JP3641196B2 - 光学式位置感知装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学式位置感知装置に関し、特に、単一感光素子を備えた光学式位置感知装置で構成される走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
手動式走査装置は、対象物の画像を表す、機械が読み取り可能な画像データ(本明細書では、単に画像データと言うこともある)を生成する携帯用撮像装置である。対象物の画像を表す画像データを生成することを、対象物を「撮像する」または「走査する」ということもある。走査装置の中には、撮像中の対象物の狭い「走査線」部分を表す画像データを生成するものもある。撮像プロセスにおいて、走査装置は、撮像中の対象物に対して相対移動される。走査装置が対象物に対して相対移動すると、走査装置は、対象物の画像の複数本の連続走査線部分を表す画像データを生成する。したがって、対象物の画像は、従来のビデオディスプレイで表示される対象物の画像と同様の蓄積した連続走査線の画像データにより表される。
【0003】
対象物の走査線部分の画像は、光検出器素子(本明細書では、単に光検出器と言うこともある)の線形アレイに結像される。光検出器は、一例として、当該技術において周知の密着型画像センサ等、線形に配列された複数個の電子セグメントに搭載されてもよい。また、光検出器をエッチング処理して単一半導体にしてもよく、これは、電荷結合素子において知られている。個々の光検出器は、対象物の走査線部分の画像の離散部分を表す画像データを生成する。画像データは、たとえば電圧としてもよく、比較的高い電圧は、光検出器により受光された光の強度が比較的高いことを表し、比較的低い電圧は、光検出器により受光された光の強度が比較的低いことを表す。
【0004】
光検出器により生成された画像データは、プロセッサに送られる。プロセッサの機能の1つは、走査線を生成した対象物上の位置に対する走査線の位置を示すデータベースまたは同様の電子構造を作成することである。あるいは、データベースは、走査線の位置を互いに対して相対的に示すようにしてもよい。データベースに記憶されたデータおよび画像データをプロセッサが使用することで、対象物の画像を複製できる。一例として、走査装置が、1枚の用紙上に作成したテキスト等の二次元対象物を表す画像データを生成している状況において、手動式走査装置を用紙の任意の方向に移動させることができる。したがって、走査線部分は、用紙上のほぼいずれの位置からも生成できるため、この画像データは、用紙に対して斜めに進むことができる複数本の走査線部分からなる対象物の画像を表している。対象物の画像を正確に複製するために、手動式走査装置は、データベースに記憶されているデータを使用して、用紙の画像の走査線部分の正確な配置を決定する。次に、プロセッサは、用紙に印刷されたテキストの電子画像を、周知の処理技術、たとえば、ソフトウェアを縫合することにより作成する。
【0005】
手動式走査装置の例は、以下の米国特許および特許出願に記載されている。これらをすべて参考として本明細書中に組み込む。McConicaの米国特許第5,552,597号「調整可能な光路を有する手動式スキャナ(HAND-HELD SCANNER HAVING ADJUSTABLE LIGHT PATH)」、Steinleの米国特許第5,646,394号「ビーム操縦性能を備えた撮像装置 (IMAGING DEVICE WITH BEAM STEERING CAPABILITY)」、Khovaylo他の米国特許第5,646,402号「伸長可能な手動式走査装置(EXPANDABLE HAND-HELD SCANNING DEVICE)」、Kerschner他の米国特許第5,723,859号「一線分において対象物の向きに略直交する光路を有する線接触型手動式走査装置および方法(LINE CONTACT HAND-HELD SCANNING DEVICE AND METHOD HAVING A LIGHT PATH SUBSTANTIALLY PERPENDICULAR TO THE ORIENTATION OF THE OBJECT AT A LINE PORTION)」、1998年7月29日付で出願されたSims他の米国特許出願第09/120,641号「手動式走査装置(HAND HELD SCANNING DEVICE)」、そして1998年7月30日付で出願されたSims他の米国特許出願第09/120,637号「手動式走査装置(HAND HELD SCANNING DEVICE)」である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
対象物に対する走査装置の移動の相対的な速度、位置または方向が走査処理中にわからない場合、対象物の画像を複製する問題に直面することがある。たとえば、走査装置が1秒あたり対象物の画像の1000の走査線部分を撮像しており、かつ走査装置が対象物に対して1秒あたり1インチの一定速度で単一軸に沿って移動しているとすると、各走査線は、対象物の画像の1/1000インチを表す。対象物に対する走査装置の正確な相対速度がプロセッサに伝達されていれば、プロセッサは、各走査線が対象物の画像の1/1000インチを表すことを示すデータベースを作成する。あるいは、プロセッサは、各走査線が隣接する走査線から1/1000インチ離れて配置されていることを示す。画像データおよびデータベースに記憶されているデータに基づいて、プロセッサは、対象物の画像を正確に複製することができる。しかしながら、対象物に対する走査装置の相対速度が減速され、この減速がプロセッサに伝達されなければ、プロセッサは、各走査線が対象物の1/1000インチを表しているかのように画像データを引き続き処理する。しかしながら、各走査線は、対象物の1/1000インチ未満を表す。このため、対象物の画像は圧縮される。一方、対象物に対する走査装置の相対速度が加速され、この加速がプロセッサに伝達されなければ、対象物の画像は拡大される。
【0007】
対象物に対する走査装置の相対的な速度または位置のいずれか一方がわかっていない場合、対象物の画像を正確に複製することは不可能である。位置または速度がわからなければ、プロセッサは、走査線が生成されていく際に走査装置が対象物に対してどこに位置しているのかを把握することができない。したがって、プロセッサは、走査線部分を互いに対して適切に配置することができないため、対象物の画像を正確に複製することができない。この問題は、走査線が対象物の任意の位置から生成される可能性があり、かつ対象物の表面上を斜めに進むことの多い手動式走査装置では悪化する。
【0008】
これらの問題を克服するために、走査装置は、位置センサを使用して対象物に対する走査装置の相対位置を検出する。位置センサは、対象物の画像の走査線部分が生成される際、対象物に対する走査装置の相対位置に関する位置情報を出力する。この位置情報は、プロセッサに伝達され、上述のデータベースに組み込まれる。
【0009】
