JPH0843035A - 厚みセンサ - Google Patents

厚みセンサ

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JPH0843035A
JPH0843035A JP18313494A JP18313494A JPH0843035A JP H0843035 A JPH0843035 A JP H0843035A JP 18313494 A JP18313494 A JP 18313494A JP 18313494 A JP18313494 A JP 18313494A JP H0843035 A JPH0843035 A JP H0843035A
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light source
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JP18313494A
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Inventor
Nobuyuki Baba
信行 馬場
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造を簡略化し、光路長を短くし得る厚みセ
ンサを提供する。 【構成】 光源3と受光素子4との間に開口部5を有す
る枠状部材6を設け、測定物1の厚みに応じて光源3か
らの光路中に進出する可動体7を設け、この可動体7の
進出位置に対応する受光素子4の受光量の変化により測
定物1の厚みを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シート状の測定物の厚
みを光学的に測定する厚みセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、複写機、プリンタ、ファクシミ
リ等のOA機器において扱う紙葉等のシート状の測定物
の厚みを測定する方法として、雑誌「センサ技術」(1
992年6月号Vol 12No.6)第86頁ないし
第89頁に、「レーザーアナログ変位センサによる自動
検出システムとその応用」なるタイトルをもって記載さ
れているように、物体に光を照射する半導体レーザー
と、物体からの反射光を受光する半導体位置検出素子
(PSD−Position Sensitive Device)とを組み合
わせた検出器により、物体の位置、変位量等を検出する
方法が示されている。また、同様の検出器を搬送中の物
体の両側に配設することによりシート等の測定物の厚み
を検出する用途も示されている。
【0003】また、本出願人より考えられているような
測定物の厚み検出する方法がある。以下、図9に基づい
て説明する。光源(半導体レーザー)100と、コリメ
ータレンズ101と、固定回折格子102と、可動体1
03に保持されて固定回折格子102とは僅かに格子の
空間周波数を変えた移動回折格子104と、3分割PD
(Photo Diode)105とが光路中に設けられてい
る。また、シート状の測定物106の厚みに応じて支軸
107を中心に回動するアーム108により移動回折格
子104が支られている。
【0004】このような構造においては、光源100か
らの光を固定回折格子102に入射すると、固定回折格
子102の格子で±1次回折光が生じ、それが移動回折
格子104により回折されて元の方向に略戻り干渉す
る。このとき、少数の干渉縞が固定回折格子102と移
動回折格子104の格子の空間周波数の差に比例して発
生する。そして、この干渉縞は固定回折格子102と移
動回折格子104との相対運動に比例して動く。この原
理を利用して、測定物106の厚みに応じてアーム10
8を回動させ、移動回折格子104を可動体103とと
もに移動させることにより測定物106の厚みが測定さ
れる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】雑誌「センサ技術」に
記載されているように、物体に光を照射する半導体レー
ザーと、測定物からの反射光を受光する半導体位置検出
素子とよりなる一組の検出器により物体の位置、変位量
等を検出する方法は、シート状の測定物の厚みを検出す
ることも可能であるが、測定物が撓んでいるような場合
には、測定物の反射面の位置が変わるため、測定物の厚
みが変化していないにも拘らず変化したものとして誤認
してしまう。このような問題は、上記文献にも記載され
ているように、同様の検出器を搬送中の物体の両側に配
設することにより解決されるが、複数の検出器を測定物
の搬送路の両側に配設しなければならず構造が複雑化及
び大型化する。
【0006】また、図9に示す構造は、測定物の厚みに
応じて動く干渉縞の通過本数をカウンタでカウントする
ことで、測定物の厚みをnmオーダの精度で測定するも
のであるが、シート状の測定物の厚みを測定する目的に
対しては感度が良すぎ、カウンタの動作が追随できずカ
ウントエラーになることがある。また、回折格子10
2,104の位置調整も厳密さが要求されるため、工数
が増えコストが高くなる。さらに、二つの回折格子10
2,104の0次光と±1次光とを明確に分けるため
は、回折格子102,104の間の間隔及び回折格子1
04と3分割PD105との間隔を一定以上確保しなけ
ればならず光路長が長くなる。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
シート状の測定物が搬送される搬送路に略沿って光線を
出射する光源と、この光源に対向配置された受光素子
と、前記光源からの出射光の出射領域を定める開口部を
有して前記光源と前記受光素子との間に配設された枠状
部材と、この枠状部材と前記受光素子との間に配列され
て前記測定物の厚みに応じて前記光源からの光路中に進
出する可動体と、この可動体の進出位置に対応する前記
受光素子の受光量の変化により前記測定物の厚みを演算
する演算手段とにより構成した厚みセンサである。
【0008】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、搬送路の一側から他側に向かうに従い前記
搬送路からの距離が次第に変化する方向に傾斜する傾斜
縁を可動体の一縁に形成し、前記搬送路の幅方向に沿う
細長いスリット状の開口部を有する枠状部材を設けた厚
みセンサである。
【0009】請求項3記載の発明は、シート状の測定物
が搬送される搬送路に略沿って光線を出射する光源と、
前記搬送路からの距離が異なる位置に配設されて前記光
源に対向配置された第一及び第二の受光素子と、前記光
源と前記受光素子との間に配列されて前記測定物の厚み
に応じて前記搬送路に近い方の前記第一の受光素子と前
記光源との間の光路中に進出する可動体と、この可動体
の進出位置に対応する前記第一の受光素子の受光量と前
記第二の受光素子の受光量とを比較して前記測定物の厚
みを演算する演算手段とにより構成した厚みセンサであ
る。
【0010】請求項4記載の発明は、シート状の測定物
が搬送される搬送路に略沿って光線を出射する光源と、
この光源に対向配置された半導体位置検出素子と、前記
光源に対向するピンホールを有して前記光源と前記半導
体位置検出素子との間に配列され前記測定物の厚みに応
じて前記光源からの光路中に進出する可動体と、この可
動体の進出位置に対応する前記半導体位置検出素子の出
力により前記測定物の厚みを演算する演算手段とにより
構成した厚みセンサである。
【0011】請求項5記載の発明は、シート状の測定物
が搬送される搬送路に略沿って光線を出射する光源と、
前記搬送路からの距離が異なる位置に配設されて前記光
源に対向配置された複数の受光素子と、これらの受光素
子に対向して前記光源からの出射光の出射領域を定める
複数の開口部を有して前記光源と前記受光素子との間に
配設された枠状部材と、それぞれ前記開口部の一部を遮
光する遮光部を有し前記枠状部材と前記受光素子との間
に配列され前記測定物の厚みに応じて前記光源からの光
路中に前記遮光部のそれぞれを進出させる可動体と、こ
の可動体の進出位置に対応する前記受光素子の受光量の
変化により前記測定物の厚みを演算する演算手段とによ
り構成した厚みセンサである。
【0012】
【作用】請求項1記載の発明によれば、測定物の厚みに
応じて可動体を変位させ、この可動体の変位によって変
化する受光素子の出力により測定物の厚みを知ることが
できる。また、単に受光素子の出力の変化だけで測定物
の厚みを測定することができるため、構造及び製作の簡
略化を図るとともに、光源と受光素子との間の光路長を
短くすることが可能となる。
【0013】請求項2記載の発明によれば、可動体の一
縁に傾斜縁を形成したので、可動体の動作時にスリット
状の開口部をその長手方向の一端から遮光することがで
き、これにより、測定物の厚みに対する可動体の変位量
の差以上に開口部の遮光量の変化量、受光素子の出力の
変化量を擬似的に増幅することができ、これにより、測
定物の厚み測定の感度を高めることが可能となる。
【0014】請求項3記載の発明によれば、測定物の有
無により変化する第一の受光素子の出力の変化を、可動
体により遮光されることのない第二の受光素子の一定の
出力に対して比較することにより測定物の厚みを知るこ
とができるため、第一の受光素子に対する可動体の対応
位置を厳密に定める必要がなく、組み立て精度をラフに
することが可能となる。
【0015】請求項4記載の発明によれば、測定物の厚
みに応じて可動体が変位することにより、ピンホールを
通り半導体位置検出素子に照射される光の入射位置の変
化により変化する半導体位置検出素子の出力をもって測
定物の厚みを検出することができるため、半導体位置検
出素子に対する可動体の対応位置を厳密に定める必要が
なく、組み立て精度をラフにすることが可能となる。
【0016】請求項5記載の発明によれば、測定物の厚
みに応じて可動体を変位させ、この可動体の遮光部が開
口部を遮光することによって変化する受光素子の出力に
より測定物の厚みを知ることができる。また、複数の遮
光部の変位による複数の受光素子のそれぞれの出力変化
を基に測定物の厚みを測定するため、遮光部及び受光素
子の数に比例して感度を高めることが可能となる。
【0017】
【実施例】請求項1記載の発明の第一の実施例を図1及
び図2に基づいて説明する。シート状の測定物1が搬送
される搬送路2に略沿って光線を出射する光源(LE
D)3と受光素子4とが所定の間隔を開けて対向配置さ
れている。この光源3と受光素子4との間には、前記光
源3からの出射光の出射領域を定める開口部5を有する
枠状部材6が固定的に設けられ、この枠状部材6と前記
受光素子4との間には前記測定物1の厚みに応じて前記
光源3からの光路中に進出する可動体7が設けられてい
る。すなわち、この可動体7は、測定物1の厚みに影響
を与えることがないように弱い力により下方に付勢され
て両側がガイド(図示せず)により上下動自在に保持さ
れ、且つ、測定物1の通過を阻止することがないように
下端に回転自在のローラ8を有している。前記開口部5
の形状は、本実施例においては図2に示すように短辺を
a長辺をbとする方形に定められているが、実質略方形
となるように超楕円形に定めてもよい。前記可動体7の
上縁9は搬送路2に対して平行になるように平に形成さ
れ、測定物1が通過しないときに可動体7が最下位に位
置する状態では、上縁9が開口部5の下縁と等しい位置
(又はそれより僅かに高い位置)にある。なお、前記光
源3は出力の安定したものを用いる。
【0018】このような構成において、光源3から出射
されて開口部5を通る光は受光素子4に受光されるが、
搬送路2に測定物1がない場合は可動体7が最下位に位
置し、この場合の受光素子4の受光量は最大で、その値
は開口部5の大きさa×bに対応する。この値はRAM
等の記憶部(図示せず)に記憶される。そして、搬送路
2により案内されて搬送された測定物1がローラ8の下
を通過すると、図2に示すように、可動体7は通過する
測定物1の厚みに対応するtなる分だけ上昇して開口部
5の下方を遮光するので、受光素子4の受光量は変化す
る。このときの測定物1の通過前と通過中とにおける受
光素子4の受光量の比はt/aに比例し、その比を演算
手段(図示せず)によって処理することで測定物1の厚
みとして演算される。この場合、測定物1の通過前と通
過中とにおける受光素子4の受光量の比をとる理由は、
光源(LED)3の発光強度が温度等の要因で一定では
ないからである。
【0019】このように、単に受光素子4の出力の変化
だけで測定物1の厚みを測定するため、複数の回折格子
を用いる場合のように複雑な調整作業をすることもな
く、構造及び製作の簡略化を図るとともに、光源3と受
光素子4との間の光路長を短くすることができる。
【0020】次いで、請求項1記載の発明の第二の実施
例を図3に基づいて説明する。前記実施例と同一部分は
同一符号を用い説明も省略する(以下同様)。本実施例
は、支軸10により回動自在に保持されたアーム11を
設け、枠状部材6と受光素子4との間に配設された可動
体12をアーム11の後端に連結したものである。な
お、可動体12をスプリング(図示せず)により吊り下
げる等の構造をとることにより、アーム11は反時計方
向に付勢され、これにより、測定物1がない場合にアー
ム11の下端が搬送路2に軽い力で接触するように構成
されているものとする。
【0021】このような構成において、測定物1がない
場合、アーム11は点線で示すように搬送路2に接触す
る。このとき、可動体12の下縁は開口部5の上縁と一
致する。アーム11の下を測定物1が通過すると、アー
ム11は実線で示すように時計方向に回動して可動体1
2を引く。すなわち、開口部5の上縁側が可動体12に
より遮光され、受光素子4の受光量が変化する。このと
きの測定物1の通過前と通過中とにおける受光素子4の
受光量の比を前記実施例と同様に処理することにより、
測定物1の厚みが測定される。
【0022】次いで、請求項2記載の発明の一実施例を
図4に基づいて説明する。本実施例は、搬送路2の一側
から他側に向かうに従い搬送路2からの距離が次第に変
化する方向に傾斜する傾斜縁13を可動体7の上縁に形
成し、搬送路2の幅方向に沿う細長いスリット状の開口
部14を有する枠状部材6を設けた構成である。
【0023】このような構成において、可動体7の上縁
に傾斜縁13を形成したので、可動体7の上昇時にスリ
ット状の開口部14をその長手方向の一端から遮光する
ことができる。これにより、測定物1の厚みに対する可
動体7の変位量の差以上に開口部14の遮光量の変化
量、受光素子4の出力の変化量を擬似的に増幅すること
ができる。これにより、測定物1の厚み測定の感度を高
めることができる。この場合、開口部14は左右の両辺
が可動体7の傾斜縁13と平行になる非常に偏平な平行
四辺形の形状であるが、スリット状であれば方形の開口
部でも同様の目的を達成することができる。
【0024】さらに、請求項3記載の発明の一実施例を
図5及び図6に基づいて説明する。本実施例は、搬送路
2からの距離が異なる位置に配設された第一及び第二の
受光素子15,16を光源3に対向配置し、可動体7の
進出位置に対応する第一の受光素子15の受光量と第二
の受光素子16の受光量とを比較して測定物1の厚みを
演算する演算手段(図示せず)を設けた構成である。第
一、第二の受光素子15,16は具体的には二分割素子
でよい。また、これらの受光素子15,16は、光源3
から出射される光束に比して充分に小さく略均一な光強
度が照射されるように大きさが正確に定められている。
さらに、図6に示すように、第一の受光素子15は、測
定物1がない場合に最下位に位置する可動体7により下
部が遮光され、測定物1の通過時に可動体7の上昇分t
に対応してさらに遮光領域が増えるように配置され、第
二の受光素子16は常時全面で光源3からの光を受光す
ることが可能な位置に配置されている。
【0025】このような構成において、測定物1の有無
により変化する第一の受光素子15の出力の変化を、可
動体7により遮光されることのない第二の受光素子16
の一定の出力に対して比較した値を算出する。この比較
値は出力差をとってもよいが、光源3の発光強度の絶対
値の影響を考慮して出力比をとる。第一、第二の受光素
子15,16の受光面がa×aの正方形とし、第一の受
光素子15における測定物1の搬送前の出力と搬送中の
出力の変化をΔpとし、第二の受光素子16の出力をP
とすると、測定物1の厚みはΔp/P×aとなる。実際
には第一、第二の受光素子15,16には感度差がある
ので、予め補正等をしておく。こうすることで、可動体
7の上縁9が第一の受光素子15の前面に略達していれ
ば測定物1の厚みを正確に測定することができる。すな
わち、第一の受光素子15に対する可動体7の対応位置
を厳密に定める必要がなく、組み立て精度をラフにする
ことができる。
【0026】さらに、請求項4記載の発明の一実施例を
図7に基づいて説明する。本実施例は、半導体位置検出
素子(PSD)17を光源3に対向配置し、光源3と半
導体位置検出素子17との間に光源3に対向するピンホ
ール18を有して測定物1の厚みに応じて光源3からの
光路中に進出する可動体7を設け、この可動体7の進出
位置に対応する半導体位置検出素子17の出力により測
定物1の厚みを演算する演算手段(図示せず)を設けた
構成である。
【0027】このような構成において、測定物1の厚み
に応じて可動体7が変位することにより、ピンホール1
8を通り半導体位置検出素子17に照射される位置の変
化により変化する半導体位置検出素子17の出力をもっ
て測定物1の厚みを検出することができる。これによ
り、半導体位置検出素子17に対する可動体7の対応位
置を厳密に定める必要がなく、組み立て精度をラフにす
ることができる。
【0028】さらに、請求項5記載の発明の一実施例を
図8に基づいて説明する。本実施例は、搬送路2からの
距離が異なる位置に配設されて光源3に対向配置された
複数の受光素子4と、これらの受光素子4に対向して前
記光源3からの出射光の出射領域を定める複数の開口部
5を有して前記光源3と前記受光素子4との間に配設さ
れた枠状部材6と、それぞれ前記開口部5の一部を遮光
する遮光部7aを有し前記枠状部材6と受光素子4との
間に配列され測定物1の厚みに応じて前記光源3からの
光路中に遮光部7aのそれぞれを進出させる可動体7
と、この可動体7の進出位置に対応する前記受光素子4
の受光量の変化により前記測定物1の厚みを演算する演
算手段(図示せず)とを設けた構成である。
【0029】このような構成において、可動体7は測定
物1の厚みに応じて変位する。このとき、可動体7の各
遮光部7aで枠状部材6の各開口部5を遮光することに
よって変化する個々の受光素子4の出力により測定物1
の厚みを知ることができる。また、複数の遮光部7aの
変位による複数の受光素子4のそれぞれの出力変化を基
に測定物1の厚みを測定するため、遮光部7a及び受光
素子4の数に比例して感度を高めることができる。
【0030】
【発明の効果】請求項1記載の発明は、光源と受光素子
との間に開口部を有する枠状部材を設け、この枠状部材
と前記受光素子との間に測定物の厚みに応じて前記光源
からの光路中に進出する可動体を設け、この可動体の進
出位置に対応する前記受光素子の受光量の変化により前
記測定物の厚みを演算する演算手段を設けたので、搬送
路に沿って搬送される測定物の厚みに応じて可動体を変
位させ、この可動体の変位によって変化する受光素子の
出力により測定物の厚みを知ることができ、また、単に
受光素子の出力の変化だけで測定物の厚みを測定するこ
とができるため、構造及び製作の簡略化を図るととも
に、光源と受光素子との間の光路長を短くすることが可
能となる。
【0031】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、搬送路の一側から他側に向かうに従い前記
搬送路からの距離が次第に変化する方向に傾斜する傾斜
縁を可動体の一縁に形成し、前記搬送路の幅方向に沿う
細長いスリット状の開口部を有する枠状部材を設けたの
で、可動体の動作時にスリット状の開口部をその長手方
向の一端から遮光することができ、これにより、測定物
の厚みに対する可動体の変位量の差以上に開口部の遮光
量の変化量、受光素子の出力の変化量を擬似的に増幅す
ることができ、これにより、測定物の厚み測定の感度を
高めることができる。
【0032】請求項3記載の発明は、シート状の測定物
が搬送される搬送路からの距離が異なる位置に配設され
た第一及び第二の受光素子を光源に対向配置し、前記光
源と前記受光素子との間に前記測定物の厚みに応じて前
記搬送路に近い方の前記第一の受光素子と前記光源との
間の光路中に進出する可動体を設け、この可動体の進出
位置に対応する前記第一の受光素子の受光量と前記第二
の受光素子の受光量とを比較して前記測定物の厚みを演
算する演算手段を設けたので、測定物の有無により変化
する第一の受光素子の出力の変化を、可動体により遮光
されることのない第二の受光素子の一定の出力に対して
比較することにより測定物の厚みを知ることができるた
め、第一の受光素子に対する可動体の対応位置を厳密に
定める必要がなく、組み立て精度をラフにすることがで
きる。
【0033】請求項4記載の発明は、光源に対向配置さ
れた半導体位置検出素子を設け、ピンホールを有して前
記光源と前記半導体位置検出素子との間に配列されて搬
送路に沿って搬送される測定物の厚みに応じて前記光源
からの光路中に進出する可動体を設け、この可動体の進
出位置に対応する前記半導体位置検出素子の出力により
前記測定物の厚みを演算する演算手段を設けたので、測
定物の厚みに応じて可動体が変位することにより、ピン
ホールを通り半導体位置検出素子に照射される光の入射
位置の変化により変化する半導体位置検出素子の出力を
もって測定物の厚みを検出することができるため、半導
体位置検出素子に対する可動体の対応位置を厳密に定め
る必要がなく、組み立て精度をラフにすることができ
る。
【0034】請求項5記載の発明は、シート状の測定物
が搬送される搬送路からの距離が異なる位置に配設され
て光源に対向配置された複数の受光素子を設け、これら
の受光素子に対向する複数の開口部を有する枠状部材を
前記光源と前記受光素子との間に配設し、前記枠状部材
と前記受光素子との間にそれぞれ前記開口部の一部を遮
光する遮光部を有し前記測定物の厚みに応じて前記光源
からの光路中に前記遮光部のそれぞれを進出させる可動
体を設け、この可動体の進出位置に対応する前記受光素
子の受光量の変化により前記測定物の厚みを演算する演
算手段を設けたので、測定物の厚みに応じて可動体を変
位させ、この可動体の遮光部が開口部を遮光することに
よって変化する受光素子の出力により測定物の厚みを知
ることができ、また、複数の遮光部の変位による複数の
受光素子のそれぞれの出力変化を基に測定物の厚みを測
定するため、遮光部及び受光素子の数に比例して感度を
高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1記載の発明の第一の実施例を示す側面
図である。
【図2】その可動体と枠状部材の開口部との関係を示す
正面図である。
【図3】請求項2記載の発明の第二の実施例を示す側面
図である。
【図4】請求項2記載の発明の一実施例を示すもので可
動体と枠状部材の開口部との関係を示す正面図である。
【図5】請求項3記載の発明の一実施例を示す側面図で
ある。
【図6】その受光素子と可動体との関係を示す正面図で
ある。
【図7】請求項4記載の発明の一実施例を示す側面図で
ある。
【図8】請求項5記載の発明の一実施例を示すもので可
動体の遮光部と枠状部材の開口部との関係を示す正面図
である。
【図9】従来例を示す側面図である。
【符号の説明】
1 測定物 2 搬送路 3 光源 4 受光素子 5 開口部 6 枠状部材 7 可動体 7a 遮光部 12 可動体 13 傾斜縁 14 開口部 15 第一の受光素子 16 第二の受光素子 17 半導体位置検出素子 18 ピンホール

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シート状の測定物が搬送される搬送路に
    略沿って光線を出射する光源と、この光源に対向配置さ
    れた受光素子と、前記光源からの出射光の出射領域を定
    める開口部を有して前記光源と前記受光素子との間に配
    設された枠状部材と、この枠状部材と前記受光素子との
    間に配列されて前記測定物の厚みに応じて前記光源から
    の光路中に進出する可動体と、この可動体の進出位置に
    対応する前記受光素子の受光量の変化により前記測定物
    の厚みを演算する演算手段とよりなることを特徴とする
    厚みセンサ。
  2. 【請求項2】 搬送路の一側から他側に向かうに従い前
    記搬送路からの距離が次第に変化する方向に傾斜する傾
    斜縁を可動体の一縁に形成し、前記搬送路の幅方向に沿
    う細長いスリット状の開口部を有する枠状部材を設けた
    ことを特徴とする請求項1記載の厚みセンサ。
  3. 【請求項3】 シート状の測定物が搬送される搬送路に
    略沿って光線を出射する光源と、前記搬送路からの距離
    が異なる位置に配設されて前記光源に対向配置された第
    一及び第二の受光素子と、前記光源と前記受光素子との
    間に配列されて前記測定物の厚みに応じて前記搬送路に
    近い方の前記第一の受光素子と前記光源との間の光路中
    に進出する可動体と、この可動体の進出位置に対応する
    前記第一の受光素子の受光量と前記第二の受光素子の受
    光量とを比較して前記測定物の厚みを演算する演算手段
    とよりなることを特徴とする厚みセンサ。
  4. 【請求項4】 シート状の測定物が搬送される搬送路に
    略沿って光線を出射する光源と、この光源に対向配置さ
    れた半導体位置検出素子と、前記光源に対向するピンホ
    ールを有して前記光源と前記半導体位置検出素子との間
    に配列され前記測定物の厚みに応じて前記光源からの光
    路中に進出する可動体と、この可動体の進出位置に対応
    する前記半導体位置検出素子の出力により前記測定物の
    厚みを演算する演算手段とよりなることを特徴とする厚
    みセンサ。
  5. 【請求項5】 シート状の測定物が搬送される搬送路に
    略沿って光線を出射する光源と、前記搬送路からの距離
    が異なる位置に配設されて前記光源に対向配置された複
    数の受光素子と、これらの受光素子に対向して前記光源
    からの出射光の出射領域を定める複数の開口部を有して
    前記光源と前記受光素子との間に配設された枠状部材
    と、それぞれ前記開口部の一部を遮光する遮光部を有し
    前記枠状部材と前記受光素子との間に配列され前記測定
    物の厚みに応じて前記光源からの光路中に前記遮光部の
    それぞれを進出させる可動体と、この可動体の進出位置
    に対応する前記受光素子の受光量の変化により前記測定
    物の厚みを演算する演算手段とよりなることを特徴とす
    る厚みセンサ。
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