部と凹部又は凸部(カードの一方の面の本来の平面部に対する凹部又は凸部)とから形成されたキャラクタ或いは凹部又は凸部で形成されたキャラクタ等として説明する。
【0055】
(1) 第1の実施の形態例
第1の実施の形態例を説明する構成図である図1を用いて説明する。
【0056】
図において、カード107に対して交差する方向(本実施の形態例では、略直交する方向)には、遮光手段としての遮光板90が設けられている。
遮光板90の一方の側に設けられた光照射手段100は、光源としての半導体レーザダイオード(以下、LDという)101と、LD101から出射したレーザ光を平行光とするコリメータレンズ103と、コリメータレンズ103で平行光とされた光を一方向に集光し、カード107上に直線状の光として照射するシリンドリカルレンズ105とからなっている。
【0057】
カード107は、搬送ベルト109、従動ローラ111,駆動ローラ113とからなる搬送手段110により、線状の光の線方向と交差する方向(図において矢印I方向)へ搬送されるようになっている。
【0058】
カード107の表面は、平面部107aと、凹部107bによりキャラクタが形成されている。
遮光板90の他方の側には、受光手段120が設けられている。
【0059】
受光手段120は、カード107の表面での正反射光、拡散光のうちどちらか一方(本実施の形態例では拡散光)を集光する集光レンズ121と、複数のアレイ状の受光素子(本実施の形態例では、PSD)123とからなっている。
【0060】
このPSD123の受光面123aは、図2に示すように、線状の光の線方向にN個(本実施の形態例では5)のPSDからなっている。
尚、本実施の形態例では、線状の光の幅(T)を凹部107bの最小幅(t)より小さくなるように設定した。
【0061】
一般に、読み取り対象であるエンボスにより形成された凹部107bの幅は0.8mm程度であり、線状の光の幅は0.8mm以下が好ましく、0.1mm以下がさらに好ましい。
【0062】
図1に戻って、130はPSD123の分割された各受光面123aからのアナログ信号を切り換える素子切換手段、131はPSD115のアナログ信号を増幅するアンプ、132はアンプ131で増幅された各PSD123の信号をサンプリングし、一時的に保存するサンプルホールド手段である。
【0063】
135はサンプリングされたサンプルホールド手段132からのアナログ信号を二値化する二値化手段、137は二値化された信号と、キャラクタパターンテーブル139に記録されたデータとを参照・比較し、キャラクタを判別するキャラクタ判定手段である。
【0064】
141は搬送手段110に設けられた光電スイッチ143を用いて、カード107が搬送されたか、否かを検知するカード検知手段、145はカード検知手段141からの信号を受け、搬送手段110の駆動ローラ113を制御するカード搬送制御手段である。
【0065】
151はLD駆動手段133,素子切換手段130,キャラクタ判定手段137を制御する読取制御手段、143は、キャラクタ判定手段137、カード搬送制御手段145、読取制御手段151を制御する全体制御手段である。
【0066】
次に、上記構成の動作を説明する。
カード107が搬送手段110上にセットされると、光電スイッチ143が応動し、カード検知手段141はカード搬送制御手段145にカードが107がセットされたことを知らせる。
【0067】
カード搬送制御手段145は、カード検知手段141からの信号を受け、搬送手段110の駆動ローラ113を駆動し、セットされたカード107を矢印I方向へ搬送する。
【0068】
又、全体制御手段143は、カード搬送制御手段145が作動すると、読取制御手段151を介してLD駆動手段133を駆動し、LD101を点灯させる。
図3に示すように、カード107へ照射された線状の光のうち、カード107の平面部107aで反射した光はPSD123の受光面123aのA′に至り、凹部107bで反射した光はPSD123の受光面123aのB′に至り、受光位置が異なる。
【0069】
従って、平面部107aで反射した光と、凹部107bで反射した光とでは、PSD115からの出力が異なり、平面部107aであるか、凹部107bであるかが判断できる。
【0070】
尚、本実施の形態例では、平面部107aと、凹部107bとから形成されたキャラクタの例で説明を行なったが、平面部107aと凸部とでも、PSD123の受光面123aでの受光位置が異なることにより、判別可能である。
【0071】
素子切換手段130でPSD123の各素子を切り換えることにより、カード107の表面の高さ方向の一次元変位分布データが得られる。
又、搬送手段110を用いて矢印I方向へカード107を搬送することにより、カード107の表面の高さ方向の二次元の変位分布データが得られる。
【0072】
PSD123の各出力信号は、アンプ131で増幅され、サンプルホールド手段132でサンプリングされ、一時的に保存される。
サンプルホールド手段132に保存されたカード107の表面の高さ方向の変位分布データは二値化手段135により二値化され、キャラクタ判定手段137が、二値化されたデータと、キャラクタパターンテーブル139のデータとを比較・参照してカード107上の凹部107bで形成されたキャラクタの判定を行なう。以上が元になる光学系である。
【0073】
上記構成によれば、凹部でキャラクタが形成されている場合、遮光手段90の先端部をカード107の表面(平面部)近傍に位置するように設けると、凹部107bでの正反射光、拡散光に比べて、平面部での正反射光、拡散光は遮光手段90でより多くカットされ、PSD123に至る光束の中心角が、大きく変わり、PSD123に入る光の重心が大きく変わる。
【0074】
よって、光の反射率の悪いカード107でも平面部と凹部との判別が容易になる。
又、凸部でキャラクタが形成されている場合、遮光手段90の先端部をカード107の凸部近傍に位置するように設けると、平面部107aでの正反射光、拡散光に比べて、凸部での正反射光、拡散光は遮光手段90より多くカットされ、PSD123に至る光束の中心角が大きく変わり、PSD123に入る光の重心が大きく変わる。