走査装置の中には、走査装置に光センサを付属させて、走査中の対象物に対する走査装置の位置を測定するものがある。光センサは、走査中の対象物の二次元の小領域から画像データを周期的に生成する。この画像データをプロセッサが受け取り、対象物の固有の特性を識別する。対象物が1枚の用紙に印刷されたテキストである例では、固有の特性は、用紙表面の凹凸とすることができる。光センサに対するこれら固有の特性の位置は、メモリ装置に記憶される。走査装置が対象物に対して相対移動すると、これら固有の特性の位置は、光センサに対して相対移動する。プロセッサは、これら固有の特性の新たな位置をメモリ装置に記憶された位置と比較する。これらの比較に基づいて、プロセッサは、光センサを装着した走査装置の、対象物に対する相対的な位置、移動方向および速度を測定することが可能である。したがって、プロセッサは、対象物の画像の走査線部分の、互いに対する位置を容易に測定し得ることから、上述したデータベースを作成することが可能である。
【0010】
走査装置の中には、これらの二次元光センサのいくつかを、光検出器の線形配列に対して固定位置に配置させたものもある。たとえば、走査装置は、2個の光センサを互いに間隔をあけて配置してもよい。走査装置は、各光センサからの移動データを比較して、走査装置が受けた回転運動の量を測定することが可能である。光センサ間の距離が長くなると、これに応じて走査装置が回転運動を測定することが可能な精度が高くなる。
【0011】
しかしながら、これらの光センサは、走査装置を構成しているより高価な素子の一部をなす傾向がある。したがって、複数個の光センサを使用すると走査装置のコストが実質的に上昇する。しかしながら、走査装置の回転運動を正確に測定するためには、走査装置において最低でも2個の光センサを使用する必要がある。
【0012】
本発明は、このような従来の問題に鑑みて為されたものであり、走査装置が回転しても、走査装置のコストを実質的に上昇させることなく、対象物に対するその位置を正確に測定することが可能な手動式走査装置に用いられる光学式位置感知装置を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】
ここでは、単一の二次元光検出装置(本明細書では、感光素子と言うこともある)を備えた光学式位置感知装置が開示される。光学式位置感知装置は、1個の光検出装置と、第1の光路と、第2の光路と、第1の光源と、第2の光源と、を備えることができる。第1の光路および第2の光路は、それぞれ第1の焦点面と第2の焦点面から延伸し、光検出装置で交差し得る。第1の光源は、第1の焦点面を照射するように機能し、第2の光源は、第2の焦点面を照射するように機能し得る。光検出装置は、第1の光路または第2の光路のいずれかの光を機械が読み取り可能な画像データに変換するように機能する。
【0014】
光学式位置感知装置は、第1の光源と第2の光源がアクティブである周期を制御することにより、第1の焦点面と第2の焦点面の照射を交互に行うことができる。すなわち、光学式位置感知装置は、第1の焦点面または第2の焦点面の一方のみを照射することができる。したがって、第1の焦点面または第2の焦点面の一方の画像が取り込まれ、光検出装置により画像データに変換される。第1の焦点面と第2の焦点面をこのように切り替えることで、単一の光検出装置に、対象物の2カ所の異なる部分を撮像させることができる。プロセッサは、光検出装置と連係して、画像データを分析し、対象物に対する光学式位置感知装置の動きを従来通りの方法で測定することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1乃至図6は、全般的に、二次元光センサアレイ130と、第1の領域220と上記二次元光センサアレイ130との間に延在する第1の光路260と、第2の領域230と上記二次元光センサアレイ130との間に延在する第2の光路270と、上記第1の光路260上に配置された第1の光学部品150と、上記第2の光路270上に配置された第2の光学部品152と、上記第1の領域220と連係される第1の光源140と、上記第1の光源140と上記第1の領域220の間に延在する第3の光路250と、上記第2の領域230と連係される第2の光源142と、上記第2の光源142と上記第2の領域230の間に延在する第4の光路256と、で構成される光学式位置感知装置100を示している。
【0016】
また、図1乃至図6は、全般的に、表面208に対する対象物104の位置を測定する方法も示している。該方法は、対象物104と連係される二次元光センサアレイ130を設ける工程と、表面208の第1の焦点面部220から二次元光センサアレイ130に所定期間光を向ける工程と、表面208の第1の焦点面部220から二次元光センサアレイ130に光を向けていないときに、表面208の第2の焦点面部230から二次元光センサアレイ130に光を向ける工程と、二次元光センサアレイ130が取り込んだ画像を表す画像データを、二次元光センサアレイ130により生成する工程と、表面208と二次元光センサアレイ130の間を相対移動させる工程と、表面208に対する二次元光センサアレイ130の変位を測定するために上記画像データの分析を行う工程と、を含んでいる。
【0017】
また、図1乃至図6は、全般的に、表面208に対する対象物104の位置を測定する方法も示している。該方法は、対象物104と連係される二次元光センサアレイ130を設ける工程と、表面208の第1の焦点面部220と連係される第1の光源140を設ける工程と、表面208の第2の焦点面部230と連係される第2の光源142を設ける工程と、表面208の第1の焦点面部220を、第1の期間第1の光源140により照射する工程と、表面208の第2の焦点面部230を、第2の期間第2の光源142により照射する工程と、ここで、第2の期間が、第1の光源140が表面208の第1の焦点面部220を照射していない時間を含んでおり、表面208の第1の焦点面部220から二次元光センサアレイ130に第1の期間光を向ける工程と、表面208の第2の焦点面部230から二次元光センサアレイ130に第2の期間光を向ける工程と、二次元光センサアレイ130が取り込んだ画像を表す画像データを二次元光センサアレイ130により生成する工程と、表面208と二次元光センサアレイ130の間を相対移動する工程と、上記画像データの分析を行って、表面208に対する二次元光センサアレイ130の位置を測定する工程と、を含んでいる。
【0018】
また、図1乃至図6は、全般的に、表面208に対する対象物104の位置を測定する装置100も示している。装置100は、対象物104と連係される、画像データを生成する二次元光センサアレイ130と、表面208の第1の領域部220を第1の期間照射する手段140と、表面208の第2の領域部230を、第1の領域部220を照射していない時間を含む第2の期間照射する手段142と、表面208の第1の領域部220から二次元光センサアレイ130に光を向ける手段150と、表面208の第2の領域部230から二次元光センサアレイ130に光を向ける手段152と、二次元光センサアレイ130が生成した画像データを分析して、表面208に対する二次元光センサアレイ130の変位を測定する手段300と、を備えている。
