JP2002228592A - 表面検査装置及び表面精査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面に鏡面反射領域と乱反射領域とが並存す
る検査対象物の表面を効率的に検査または精査すること
のできる表面検査装置及び表面精査装置を提供する。 【解決手段】 表面に鏡面反射領域３と乱反射領域２と
が並存する検査対象物１の表面を検査する検査装置１０
であって、検査対象物１にライン光を照射するライン光
照射光学系１２と、前記照射されたライン光の正反射方
向に配置される、検査対象物１で反射された光を受光す
るスクリーン１７と、鏡面反射領域３で反射された前記
ライン光によりスクリーン１７上に形成される曲線像１
８の端点１８ａ、１８ｂを検出する端点検出手段２３と
を備える表面検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表面に鏡面反射領
域と乱反射領域とが並存する検査対象物の表面を検査す
る表面検査装置及び表面精査装置に関し、特に鏡面反射
するフィルム等の透明部分と乱反射する紙部分とを含む
封筒のような検査対象物の表面を検査する表面検査装
置、及びフィルムの裏側にある文字等を精査する表面精
査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４（ａ）に示すように、紙２でできた
封筒１の宛名部分に窓をあけてその部分を透明なフィル
ムシート３でカバーし、封筒１に収納した書簡に書かれ
た宛名をフィルムシート３を通して見えるようにしたも
のや、（ｂ）に示すように、逆に全体が透明なフィルム
シート３ａでできた封筒１ａの一部に紙の宛名シール２
ａを貼ったものがある。そのような封筒１、１ａが用い
られた郵便物を自動仕分けするには、従来、封筒の全体
を精査して宛名を認識していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来の方法によれば、宛名部分は封筒のほんの一
部であるにもかかわらず封筒の表面全体を精査しなけれ
ばならず、無駄な時間を要していた。

【０００４】そこで本発明は、表面に鏡面反射領域と乱
反射領域とが並存する検査対象物の表面を効率的に検査
または精査することのできる表面検査装置及び表面精査
装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による表面検査装置は、例えば
図１、図２に示すように、表面に鏡面反射領域３と乱反
射領域２とが並存する検査対象物１の表面を検査する検
査装置１０であって；検査対象物１にライン光を照射す
るライン光照射光学系１２と；前記照射されたライン光
の正反射方向に配置される、検査対象物１で反射された
光を受光するスクリーン１７と；鏡面反射領域３で反射
された前記ライン光によりスクリーン１７上に形成され
る曲線像１８の端点１８ａ、１８ｂを検出する端点検出
手段２３とを備える。

【０００６】ここで、ライン光とは検査対象物の表面に
ライン状に照射される光である。幅と厚さの両方が一定
な平行光束であってもよいし、幅が一定の収束光束であ
って検査対象物の表面にライン状に収束する光束であっ
てもよい。後者の場合は、検査対象物の表面の像をスク
リーン上に結像する結像光学系を備えるとよい。前者で
は、結像光学系がなくても鏡面で反射された平行光束は
スクリーン上に曲線像を形成する。ここでスクリーン上
に形成される像を曲線像としたが、前記鏡面領域が平坦
であれば直線像となる。曲線像とは、そのような直線像
も含む概念とする。

【０００７】このように構成すると、ライン光照射光学
系を備えるので、表面に鏡面反射領域と乱反射領域とが
並存する検査対象物にライン光が照射され、照射された
ライン光の正反射方向に配置されるスクリーンを備える
ので、スクリーンには検査対象物で正反射された光が受
光され、鏡面反射領域で反射されたライン光によりスク
リーン上には曲線像が形成され、端点検出手段を備える
ので、曲線像の端点が検出される。

【０００８】また請求項２に記載のように、請求項１に
記載の表面検査装置では、スクリーン１７上に形成され
る曲線像１８を検出するエリアセンサ２２を備えるよう
にしてもよい。エリアセンサは、典型的には多数の画素
を含んだ撮像素子である。スクリーン１７上に配置され
ていてもよいが、典型的にはスクリーンとは別の撮像素
子とする。

【０００９】さらに請求項３に記載のように、請求項１
又は請求項２に記載の表面検査装置では、前記ライン光
は、該ライン（ｙ軸方向）に垂直な方向（ｘ軸方向）に
検査対象物１の表面を走査するように構成されており；
前記走査による検査対象物１とライン光との相対的位置
を検出する位置検出器１６を備えるようにするのが好ま
しい。ここで、走査は、好ましくはライン光を静止させ
検査対象物１を移動させる。

【００１０】このように構成すると、位置検出器を備え
るので、検査対象物の表面の例えば鏡面反射領域の座
標、特に鏡面反射領域の乱反射領域との境界の走査方向
（ｘ軸方向）の座標を検知することができる。

【００１１】上記目的を達成するために、請求項４に係
る発明による表面精査装置は、例えば図３に示すよう
に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の表面
検査装置１０と；表面検査装置１０で検査された検査対
象物１の、鏡面反射領域３または乱反射領域２ａ（例え
ば図４参照）を精査する精査装置８１を備える。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号または類似符
号を付し、重複した説明は省略する。

【００１３】図１の模式的正面図を参照して、本発明の
第１の実施の形態である表面検査装置の構成を説明す
る。この表面検査装置１０は、点光源１１と、点光源１
１からの光を用いて、台板４の表面に載置された検査対
象物１の表面をライン光で照明するライン光照射光学系
１２と、そのライン光の正反射方向に配置されたスクリ
ーン１７を含んで構成されている。台板４は、検査対象
物１を載置する載置面が水平に設置されている。ライン
光照射光学系１２は、本図の実施の形態では、ライン光
が台板４に対して（検査対象物１の検査対象面に対し
て）約４５度の角度で入射するように配置されている。
しかしながら、入射角度（台板４の表面と入射方向との
なす角度）はこれに限らず、さらに浅い角度（小さい角
度）としてもよい。スクリーン１７への反射光の強度
は、入射角が浅ければ浅いほど大きくなる。

【００１４】表面検査装置１０は、さらにスクリーン１
７上の像を結像する結像光学系としての結像レンズ２１
を備えている。また結像レンズ２１の結像面にはエリア
センサとしての撮像素子２２が配置され、撮像素子２２
には、端点検出手段としてのマイコン２３が接続されて
いる。スクリーン１７と撮像素子２２の撮像面とは、結
像レンズ２１により共役な関係に置かれている。

【００１５】ここで、説明の便宜上ｘｙｚ直角座標系
を、ｘｙ平面が台板４の検査対象物１を載置する面に平
行に、言い換えれば、検査対象物１の検査対象表面に平
行になるようにとる。ｚ軸方向は、台板４の検査対象物
１を載置する面の法線方向に、言い換えれば、検査対象
物１の表面の法線方向と一致する。

【００１６】検査対象物１は、例えば図４（ａ）に示す
ような、紙２でできた封筒１の宛名部分に窓をあけてそ
の部分を透明なフィルムシート３でカバーし、封筒１に
収納した書簡に書かれた宛名をフィルムシート３を通し
て見えるようにしたものである。ここで透明とは、フィ
ルムの一方の側から他方の側を見たとき、他方の側に置
かれた物を目視で識別することができる程度に半透明な
場合も含むものとする。またフィルムシート３の表面
は、光を乱反射する紙の部分２と違って、つるつるな鏡
面を形成している。

【００１７】点光源１１としては、レーザーダイオード
（ＬＤ）、ハロゲンランプのような白色光源、水銀ラン
プのような単色光源のいずれであってもよい。ライン光
照射光学系１２により、光源１１からの光はライン光と
して集光される。ここでライン光とは検査対象物１の表
面にライン状に照射される光である。本図の実施の形態
では、（ｙ軸方向の）幅と（ｙ軸とライン光照射光学系
１２の光軸に垂直な方向の）厚さとが一定な平行光束と
している。

【００１８】ライン光照射光学系１２は、光源１１から
の光を平行光束にするコリメータレンズ１２ａと、その
平行光束を厚さの小さいライン光束にする２枚のシリン
ドリカルレンズ１２ｂ、１２ｃの組み合わせを備えてい
る。シリンドリカルレンズ１２ｂは、平行光束を１方向
に集光し、シリンドリカルレンズ１２ｃは、シリンドリ
カルレンズ１２ｂと屈折力の方向が同一であり、１方向
に集光された光を再び平行にして、幅と厚さが一定で厚
さが小さいライン光束とする。シリンドリカルレンズ１
２ｂ、１２ｃは、検査対象物１の表面に照射されたライ
ン光によるライン１５が、ｙ軸方向に向くように配置さ
れている。

【００１９】台板４は、検査対象物１上のライン１５に
直角で台板４の検査対象物載置面に平行な方向に、台板
駆動装置５により駆動されるように構成されている。台
板４には、台板４の位置を検出する位置検出装置として
のエンコーダ１６が取り付けられている。台板４は台板
駆動装置５により、ｘ軸方向に一定の速度で移動させら
れる。なお検査対象物載置台としては、台板４が図示さ
れているが、代わりにベルトコンベアのようなエンドレ
スな運搬装置であってもよい。台板のときは、駆動装置
はそれを往復運動させるようにして、１往復毎に検査対
象物１を置きかえればよい。ベルトコンベアのときは、
駆動装置はそれを１方向に移動させる。したがって、検
査対象物１は次々と一方向に供給される。

【００２０】このようにして、検査対象物１は、幅をも
ったライン光束によってｙ軸方向にカバーされ、台板４
の移動によりｘ軸方向に走査される。ライン１５に対す
る台板４の相対的なｘ軸方向の位置、言い換えれば検査
対象物１の相対的なｘ軸方向の位置は、エンコーダ１６
により検知することができる。

【００２１】エンコーダ１６は、マイコン２３に接続さ
れており、エンコーダ１６で検知された位置信号がマイ
コン２３に入力するように構成されている。

【００２２】図１の模式的正面図及び図２の斜視図を参
照して、以上のような構成を有する表面検査装置１０の
作用を説明する。図示されるように、光源１１により発
せられた光は、コリメーターレンズ１２ａにより平行光
となってシリンドリカルレンズ１２ｂに入射して１方向
即ちｙ軸直角方向に収束する。収束光はその焦線近傍に
配置されたシリンドリカルレンズ１２ｃに入射し、再び
平行光束となる。シリンドリカルレンズ１２ｃは、シリ
ンドリカルレンズ１２ｂの焦線近傍に配置されているの
で、これを介した平行光束は、ｙ軸方向の幅はコリメー
タレンズからの平行光束の直径にほぼ等しく、ｙ軸直角
方向の厚さは極く薄いライン光束となる。その厚さは例
えば約１ｍｍである。但しこの厚さは１ｍｍには限ら
ず、得たい位置測定精度や測定検査対象物１の大きさ
（特に鏡面領域３の大きさ）により適宜定めればよい。

【００２３】図２に示すように、検査対象物１には、乱
反射領域としての紙面２と鏡面反射領域としてのフィル
ム面３とが並存している。ライン光は、検査対象物１上
に照射光のライン１５を形成し、フィルム面３に入射し
た平行光束は、正反射方向に反射される。正反射された
光は、スクリーン１７に入射して、曲線パターンを形成
する。ここで説明の便宜のために、スクリーン１７上に
ＸＹ直角座標系を設定する。Ｙ軸はｙ軸に対応し、ｚ軸
方向のうねりや凹凸が、曲線のＸ軸方向への広がりに反
映される。

【００２４】もちろん紙面２で反射した光もスクリーン
１７に入射するが、紙面２では光は乱反射されるため
に、反射光は大きく広がり、その強度は低い。一方、フ
ィルム面３からの光は、フィルム表面の凹凸を反映した
主反射光（正反射光）と、乱反射光（フィルム面は鏡面
反射性と僅かながら乱反射性とを有する）とに分離され
る。主反射光は、周囲に比較して高い強度を有するの
で、スクリーン１７上で帯状乃至は線状に観察される
が、乱反射光は、帯状又は線状のパターンの周囲にある
程度の強度を有して観察される。

【００２５】スクリーン１７上で観察されるパターン光
の強度は、主反射光によるものが非常に高く、その次に
フィルム部分の乱反射光成分が高い。紙２からの乱反射
光成分が最も低くなる。

【００２６】スクリーン１７上に形成されるパターン
は、帯状ないしは線状であるが、鏡面反射領域が平坦で
あればあるほど直線状になる。しかしながら、フィルム
部分３は一般に紙部分２と比べて、凹凸やうねりがあ
り、平坦度は低い。したがって図示のように、パターン
は、フィルム表面の凹凸を反映して、端点１８ａ、１８
ｂを有する曲線１８になる。

【００２７】ここで、フィルム３は、比較的平坦な紙２
に挟まれて接着されているので、紙２とフィルム３の境
界（図中１５ａ、１５ｂで示す）は、下地とほぼ平行に
なる。そのために、境界のフィルム３上の点１５ａと点
１５ｂに対応する、スクリーン１７上のパターンである
曲線１８の端点１８ａと端点１８ｂの位置（ＸＹ座標）
は、フィルム３が完全に平坦であったとしたときの位置
とあまり変わらない。また、２つの端点１８ａ、１８ｂ
でＸ軸に平行に引いた２本の直線で挟まれる領域は、フ
ィルム３の表面の凹凸による乱反射により、紙２による
乱反射領域（前記２本の直線より外側の領域）よりも明
るい。

【００２８】図１に戻って、曲線像を検出し、また端点
を検出する方法を説明する。スクリーン１７上に形成さ
れた曲線像であるパターン１８は、結像レンズ２１によ
り、撮像素子２２上に結像される。結像された像は、ス
クリーン１７上に形成されたパターン１８と相似であ
る。撮像素子２２からの画像信号は、マイコン２３に送
られ、ここで端点検出が行なわれる。

【００２９】図２を参照して、本実施の形態による端点
検出の方法を以下説明する。 （１−１）スクリーン１７の図中上下方向（Ｘ軸方向）
に画素の受光強度を積算する。これをＸ軸射影とよぶ。 （１−２）Ｘ軸射影した結果である射影パターンは、端
点１８ａと端点１８ｂとの間は強度が高いが、それ以外
の領域では低くなるので、ある閾値を設けて２値化する
ことにより、端点１８ａ、１８ｂを明瞭にして、特定す
ることができる。すなわち検査対象物１の台板４による
流れ方向（ｘ軸方向、Ｘ軸方向）に垂直な方向（ｙ軸方
向、Ｙ軸方向）の位置が特定できる。 （１−３）検査対象物である例えば封筒１はｘ軸方向に
流れてくるので、射影パターンがある閾値以上になる始
点と終点を、エンコーダ１６からの信号で読み取ること
により、進行方向（ｘ軸方向、Ｘ軸方向）の位置を特定
できる。このデータ処理はマイコン２３で行なう。この
ようにして、封筒１の紙２とフィルム３との境界の座標
を、マイコン２３で決定することができる。

【００３０】別の実施の形態では、つぎのようにして端
点検出を行なう。 （２−１）封筒１の流れを利用して、フレーム間の差画
像を取得する。即ち、ある時点で取得した画像をマイコ
ン２３に保存し、次に僅かにずれた時点の画像を取得
し、保存されていた画像との差画像を作る。 （２−２）フィルムの凹凸は、場所により異なるので、
差画像はフィルム領域では大きくなる。一方、紙の部分
では乱反射はほぼ一定なので差画像はほとんどなくな
る。ここで、僅かにずれた時点の画像とは、ライン１５
の太さ分から太さの２〜３倍程度のずれを生じる時点の
画像とする。このようにすれば、差画像は多少観察位置
が異なる部分同士の差画像ということになるが、僅かな
ずれであるので実質的に同一部分を観察しているとみる
ことができる。この端点検出方法は、特に、鏡面反射領
域のうねりや凹凸が大きいときに有効である。以上の
（２−１）と（２−２）の処理を前処理として、前記Ｘ
軸射影（１−１）〜（１−２）を行なうことにより、紙
部分とフィルム部分とを明確に区分することができる。
したがって、さらに正確な端点検出を行なうことができ
る。

【００３１】さらに別の実施の形態では、次のような画
像処理を施す。 （３−１）曲線１８を細線化する。細線化とは、幅をも
った線を削って線幅１まで細める処理である。一般には
撮像素子の１画素分にまで細める。細線化は、図形上で
近傍に背景を有する点について、端点を削除しないよう
にしながら、その図形の連結性を損なわない点を削除す
ることによって実現される。逐次型の汎用計算機上で効
率がよく、且つ処理結果の品質がよいものとしてはヒル
ディッチ（Ｈｉｌｄｉｔｃｈ）のオペレータが知られて
いる。 （３−２）細線化した後に、前記Ｘ軸射影（１−１）〜
（１−２）を行なう。このとき（３−１）の後に、局所
関数を用いて、輪郭追跡を行ない、端点の抽出をしても
よい。ここで局所関数を用いる輪郭追跡は、例えば次の
ようにして行なう。２値画像上で、８近傍に基づく輪郭
点を順次追跡する。そのために、２値画像上を順に走査
し、輪郭の開始点（まだ追跡済みのマークのついていな
い画素）を探す。それがみつかれば、開始点でその画素
の８近傍を時計回りにサーチして次の画素（値１の画
素）をみつける。画素がなくなったらそこが右の端点で
ある。右の端点を特定できたら、再び開始点に戻り、今
度は反時計回りにサーチする。同様にして左の端点をみ
つける。開始点から前述のような追跡を次々に進めて開
始点に戻れば１本の輪郭線の追跡が完了する。

【００３２】以上、広い乱反射領域２に狭い鏡面反射領
域３がある表面の場合（図４（ａ））で説明したが、逆
に広い鏡面反射領域３ａに狭い乱反射領域２ａがある表
面の場合（図４（ｂ））でも同様に、両者の境界の座標
を定めることができる。

【００３３】以上の実施の形態では、ライン光を、幅と
厚さの両方が一定な平行光束であるものとして説明した
が、ライン光は、幅が一定の収束光束であって検査対象
物１の表面にライン状に収束する光束であってもよい。
この場合は、検査対象物１の表面をスクリーン１７上に
結像する結像光学系（不図示）を備えるとよい。

【００３４】またパターン１８は、曲線像とも呼んだ
が、鏡面領域が平坦であればあるほど直線像に近くな
る。曲線像とは、そのようなほとんど直線と呼んでよい
ような像も含む概念とする。

【００３５】以上の実施の形態では、端点検出手段とし
てのマイコンとスクリーンとの間に結像光学系としての
結像レンズ２１とエリアセンサとしての撮像素子２２と
が備えられている場合で説明したが、それに限らず、ス
クリーン１７がエリアセンサを含むような構成としても
よい。即ち、スクリーン１７を例えば撮像素子で構成す
る。そのようなスクリーンからの画像信号を直接マイコ
ン２３に送信して、以上の実施の形態で説明したような
処理をすればよい。特に検査対象物１とスクリーン１７
との間に不図示の結像光学系を備えるときは、広い検査
対象面を小さい撮像素子上に結像することができる。

【００３６】このようにして、真に精査したい領域を絞
り込むことができる。真に精査したい領域は、鏡面反射
領域であってもよいし、乱反射領域であってもよい。

【００３７】図３の模式的正面図を参照して、第２の実
施の形態である表面精査装置を説明する。本図には、精
査装置としてのＯＣＲ装置８１の構成例を示してある。
第１の実施の形態で説明した装置により、鏡面反射領域
と乱反射領域との境界を座標で定めることができる。第
１の実施の形態の装置は図示を省略してある。ＯＣＲ装
置８１は、その座標で定められた範囲内の文字を認識し
て読み取るものである。ＯＣＲ装置８１と表面１とは相
対的に移動、すなわちスキャンする。

【００３８】ＯＣＲ装置８１は、表面３に直交する光軸
に沿って結像レンズ８２、撮像素子８３、撮像素子８３
に接続された認識部８４とを含んで構成されている。表
面３は透明体であるので、その裏側に収納された書簡の
例えば宛先住所が表面側から透視することができる。こ
れを結像レンズ８２で撮像素子８３上に結像し、その画
像を認識部８４で認識してテキストデータに変換する。
認識部８４は、パソコンなどのコンピュータに、文字認
識ソフトをインストールして構成することができる。

【００３９】ＯＣＲ装置８１の光軸は表面３に直交する
ものとしたが、これに限らない。ただし照明光が表面３
で正反射する方向からずらすのが好ましい。表面のてか
りをできるだけ受光しないようにするためである。

【００４０】以上説明したように、本発明の実施の形態
によれば、鏡面を有する透明フィルムシートの貼付され
た領域を特定することができる。したがって精査すべき
領域、例えば宛名を読み取るべき領域を絞り込むことが
でき、効率的な検査、そして精査が可能となる。精査す
べき領域は鏡面反射領域３のこともあれば、乱反射領域
２ａであるかもしれない。対象が封筒の場合であれば、
周辺領域でなく中央に近い領域を精査すべき領域と判断
することができる。または、宛名のある領域は一般には
狭い方であるので、面積を比較して狭い方の領域を精査
すべきと判断してもよい。

【００４１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ライン光
照射光学系を備えるので、表面に鏡面反射領域と乱反射
領域とが並存する検査対象物にライン光が照射され、照
射されたライン光の正反射方向に配置されるスクリーン
を備えるので、スクリーンには検査対象物で正反射され
た光が受光され、鏡面反射領域で反射されたライン光に
よりスクリーン上には曲線像が形成され、端点検出手段
を備えるので、曲線像の端点が検出でき、鏡面反射領域
と乱反射領域との境界を容易に識別することができる、
表面検査装置を提供することが可能となる。

【００４２】さらに精査装置を備えれば、定められた領
域を精査することのできる、表面精査装置を提供するこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態である表面検査装置
を示す模式的正面図である。

【図２】図１の表面検査装置の台板とスクリーンを抽出
して示した斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態で用いる精査装置で
あるＯＣＲ装置を示す模式的正面図である。

【図４】検査対象物の例である封筒の２つの例を示す平
面図である。

【符号の説明】

１、１ａ 検査対象物 ２、２ａ 乱反射領域 ３、３ａ 鏡面反射領域 １０ 表面検査装置 １１ 光源 １２ ライン光照射光学系 １５ ライン １６ エンコーダ １７ スクリーン ２１ 結像レンズ ２２ 撮像素子 ２３ マイコン ８１ ＯＣＲ装置

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA12 AA49 AA56 BB01 BB22 BB24 BB25 BB26 CC02 DD06 FF42 FF67 GG02 GG03 GG06 GG12 GG22 GG24 HH05 HH12 HH16 JJ03 JJ08 JJ14 JJ26 LL04 LL08 MM02 PP12 QQ04 QQ24 QQ25 QQ28 QQ31 QQ32 QQ45 2G051 AA90 CA04 CB01 CB05 CC20 DA06 EA11 ED22 5B057 AA02 AA11 BA02 BA15 CF01 DA01 DA07 DB02 DB05 DB08 DB09 DC07 DC17 DC19 DC32

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に鏡面反射領域と乱反射領域とが並
   存する検査対象物の表面を検査する検査装置であって；
   前記検査対象物にライン光を照射するライン光照射光学
   系と；前記照射されたライン光の正反射方向に配置され
   る、前記検査対象物で反射された光を受光するスクリー
   ンと；前記鏡面反射領域で反射された前記ライン光によ
   り前記スクリーン上に形成される曲線像の端点を検出す
   る端点検出手段とを備える；表面検査装置。
2. 【請求項２】 前記スクリーン上に形成される曲線像を
   検出するエリアセンサを備える、請求項１に記載の表面
   検査装置。
3. 【請求項３】 前記ライン光は、該ラインに垂直な方向
   に検査対象物の表面を走査するように構成されており；
   前記走査による前記検査対象物とライン光との相対的位
   置を検出する位置検出器を備える；請求項１又は請求項
   ２に記載の表面検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に
   記載の表面検査装置と；前記表面検査装置で検査された
   検査対象物の、鏡面反射領域または乱反射領域を精査す
   る精査装置を備える；表面精査装置。