JP4927419B2 - 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 - Google Patents
圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4927419B2 JP4927419B2 JP2006075700A JP2006075700A JP4927419B2 JP 4927419 B2 JP4927419 B2 JP 4927419B2 JP 2006075700 A JP2006075700 A JP 2006075700A JP 2006075700 A JP2006075700 A JP 2006075700A JP 4927419 B2 JP4927419 B2 JP 4927419B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- ceramic composition
- piezoelectric ceramic
- mass
- contained
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 55
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 44
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 47
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 21
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 15
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 14
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 4
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 3
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100513612 Microdochium nivale MnCO gene Proteins 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical class OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- -1 lump Substances 0.000 description 2
- 229940071125 manganese acetate Drugs 0.000 description 2
- 229940082328 manganese acetate tetrahydrate Drugs 0.000 description 2
- UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diacetate Chemical compound [Mn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- CESXSDZNZGSWSP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diacetate;tetrahydrate Chemical compound O.O.O.O.[Mn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O CESXSDZNZGSWSP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000003826 uniaxial pressing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N lead nickel Chemical compound [Ni].[Pb] HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLOKPANHZRKTMG-UHFFFAOYSA-N lead(2+);oxygen(2-);tin(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Sn+4].[Pb+2] MLOKPANHZRKTMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N oxolead;oxomagnesium;2,4,5-trioxa-1$l^{5},3$l^{5}-diniobabicyclo[1.1.1]pentane 1,3-dioxide Chemical compound [Mg]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.O1[Nb]2(=O)O[Nb]1(=O)O2 ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009774 resonance method Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
本発明は、上記課題を解決するものであり、機械的強度が向上された鉄含有チタン酸ジルコン酸鉛系組成を有する圧電磁器組成物及び圧電素子を提供することを目的とする。