【0019】
図1を参照して、ここで、光学式位置感知装置100を装着した対象物の表面に対する位置を測定するために使用可能な光学式位置感知装置100について説明する。すなわち、光学式位置感知装置100は、表面に対するその位置を測定し、次いでこれを用いて、光学式位置感知装置100を装着した対象物の表面に対する位置を求める。本明細書における例示では、光学式位置感知装置100は、走査装置104の、1枚の用紙等の対象物200の表面208に対する位置を測定するために使用されるが、走査装置以外の装置や複数枚の用紙とともに光学式位置感知装置100を使用してもよいことが理解されよう。
【0020】
走査装置104は、たとえば、McConicaらの米国特許第5,552,597号、Steinleの米国特許第5,646,394号、Cristie他の米国特許第5,680,375号、Kerschner他の米国特許第5,723,859号、Sims他の米国特許出願第09/120,641号、Simsらの米国特許出願第09/120,637号に記載された手動式走査装置等の従来の手動式走査装置として構成されてもよい。上記の特許および特許出願は、すでに引用したものである。
【0021】
要するに、光学式位置感知装置100は、表面208の左側領域部220と右側領域部230を撮像することによって、走査装置104の位置を測定するものである。ここで、左側領域部220と右側領域部230は、対象物200の二次元部分である。本明細書では、左側領域部220を単に左領域220、右側領域部230を単に右領域230ということもある。なお、図1は、対象物200の断面図であるため、左領域220と右領域230は二次元平面部ではなく一次元線分として図示されていることに留意されたい。光学式位置感知装置100は、左領域220と右領域230の画像の固有の特性の位置を識別する。たとえば、対象物200が1枚の用紙であるような状況では、光学式位置感知装置100は、用紙のパルプ材料によりもたらされる対象物の表面208の固有の特性を識別できる。
【0022】
走査プロセスにおいて、走査装置104は、対象物の表面208に対して相対移動し、これにより、左領域220と右領域230とが光学式位置感知装置100に対して相対移動する。したがって、左領域220と右領域230における固有の特性は、走査装置104の移動に比例する量だけ、その方向で光学式位置感知装置100に対して相対移動する。光学式位置感知装置100は、左領域220と右領域230に対する固有の特性の相対移動の量および方向を計測し、走査装置104の表面208に対する相対移動速度、位置および方向を測定する。
【0023】
2つの領域220および230は、走査装置104の回転運動を正確に測定するために撮像される。すなわち、対象物の表面208に対する左領域220と右領域230の間の方向および移動の差を容易に分析して、走査装置104の回転運動を求める。たとえば、走査装置104が基準線AAにより定められる軸を中心に回転する場合、2つの領域220、230を撮像することにより、走査装置104の回転運動の測定を精度よく行うことができる。なお、左領域220と右領域230の間の距離240が大きいほど、走査装置104の回転運動の測定を精度よく求めることができる。これは、走査装置104の回転運動が僅かである場合、左領域220と右領域230との、対象物の表面208に対する方向および移動の差が大きくなるという理由による。
【0024】
従来の光学式位置感知装置は、比較的な高価な素子である2個の二次元光センサ装置を個別に使用することにより、2つの別の領域を撮像していた。2個の光センサ装置を個別に使用することで、従来の光学式位置感知装置のコストが実質的に高くなり、したがって、この光学式位置感知装置を用いる従来の走査装置も実質的に高くなっていた。
【0025】
本明細書に開示される光学式位置感知装置100は、単一の光センサ素子130を使用することで、複数の光センサ素子の使用に絡む諸問題を克服している。2つの光路260および270は、左領域220と右領域230の画像を単一の光センサ素子130に向ける。光学式位置感知装置100は、単一の光センサ素子130により、左領域220または右領域230のいずれかを選択的に撮像する。左領域220および右領域230の画像を表す、光センサ素子130により生成された画像データは従来の方法で処理され、光学式位置感知装置100の位置、移動速度および方向を測定する。本明細書に開示される光学式位置感知装置100は、複数の光センサ素子の必要性をなくし、よって、走査装置104のコストを抑えるものである。
【0026】
光学式位置感知装置100および走査装置104について概説したが、以下、さらに詳細を説明していく。
【0027】
光学式位置感知装置100は、走査装置104のハウジング106内に納められている。ここで、走査装置104は、対象物200の画像を表す機械が読み取り可能な画像データを生成する種類のものである。対象物200の表面208に対するその位置を測定する走査装置104について以下説明していくが、ここでは、対象物200は、1枚の用紙であり、表面208は、この用紙の表面である。なお、光学式位置感知装置100は、走査装置以外の装置に組み込まれてもよく、また、走査装置104は、用紙以外の対象物とともに用いられてもよいことは理解されるはずである。
【0028】
光学式位置感知装置100は、光検出アセンブリ110と、第1の光源140と、第2の光源142と、を有することができる。さらに、光学式位置感知装置100は、第1の入射光路250と、第1の反射光路260と、第2の入射光路256と、第2の反射光路270と、を有することができる。また、光学式位置感知装置100は、第1のレンズ150と第2のレンズ152とを有することもできる。第1のレンズ150は、第1の反射光路260上にあり、第1の反射光路260の光を光検出アセンブリ110に収束するような機能としてもよい。同様に、第2のレンズ152は、第2の反射光路270上にあり、第2の反射光路270の光を光検出アセンブリ110に収束するような機能としてもよい。また、後述するように、第1のレンズ150と第2のレンズ152は、第1の反射光路260および第2の反射光路270の光を光検出アセンブリ110に向ける機能としてもよい。
【0029】
第1の光源140と第2の光源142は、たとえば、当該技術において周知の発光ダイオードとしてもよい。これらは、対象物の一領域を照射するのに十分大きなビームの光をそれぞれ発光することができる。本明細書に記載の例では、第1の光源140は、対象物200の左領域220を照射するのに十分大きな光ビームを発光することができるが、これについては、さらに詳細を後述する。左領域220は、左端222と右端224の間に延在する領域を含んでいてもよい。同様に、第2の光源142は、対象物200の右領域230を照射するのに十分大きな光ビームを発光することができる。右領域230は、左端232と右端234の間に延在する領域を含んでいてもよい。光学式位置感知装置100の実施形態の中には、第1の光源140と第2の光源142とが異なる周波数の光を発光できるものもある。
【0030】
光検出アセンブリ110は、光センサ素子130と、基板114と、で構成できる。基板114は、当該技術において周知のプリント回路基板としてもよく、これを走査装置104のハウジング106に従来の方法で装着している。基板114は、光センサ素子130を含む、基板114に実装される素子間の導通を図る複数のランド(図示せず)を有することができる。また、基板114は、基板114に実装された素子の実装面として機能することもできる基板面116を有しうる。光センサ素子130は、従来の方法、すなわち、はんだ付けまたはソケットにより基板114の基板面116に実装できる。光センサ素子130は、基板面116から高さ134だけ延伸することができる。
【0031】
光センサ素子130は、光検出装置面132に光検出素子の二次元アレイ(単に光検出装置と言うこともあり、図1には図示せず)を装着してもよい。各光検出装置は、光検出装置が受光した光を表す、機械が読み取り可能な画像データ(本明細書では、単に画像データと言うこともある)を出力できる。たとえば、比較的強度の大きな光を受光した光検出装置は、比較的高いデータ値、たとえば高電圧、を出力できる。同様に、比較的強度の小さな光を受光した光検出装置は、比較的低いデータ値、たとえば低電圧、を出力できる。光センサ素子130は、用紙の表面にある輪郭等、対象物200の微細に至る詳細を撮像するのに十分な解像度を有することができる。
【0032】
プロセッサ300は、データ線310により基板114と電気的に接続される。基板114に設けられたランドにより、プロセッサ300は、最終的には光センサ素子130と電気的に接続される。また、プロセッサ300は、データ線312により第1の光源140と、さらにデータ線314により第2の光源142とも接続される。以下、さらに詳細に説明していくが、プロセッサ300は、光センサ素子130により生成された画像データを処理し、かつ第1の光源140と第2の光源142を制御する機能を奏することができる。
【0033】
光検出装置により生成された画像データは、光センサ素子130からプロセッサ300に出力される。画像データは、光センサ素子130から基板114のランドに伝送される。次に、画像データは、基板114からデータ線310を介してプロセッサ300に送られる。プロセッサ300は、後述する画像データを分析するように構成された従来型プロセッサとすることができる。さらに、プロセッサ300は、データ線312とデータ線314をそれぞれ介して第1の光源140と第2の光源142をアクティブにするよう構成される。
【0034】
簡単に上述したように、光学式位置感知装置100は、対象物200の表面208に対してその位置を測定するものとして図1に示されている。対象物200は、ここでは1枚の用紙として図示され、表面208は、この用紙の表面として図示されている。光学式位置感知装置100は、走査装置104に装着されるものとして図示されている。したがって、光学式位置感知装置100は、走査装置104の対象物の表面208に対する位置を測定する。
【0035】
走査装置104は、ハウジング106を有し、ハウジング106の中には光学式位置感知装置100が納められている。ハウジング106には、第1の孔120と第2の孔122が形成されている。第1の孔120に第1の窓156を設け、第2の孔122に第2の窓158を設けることができる。第1の窓156と第2の窓158は、透明な部品としてもよく、ハウジング106の内側と外側の間の光路に光を通す役割を果たすことができる。
【0036】
光学式位置感知装置100および走査装置104の各部品について説明してきたが、次に、光学式位置感知装置100の動作について説明する。光学式位置感知装置100の動作は、さらに図2のフローチャートを参照しながら説明を行う。
【0037】
図3は、対象物200に対して相対移動する走査装置104を示している。ここで、対象物200は、1枚の用紙である。走査装置104の対象物の表面208に対する位置を測定する図1の光学式位置感知装置100を以下説明していくが、該表面は、図3に示すように用紙の紙面である。走査装置104は、たとえば、用紙の蛇行経路216をたどることで、表面208に印字されたテキスト210を撮像することができる。走査装置104は、本明細書では手動式の走査装置として説明する。
【0038】
再び図1を参照して、要約すると、光学式位置感知装置100は、対象物の表面208の左領域220と右領域230の撮像を光センサ素子130により交互に行っている。左領域220と右領域230の、光センサ素子130に対する固有の特性の位置は、プロセッサ300により記録される。走査装置104が対象物の表面208に対して相対移動すると、これらの固有の特性の位置は、光センサ素子130に対して相対移動する。光センサ素子130に対するこれらの固有の特性の移動方向および速度を測定することによって、光学式位置感知装置100は、走査装置104の対象物の表面208に対する移動方向および速度を測定することが可能である。光学式位置感知装置100は、走査装置104の移動方向および速度を分析することで、走査装置104の対象物の表面208に対する位置を測定する。単一の光センサ素子130を使用して左領域220と右領域230の両方を撮像することによって、光学式位置感知装置100は、単一の光センサ素子130とともに機能することが可能である。
【0039】
光学式位置感知装置100および走査装置104の動作の概略を説明してきたが、次に、これらの動作についてさらに詳細に説明していく。
【0040】
プロセッサ300は、対象物の表面208の左領域220または右領域230のいずれを撮像対象とするかを決定する。これは、第1の光源140または第2の光源142の何れをアクティブにするかを制御することにより達成される。後述するように、本実施形態の光学式位置感知装置100において、第1の光源140と第2の光源142は、同時にはアクティブにできない。まず、第1の光源140をアクティブすることについて説明し、その後、第2の光源142をアクティブにすることについて説明する。
【0041】
プロセッサ300は、アクティブにするよう第1の光源140に指示する命令を、データ線312を介して第1の光源140に出力する。プロセッサ300は、同時に、第2の光源142に対して、アクティブ解除するよう第2の光源142に指示する命令をデータ線314を介して送る。第1の光源140をアクティブにすると、該光源140は、第1の入射光路250に沿って左領域220を照射する光ビームを発光する。第1の入射光路250は、第1の光源140と左領域220内の中心点226との間に延伸するものとして図示されている。特に、第1の入射光路250は、第1の光源140から第1の窓156を通過し、さらに第1の孔120を通過して左領域220に延伸する。第1の入射光路250の光は、左端222から右端224に延在する左領域220を照射する。なお、左領域220と右領域230は、対象物の表面208の二次元平面部であるが、図1は、対象物の表面208の側面図であるため、左領域220と右領域230は対象物の表面208の線分部分として現れる。
【0042】
第1の入射光路250と対象物の表面208の間にはかすめ角228が存在する。第1の光源140は、かすめ角228を比較的小さくするように対象物の表面208に対して配置されている。このかすめ角228が小さいことで、左領域220の照射により、鏡面反射を減少させる結果となることがある。この小さいかすめ角228は、さらに、対象物の表面208についての固有の特性の光学的コントラストを高める機能があり、これらの固有の特性が光学式位置感知装置100により検出される可能性を高めている。たとえば、固有の特性が対象物の表面208に設けられたピットである場合、小さいかすめ角228により、このピットが照射される可能性が低下する。したがって、ピットは、明るい照射領域に囲まれた暗スポットとして現れ、光学式位置感知装置100により比較的容易に検出することができる。同様に、固有の特性が対象物の表面208に設けられた隆起である場合、隆起が照射され、この隆起の後ろに影が現れる。光学式位置感知装置100は、この影と隆起の明るい照射部分とのコントラストを検出することが可能となる。また、第2の入射光路256も、対象物の表面208により比較的小さいかすめ角(図示せず)を形成し得る。
【0043】
左領域220から反射した光は、第1の反射光路260に沿って左領域220から第1の孔120を通り、第1の窓156を通り、さらに第1のレンズ150を通って光センサ素子130に入射する。左領域220の画像は、この光上に存在する。第1のレンズ150は、第1の反射光路260を光センサ素子130に向け、これにより左領域220の画像を光センサ素子130に収束させる機能がある。図1に示すように、第1の反射光路260は、基準線AAに対して角度280で光センサ素子130と交差している。ここで、基準線AAは、光検出器表面132と直交している。したがって、第1のレンズ150は、走査装置104の中に適宜配置されて、第1の反射光路260が角度280で光センサ素子130と交差することを確実としている。たとえば、第1のレンズ150の焦点軸は、第1の反射光路260からオフセットされていてもよく、これを利用することで、第1の反射光路260を光センサ素子130に向けることができる。レンズの焦点軸を光路からオフセットさせ光路を対象物に向ける例が、1999年4月13日付で出願されたGardnerの米国特許出願第09/290,842号「レンズを光学軸からオフセットさせた光学アセンブリ(OPTICAL ASSEMBLY HAVING LENS OFFSET FROM OPTICAL AXIS)」に開示されている。これに開示されるすべてを参考として本明細書中に組み込む。
【0044】
光センサ素子130は、左領域220の画像を画像データに変換する。すなわち、光センサ素子130は、左領域220の画像である、第1の反射光路260の光を画像データに変換する。画像データは、光センサ素子130から基板114に設けられたランドに出力され、データ線310を介してプロセッサ300に送られる。画像データは、電圧が左領域220の一部における光の強度を表すアナログ電圧の形式としてもよい。あるいは、画像データは、ディジタル値が左領域220の一部における光の強度を表すディジタル値の形式としてもよい。第1の光源140がアクティブである期間、プロセッサ300は、光センサ素子130から画像データを受け取るためのモードにある。プロセッサ300は、画像データを受け取ると、左領域220を表す電子タグを画像データにつける。
【0045】
プロセッサ300が、左領域220の画像を表す画像データを受け取った後、該プロセッサ300は、アクティブ解除するように第1の光源140に指示する命令をデータ線312を介して送る。第1の光源140のアクティブ解除により、左領域220の画像を光センサ素子130に向けることが中止される。この期間中、プロセッサ300は、光センサ素子130から画像データを受け取れないモードに入る。これは、プロセッサ300が、走査装置104に外部光が入射した結果である画像データを光センサ素子130から受け取る可能性をなくす。
【0046】
次に、光学式位置感知装置100は、左領域220を撮像したときと同様に右領域230を撮像する。プロセッサ300は、アクティブにするように第2の光源142に指示する命令を第2の光源142にデータ線314を介して送る。同時に、プロセッサ300は、光センサ素子130から画像データを再び受け取り可能とするモードに入る。第2の光源142は、右領域230を照射する第2の入射光路256に沿って光ビームを発光する。すなわち、第2の入射光路256は、第2の光源142から、第2の窓158を通り、第2の孔122を通って対象物の表面208の右領域230に設けられた中心点236まで延在している。第2の入射光路256にしたがって進む光は、少なくとも右領域230の左端232と右端234の間の距離だけ広がっている領域を照射する。
【0047】
光は、右領域230から第2の反射光路270に沿って光センサ素子130に反射する。すなわち、光は、右領域230から発光し、第2の孔122を通り、第2の窓158を通り、第2のレンズ152を通って光センサ素子130に進む。図1に示すように、第2の反射光路270は、光センサ素子130および右領域230の両方に対して垂直である。このように第2の反射光路270が垂直交差していることで、通常、第2の反射光路270が右領域230と光センサ素子130と角度を持って交差している場合と比べて光センサ素子130に結像された右領域230のより精巧な画像が得られる。上述の垂直交差により、電解効果収差は実質的に減少する。第2のレンズ152は、直接光が光センサ素子130と交差するよう機能する。したがって、第2のレンズ152は、第2の反射光路270にしたがって進む光を光センサ素子130に収束させるように走査装置104に的確に配置される。
【0048】
光センサ素子130は、第2の反射光路270にしたがって進む光を画像データに変換する。これにより、光センサ素子130は、左領域220の撮像を参照して上述したように、右領域230の画像を表す画像データを生成する。光検出器アセンブリ110は、上述したものと同様の方法でプロセッサ300に画像データを出力する。したがって、プロセッサ300は、左領域220において上述したものと同様の方法で光センサ素子130から画像データを受け取る。
【0049】
プロセッサ300が右領域230の画像を表す画像データを光センサ素子130から受け取った後、該プロセッサ300は、アクティブ解除を第2の光源142に指示する命令をデータ線314を介して送る。同時に、プロセッサ300は、光センサ素子130から画像データを受け取らないモードに入る。
【0050】
プロセッサ300は、上述したプロセスを繰り返し行うことによって、左領域220と右領域230から画像データの受け取りを交互に行う。画像データをプロセッサ300が受け取ると、該プロセッサ300は、左領域220または右領域230を表す画像データにタグをつけて以下のような処理を行う。
【0051】
プロセッサ300は、光センサ素子130に対する左領域220と右領域230における固有の特性の位置を決定する。走査装置104が移動すると、これに応じて光センサ素子130に対するこれらの固有の特性の位置も移動する。プロセッサ300は、光センサ素子130に対するこれらの固有の特性の移動量および方向を計測し、走査装置104の対象物の表面208に対する移動の速度および方向を測定する。そして、プロセッサ300は、走査装置104の対象物の表面208に対する位置を算出することが可能となる。プロセッサ300は、走査装置104がさらに基準線AAを中心として回転するか、または図2に示すように蛇行経路216に沿って移動する際、該走査装置104の位置を算出することが可能である。なお、プロセッサ300は、走査装置104が基準線AAにより定められる軸または基準線AAと平行な他の軸を中心に移動する際、該走査装置104の位置を測定することが可能であることに留意されたい。二次元光センサアレイからの画像データを使用して、走査装置の位置を測定する例が、以下の米国特許、すなわち、Allen他の米国特許第5,644,139号「対象物に対するナビゲーションセンサの移動を検出するナビゲーション技法(NAVIGATION TECHNIQUE FOR DETECTING MOVEMENT OF NAVIGATION SENSORS RELATIVE TO AN OBJECT)」および、Allen他の米国特許第5,578,813号「非線形移動を補償するフリーハンド画像走査装置(FREEHAND IMAGE SCANNING DEVICE WHICH COMENSATES FOR NON-LINEAR MOVEMENT)」において開示されている。これらに開示されているすべてを参考として本明細書中に組み込む。
【0052】
本明細書に記載の光学式位置感知装置100には、従来の光学式位置感知装置を凌ぐ利点がいくつもある。たとえば、光学式位置感知装置100と併用される光センサ素子130は1個だけで済む。上述したように、光センサ素子130は、走査装置104のより高価な素子の1つとなる傾向があり、したがって、光学式位置感知装置100が必要とする光センサ素子130の数が減ったことにより、走査装置104のコストが大幅に低下する。さらに、光学式位置感知装置100は、1個の光センサ素子を支持するための電子部品のみでよく、従来の光学式位置感知装置のように2個の光センサ素子のための構成は必要としない。
【0053】
光学式位置感知装置100の一実施形態について説明してきたが、次に光学式位置感知装置100の他の実施形態について説明する。たとえば、図4は、反射素子290および292を用いて対象物の表面208からの光を光センサ素子130に向ける光学式位置感知装置100の一実施形態を示している。
【0054】
図4の光学式位置感知装置100は、第1の反射素子290を、第1の反射光路260と第2の反射光路270との交差部に配置することができる。また、光学式位置感知装置100は、第2の反射素子292を、第2の反射光路270を第1の反射素子290の方に向けるように機能させることもできる。第1の反射素子290を、たとえばビームスプリッタとし、第2の反射素子292を、たとえばミラーとしてもよい。
【0055】
第1の光源140および第2の光源142は、図1を参照しながら上述したものと略同様に機能することができる。しかしながら、第1の光源140および第2の光源142は、異なる周波数の光を発光してもよい。たとえば、第1の光源140は周波数1の光を発光し、第2の光源142は周波数2の光を発光してもよい。第1の反射素子290は、周波数1の光を通過させ、かつ周波数2の光を反射するように構成されてもよい。
【0056】
図4の光学式位置感知装置100における第1の反射光路260および第2の反射光路270は、いずれも対象物の表面208と垂直である。これは、第1の光源140と第2の光源142を第1の反射光路260と第2の反射光路270の間に配置できる余地を残しており、これにより、走査装置104をより小型にし、したがって携帯性がより高められる。
【0057】
図4の光学式位置感知装置100の各部品について説明してきたが、次に図4の光学式位置感知装置100の動作を説明する。
【0058】
図4の光学式位置感知装置100は、図1を参照しながら説明したように、プロセッサ300に第1の光源140をアクティブとさせることにより左領域220を照射する。したがって、左領域220は、周波数1の光で照射される。第1の反射光路260は、左領域220から、第1の孔120を通り、第1の窓156を通り、第1のレンズ150を通り、第1の反射素子290を通って光センサ素子130に延在する。上述したように、第1の反射素子290は、周波数1の光を通すため、第1の反射光路260の光は、第1の反射素子290を通過する。第1の反射素子290と光センサ素子130の間に延在する第1の反射光路260の部分を本明細書では共通光路278と言う。共通光路278は、第1の反射光路260と第2の反射光路270に共通である。
【0059】
第1の反射光路260が共通光路278を介して光センサ素子130と交差すると、光センサ素子130は、上述したように、左領域220の画像を表す画像データを生成する。同様に、プロセッサ300は、上述と同様の方法で画像データを受け取り、処理する。
【0060】
プロセッサ300が、左領域220の画像を表す画像データを受け取った後、該プロセッサ300は、上述のように、第1の光源140をアクティブ解除し、第2の光源142をアクティブにする。したがって、第2の光源142は、周波数2の光により右領域230を照射する。そして、周波数2の光は、右領域230から反射し、第2の反射光路270に沿って進む。第2の反射光路270は、第1のセクション272と第2のセクション274の2つのセクションに分割される。第1のセクション272は、右領域230から反射し、第2の孔122を通過し、第2の窓158を通って第2の反射素子292に進む。上述したように、第2の反射素子292はミラーである。したがって、第2の反射光路270の第2のセクションは、第2の反射素子292から反射し、第2のレンズ152を通過し、第1の反射素子290と交差する。上述したように、第1の反射素子290は、周波数2の光を反射するように構成されるビームスプリッタである。したがって、光は、第1の反射素子290から反射され、共通光路278に沿って進み、光センサ素子130と交差する。
【0061】
光センサ素子130は、上述したように、右領域230の画像を画像データに変換し、この画像データをプロセッサ300に送る。左領域220および右領域230を照射するプロセスは、走査装置104が対象物の表面208に対して相対移動する際に繰り返し行われる。プロセッサ300は、図1に示した光学式位置感知装置100の実施形態に関して上述したように、走査装置104の移動の速度および方向を測定することが可能である。
【0062】
図4に示した光学式位置感知装置100の一実施形態では、第1の反射素子290を部分反射ミラーとしてもよく、第2の反射素子292を従来のミラーとしてもよい。第1の反射素子290は、たとえば、これと交差する光の50パーセントを反射することができる。したがって、光路274の光の50パーセントは、第1の反射素子290から反射する。同様に、第1の反射光路260の光の50パーセントは、第1の反射素子290を通過する。本実施形態の光学式位置感知装置100により、第1の光源140と第2の光源142とが、同一の周波数の光を発光することができる。しかしながら、第1の光源140および第2の光源142は、第1の反射素子290が光を減衰することから、より強い光を発光する必要がある。
【0063】
図4に示した本実施形態の光学式位置感知装置100では、第1の反射光路260および第2の反射光路270は、左領域220および右領域230と角度を持って交差する必要がない。むしろ、第1の反射光路260および第2の反射光路270は、左領域220および右領域230に対してそれぞれ垂直である。さらに、第1の反射光路260および第2の反射光路270は、共通光路278を介して、光センサ素子130に対して垂直である。上述した垂直交差による撮像中に生じる歪みは少ないことから、位置感知の精度を高めることができる。本実施形態の光学式位置感知装置100には、さらに、走査プロセス中に光学式位置感知装置100が傾く際に左領域220と右領域230の比較的精度の高い撮像を維持することができるという利点がある。
【0064】
図1および図4に示した光学式位置感知装置100の実施形態は、光センサ素子130を対象物の表面208と平行に配置させている。このように光センサ素子130を対象物の表面208に対して平行に配置することは、光学式位置感知装置100が比較的平坦なスキャナにおいて使用されるような状況ではおそらく好ましい。しかしながら、用途によっては、図5に示すように光センサ素子130を対象物の表面208に対して直交するように配置することが好ましい。たとえば、光センサ素子130を対象物の表面208に対して直交するように配置することは、光学式位置感知装置100が、走査中の対象物から垂直方向に延伸するスキャナにおいて使用されるような状況ではおそらく好ましい。
【0065】
光センサ素子130が対象物の表面208に対して直交するように配置された光学式位置感知装置100を図5に示す。図5に示す光学式位置感知装置100は、図4に示した光学式位置感知装置100と実質的に同様である。図4に示した光学式位置感知装置100とは異なり、第1の反射素子290は、周波数2の光を通過させ、周波数1の光を反射する。この状況では、第1の反射光路260の光は、第1の反射素子290から反射されて光センサ素子130の方に進む。同様に、第2の反射光路270の光は、第1の反射素子290を通過して光センサ素子130と交差する。
【0066】
図1に示した実施形態と同様の光学式位置感知装置100の実施形態を図6に示す。図6に示す光学式位置感知装置100における第2の反射光路270は、基準線AAに対して角度282をもって光センサ素子130と交差する。角度282により、左領域220と右領域230は、図1に示した光学式位置感知装置100の場合より長い距離240をもって引き離される。これには、光学式位置感知装置100の回転運動についてより精度の高い情報を提供できるという利点がある。しかしながら、角度282により、右領域230の画像は、図1に示した光学式位置感知装置100の右領域230の画像に対して歪む虞れがある。
【0067】
本明細書では、第1の光源140および第2の光源142のアクティブ化を制御することにより、左領域220または右領域230のいずれかを撮像するとして、光学式位置感知装置100を説明してきた。左領域220と右領域230の撮像を交互に行うために他の実施形態を使用することもできる。たとえば、各光路に電子シャッタ装置を配置して、光センサ素子130によって左領域220の画像を取り込むか、あるいは右領域230の画像を取り込むかを制御することができる。シャッタ装置は、当該技術において周知の械動作式の孔または電子式の孔とすることができる。
【0068】
本明細書では、対象物の表面208の2つの領域部を撮像するとして、光学式位置感知装置100を説明してきた。これは単に例示の目的であり、光学式位置感知装置100は、対象物の表面208の複数箇所の領域部を、本明細書で説明したようにこれらの領域部から光センサ素子130に光を向けることにより撮像できるということが理解されよう。
【0069】
本発明の例示的かつ現在推奨される実施形態について詳細に説明してきたが、それ以外にも発明の概念を様々に具体化して用いてもよく、従来技術により制限されない限りかかる変形を含めるとして特許請求の範囲を解釈するものとすることが理解されよう。
【0070】
以下に、本発明の実施形態を要約しておく。
1.二次元光センサアレイ(130)と、
第1の領域(220)と前記二次元光センサアレイ(130)の間に延在する第1の光路(260)と、
第2の領域(230)と前記二次元光センサアレイ(130)の間に延在する第2の光路(270)と、
前記第1の光路(260)上に配置された第1の光学部品(150)と、
前記第2の光路(270)上に配置された第2の光学部品(152)と、
前記第1の領域(220)と連係される第1の光源(140)と、
この第1の光源(140)と前記第1の領域(220)の間に延在する第3の光路(250)と、
前記第2の領域(230)と連係される第2の光源(142)と、
この第2の光源(142)と前記第2の領域(230)の間に延在する第4の光路(256)と、
を備えてなることを特徴とする光学式位置感知装置(100)。
【0071】
2.部分反射素子(290)をさらに備え、
前記第1の光路(260)と前記第2の光路(270)が前記部分反射素子(290)で交差し、
前記第1の光路(260)は前記部分反射素子(290)を通過し、
前記第2の光路(270)は前記部分反射素子(290)から反射する、
ことを特徴とする上記1に記載の光学式位置感知装置(100)。
【0072】
3.ビームスプリッタ素子(290)をさらに備え、
前記第1の光路(260)と前記第2の光路(270)が前記ビームスプリッタ素子(290)で交差し、
前記第1の光路(260)は前記ビームスプリッタ素子(290)を通過し、
前記第2の光路(270)は前記ビームスプリッタ素子(290)から反射する、
ことを特徴とする上記1に記載の光学式位置感知装置(100)。
【0073】
4.前記光学式位置感知装置(100)は走査装置(104)と動作上連係されることを特徴とする上記1に記載の光学式位置感知装置(100)。
【0074】
5.前記第1の光路(260)は前記二次元光センサアレイ(130)に対して垂直であることを特徴とする上記1に記載の光学式位置感知装置(100)。
【0075】
6.前記第2の光路(270)は前記第2の領域(230)に対して垂直であることを特徴とする上記1に記載の光学式位置感知装置(100)。
【0076】
7.表面(208)に対する対象物(104)の位置を測定する位置測定方法において、
前記対象物(104)に連係される二次元光センサアレイ(130)を設ける工程と、
前記表面(208)の第1の焦点面部(220)から前記二次元光センサアレイ(130)に所定期間光を向ける工程と、
前記表面(208)の第2の焦点面部(230)から前記二次元光センサアレイ(130)に、前記表面(208)の前記第1の焦点面部(220)から前記二次元光センサアレイ(130)に光を向けていない期間、光を向ける工程と、
前記二次元光センサアレイ(130)により、前記二次元光センサアレイ(130)が取り込んだ画像を表す画像データを生成する工程と、
前記表面(208)と前記二次元光センサアレイ(130)の間に相対移動を生じさせる工程と、
前記二次元光センサアレイ(130)の前記表面(208)に対する変位を測定するために前記画像データの分析を行う工程と、
を備えてなることを特徴とする位置測定方法。
【0077】
8.前記対象物(104)は走査装置であることを特徴とする上記7に記載の位置測定方法。
【0078】
9.表面(208)に対する対象物(104)の位置を測定する位置測定方法において、
前記対象物(104)と連係される二次元光センサアレイ(130)を設ける工程と、
前記表面(208)の第1の焦点面部(220)と連係される第1の光源(140)を設ける工程と、
前記表面(208)の第2の焦点面部(230)と連係される第2の光源(142)を設ける工程と、
前記表面(208)の前記第1の焦点面部(220)を第1の期間前記第1の光源(140)により照射する工程と、
前記表面(208)の前記第2の焦点面部(230)を第2の期間前記第2の光源(142)により照射する工程であって、前記第2の期間が、前記表面(208)の前記第1の焦点面部(220)を前記第1の光源(140)が照射していないときの時間を含む、工程と、
前記表面(208)の前記第1の焦点面部(220)から前記二次元光センサアレイ(130)に前記第1の期間光を向ける工程と、
前記表面(208)の第2の焦点面部(230)から前記二次元光センサアレイ(130)に前記第2の期間光を向ける工程と、
前記二次元光センサアレイ(130)により、前記二次元光センサアレイ(130)が取り込んだ画像を表す画像データを生成する工程と、
前記表面(208)と前記二次元光センサアレイ(130)の間に相対移動を生じさせる工程と、
前記二次元光センサアレイ(130)の前記表面(208)に対する変位を測定するために前記画像データの分析を行う工程と、
を備えてなることを特徴とする位置測定方法。
【0079】
10.前記対象物(104)は走査装置であることを特徴とする上記9に記載の位置測定方法。
【0080】
【発明の効果】
上述した説明から明らかなように、本発明の光学式位置感知装置によれば、第1の領域と第2の領域を選択的に照射し、これらの領域を単一の光センサアレイで撮像するようにしており、走査装置のコストを実質的に上昇させることなく、対象物に対するその位置を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】走査装置に組み込まれた光学式位置感知装置を示す側面図である。
【図2】図1の光学式位置感知装置の動作を示すフローチャートである。
【図3】1枚の用紙上の蛇行経路を辿る図1の走査装置を示す斜視図である。
【図4】図1の光学式位置感知装置の一実施形態を示す側面図である。
【図5】図1の光学式位置感知装置の他の実施形態を示す側面図である。
【図6】図1の光学式位置感知装置のさらに他の実施形態を示す側面図である。
【符号の説明】
100 光学式位置感知装置
104 走査装置
130 二次元光センサアレイ
140 第1の光源
142 第2の光源
150 第1のレンズ(第1の光学部品)
152 第2のレンズ(第2の光学部品)
208 表面
220 第1の領域
230 第2の領域
250 第3の光路
256 第4の光路
260 第1の光路
270 第2の光路
290 反射素子(ビームスプリッタ素子)

Claims (8)

  1. ある表面に対する対象物の位置測定方法において、
    前記対象物と連係する二次元光センサアレイを設けることと、
    所定期間、前記表面の第1の焦点面部から前記二次元光センサアレイに光を向けることと、
    前記表面の前記第1の焦点面部から前記二次元光センサアレイ光が向けられていない所定期間、前記表面の第2の焦点面部から前記二次元光センサアレイに光を向けることと、
    前記二次元光センサアレイが取り込んだ画像を表す画像データを前記二次元光センサアレイにより生成することと、
    前記表面と前記二次元光センサアレイの間に相対変位を生じさせることと、
    前記画像データを分析して前記表面に対する前記二次元光センサアレイの変位を測定することと、
    を含むことを特徴とする位置測定方法。
  2. 前記対象物が走査装置であることを特徴とする請求項1に記載の位置測定方法。
  3. 前記表面が用紙の表面であることを特徴とする請求項1に記載の位置測定方法。
  4. ある表面に対する対象物の位置測定方法において、
    前記対象物と連係する二次元光センサアレイを設けることと、
    前記表面の第1の焦点面部と連係する第1の光源を設けることと、
    前記表面の第2の焦点面部と連係する第2の光源を設けることと、
    第1の期間だけ、前記第1の光源で前記表面の前記第1の焦点面部を照らすことと、
    前記第1の光源が前記表面の前記第1の焦点面部を照らしていない期間を含む第2の期間だけ、前記第2の光源で前記表面の前記第2の焦点面部を照らすことと、
    前記第1の期間、前記表面の前記第1の焦点面部から前記二次元光センサアレイに光を向けることと、
    前記第2の期間、前記表面の前記第2の焦点面部から前記二次元光センサアレイに光を向けることと、
    前記二次元光センサアレイが取り込んだ画像を表す画像データを前記二次元光センサアレイにより生成することと、
    前記表面と前記二次元光センサアレイの間に相対変位を生じさせることと、
    前記画像データを分析して前記表面に対する前記二次元光センサアレイの変位を測定することと、
    を含むことを特徴とする位置測定方法。
  5. 前記第1の光源は第1の周波数の光を発するように構成され、前記第2の光源は第2の周波数の光を発するように構成されることを特徴とする請求項4に記載の位置測定方法。
  6. 前記対象物が走査装置であることを特徴とする請求項4に記載の位置測定方法。
  7. 前記表面が用紙の表面であることを特徴とする請求項4に記載の位置測定方法。
  8. ある表面に対する対象物の位置測定装置において、
    前記対象物と連係し、画像データを生成する二次元光センサアレイと、
    第1の期間、前記表面の第1の領域部を照らす手段と、
    前記第1の領域部が照らされていない期間を含む第2の期間、前記表面の第2の領域部を照らす手段と、
    前記表面の前記第1の領域部からの光を前記二次元光センサアレイに向ける手段と、
    前記表面の前記第2の領域部からの光を前記二次元光センサアレイに向ける手段と、
    前記二次元光センサアレイによって生成された画像データを分析して前記表面に対する前記二次元光センサアレイの変位を測定する手段と、
    を備えたことを特徴とする位置測定装置。
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