JP2002221492A - 表面検査装置及び表面精査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 鏡面反射領域と乱反射領域とが並存する検査
対象物の表面を効率的に検査または精査することのでき
る表面検査装置及び表面検査方法を提供する。 【解決手段】 表面に鏡面反射領域３と乱反射領域２と
が並存する検査対象物１の表面を検査する表面検査装置
１０であって、検査対象物１にビーム光を照射するビー
ム光照射光学系１０ａと、前記照射されたビーム光の正
反射方向に配置される、検査対象物１で反射された光を
受光するスクリーン１９と、スクリーン１９で反射され
る光を集光する第１の集光光学系２１と、前記集光され
た光を受光する第１の光検出器２２とを備え、前記ビー
ム光は検査対象物１の表面を走査するように構成され、
前記走査による検査対象物１とビーム光との相対的位置
を検出する位置検出器１５を備える表面検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表面に鏡面反射領
域と乱反射領域とが並存する検査対象物の表面を検査す
る表面検査装置及び表面精査装置に関し、特にフィルム
またはフィルムパッケージ等の鏡面反射領域を含む検査
対象物の表面を検査し、または透明なフィルムの裏側に
ある文字等を精査する表面検査装置及び表面精査装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５（ａ）に示すように、紙２でできた
封筒１の宛名部分に窓をあけてその部分を透明なフィル
ムシート３でカバーし、封筒１に収納した書簡に書かれ
た宛名をフィルムシート３を通して見えるようにしたも
のや、（ｂ）に示すように、逆に全体が透明なフィルム
シート３ａでできた封筒１ａの一部に紙の宛名シール２
ａを貼ったものがある。そのような封筒１、１ａが用い
られた郵便物を自動仕分けするには、従来、封筒の全体
を精査して宛名を認識していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来の方法によれば、宛名部分は封筒のほんの一
部であるにもかかわらず封筒の表面全体を精査しなけれ
ばならず、無駄な時間を要していた。

【０００４】そこで本発明は、表面に鏡面反射領域と乱
反射領域とが並存する検査対象物の表面を効率的に検査
または精査することのできる表面検査装置及び表面精査
装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による表面検査装置は、例えば
図１に示すように、表面に鏡面反射領域３と乱反射領域
２とが並存する検査対象物１の表面を検査する表面検査
装置１０であって；検査対象物１にビーム光を照射する
ビーム光照射光学系１０ａと；前記照射されたビーム光
の正反射方向に配置される、検査対象物１で反射された
光を受光するスクリーン１９と；スクリーン１９で反射
される光を集光する第１の集光光学系２１と；前記集光
された光を受光する第１の光検出器２２とを備え；前記
ビーム光は検査対象物１の表面を走査するように構成さ
れ；前記走査による検査対象物１とビーム光との相対的
位置を検出する位置検出器１５を備える。

【０００６】ここで、ビーム光は断面積の十分に細い平
行光であり、十分に細いとは、検査対象領域（例えば図
１のフィルムシート表面３）の大きさに比べて十分に小
さく、検査対象領域の形状を識別するに十分な程度の太
さである。

【０００７】このように構成すると、ビーム光照射光学
系と、前記ビーム光の正反射方向に配置されるスクリー
ンとを備えるので、検査対象物の鏡面反射領域で正反射
されたビーム光をスクリーン上に投射することができ、
スクリーンで反射される光を集光する第１の集光光学系
２１と前記集光された光を受光する第１の光検出器とを
備えるので、スクリーン上の光量を第１の光検出器で検
出することができる。またビーム光は検査対象物の表面
を走査するように構成されているので、検査対象物を二
次元的に検査することができ、位置検出器を備えるの
で、走査による検査対象物とビーム光との相対的位置を
検出することができる。

【０００８】また請求項２に記載のように、請求項１に
記載の表面検査装置では、検査対象物１の表面からの乱
反射光を集光する第２の集光光学系１７と；第２の集光
光学系１７で集光された光を受光する第２の光検出器１
８を備える。第２の集光光学系１７は検査対象物１の正
反射方向をはずした位置に置く。典型的にはビーム光の
照射される表面の法線方向に配置するのが好ましい。

【０００９】さらに請求項３に記載のように、請求項１
又は請求項２に記載の表面検査装置では、第１の光検出
器２２は複数の受光素子２２ａ〜２２ｄ（図３参照）を
含んで構成されるようにしてもよい。複数の受光素子の
個数は、ビーム径に応じて適宜選定すればよいが、典型
的には４である。

【００１０】このように構成すると、受光素子が複数含
まれるので、ある１個の受光素子が乱反射領域からの光
を受光していたときと鏡面反射領域からの光を受光した
ときの（受光素子の１個当たりの）受光量の差が大きく
なる。

【００１１】上記目的を達成するために、請求項４に係
る発明による表面精査装置は、例えば図４に示すよう
に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の表面
検査装置１０（図１）と；表面検査装置１０で検査され
た検査対象物１の、鏡面反射領域３、３ａまたは乱反射
領域２、２ａを精査する精査装置８１を備える。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号または類似符
号を付し、重複した説明は省略する。

【００１３】図１の模式的正面図を参照して、本発明の
第１の実施の形態である表面検査装置１０の構成を説明
する。この表面検査装置１０は、検査対象物１の表面を
走査するビーム光を照射するビーム光照射光学系１０ａ
と、検査対象物１で反射されたビーム光の正反射方向に
配置されたスクリーン１９と、スクリーン１９上の像を
結像する第１の集光光学系としての結像レンズ２１と第
１の光検出器としての光検出器２２を含む第１の検出光
学系１０ｂとを備える。検査対象物１は検査のために台
板４上に載置される。台板４の中央部上方（中央部にお
ける台板４の表面の法線方向）には、第２の集光光学系
としての集光レンズ１７を含む第２の検出光学系１０ｃ
が配置されている。ここで、説明の便宜上ｘｙｚ直角座
標系を、ｘｙ平面が台板４の検査対象物１を載置する面
に平行に、言い換えれば、検査対象物１の検査対象表面
に平行になるようにとる。ｚ軸方向は、台板４の検査対
象物１を載置する面の法線方向に、言い換えれば、検査
対象物１の表面の法線方向と一致する。

【００１４】検査対象物１は、例えば図５（ａ）に示す
ような、紙２でできた封筒１の宛名部分に窓をあけてそ
の部分を透明なフィルムシート３でカバーし、封筒１に
収納した書簡に書かれた宛名をフィルムシート３を通し
て見えるようにしたものである。ここで透明とは、フィ
ルムの一方の側から他方の側を見たとき、他方の側に置
かれた物を目視で識別することができる程度に半透明な
場合も含むものとする。またフィルムシート３の表面
は、光を乱反射する紙の部分２と違って、つるつるな鏡
面を形成している。

【００１５】ビーム光照射光学系１０ａは、光源として
のレーザーダイオード（ＬＤ）１１、ＬＤ１１が発生す
るレーザー光を断面積の十分に小さい（細い）平行なビ
ーム光にするコリメーターレンズ１２を備える。コリメ
ーターレンズ１２の光軸上には、スキャナー１３が配置
されている。スキャナー１３は、回動軸１３ａｘ回りに
回動可能に構成されたミラーである。回動軸１３ａｘ
は、コリメーターレンズ１２の光軸と４５度の角度をも
って交差するように配置されている。ミラーは回動軸１
３ａｘ回りに一定の周期で揺動運動をする。

【００１６】スキャンミラーがビーム光を反射する方向
には、ビームスプリッタ１４が配置され、ビームスプリ
ッタ１４の反射面の透過方向には位置検出器としてのＰ
ＳＤ１５が配置されている。ビームスプリッタ１４の反
射面の反射方向には、台板４が、その上に載置された検
査対象物１の表面をビーム光が照射できるように配置さ
れている。

【００１７】台板４は、スキャナー１３による検査対象
物１の走査方向に直角な方向に、台板駆動装置５により
駆動され、移動できるように構成されている。台板４に
は、台板４の位置を検出する位置検出器としてのエンコ
ーダ１６が取り付けられている。台板４は台板駆動装置
５により、ｘ軸方向に一定の速度で移動し、また元にも
どされたところで、検査対象物１は次のものに置きかえ
られる。このようにして、検査対象物１に照射されるビ
ームは、検査対象物１上を、スキャナー１３によりｙ軸
方向に走査され、台板４の移動によりｘ軸方向に走査さ
れる。

【００１８】なお検査対象物載置台としては、台板４で
説明したが、代わりにベルトコンベアのようなエンドレ
スな運搬装置であってもよい。台板のときは、駆動装置
はそれを往復運動させるようにして、１往復毎に検査対
象物１を置きかえればよい。ベルトコンベアのときは、
駆動装置はそれを１方向に移動させる。したがって、検
査対象物１は次々と一方向に供給される。

【００１９】第１の検出光学系１０ｂは、第１の集光光
学系としての結像レンズ２１と、その光軸上に配置され
た光検出器（ＰＤ）２２を含んで構成されている。ＰＤ
２２の受光面は、結像レンズ２１によりスクリーン１９
の表面と共役な関係に置かれている。

【００２０】第２の検出光学系１０ｃは、第２の集光光
学系としての集光レンズ１７とその光軸上に配置された
光検出器ＰＤ１８とを含んで構成されている。

【００２１】図１を参照して、以上のような構成を有す
る表面検査装置１０の作用を説明する。（ａ）の模式的
正面図に図示されるように、ＬＤ１１により発せられた
レーザー光は、コリメーターレンズ１２により細いビー
ム光となってスキャナー１３に入射する。細いビーム光
の直径は約１ｍｍである。この直径は１ｍｍには限ら
ず、位置検出の精度によって定めればよい。高い位置精
度が要求されるときは、細くする必要がある。また、検
査対象物１の大きさ、特に鏡面領域３の大きさにより定
めてもよい。検査対象物が小さい時はビーム径を細くす
る。鏡面領域が例えば１０ｍｍ以上であれば、ビーム光
の直径は約１ｍｍで十分であり、それよりも小さけれ
ば、例えば０．５ｍｍあるいはさらに細くする。

【００２２】スキャナー１３は、コリメータレンズ１２
の光軸と交差する回動軸１３ａｘ回りに揺動しているの
で、ここで反射されたビーム光は、コリメータレンズ１
２の光軸を中心にして揺動する。この揺動するビーム光
は、ビームスプリッタ１４に入射し、一部はビームスプ
リッタ１４の反射面を透過して、反射光と分岐しＰＳＤ
１５に入射する。ＰＳＤ１５は、ビームの光量の重心座
標（ビームの断面の中心座標）を電気信号に変換する素
子である。したがって、スキャナー１３の振れ角を検出
することができる。言い換えれば、検査対象物１上のビ
ームの位置を計算により確定することができる。スキャ
ナー１３による走査方向は、検査対象物１の上ではｙ軸
方向であるので、ＰＳＤ１５によって検査対象物１上の
ｙ軸方向のビームの位置を確定することができる。この
実施の形態では、位置検出器としてＰＳＤ１５を用いる
ものとしたが、これに限らず、スキャナ１３の回動角を
検出してｙ軸方向のビーム位置を確定するものとしても
よい。

【００２３】ビームスプリッタ１４に入射した揺動する
ビーム光のうち、他の一部即ち透過しなかった光はビー
ムスプリッタ１４の反射面で反射されて、透過光と分岐
し台板４上の検査対象物１の検査対象表面に入射する。
台板４は、台板駆動装置５により駆動されてｘ軸方向に
移動するので、ビーム光は検査対象物１をｘ軸方向に走
査することとなり、またエンコーダ１６でｘ軸方向のビ
ーム位置を確定することができ、スキャナ１３によるｙ
軸方向の走査とあいまって、二次元の走査が可能とな
る。即ち、検査対象物１上の全面を二次元的に検査する
ことができる。

【００２４】検査対象物１には、（ｂ）に示すように、
乱反射領域としての紙面２と鏡面反射領域としてのフィ
ルム面３とが並存している。フィルム面３に入射したビ
ーム光は、正反射方向に反射され、スクリーン１９に入
射する。もちろん紙面２で乱反射した光もスクリーン１
９に入射するが、フィルム面３で正反射された光と比べ
ると非常に少量である。このようにして、スクリーン１
９上には、フィルム面３で反射された、揺動するビーム
光が光点として投射される結果、フィルム面３の幅に対
応する分だけｙ軸方向に揺動する光点として観察され
る。

【００２５】スクリーン１９上の光は、光点の光も含め
て散乱される。この光は、結像レンズ２１によって集光
されＰＤ２２上に結像される。このとき、ＰＤ２２は結
像レンズ２１の開口に相当した散乱光を受光することに
なる。このようにして、ＰＤ２２は、フィルム面３から
の反射光を多く受ける。したがって、ＰＤ２２の出力値
は、ビーム光がフィルム面３に入射しているときに大き
くなり、ビーム光が紙面２に入射しているときに相対的
に小さくなる。

【００２６】一方、第２の検出光学系１０ｃの集光レン
ズ１７は、主として、検査対象物１の紙面２で散乱され
た光を集光して、ＰＤ１８上に入射させる。したがっ
て、紙面２からの光によるＰＤ１８の出力は大きくな
る。フィルム面３で反射された光は、フィルム面３の法
線方向に配置された集光レンズ１７では、ほとんど集光
されないので、これによるＰＤ１８の出力は、紙面２か
らの光による出力と比較して非常に小さい。

【００２７】以上説明したように、フィルムシート面３
からの反射光は、ＰＤ２２で相対的に大きな出力として
検出され、紙面２からの反射光は、ＰＤ１８で相対的に
大きな出力として検出される。したがって、ＰＤ１８と
ＰＤ２２の出力値を増幅して処理することにより、ビー
ム光が照射している箇所が、鏡面反射領域であるフィル
ムシート面か乱反射領域である紙面２かの区別をするこ
とが容易となる。またＰＤ１８とＰＤ２２の出力値と、
ＰＳＤ１５とエンコーダ１６の位置検出とを組み合わせ
ることにより、検査対象物１のフィルムシート面と紙面
の形状あるいは両者の境界線を座標で確定することがで
きる。

【００２８】図２のブロック図を参照して、座標確定を
するための装置を説明する。ＰＤ１８とＰＤ２２はそれ
ぞれ差算器３１に接続されている。差算器３１はマイコ
ン３２に接続されている。一方、ＰＳＤ１５とエンコー
ダ１６はそれぞれマイコン３２に接続されている。した
がって、マイコン３２では、ＰＤ１８とＰＤ２２からの
出力の大小とＰＳＤ１５とエンコーダ１６による位置信
号が結合される。マイコン３２では、入力データを利用
して検査対象物１の画像上にフィルムシート面３と紙面
２の座標を得る。即ち、ＰＤ１８からの出力がＰＤ２２
からの出力よりも大きいときは、ビーム光は紙面２に入
射しているものと判断され、逆のときはフィルムシート
面に入射しているものと判断される。それぞれの座標
は、ＰＳＤ１５とエンコーダ１６による位置検出によっ
て確定される。特に、フィルムシート面３と紙面２の境
界の座標を確定する。

【００２９】ここで、ＰＤ１８とＰＤ２２の出力を差算
器３１で比較する場合を説明したが、これに限らずＰＤ
２２の出力の変化を検出するものとしてもよい。即ち、
ＰＤ２２の出力が相対的に大なるときは、ビームはフィ
ルムシート面３に入射しているものと判断され、ＰＤ２
２の出力が相対的に小なるときは、ビームは紙面２に入
射しているものと判断することができる。また、ＰＤ１
８の出力の変化を検出するものとしてもよい。即ち、Ｐ
Ｄ１８の出力が相対的に大なるときは、ビームは紙面２
に入射しているものと判断され、ＰＤ１８の出力が相対
的に小なるときは、ビームはフィルムシート面３に入射
しているものと判断することができる。さらにＰＤ２２
の出力を利用するときは、ＰＤ１８の出力を参考にして
判断をダブルチェックすることができ、逆にＰＤ１８の
出力を利用するときは、ＰＤ２２の出力を参考するよう
にしてもよい。ここでは、ＰＤ２２として検出素子が１
素子のものを使用しているものとして説明した。

【００３０】図３を参照して、ＰＤ２２が４分割素子で
ある場合を説明する。この場合には、スクリーン１９を
４つの領域に分けたことになる。スクリーン１９は、乱
反射領域である紙面２からの光を一様に受光し、鏡面反
射領域であるフィルムシート面３からの光を光点として
受光している。いずれの光もスクリーン１９上で散乱さ
れる。スクリーン１９上で光点となるフィルムシート面
３からの光は、４つの分割素子のいずれか１つの出力を
大きくするが、紙面２からの光は、スクリーン１９上に
一様に分布しているので、複数の分割素子間で大きく出
力を異ならせることがない。このようにして、４分割素
子によれば、フィルムシート面３からのほぼ光点の出力
と紙面２からのほぼ一様な光量とを明確に区別すること
ができる。

【００３１】以上の実施の形態では、スキャナー１３と
台板駆動装置５を利用して検査対象物１を二次元的に走
査するものとして説明したが、ビーム光を台板４上でｘ
軸方向に揺動する、スキャナ１３と同様な不図示の第２
のスキャナを追加して、台板駆動装置５を省略してもよ
い。第２のスキャナーは、コリメータレンズ１２と台板
４との間に挿入配置すればよいが、特にコリメータレン
ズ１２とスキャナー１３との間、又はスキャナー１３と
ビームスプリッタ１４との間に配置するとよい。

【００３２】検査対象物１に異物、傷等がある場合に
は、そこで乱反射されるので、ＰＤ１８での出力値を主
に用いて傷検査を行うこともできる。特に鏡面反射面３
に異物や傷があると、ＰＤ１８ではほとんど入射光が無
い状態の中で、スポット状に大きな光量を検出すること
になるので、鏡面の中に傷等があると判断できる。

【００３３】また、全体に光沢のある表面の傷検査をす
る場合には、ＰＤ１８の出力を主に用いるものとし、Ｐ
Ｄ２２の出力値を加味するとよい。光沢がある表面は、
鏡面反射領域の性質を有するので、正反射光が存在す
る。したがって、スクリーン１９上に反射光量が検出さ
れる。このとき光沢面に傷が存在すると、この反射光が
低下し乱反射光が多くなる。したがって、この場合には
ＰＤ１８の出力の増大とＰＤ２２の出力の低下により、
傷や異物が存在すると判断することができる。当然、そ
の位置はＰＳＤ１５、エンコーダ１６により同定するこ
とができる。

【００３４】以上の実施の形態で説明したスキャナミラ
ーとしては、色々なものが使用できる。例えば、ガルバ
ノミラー、ポリゴンミラーの他に、音響光学素子（ＡＯ
Ｄ）を使用することもできる。また、マイクロマシーン
の技術を用いて半導体チップ上にミラーを作りこみ、こ
れを駆動するタイプのスキャナーを利用してもよい。

【００３５】図４の模式的正面図を参照して、第２の実
施の形態である表面検査装置を説明する。本図には、精
査装置としてのＯＣＲ装置８１の構成例を示してある。
第１の実施の形態で説明した装置により、鏡面反射領域
と乱反射領域との境界を座標で定めることができる。第
１の実施の形態の装置は図示を省略してある。ＯＣＲ装
置８１は、その座標で定められた範囲内の文字を認識し
て読み取るものである。ＯＣＲ装置８１と表面１とは相
対的に移動、すなわちスキャンする。

【００３６】ＯＣＲ装置８１は、表面３に直交する光軸
に沿って結像レンズ８２、撮像素子８３、撮像素子８３
に接続された認識部８４とを含んで構成されている。表
面３は透明体であるので、その裏側に収納された書簡の
例えば宛先住所を表面側から透視することができる。こ
れを結像レンズ８２で撮像素子８３上に結像し、その画
像を認識部８４で認識してテキストデータに変換する。
認識部８４は、パソコンなどのコンピュータに、文字認
識ソフトをインストールして構成することができる。

【００３７】ＯＣＲ装置の光軸は表面３に直交するもの
としたが、これに限らない。ただし照明光が表面３で正
反射する方向からずらすのが好ましい。表面のてかりを
できるだけ受光しないようにするためである。

【００３８】ＯＣＲ装置８１の結像光学系と撮像素子と
しては、第１の実施の形態で説明した第２の検出光学系
１０ｃを用いるものとしてもよい。但し、照明装置とし
ては、ビーム光照射光学系１０ａではなく、不図示のラ
イン光学系または全面照明光学系を用いるとよい。また
マイコン３２（図２参照）に文字認識ソフトをインスト
ールして、認識部８４として用いるようにしてもよい。

【００３９】以上説明したように、本発明の実施の形態
によれば、鏡面を有する透明フィルムシートの貼付され
た領域を特定することができる。したがって精査すべき
領域、例えば宛名を読み取るべき領域を絞り込むことが
でき、効率的な検査、そして精査が可能となる。精査す
べき領域は鏡面反射領域３のこともあれば、乱反射領域
２であるかもしれない。対象が封筒の場合であれば、周
辺領域でなく中央に近い領域を精査すべき領域と判断す
ることができる。または、宛名のある領域は一般には狭
い方であるので、面積を比較して狭い方の領域を精査す
べきと判断してもよい。

【００４０】以上の実施の形態では、図５（ａ）に示す
ように、広い乱反射領域２に狭い鏡面反射領域３がある
表面の場合を想定して説明したが、（ｂ）に示すよう
に、逆に広い鏡面反射領域３ａに狭い乱反射領域２ａが
ある表面の場合でも同様に、両者の境界の座標を定める
ことができる。

【００４１】また通常の封筒のように、特定すべき領域
がｘ軸とｙ軸に平行な辺を有する長方形または正方形で
あることが分かっているときは、ｘ軸方向全長にわたっ
て走査する必要はない。まずビームをｙ軸方向に走査し
ながら台板４をｘ軸方向に移動し、特定すべき領域を検
知したところで、該領域のｘ軸方向に平行な２本の境界
線を決定する。次に検査対象物１を台板４上で台板４の
法線回りに９０度回転し、または台板４を検査対象物１
を載置したまま光学系に対して相対的に９０度回転し、
再び（前記決定された境界線に直角な方向に）台板４の
移動による走査を行うことにより、前記決定された境界
線に直角な方向の平行な２本の境界線を決定する。この
ようにして決定された２対の平行な線で囲まれた領域
を、特定すべき領域としてもよい。

【００４２】以上のようにして、真に精査したい領域を
絞り込むことができる。真に精査したい領域は、鏡面反
射領域であってもよいし、乱反射領域であってもよい。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ビーム光
照射光学系と、前記ビーム光の正反射方向に配置される
スクリーンとを備えるので、検査対象物の鏡面反射領域
で正反射されたビーム光をスクリーン上に投射すること
ができ、スクリーンで反射される光を集光する第１の集
光光学系と前記集光された光を受光する第１の光検出器
とを備えるので、スクリーン上の光量を第１の光検出器
で検出することができる。またビーム光は検査対象物の
表面を走査するように構成されているので、検査対象物
を広く検査することができ、位置検出器を備えるので、
走査による検査対象物とビーム光との相対的位置を検出
することができる表面検査装置を提供することが可能と
なる。

【００４４】さらに精査装置を備えれば、定められた領
域を精査することのできる、表面精査装置を提供するこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態である表面検査装置
を示す模式的正面図である。

【図２】図１の装置で使用する、座標確定をするための
装置のブロック図である。

【図３】ＰＤ２２用の４分割素子の概念的平面図であ
る。

【図４】本発明の第２の実施の形態で用いる精査装置で
あるＯＣＲ装置を示す模式的正面図である。

【図５】検査対象物の例である封筒の２つの例を示す平
面図である。

【符号の説明】

１、１ａ 検査対象物 ２、２ａ 乱反射領域 ３、３ａ 鏡面反射領域 ４ 台板 ５ 台板駆動装置 １０ 表面検査装置 １１ ＬＤ １２ コリメータレンズ １３ スキャナー １４ ビームスプリッター １５ ＰＳＤ １６ エンコーダ １７ 集光レンズ １８ ＰＤ １９ スクリーン ２１ 結像レンズ ２２ ＰＤ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB07 BA10 BC06 CA07 CB01 CB05 DA06 EA08 3F079 AA03 CA31 CB08 CB25 CB31 CB35 5B029 AA03 BB02 BB06 BB11 BB16 CC21 5B047 AA01 AA05 AB02 BA02 BB01 BC01 BC04 CB09

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に鏡面反射領域と乱反射領域とが並
   存する検査対象物の表面を検査する表面検査装置であっ
   て；前記検査対象物にビーム光を照射するビーム光照射
   光学系と；前記照射されたビーム光の正反射方向に配置
   される、前記検査対象物で反射された光を受光するスク
   リーンと；前記スクリーンで反射される光を集光する第
   １の集光光学系と；前記集光された光を受光する第１の
   光検出器とを備え；前記ビーム光は前記検査対象物の表
   面を走査するように構成され；前記走査による前記検査
   対象物とビーム光との相対的位置を検出する位置検出器
   を備える；表面検査装置。
2. 【請求項２】 前記検査対象物の表面からの乱反射光を
   集光する第２の集光光学系と；前記第２の集光光学系で
   集光された光を受光する第２の光検出器を備える；請求
   項１に記載の表面検査装置。
3. 【請求項３】 第１の光検出器は複数の受光素子を含ん
   で構成される、請求項１又は請求項２に記載の表面検査
   装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に
   記載の表面検査装置と；前記表面検査装置で検査された
   検査対象物の、鏡面反射領域または乱反射領域を精査す
   る精査装置を備える；表面精査装置。