〔1〕Pb、Zr、Ti、アルカリ土類金属元素M、Fe及びMnを含有し、
上記Mは、Sr、Mg、Ca及びBaのうちの少なくとも1種であり、
Pb、Zr、Ti及び上記Mの組成を式(Pbs/M1−s)(Zru/Ti1−u)O3で表した場合に、0.91≦s≦0.98、且つ0.515≦u≦0.548を満たす複合酸化物を主成分とし、且つSbを実質的に含有せず、
Pb、M、Zr及びTiを、各々PbO、MCO3、ZrO2及びTiO2に換算した合計含有量を100質量部とした場合に、上記FeをFe2O3換算で0.15質量部以上含有し、且つMnをMnO2換算で0.005〜0.38質量部含有することを特徴とする圧電磁器組成物。
〔2〕上記Feの含有量はFe2O3換算で0.15〜0.58質量部である上記〔1〕乃至〔3〕のうちのいずれかに記載の圧電磁器組成物。
〔3〕上記アルカリ土類金属元素MがSrである上記〔1〕又は〔2〕に記載の圧電磁器組成物。
〔4〕上記〔1〕乃至〔3〕のうちのいずれかに記載の圧電磁器組成物からなる圧電体と、該圧電体に接する少なくとも一対の電極とを備えることを特徴とする圧電素子。
Feの含有量がFe2O3換算で0.15〜0.58質量部である場合は、特に優れた圧電性能が得られる。
アルカリ土類金属元素MがSrである場合は、Sr以外のアルカリ土類金属元素Mを用いた場合に比べてより優れた圧電性能が得られる。
本発明の圧電素子によれば、優れた圧電特性が発揮される酸化鉄を含有するチタン酸ジルコン酸鉛系圧電磁器組成物を用いた圧電素子であって、機械的強度に優れた圧電素子とすることができる。
[1]圧電磁器組成物
本発明の圧電磁器組成物は、Pb、Zr、Ti、アルカリ土類金属元素M、Fe及びMnを含有し、上記Mは、Sr、Mg、Ca及びBaのうちの少なくとも1種であり、Pb、Zr、Ti及び上記Mの組成を式(Pb s /M 1−s )(Zr u /Ti 1−u )O 3 で表した場合に、0.91≦s≦0.98、且つ0.515≦u≦0.548を満たす複合酸化物を主成分とし、且つSbを実質的に含有せず、Pb、M、Zr及びTiを、各々PbO、MCO 3 、ZrO 2 及びTiO 2 に換算した合計含有量を100質量部とした場合に、上記FeをFe 2 O 3 換算で0.15質量部以上含有し、且つMnをMnO 2 換算で0.005〜0.38質量部含有することを特徴とする。
また、βは0.01≦β≦0.25(より好ましくは0.025≦β≦0.25、更に好ましくは0.04≦β≦0.20)が好ましい。この範囲では上記優れた圧電性能と高い機械的強度を両立させられることに加えて、誘電損失を更に小さく抑制することができる。例えば、誘電損失(tanδ)を0.4%以下に保つことができる。
また、βは0.06≦β≦0.15(より好ましくは0.065≦β≦0.15、更に好ましくは0.07≦β≦0.15)が好ましい。この範囲は上記優れた圧電性能と高い機械的強度を両立させられることに加えて、Mnを含有することによる圧縮強度向上の効果をより特に効果的に得ることができる範囲である。また、誘電損失をより更に小さく抑制することができ、tanδを0.3%以下に保つことができる。
また、本発明の圧電磁器組成物において、上記元素Mの種類、上記s、上記u、上記α及び上記β等は、各々上記に挙げた好ましい範囲の各々の組合せとすることができる。
尚、上記s、u、α及びβの値は、各々X線プローブマイクロアナライザ(以下、単に「EPMA」という)及び蛍光X線等により測定できる。
上記誘電性能のうち、特に誘電損失の値が大きい(圧電磁器内の内部誘電体損が大きい)と、圧電磁器への入力エネルギーの相当量が熱に変換されて圧電磁器が発熱するという問題がある。そして、圧電磁器の発熱は、これを用いた振動体デバイスの連続駆動の制限、入力電力の制限、冷却装置等を要する制限など、各種の制限を生じる結果となる。更に、圧電磁器の発熱は入力エネルギーのロスとなるために省資源化の観点からも好ましくない。上記Mnは、この点において他の性能を向上させながらも、誘電損失はほとんど変化させずに小さく保持したまま含有させられるという極めて優れた性質を有している。
即ち、原料調合工程は、Pb、M、Zr、Ti、Fe及びMnが含有される化合物(各々個別に含有されてもよく、2種以上が含有されてもよい)又は単体を用い(通常、粉末)、混合物に含まれる各金属元素の組成比が上記式におけるs、u、α及びβを満たすように調合する工程である。
この原料調合工程で用いる化合物等は特に限定されず、各金属元素の酸化物、炭酸塩、水酸化物、炭酸水素塩、硝酸塩、有機金属化合物及び各金属の単体等が挙げられる。これらの化合物の形態も特に限定されず、粉末状であってもよく、液状であってもよい。更に、化合物中に含まれる上記各金属元素は1種のみであってもよく、2種以上であってもよい。
例えば、Mn源としては、酸化マンガン(MnO2、MnO4、Mn2O3、Mn3O4、Mn2O7等)、Mn単体金属、KMnO4、MnCO3、酢酸マンガン(酢酸マンガン四水和物等)が挙げられる。
また、上記焼成を行う前には脱脂を行うことができる。脱脂温度及びその保持時間は含まれるバインダ等の有機物の種類及び量における、分解温度及びその分解時間以上であれば特に限定されない。例えば、後述する実施例で用いた試験片形状(直径20mm×厚さ1mm)において500〜700℃で2時間とすることができる。更に、脱脂雰囲気は、通常、大気雰囲気又はその他の酸素雰囲気である。
本発明の圧電素子は、前記各本発明の圧電磁器組成物のうちのいずれかからなる圧電体と、この圧電体に接する少なくとも一対の電極とを備えるものである。
上記「圧電体」は、圧電素子内において圧電特性を発揮する部分である。この圧電体の形状及び大きさは特に限定されず、振動検知用途、圧力検知用途、発振用途及び圧電デバイス用途等に応じて適宜のものとすることが好ましい。この圧電体の形状は、平面形状が方形、円形等の平板状、中央部に厚さ方向に貫通孔が設けられた平板状、角柱状、円柱状等の種々の形状とすることができる。尚、圧電素子は、これらの形状の圧電体が複数積層されて構成されていてもよい。
ここで、圧電素子の一例として、非共振型ノッキングセンサに用いられる圧電素子1を図3に示す。この圧電素子100は、円板状に形成されるとともに、中央部に貫通孔11を有する圧電体1と、この圧電体1の表裏面の各々に導電性ペーストを塗布し、焼き付けてなる導体層21、22(一対の電極)とを備える。
ガラスフリットとしては、例えば、SiO2、Al2O3、ZnO及びTiO2などを含有するものを使用することができる。このガラスフリットにより、圧電磁器組成物からなる圧電体と一対の電極との接合強度を向上させることができる。
[1]圧電体の作製(表1に示す実験例1〜20について)
市販のPbO粉末、ZrO2粉末、TiO2粉末、SrCO3粉末、Fe2O3粉末、及びMnO2粉末の各々を用い、前記s、t、u、w、α及びβの各々が表1の量比となるように秤量した。得られた秤量粉末を一般的な振動ミルにて2時間乾式粉砕し混合粉末を得た。
この混合粉末を大気雰囲気下700〜1000℃で1〜5時間仮焼して仮焼物とした。
次いで、この仮焼物をボールミルにて、分散剤、ポリビニルアルコール(PVA)、可塑剤、離型剤及び水を加えて粉砕・混合してスラリーとした。
次いで、大気雰囲気下500〜700℃で2時間保持して脱脂を行い、引き続いて、大気雰囲気下1200〜1300℃で4時間保持して焼成し、各々円板状及び円柱状の2種の圧電体を得た。
その後、得られた圧電体の上下面を平行研磨して、円板状(貫通孔を有さない)の圧電体は各々直径20mm且つ厚さ1mm、円柱状の圧電体は各々直径5mm且つ高さ12.5mmに機械加工した。
上記[1]で得られた実験例1〜19の各圧電体のうちの円板状の研磨後の上下面に、SiO2、Al2O3、ZnO及びTiO2を含むガラスフリット、銀粉末及び有機媒体を用いて調製した導電性ペーストをスクリーン印刷により塗布し、600〜800℃で10分間焼き付けて電極を形成した。電極が形成された焼結体を80〜160℃に保温した絶縁オイル(シリコーンオイル)に浸漬し、10〜40kV/mmの直流電圧を1〜30分間印加して分極処理し、実験例1〜19の圧電素子を得た。一方、円柱状の磁器は後述する圧縮強度の測定に供した。
上記[2]で得られた圧電素子及び磁器を用いて、各々の圧電特性と機械的強度を測定し、表1に併記した。
尚、誘電特性のうち、比誘電率(ε33 T/ε0)及び誘電損失{tanδ(%)}は、室温下にて、インピーダンスアナライザ(ヒューレットパッカード社製、型式「HP4194A」)を用いて測定を行い、1kHzにおける静電容量の値から算出した。また、電気機械結合係数{Kp(%)}は共振反共振法により求めた。更に、キュリー点{Tc(℃)}は各試験片を電気炉で加熱しながら上記インピーダンスアナライザを用いた測定により、圧電性が消失してΔf(=fp−fs)=0となる温度として求めた。一方、圧縮強度はJIS R1608に従い測定を行った。
表1の実験例1〜9(実施例:2〜8、比較例:1、9)についてのMn含有量(β)と圧縮強度との相関、及び、Mn含有量(β)と電気機械系都合係数Kpとの相関を図1にグラフ化して示した。この図1から、Mn含有させた場合は、圧電特性を表すKpにはほとんど変化なく、著しく圧縮強度が向上されることが分かる。即ち、Mnが含有されない実験例1の圧縮強度は1430kgf/cm2であるのに対して、実験例2ではわずかβ=0.05の添加により52%も圧縮強度が向上されている。しかし、実施例1でのKpは52.4%であり、実験例2では52.3%であり、ほとんど変化していないことが分かる。また、特にβ=0.05〜0.10の範囲(実験例2〜4)では急激に圧縮強度が向上されることが図1から分かる。例えば、Mnを含有しない実験例1に対して、β=0.10である実験例4は、圧縮強度が4倍以上と著しく大きくなっている。Mn添加による圧縮強度向上の効果はβ>0.10を超えると多少鈍化し始めるが、含有量が多いほど圧縮強度を向上させることが可能であるものと考えられる。
Claims (4)
- Pb、Zr、Ti、アルカリ土類金属元素M、Fe及びMnを含有し、
上記Mは、Sr、Mg、Ca及びBaのうちの少なくとも1種であり、
Pb、Zr、Ti及び上記Mの組成を式(Pbs/M1−s)(Zru/Ti1−u)O3で表した場合に、0.91≦s≦0.98、且つ0.515≦u≦0.548を満たす複合酸化物を主成分とし、且つSbを実質的に含有せず、
Pb、M、Zr及びTiを、各々PbO、MCO3、ZrO2及びTiO2に換算した合計含有量を100質量部とした場合に、上記FeをFe2O3換算で0.15質量部以上含有し、且つMnをMnO2換算で0.005〜0.38質量部含有することを特徴とする圧電磁器組成物。 - 上記Feの含有量はFe2O3換算で0.15〜0.58質量部である請求項1に記載の圧電磁器組成物。
- 上記アルカリ土類金属元素MがSrである請求項1又は2に記載の圧電磁器組成物。
- 請求項1乃至3のうちのいずれかに記載の圧電磁器組成物からなる圧電体と、該圧電体に接する少なくとも一対の電極とを備えることを特徴とする圧電素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006075700A JP4927419B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006075700A JP4927419B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007246371A JP2007246371A (ja) | 2007-09-27 |
JP4927419B2 true JP4927419B2 (ja) | 2012-05-09 |
Family
ID=38591050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006075700A Active JP4927419B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4927419B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103756397B (zh) * | 2013-12-27 | 2015-02-11 | 淄博广通化工有限责任公司 | 氧化锆复合纳米粉体材料及其制备方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4940439B1 (ja) * | 1970-12-30 | 1974-11-01 | ||
JPS58186982A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-11-01 | Toshiba Corp | 酸化物圧電材料 |
JPH0788253B2 (ja) * | 1986-06-18 | 1995-09-27 | 日立金属株式会社 | 圧電磁器組成物 |
JPH06157137A (ja) * | 1992-11-24 | 1994-06-03 | Hitachi Metals Ltd | 圧電磁器組成物 |
-
2006
- 2006-03-17 JP JP2006075700A patent/JP4927419B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007246371A (ja) | 2007-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2658826B1 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device | |
JP5714819B2 (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
JP5967988B2 (ja) | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 | |
EP1382587B1 (en) | Piezoelectric porcelain and method for preparation thereof, and piezoelectric element | |
JP2007284344A (ja) | 低焼結温度を有する強誘電性セラミック材料 | |
JP2011068516A (ja) | 圧電磁器組成物、圧電磁器、圧電素子及び発振子 | |
JP3812936B2 (ja) | セラミック材料及びそれを用いた圧電素子 | |
JP4403967B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP4995412B2 (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
JP4496579B2 (ja) | 圧電セラミック組成物 | |
WO2004106264A1 (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
JP4940389B2 (ja) | 無鉛圧電磁器複合体及びこれを用いた圧電素子 | |
JP4927419B2 (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
JP5469475B2 (ja) | 圧電セラミックス及びその製造方法 | |
JP2003238248A (ja) | 圧電磁器組成物と圧電デバイス | |
JP2006248829A (ja) | 圧電磁器組成物、その製造方法、及び圧電素子 | |
JP5196124B2 (ja) | 圧電磁器組成物および積層型圧電素子 | |
JP2006096626A (ja) | 圧電磁器の製造方法、圧電素子の製造方法、圧電素子 | |
JP2005194150A (ja) | 圧電セラミックス | |
JP4793579B2 (ja) | 圧電磁器組成物および積層型圧電素子 | |
JP5173752B2 (ja) | 圧電磁器及びその製造方法並びに圧電素子 | |
TW202430485A (zh) | 無鉛壓電組成物、及壓電元件 | |
JPH10167821A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP5115356B2 (ja) | 圧電磁器、及び圧電素子 | |
JP2006265031A (ja) | 圧電磁器組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120209 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4927419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |