JP4496579B2 - 圧電セラミック組成物 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電発音体、圧電アクチュエーター等の圧電振動子等に使用される圧電セラミック組成物、特に、Pb(Zn1/3・Nb2/3)O3 −PbTiO3−PbZrO3 を主成分として含む圧電セラミック組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧電セラミックスとしてPb(Zn1/3・Nb2/3)O3 −PbTiO3−PbZrO3 よりなる三元系圧電セラミックスが知られ(特公昭44−17344)、また、この三元系圧電セラミックスの鉛原子の一部をカルシウム、ストロンチウム又はバリウムで置換することにより誘電率を向上させた圧電セラミックスが知られている(特公昭45−39977)。さらに、特開昭61−129888には、比誘電率及び電気機械結合係数の向上を目的として、同様な三元系圧電セラミックスの鉛原子の一部をBa及びSrで置換した圧電セラミックスが開示され、また、特開平3−256379には、その圧電セラミックス中のPb,Ba及びSrの量を特定の範囲に限定することによって、製品間の特性のバラツキの問題点を解決し、圧電定数を向上させた圧電セラミックスが開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
圧電セラミックスは、圧電フィルター、圧電トランス、超音波振動子、圧電発音体、圧電アクチュエーターあるいは圧電ブザー等に広く使用されている。中でも、近年、圧電発音体、圧電アクチュエーター等の圧電振動子は小型化、薄層化が進んでいる。特に、圧電アクチュエーターは、例えば、パソコンのハードディスクドライブヘッド用のマイクロアクチュエーターとしての利用が注目され、記録密度の向上に伴い、サブミクロンのオーダーで微小変位を制御する超小型の圧電アクチュエーターの開発が盛んに行われている。
圧電材料は、特に変位制御用アクチュエーターとして使用される場合、優れた圧電性を有するもの、すなわち、大きな圧電定数dを有するものが望ましい。一般に、圧電定数dと、電気機械結合係数k及び比誘電率εとの間にはd∝k√εの関係があり、圧電定数dを大きくするためには、電気機械結合係数k及び比誘電率εを大きくしなければならない。また、圧電素子の小型化、薄層化が進むと、素子の機械的強度が低下し、製造における加工および素子を駆動している際に破損の可能性が大きくなる。そのため、製造歩留まりの低下および製品の信頼性の低下が生じる。したがって、機械的強度の良好な圧電セラミック組成物が必要である。
また、積層型圧電体素子の開発も盛んに行われている。従来のPb(Zn1/3・Zb2/3)O3 −PbTiO3−PbZrO3 よりなる三元系圧電セラミックスの焼成温度は1200℃程度と高温である。このため、この圧電セラミック組成物で積層型圧電体素子を作製する場合には、その焼成温度に耐えうる白金やパラジウムのような高価な貴金属を内部電極として使用しなければならず、製造コストが高いという問題があった。焼成温度を低くすることができれば、より安価な銀−パラジウム合金を内部電極として使用することが可能となる。銀−パラジウム合金を内部電極として使用する場合、パラジウムのコストが高いことおよび、パラジウムの含有量が多い場合には、パラジウムが焼成中に酸化還元反応を起こし、積層型圧電体素子中に亀裂や剥離を生じさせることから、パラジウムの割合は30%以下であることが要求される。
パラジウムの割合を30%以下にするには、Ag−Pd系相図より、焼成温度を1150℃以下、望ましくは1120℃以下とする必要がある。このため、従来のPb(Zn1/3・Nb2/3)O3 −PbTiO3−PbZrO3 系の圧電セラミック組成物で積層型圧電体素子を作製する場合には、仮焼粉を微粉砕したり、あるいはHIP処理をするといった煩雑な操作を必要とする。
さらに製造コストを下げるために、パラジウムの割合を20%以下にするには、焼成温度を1050℃以下、望ましくは1000℃以下とする必要がある。焼成温度が低くなることにより、焼成に用いる電気炉のエネルギー消費も低くなることになる。
したがって、本発明の目的は、優れた圧電特性を有しかつ、超小型で薄い素子に加工した場合にも、十分な機械的強度を有する圧電セラミック組成物を提供することである。さらに、本発明の目的は、比較的低い温度で焼成することができる圧電セラミック組成物を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基本組成式Pb[(Zn1/3Nb2/3 )x Tiy Zrz]O3 で表される酸化物組成物において、Pbの原子比を1より小さな一定範囲にしたときに、またはPbの原子比が1以下であって、一定量のTa2O5,Sb2O3及びNb2O5から選ばれる少なくとも一種の酸化物を添加したときに、比較的低い温度で焼成が可能でありかつその圧電特性および機械的強度も改良されるという発見に基づいている。
すなわち、上記目的を達成するための本発明は、下記基本組成式:
PbA[(Zn1/3Nb2/3 )x Tiy Zrz]BO3
(式中、A,B,x,yおよびzは下記条件:
0.96≦A/B<1
x+y+z=1
0.05≦x≦0.40
0.1≦y≦0.5
0.2≦z≦0.6
を満たす原子比である)
で表される酸化物組成物からなる圧電セラミック組成物である。
さらに、本発明は、下記基本組成式:
PbA[(Zn1/3Nb2/3 )x Tiy Zrz]BO3
(式中、A,B,x,yおよびzは下記条件:
0.96≦A/B≦1
x+y+z=1
0.05≦x≦0.40
0.1≦y≦0.5
0.2≦z≦0.6
を満たす原子比である)
で表される酸化物組成物に対して、Ta2O5,Sb2O3及びNb2O5から選ばれる少なくとも一種の酸化物を0.2重量%より多くかつ1.0重量%以下の範囲で添加したことを特徴とする圧電セラミック組成物である。
【0005】
【発明の実施の形態】
酸化物組成物PbA[(Zn1/3Nb2/3 )x Tiy Zrz]BO3 において、組成比が、0.96≦A/B<1およびx+y+z=1(ただし、0.05≦x≦0.40;0.1≦y≦0.5;および0.2≦z≦0.6である)を満足するときに、比較的低い温度で焼成しても大きな誘電率および電気機械結合係数を有する圧電セラミック組成物を得ることができる。
組成比A/Bを0.96より小さくすると、誘電率および電気機械結合係数が小さくなる。
(Zn1/3Nb2/3 )の組成比xは、増加するほど誘電率は増加するが、Nb原料が高価であるので、量産には不向きである。xが0.05より小さいと、誘電率、電気機械結合係数共に低く、必要な圧電特性が得られない。
Tiの組成比yおよびZrの組成比zは、誘電率、電気機械結合係数に大きく影響し、特にモルフォトロピック相境界付近が好ましい。
これらの点から、本発明において、組成比x、yおよびzは、0.05≦x≦0.40、0.1≦y≦0.5、および0.2≦z≦0.6(ただし、x+y+z=1であることを条件とする)であることが好ましい。
【0006】
上記酸化物組成物の組成比A/Bが0.96≦A/B≦1である場合において、比較的低い温度で焼成が可能でありかつ大きな誘電率および電気機械結合係数を有すると共に優れた抗折強度を有する圧電セラミック組成物を得るためには、Ta2O5,Sb2O3およびNb2O5から選ばれる少なくとも一種の酸化物を、上記酸化物組成物に対して合計0.2重量%より多くかつ1.00重量%以下の範囲で添加することが好ましい。これらの酸化物の添加量が、0.2重量%以下であると、添加の効果が十分に発揮されず、一方、1.0重量%を越えると、低い温度での焼成が不可能となり、焼成不足となって、圧電セラミックスとして満足な誘電率および電気機械結合係数等の特性および十分な機械的強度を得ることができなくなる。
【0007】
本発明の圧電セラミック組成物は、次の方法によって製造することが出来る。出発原料として、PbO,TiO2,ZrO2,ZnOおよびNb2O5または焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物(酸化物1);SrO,BaOおよびCaOから選ばれる少なくとも一つの酸化物または焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物(酸化物2);およびTa2O5,Sb2O3及びNb2O5から選ばれる少なくとも一つの酸化物または焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物(酸化物3)を用いることが出来る。各々の酸化物の所定量を秤量し、ボールミル等を用いて湿式混合する。酸化物3を添加する場合には、酸化物1および酸化物2の混合物を仮焼きした後に添加してもよい。湿式混合の際のスラリー媒体として、水、エタノール等のアルコールまたはこれらの混合物を使用することが望ましい。
出発原料を十分に混合した後、約800〜1000℃で約1〜3時間仮焼成する。得られた仮焼成物をボールミル等を用いて湿式粉砕する。この湿式粉砕においても、水、エタノール等のアルコールまたはこれらの混合物を混合媒体として用いることが望ましい。湿式粉砕は、仮焼成物の平均粒径が約0.5〜2.0μmとなるまで行うことが好ましい。 湿式粉砕によって得られた仮焼成物の粉末を乾燥し、乾燥粉末に水またはバインダー(例えば、ポリビニルアルコール等)を少量(約0.5〜8重量%)加えて混練する。得られたペーストを約98〜392MPa(1〜4ton/cm2の換算値)の圧力をかけてプレス成形して成型物を得る。成形には、押し出し成型法や、他の成型法も使用することが出来る。
次いで、成型物を、約960〜1200℃で約2〜5時間焼成し、圧電セラミックスを得る。焼成は、大気中、大気中より酸素分圧の高い雰囲気または純酸素雰囲気中で行うことが出来る。
【0008】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。
【実施例】
実施例1〜4および比較例1
PbO,TiO2,ZrO2,ZnOおよびNb2O5 の各化合物を、金属元素が表1に示されるモル比になるように混合した。この混合物に対してスラリー濃度が40〜50%になるように水を加え、ボールミルを使用して5時間湿式混合した後、900℃で2時間仮焼成した。この仮焼成物にスラリー濃度が40〜50%になるように水を加え、ボールミルを用いて15時間湿式粉砕した。得られたスラリーを乾燥した後、6重量%の水を添加し、39.2MPa(400kgf/cm2の換算値)の圧力で一軸加圧成型し、さらに392MPa(4ton/cm2の換算値)の圧力で冷間静水圧成型して、20mm角の角柱を作製した。この角柱を表1に示す温度で2時間大気中で焼成して圧電セラミックスを得た。
得られた圧電セラミックスを、スライス加工、ラップ加工およびダイシング加工にかけて、1.2mm×1.2mm×5.0mmの角柱を作製した。この角柱の両端に銀ペーストを印刷し、700℃で焼き付けした後、150℃のシリコーンオイル中で分極処理を行った。このようにして得られたサンプルを24時間放置した後、そのサンプルのk33、εd(1kHz)およびd33をインピーダンスアナライザーHP4194A(ヒューレットパッカード社製)を用いてEMAS−6100に従って測定した。得られた結果は表1に示すとおりである。
また、上記で得られた圧電セラミックスを、別途スライス加工、ラップ加工およびダイシング加工にかけて2mm×4mm×0.6mm(厚さ)のサンプルを作製した。このサンプルの抗折強度を、デジタル荷重試験機を使用し、JIS(R1601)に従って測定した。このときの測定条件は、支点間距離および荷重速度がそれぞれ2.0mm0.5mm/min.であった。得られた結果は表1に示すとおりである。
実施例5〜13および比較例2〜7
PbO,TiO2,ZrO2,ZnOおよびNb2O5 の各化合物を、金属元素が表2に示されるモル比になるように混合し、そしてTa2O5,Sb2O3およびNb2O5から選ばれた化合物を表2に示される量で添加した以外は実施例1〜4と同様にしてサンプルを得、そして得られたサンプルについて実施例1〜4と同様な測定を行った。得られた結果は表2に示すとおりである。
実施例14〜17
化合物PbOを、Pb元素が1より小さい表3に示されるモル比になるように混合し、そしてTa2O5を表3に示される量で添加した以外は実施例1〜4と同様にしてサンプルを得、そして得られたサンプルについて実施例1〜4と同様な測定を行った。得られた結果は表3に示すとおりである。
また、Ta2O5 の代わりにSb2O3またはNb2O5 を添加した場合にもTa2O5 と同等な結果が得られる。
【0009】
【発明の効果】
本発明の圧電セラミックスは、圧電特性および抗折強度がきわめて優れており、さらに1000℃以下で焼成可能なため、積層型圧電素子の作製において、安価なAg/Pd=80/20の内部電極を使用することができ、したがって、アクチュエーター、発音体等の材料、特に積層型圧電素子用材料として極めて有用である。
【表1】
【表2】
【表3】
Claims (2)
- 下記基本組成式:
PbA[(Zn1/3Nb2/3 )x Tiy Zrz]BO3
(式中、A,B,x,yおよびzは下記条件:
0.96≦A/B<1
x+y+z=1
0.05≦x≦0.40
0.1≦y≦0.5
0.2≦z≦0.6
を満たす原子比である)
で表される酸化物組成物からなる圧電セラミック組成物。 - Ta2O5,Sb2O3及びNb2O5から選ばれる少なくとも一種の酸化物が、前記酸化物組成物に対して0.2重量%より多くかつ1.0重量%以下の範囲で添加されている請求項1に記載の圧電セラミック組成物。
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