【0075】
よって、光の反射率の悪いカード107でも平面部と凸部との判別が容易になる。
又、シリンドリカルレンズ105を用いることで、コストダウンがはかれる。
【0076】
更に、線状の光の幅(T)を凹部107bの最小幅(t)より小さくなるように設定したことにより、線状の光が凹部107bに当たっている場合、平面部107aにはほとんど当たらない。
【0077】
よって、凹部であるか、平面部であるかが容易に検出でき、凹部107bの読取精度が向上する。
更に、本実施の形態例では、カード107上で拡散した光で、キャラクタを判定するようにしたが、カード107上での正反射光を用いても、キャラクタを判定することができる。
【0078】
又、更に、PSD123の代わりに、図4に示すように、線状の光の線方向にn(図においては7)、線方向と交差する方向にm(図においては2)分割されたPD(フォトダイオード)123′でもよい。
【0079】
(2) 第2の実施の形態例
図5を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0080】
図5は図1において矢印I方向から見た図に相当する。本実施の形態例は、シリンドリカルレンズの変わりに凸レンズがアレイ状に設けられたマイクロレンズアレイ201を用いた点である。
【0081】
上記構成によれば、LD(光源)101に大きな強度分布があった場合、一つ一つのスポット光の強度をマイクロレンズアレイ201の個々のレンズ面積等で調整でき、均一なスポット光を照射できる。
【0082】
又、マイクロレンズアレイ201を用いることで、カードの平面部か凸部又は凹部かを判別するのに、受光手段に到達したビームの径によって判定するビームサイズ法を用いることもできる。
【0083】
(3) 第3の実施の形態例
図6を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0084】
本実施の形態例では、カード107の平面部107aで反射した光は遮光板90で遮られ(図6(a)参照)、凹部107bで反射した光のみが受光手段120に向かう(図6(b)参照)ように、遮光板90をカード107の表面と接するか接しないか程度のカード表面と略同じ位置くらいに配設している。
【0085】
又、光出射手段100による入射を充分に小さくすることが好ましい。例えば、好ましくは45°以下である。
【0086】
よって、受光手段120では、正反射光が来たなら凹部107b、そうでないなら平面部107aであるので、カード107の平面部107aと凹部107bとの判別が容易となり、受光素子に図7に示すような線状の光の線方向にn(図においては6)分割させてはいるが、線状の光の線方向には、分割されていないアレイ状のPD(フォトダイオード)210を用いることが可能となる。
【0087】
又、集光のためのレンズとしては、NAの小さいものを用いることができ、又、焦点深度が深くてもよい。
【0088】
尚、上記実施の形態例では、正反射光を用いたが、拡散光であってもよい。
正反射光に比べて拡散光は一様にある立体角で広がる。
よって、拡散光を用いた場合には、受光手段の位置の自由度が大きくなり、カードに反り等があっても平面部と凹部、凸部との判別が可能となる。
【0089】
(4) 第4の実施の形態例
図8を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0090】
本実施の形態例は、遮光板90である。遮光板90はガイド250により、カード107の表面と略交差する方向に移動可能に設けられ、カードの107表面に自重でもって当接されるようになっている。
【0091】
この場合、遮光板90をプラスチック製ろするのがカード107の表面とのすべりをよくする.で好ましい。
【0092】
上記構成によれば、遮光板90はカード107の表面に当接されることにより、カード107がたわんだり、カード107表面に薄いICチップ107cが設けられても、遮光板90はカード107表面に追従して移動し、遮光を行なうので、平面部107aと凹部107bとの読取精度が向上する。
【0093】
(5) 第5の実施の形態例
図9を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0094】
本実施の形態例も、遮光板90である。遮光板90′は、カード107以外の部分に当接する当接部90a′を有し、カード107と対向する端面90b′とカード表面との間に隙間260を形成するようにした。
【0095】
上記構成によれば、遮光板90′と、カード107表面との間に隙間260を形成するようにしたことにより、カード107がたわんだり、カード107表面に薄いICチップ107cが設けられても、遮光板90はカード107と干渉することがなくなり、平面部107aと凹部107b又は凸部との読み取りを行なうことができる。
【0096】
(6) 第6の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図10を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0097】
本実施の形態例のPD280は、線状の光の線方向と交差する方向に対して非対称な受光面280a,280bからなる二分割された受光素子である。カード107の凹部107b又は凸部からの光が一方の受光面280aを照射し、平面部107aからの光が両方の受光面280a,280bを照射するようにし、二分割された受光面280a,280bの出力をそれぞれA,Bとし、(A-B)/(A+B)の値をとることで、光の強弱に関係しない信号が得られ、カード107の表面の光の反射率が低くなっていても、凹部又は凸部によるキャラクタを正確に読める。
【0098】
尚、本実施の形態例では、カード107の凹部107b又は凹部aからの光が両方の受光面280a,280bを照射し、平面部107aからの光が一方の受光面280aを照射するようにしてもよい。
【0099】
更に、受光面の分割を非対称としたことにより、より感度が高くなる。
尚、本発明は、上記実施の形態例に限定するものではない。例えば、図11に示すように、ハーフミラー283を用いて、光照射手段と受光手段との光路を一部共用する再帰光学系であってもよい。
【0100】
(7) 第7の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図12を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0101】
本実施の形態例のPD290は、(a)図に示すように、三分割された受光面290a,290b,290cを有している。
そして、受光面290a,290b,290cの出力をA,B,Cとし、((A+C)-B)/(A+B+C)の値が、例えば、所定の値より小さければ平面部、所定の値以上であれば凹部107b又は凸部と判断される。
【0102】
上記構成によれば、カード107の平面部107a上に印刷等で反射率の異なる2つの部分(例えば、(a),(b)図に示すような黒い部分と白い部分)が形成されている場合、(b)図に示すような非対称な二分割のPD280を用いると、(A-B)/(A+B)の値が大きくなり平面部107aであっても凸部107b又は凹部と誤判断される可能性が生じるが、受光面が三分割されたPD290を用いることにより、受光面の出力をABCとし、((A+C)-B)/(A+B+C)の値をとることで、誤判断されにくくなる。
【0103】
(8) 第8の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図13を用いて説明する。尚、第6,7の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0104】
本実施の形態例では、図11で示す再帰光学系に、三分割のPD290を用い、更に、コリメータレンズ103と、シリンドリカルレンズ105との間に、平行光束を二つの光束に分ける遮光板300を設けている。
【0105】
そして、カード107の平面部107aと、凹部107b又は凸部とのうち、どちらか一方上で、二つの光が合うようにし、他方上では、2本の光束となるようにしている。
【0106】
よって、受光面が2分割や3分割された受光素子を用いることで、平面部107aと、凹部107b又は凸部とを検出できる。
特に、本実施の形態例のように、三分割のPD290を用いた方が、感度よく検出できる。
【0107】
又、((A+C)-B)/(A+B+C)の割り算をしなくとも、APCにより(A+C)の値が一定になるようにすることにより、感度よく平面部と凹部又は凸部とを検出できる。
そして、カードの白黒の模様などによる影響も少ない。
【0108】
又、図14に示すように、第7の実施の形態例においては、カード107の凹部107a又は凸部に反射率の異なる縞模様があった場合、PD290の真中の受光面290bに光が集中する場合もあり、平面部107aと誤判断する場合も考えられる。
【0109】
しかし、本実施の形態例では、凹部107a又は凸部で反射した光は、二本の光束となるので、受光面290a及び290cに入射し、凹部107a又は凸部と判断できる。
【0110】
又、本実施の形態例の光学系は、読み取り光学系の距離と、受光光の二つのビーム間の距離が比例するようなテレセントリックな光学系が好ましい。
(9) 第9の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図15を用いて説明する。尚、第8の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0111】
本実施の形態例では、光照射手段を二つ設けている。すなわち、LD101、コリメータレンズ103、シリンドリカルレンズ105からなる光照射手段と、LD101′、コリメータレンズ103′、シリンドリカルレンズ105′からなる光照射手段である。
【0112】
そして、カード107の平面部107aと、凹部107b又は凸部とのうち、どちらか一方上で、二つの光が合うようにし、他方上では、2本の光束となるようにしている。
【0113】
よって、第8の実施の形態例と同様に、受光面が2分割や3分割された受光素子を用いることで、平面部107aと、凹部107b又は凸部とを検出できる。
【0114】
又、第8の実施の形態例のように、1つの光源でテレセントリックな光学系を実現するためには、コストが高くなるが、本実施の形態例では、光源であるLD101,101′をそれぞれ設けたことにより、安価で精度のよいテレセントリックな光学系と似た振る舞いをする光学系を実現できる。
【0115】
(10) 第10の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図16を用いて説明する。尚、第8の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明を省略する。
【0116】
図16(a)に示すように、コリメータレンズ103で平行光束とされ、ハーフミラー283を透過した光は、マイクロレンズアレイ311により、カード107上に略直線上に並んだスポット光を照射する。
【0117】
カード107上で反射した光は、マイクロレンズアレイ311を介してハーフミラー283で反射し、マイクロレンズアレイ313で集光され、PD315上に入射する。
【0118】
本実施の形態例のPD315は、図16(b)に示すように、受光面315a,315bが同心円状に分割された二分割PDである。
そして、PD315の受光面315a,315bの出力をビームサイズ法((A-B)/(A+B))で検出している。
【0119】
上記構成によれば、ビームサイズ法で検出することにより、受光光の変化が大きく、光の反射率の悪いカードでもカード107の平面部107aと凹部107b又は凸部との判別が容易になる。
【0120】
(11) 第11の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図17,図18を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【0121】
400はカードに接するように設けられ、略直線状に配設された複数の接触型変位検出センサ401を有する接触手段である。
尚、接触型変位検出センサ401の配設方向は、搬送手段110によるカード107の搬送方向と交差する方向である。
【0122】
本実施の形態例の接触型変位検出センサは、図18(a)に示すように、アーム417は中央部のシャフト411によって回転可能に支持され、一方の端部にはカード107上を転動するローラ413が、他方の端部には、ポジションセンサ415の接触子415aが当接可能となっている。
【0123】
図17に戻って、カード107が搬送手段110上にセットされると、光電スイッチ143が応動し、カード検知手段141はカード搬送制御手段145にカードが107がセットされたことを知らせる。
【0124】
カード搬送制御手段145は、カード検知手段141からの信号を受け、搬送手段110の駆動ローラ113を駆動し、セットされたカード107を矢印I方向へ搬送する。
【0125】
カード107が矢印I方向に搬送されると、図18(a)から理解されるように接触手段400の接触型変位検出センサ401がカード107上に当接する。
カード107の凹部107b内にローラ413が落ち込むと、アーム417がシャフト411を中心として回転し、ポジションセンサ415の接触子415aを押す。
【0126】
よって、ローラ413がカードの平面部107a上にあるときと、凹部107bにあるときとでは、接触子415aの位置によって抵抗値が変化し、その抵抗値に応じてポジションセンサ415の出力が異なり、平面部107aであるか、凹部107bであるかが判断できる。
【0127】
尚、本実施の形態例では、平面部107aと、凹部107bとから形成されたキャラクタの例で説明を行なったが、平面部107aと凸部とでも、ポジションセンサ415の出力が異なることにより、判別可能である。
【0128】
各ポジションセンサ415の出力を取り込むことにより、カード107の表面の高さ方向の一次元変位分布データが得られる。
又、搬送手段110を用いて矢印I方向へカード107を搬送することにより、カード107の表面の高さ方向の二次元の変位分布データが得られる。
【0129】
ポジションセンサ415の各出力信号は、アンプ131で増幅され、サンプルホールド手段132でサンプリングされ、一時的に保存される。
サンプルホールド手段132に保存されたカード107の表面の高さ方向の変位分布データは二値化手段135により二値化され、キャラクタ判定手段137が、二値化されたデータと、キャラクタパターンテーブル139のデータとを比較・参照してカード107上の凹部107bで形成されたキャラクタの判定を行なう。
【0130】
上記構成によれば、カード107の平面部107aと凹部107b又は凸部とを直接機械的に検出することにより、光を利用した検出のように反射率の良し悪しいといった要因によらず、平面部と凹部又は凸部との判別が容易になる。
【0131】
又、反り等があって平面性の悪いカード107でも平面部と凹部又は凹部との判別が容易となる。
尚、本発明は、上記実施の形態例に限定するものではない。上記実施の形態例では、接触型変位検出センサ401として、ポジションセンサ415を用いた例で説明を行ったが、他に、リニアエンコーダであってもよいし、更に、図18(b)に示すように、対向する二つの電極421,423を有し、一方の電極421を剛性の高い支持板425で支持し、他方の電極423を弾性を有する支持板(フレキシブルコード)427で支持するとともに、カード107上に当接させ、カード107の平面部107aと、凹部107bとで、電極421と電極423との間の静電容量が変化することで、出力が異なる接触型変位検出センサ401であってもよい。
【0132】
(12) 第12の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図19を用いて説明する。尚、第1の実施の形態例と同一部分には、同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【0133】
本実施の形態例は、図19に示すように、フレキシブル基板451の下面(一方の面)に、カード107に当接する複数の微小スイッチ(接触型変位検出センサ)453を二次元状に配設し、フレキシブル基板451の上面(他方の面)を圧縮空気455が充填された空気袋459を用いて均一な圧力でフレキシブル基板451を押圧するものである。
【0134】
上記構成によれば、カード107が平面部107aと凹部107bとからなっている場合、カード107の平面部107aの微小スイッチ453はONとなり、凹部107bの微小スイッチ453はOFFとなる。
【0135】
又、カード107が平面部107aと凸部とからなっている場合、カード107の平面部107aの微小スイッチ453はOFFとなり、凹部107bの微小スイッチ453はONとなる。
【0136】
この二次元のデータを処理することで、光の反射率の悪いカードでも平面部と凹部又は凸部との判別が容易になる。
又、反り等があって平面性の悪いカード107でも平面部と凹部との判別が容易となる。
【0137】
更に、キャラクタの二次元の検出が一度にでき、前記カードや前記接触手段を搬送する搬送手段を不要とすることができる。
(13) 第13の実施の形態例(本発明の特許請求の範囲の記載には該当せず)
図20を用いて説明を行う。
【0138】
図において、カード507には凸部507aが形成されている。
光照射手段501は、具体的な構成を図面上省略しているが、例えば、第1の実施の形態例のようの光照射手段100と同様に、指向性を有し、紙面に対して垂直な方向に延びる線状の光をカード507上へ照射する。カード507の平面部507bで反射した正反射光は集光レンズ503で集光され、受光手段としてのアレイ状PD505へ入射するようになっている。
【0139】
又、判別は受光手段の出力が低下したところを凹部又は凸部として判定する。
【0140】
そして、アレイ状PD505は、集光レンズ503を介してカード507の表面と共役な位置に設けられている。
アレイ状PD505の受光面は、図21に示すように、線状の光の線方向にn(図においては7)分割されている。
【0141】
このような構成では、カード107に対して照射された光は、図22に示すようになる。
即ち、図22(a)に示すように、カード507の平面部507bで反射した光は、常に拡散する拡散光P1と、正反射光P2とに分けられる。
【0142】
又、図22(b)に示すように、カード507の凸部507aで反射した光は、常に拡散する拡散光P1′と、平面部507bでの正反射光P1と異なる方向に向かう正反射光P2′とに分けられる。
【0143】
従って、本実施の形態例では、集光レンズ503で集光されアレイ状PD505へ入射する光は、平面部507bで反射した光では、正反射光P2と、拡散光P1の一部であり、凸部507aで反射した光では、拡散光P1′の一部である。
【0144】
よって、光量の関係がP2>P1′であれば、カード上の凸部507aを判別できる。
尚、本実施の形態例では、カード507の面が多少傾いていても、集光レンズ503がある程度の面積を有していれば、カード507とアレイ状PD505とが像の結合関係で共役関係にあるので、正反射光はアレイ状PD505へ入射する。
【0145】
ここで、カード507から集光レンズ503までの距離をR、集光レンズ503の有効面積(光軸と直行する面に投影した光学面の面積)をSとし、カード507上での拡散率をγ1とし、それぞれの光の光量をPnで表すと、
【0146】
【数1】
【0147】
又、カード507上での正反射率をγ2とすると、
P2=γ2P0 …(2)
従って、P2>P1とすると、凸部の判別ができる。具体的には、信号のSN比等を考慮すると、P2-P1>「電気的に処理できる一定値」にする。
【0148】
更に、正反射した箇所が黒等の正反射率が小さくなる箇所での正反射光P2Bに対して、白等の拡散率の大きなP1Wを小さくすることも好ましい態様であり、この場合、P2B-P1W>「一定値」であればよい。このような関係であると、どのような色、反射率のカードでも凸部の判定が可能となる。
【0149】
(1)式を代入して、
【0150】
【数2】
【0151】
となるようにカード507から集光レンズ503までの距離であるRと、レンズの有効面積であるSとを調整することで、凸部の判別を容易に行なうことができる。
【0152】
更に、本実施の形態例では、照射手段501は線状の光を カード107へ照射し、アレイ状のPD505で受ける構成としたことにより、カード107上の多数の箇所を同時に測定することができる。
【0153】
尚、上記実施の形態例1〜13においては、カード上の凸部又は凹部はエンボスによって形成した例を説明したが、カード上に形成する凹部又は凸部はエンボス以外の手法によっても形成可能なことは言うまでもない。
【0154】
又、本発明のおいて凸部又は凹部によって形成されたキャラクタ(列)とは、カードの片面を見たときの状態を表したものであって、カードの両面を見たときにエンボスのキャラクタ(列)は施された場合のように、キャラクタ(列)が凹凸によって形成されたものを本発明に含むことは勿論である。
【0155】
尚、上記実施の形態例の説明において、「交差する方向」とは、好ましくは略直交する方向である。
【0156】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項1記載の発明によれば、凹部によりキャラクタが形成されている場合、遮光手段の先端部をカードの表面(平面部)近傍に位置するように設けると、凹部での正反射光、拡散光に比べて、平面部での正反射光、拡散光は遮光手段でより多くカットされ、実効的な入射光線の中心の位置や角度が変わって受光手段に至る。
【0157】
よって、光の反射率の悪いカードでも平面部と凹部との判別が容易になる。
又、凸部によりキャラクタが形成されている場合、遮光手段の先端部をカードの凸部近傍に位置するように設けると、平面部での正反射光、拡散光に比べて、凸部での正反射光、拡散光は遮光手段でより多くカットされ、実効的な入射光線の中心の位置や角度が変わって受光手段に至る。
【0158】
よって、光の反射率の悪いカードでも平面部と凹部との判別が容易になる。
又、受光手段は、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)、線方向と交差する方向にm(mは1以上の整数)分割されたPD、前記線状の光の線方向にn個配設されたPSDアレイのいずれかを用いることで、受光光の強度のみならず、受光光の明るさの中心の位置情報を得ることができ、平面部と、凹部又は凸部との読取精度が向上する。
請求項2記載の発明によれば、シリンドリカルレンズを用いることで、コストダウンがはかれる。
【0159】
請求項3記載の発明によれば、光源に大きな強度分布があった場合、一つ一つのスポット光の強度をレンズ面積等で個別に調整でき、均一なスポット光を照射できる。
【0160】
又、マイクロレンズアレイを用いることで、カードの平面部か凸部又は凹部かを判別するのに、受光手段に到達したビームの径によって判定するビームサイズ法を用いることもできる。
【0161】
請求項4記載の発明によれば、平面部で反射した正反射光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部で反射した正反射光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したこにより、正反射光が来たなら凹部、そうでないなら平面部とできるので、平面部と凹部との判別が容易となる。
【0162】
請求項5記載の発明によれば、平面部での拡散光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部での拡散光のみが前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したこにより、拡散光が来たなら凹部、そうでないなら平面部とでき、平面部と凹部との判別が容易となる。
【0163】
又、正反射光に比べて拡散光は一様にある立体角で広がる。
よって、受光手段の位置の自由度が大きくなり、カードに反り等があっても平面部と凹部又は凸部との判別が可能となる。
【0164】
請求項6記載の発明によれば、光照射手段からの線状の光の幅を凸部又は凹部の幅(好ましくは最小幅)より小さくしたことにより、線状の光が凸部又は凹部に当たっていて、平面部には当っていない状況をつくり得る。
【0165】
よって、凸部又は凹部であるか、平面部であるかが容易に検出でき、凹部又は凸部の読取精度が向上する。
【0166】
請求項7記載の発明によれば、遮光手段は前記カードの表面と略交差する方向に移動可能に設けられ、カードの表面に当接されることにより、カードがたわんだり、カード表面に薄いICチップが設けられても、遮光手段はカード表面に追従して移動し、遮光を行なうので、平面部と凹部又は凸部との読取精度が向上する。
【0167】
請求項8記載の発明によれば、前記カードと対向する端面と前記カード表面との間に隙間を形成するように カード以外の部分に当接される当接部を有することにより、カードがたわんだり、カード表面に薄いICチップが設けられても、遮光手段はカードと干渉することがなくなり、平面部と凹部又は凸部との読み取りを行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態例を説明する構成図である。
【図2】図1のPSDの受光面を説明する図である。
【図3】図1での動作を説明する図である。
【図4】他の実施の形態例を説明する図である。
【図5】第2の実施の形態例を説明する図である。
【図6】第3の実施の形態例を説明する図である。
【図7】第3の実施の形態例の受光素子を説明する図である。
【図8】第4の実施の形態例を説明する図である。
【図9】第5の実施の形態例を説明する図である。
【図10】第6の実施の形態例の他の例を説明する図である。
【図11】他の形態例を説明する図である。
【図12】第7の実施の形態例を説明する図である。
【図13】第8の実施の形態例を説明する図である。
【図14】効果を説明する図である。
【図15】第9の実施の形態例を説明する図である。
【図16】第10の実施の形態例を説明する図である。
【図17】第11の実施の形態例を説明する図である。
【図18】図17の接触型変位検出センサを説明する図である。
【図19】第12の実施の形態例を説明する図である。
【図20】第13の実施の形態例を説明する図である。
【図21】図20のアレイ状PDを説明する図である。
【図22】図20のカード上の反射を説明する図である。
【図23】従来例を説明する図である。
【図24】図23の線状光源を説明する図である。
【図25】カードを説明する図である。
【符号の説明】
90 遮光板(遮光手段)
100 光照射手段
101 LD(光源)
105 シリンドリカルレンズ
107 カード
107a 平面部
107b 凹部又は凸部
110 搬送手段
120 受光手段
123 PSD(受光素子)
Claims (8)
- 凸部又は凹部によってキャラクタが表面上に形成されたカード上で前記カードの表面に対して交差する方向に設けられた遮光手段と、
該遮光手段の一方の側に設けられ、前記カードへ線状の光を照射する光照射手段と、
前記遮光手段の他方の側に設けられ、前記カード表面での正反射光、拡散光のうち少なくとも一方を受ける受光手段と、
前記線状の光の線方向と交差する方向に前記カード、前記光照射手段のうち少なくとも一方を搬送する搬送手段と、
を有し、
前記受光手段は、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)、線方向と交差する方向にm(mは1以上の整数)分割されたPD、前記線状の光の線方向にn(nは2以上の整数)個配設されたPSDアレイのいずれかであり、
前記受光手段の受光位置の違いにより前記凸部又は凹部の変位を測定することを特徴とする変位測定装置。 - 前記光照射手段は、シリンドリカルレンズを有し、直線状の1つの光を前記カードに照射することを特徴とする請求項1記載の変位測定装置。
- 前記光照射手段は、マイクロレンズアレイを有し、略直線上に並んだ複数のスポット光を前記カードに照射することを特徴とする請求項1記載の変位測定装置。
- 前記光照射手段で光を照射される前記カードの面は、平面部と、凹部とからなり、
前記平面部で反射した光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部で反射した光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位測定装置。 - 前記光照射手段で光を照射される前記カードの面は、平面部と、凹部とからなり、
前記平面部での拡散光は前記遮光手段で遮られ、前記凹部での拡散光が前記受光手段に向かうように前記光照射手段、前記遮光手段を配設したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位測定装置。 - 前記光照射手段からの線状の光の幅は、前記凸部又は凹部の幅より小さいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位測定装置。
- 前記遮光手段は、前記カードの表面と略交差する方向に移動可能に設けられ、カードの表面に当接されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の変位測定装置。
- 前記遮光手段は、前記カードと対向する端面と前記カード表面との間に隙間を形成するように、前記カード以外の部分に当接される当接部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の変位測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23660099A JP4507304B2 (ja) | 1999-08-24 | 1999-08-24 | 変位測定装置 |
US09/643,252 US6414751B1 (en) | 1999-08-24 | 2000-08-22 | Displacement measurement apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23660099A JP4507304B2 (ja) | 1999-08-24 | 1999-08-24 | 変位測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001059721A JP2001059721A (ja) | 2001-03-06 |
JP4507304B2 true JP4507304B2 (ja) | 2010-07-21 |
Family
ID=17003058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23660099A Expired - Fee Related JP4507304B2 (ja) | 1999-08-24 | 1999-08-24 | 変位測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6414751B1 (ja) |
JP (1) | JP4507304B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4761668B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2011-08-31 | ローム株式会社 | 表面情報検知装置 |
JP2004117239A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Nidec Tosok Corp | エンボス文字検査装置 |
US20040254702A1 (en) * | 2003-06-16 | 2004-12-16 | Mueller Donald Lee | Method and apparatus for sensing a turn on a vehicle |
TWI673491B (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-01 | 特銓股份有限公司 | 光箱結構及應用彼光學檢測設備 |
CN109991819B (zh) * | 2018-01-03 | 2021-08-03 | 群创光电股份有限公司 | 曝光系统及其用于制造显示面板的方法 |
JP2023124335A (ja) * | 2022-02-25 | 2023-09-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光学装置及び測距装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0470505A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-05 | Bridgestone Corp | 構造体の段差検出方法 |
JPH04102004A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Kazuo Araki | 位置検出素子 |
JPH0933446A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH1183453A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-26 | Hitachi Denshi Ltd | 微小形状測定装置 |
JPH11118446A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4377340A (en) * | 1980-10-24 | 1983-03-22 | Hamamatsu Systems, Inc. | Method and apparatus for detecting particles on a material |
US4560273A (en) * | 1982-11-30 | 1985-12-24 | Fujitsu Limited | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
US5469294A (en) * | 1992-05-01 | 1995-11-21 | Xrl, Inc. | Illumination system for OCR of indicia on a substrate |
JP3259331B2 (ja) * | 1992-05-29 | 2002-02-25 | キヤノン株式会社 | 表面状態検査装置 |
US6122042A (en) * | 1997-02-07 | 2000-09-19 | Wunderman; Irwin | Devices and methods for optically identifying characteristics of material objects |
US6031615A (en) * | 1997-09-22 | 2000-02-29 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring lubricant thickness and degradation, thin film thickness and wear, and surface roughness |
NO310746B1 (no) * | 1998-02-26 | 2001-08-20 | Simrad Optronics As | Sensorsystem for måling av lysabsorpsjon |
US6097482A (en) * | 1999-06-08 | 2000-08-01 | Philip Morris Incorporated | High speed flaw detecting system for reflective material |
-
1999
- 1999-08-24 JP JP23660099A patent/JP4507304B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-22 US US09/643,252 patent/US6414751B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0470505A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-05 | Bridgestone Corp | 構造体の段差検出方法 |
JPH04102004A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Kazuo Araki | 位置検出素子 |
JPH0933446A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH1183453A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-26 | Hitachi Denshi Ltd | 微小形状測定装置 |
JPH11118446A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001059721A (ja) | 2001-03-06 |
US6414751B1 (en) | 2002-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100367272B1 (ko) | 부품정렬센서및부품검출시스템 | |
US9373017B2 (en) | Scanning system | |
US5929983A (en) | Optical apparatus for determining the height and tilt of a sample surface | |
US7595478B2 (en) | Method and device for processing optical signals in computer mouse | |
KR960703228A (ko) | 고정밀 부품 얼라인먼트 센서 시스템(a high precision component alignment sensor system) | |
US6815702B2 (en) | Method and apparatus for detection of an edge of a printing plate mounted on a drum imaging system | |
US6392247B1 (en) | Sensor and detection system having wide diverging beam optics | |
JP3641196B2 (ja) | 光学式位置感知装置 | |
JP4507304B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP4357621B2 (ja) | 紙パイルの位置を検出する方法および装置 | |
JP2873410B2 (ja) | 被試料体の記号・文字識別装置 | |
JP2023502079A (ja) | 位置測定器 | |
JP4033781B2 (ja) | 光学式物体識別装置および処理システムおよび搬送処理システム | |
JP4853968B2 (ja) | ウェハの位置決め方法および位置決め装置 | |
TWI276830B (en) | Photoelectric sensor | |
JP2001056214A (ja) | 光学式表面変位検出装置、パターン認識装置及び光学式表面変位検出方法 | |
US7115889B2 (en) | Device and method for sensing the position of an edge of a product | |
US6414293B1 (en) | Optical position sensing device and method using a contoured transparent sheet | |
JP2001045242A (ja) | 一体型位置検出装置を備えている撮像装置 | |
JP2002195808A (ja) | 表面変位検出装置 | |
KR20220097472A (ko) | 인코더 장치 | |
JP2002221492A (ja) | 表面検査装置及び表面精査装置 | |
JP2001060245A (ja) | カードリーダ | |
IL94405A (en) | System for high throughput non-contact measurements of electrical circuits | |
JPH0843035A (ja) | 厚みセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060705 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100413 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100426 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |