JPH06157137A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH06157137A JPH06157137A JP4313173A JP31317392A JPH06157137A JP H06157137 A JPH06157137 A JP H06157137A JP 4313173 A JP4313173 A JP 4313173A JP 31317392 A JP31317392 A JP 31317392A JP H06157137 A JPH06157137 A JP H06157137A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】アクチュエータ、特に積層型圧電アクチュエー
タに使用可能な圧電定数が大で、電気抵抗率が大きく、
かつ、機械的強度が大きい圧電磁器組成物の提供を目的
とする。 【構成】Ｐｂ（ＺｒxＴｉy）Ｏ3（但しx＋y＝１）で表
される組成をもって基本組成とし、０．５２≦x≦０．
５９の範囲内の組成から成りＰｂ原子の２〜１２モル％
をＣａ、Ｓｒ及びＢａの少なくとも一種で置換し、これ
にＳｂをＳｂ2Ｏ3に換算して０．１〜２．０重量％含有
し、かつＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒの少なくとも一種をそれぞれ
酸化物に換算して０．０１〜０．５重量％含有し、かつ
ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算し０．００５〜１．０重量％含有
することを特徴とする圧電磁器組成物
タに使用可能な圧電定数が大で、電気抵抗率が大きく、
かつ、機械的強度が大きい圧電磁器組成物の提供を目的
とする。 【構成】Ｐｂ（ＺｒxＴｉy）Ｏ3（但しx＋y＝１）で表
される組成をもって基本組成とし、０．５２≦x≦０．
５９の範囲内の組成から成りＰｂ原子の２〜１２モル％
をＣａ、Ｓｒ及びＢａの少なくとも一種で置換し、これ
にＳｂをＳｂ2Ｏ3に換算して０．１〜２．０重量％含有
し、かつＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒの少なくとも一種をそれぞれ
酸化物に換算して０．０１〜０．５重量％含有し、かつ
ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算し０．００５〜１．０重量％含有
することを特徴とする圧電磁器組成物
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチタン酸ジルコン酸鉛を
主成分とする圧電磁器組成物に関するものであり、特に
圧電特性が大であると共に、絶縁性能および機械的強度
に優れた圧電磁器組成物に関するものである。
主成分とする圧電磁器組成物に関するものであり、特に
圧電特性が大であると共に、絶縁性能および機械的強度
に優れた圧電磁器組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電体磁器は、鉛、ジルコニウム、チタ
ンの酸化物で構成されたチタン酸ジルコン酸鉛を主成分
としているが、これに様々な微量酸化物を添加すると圧
電特性が著しく向上することは広く知られている。例え
ば、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化ランタン、酸化タ
ングステン、酸化アンチモン等を添加すると圧電性が向
上し、機械的品質係数ＱM並びに電気的品質係数ＱE（１
／ｔａｎδ）の値は小さくなる。一方、酸化鉄、酸化ク
ロム、酸化マンガン等を添加するとＱM並びにＱEの値は
大きくなる。近年、この圧電磁器が積層圧電素子等のア
クチュエータに用いられるようになってきた。
ンの酸化物で構成されたチタン酸ジルコン酸鉛を主成分
としているが、これに様々な微量酸化物を添加すると圧
電特性が著しく向上することは広く知られている。例え
ば、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化ランタン、酸化タ
ングステン、酸化アンチモン等を添加すると圧電性が向
上し、機械的品質係数ＱM並びに電気的品質係数ＱE（１
／ｔａｎδ）の値は小さくなる。一方、酸化鉄、酸化ク
ロム、酸化マンガン等を添加するとＱM並びにＱEの値は
大きくなる。近年、この圧電磁器が積層圧電素子等のア
クチュエータに用いられるようになってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記アクチュエータ用
圧電磁器組成物の例として例えば圧電歪定数（ｄ定数）
が大きいＰｂ（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3−Ｐ
ｂＴｉＯ3系、あるいはＰｂ（Ｎｉ1/2Ｗ1/2）Ｏ3−Ｐｂ
ＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3系等の圧電磁器が知られている。
しかしながら、前記圧電磁器組成物は電気抵抗率が比較
的低い、機械的強度が低い等の問題点があり、圧電アク
チュエータ、特に積層型圧電アクチュエータとした時に
信頼性が低いという問題があった。本発明は上記従来技
術に存在する問題点を解決し、圧電特性が大であると共
に、電気抵抗率が大きく、かつ機械的強度が大でアクチ
ュエータ用材料、特に積層型圧電アクチュエータ用材料
に適した圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
圧電磁器組成物の例として例えば圧電歪定数（ｄ定数）
が大きいＰｂ（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3−Ｐ
ｂＴｉＯ3系、あるいはＰｂ（Ｎｉ1/2Ｗ1/2）Ｏ3−Ｐｂ
ＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3系等の圧電磁器が知られている。
しかしながら、前記圧電磁器組成物は電気抵抗率が比較
的低い、機械的強度が低い等の問題点があり、圧電アク
チュエータ、特に積層型圧電アクチュエータとした時に
信頼性が低いという問題があった。本発明は上記従来技
術に存在する問題点を解決し、圧電特性が大であると共
に、電気抵抗率が大きく、かつ機械的強度が大でアクチ
ュエータ用材料、特に積層型圧電アクチュエータ用材料
に適した圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
【０００４】
【問題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明においては、Ｐｂ（ＺｒxＴｉy）Ｏ3（但しx
＋y＝１）で表される組成をもって基本組成とし、０．
５２≦x≦０．５９の範囲内の組成から成りＰｂ原子の
２〜１２モル％をＣａ、Ｓｒ及びＢａの少なくとも一種
で置換し、これにＳｂをＳｂ2Ｏ3に換算して０．１〜
２．０重量％含有し、かつＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒの少なくと
も一種をそれぞれ酸化物に換算して０．０１〜０．５重
量％含有し、かつＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算し０．００５〜
１．０重量％含有する、という技術的手段を採用した。
に、本発明においては、Ｐｂ（ＺｒxＴｉy）Ｏ3（但しx
＋y＝１）で表される組成をもって基本組成とし、０．
５２≦x≦０．５９の範囲内の組成から成りＰｂ原子の
２〜１２モル％をＣａ、Ｓｒ及びＢａの少なくとも一種
で置換し、これにＳｂをＳｂ2Ｏ3に換算して０．１〜
２．０重量％含有し、かつＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒの少なくと
も一種をそれぞれ酸化物に換算して０．０１〜０．５重
量％含有し、かつＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算し０．００５〜
１．０重量％含有する、という技術的手段を採用した。
【０００５】
【作用】本発明においては、チタン酸鉛とジルコン酸鉛
の相境界近傍の組成においてＰｂをＣａ、Ｓｒ及びＢａ
の少なくとも一種で置換し、かつＳｂをＳｂ2Ｏ3の形で
適量添加することで大なる圧電定数を確保し、Ｍｎ、Ｆ
ｅ、Ｃｒの少なくとも一種を極微量加えることにより、
電気抵抗率の向上を計り、さらに、Ａｌを極微量添加す
ることで機械的強度の向上を計ることでアクチュエータ
用材料に適した圧電磁器組成物を提供するものである。
なお、添加するＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ａｌはいずれも極微
量であることから溶液状で他の固体粉末状原料に加える
と効果的に混合できる。
の相境界近傍の組成においてＰｂをＣａ、Ｓｒ及びＢａ
の少なくとも一種で置換し、かつＳｂをＳｂ2Ｏ3の形で
適量添加することで大なる圧電定数を確保し、Ｍｎ、Ｆ
ｅ、Ｃｒの少なくとも一種を極微量加えることにより、
電気抵抗率の向上を計り、さらに、Ａｌを極微量添加す
ることで機械的強度の向上を計ることでアクチュエータ
用材料に適した圧電磁器組成物を提供するものである。
なお、添加するＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ａｌはいずれも極微
量であることから溶液状で他の固体粉末状原料に加える
と効果的に混合できる。
【０００６】
【実施例】以下、実施例により、本発明の効果を具体的
に説明する。
に説明する。
【０００７】（実施例１）酸化鉛（ＰｂＯ）、炭酸スト
ロンチウム（ＳｒＣＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ
3）、酸化マンガン （ＭｎＯ2）および酸化アルミニウ
ム（Ａｌ2Ｏ3）を化学式（Ｐｂ1-xＳｒx）（ ＺｒyＴｉ
1-y）Ｏ3＋zwt％Ｓｂ2Ｏ3＋Wwt％ＭｎＯ2＋vwt%Ａｌ2Ｏ
3となるように秤量し、これを溶媒にエチルアルコール
を用いてボールミルで２時間混合した。得られた混合物
を１００℃で５時間乾燥し、仮成形後、空気中において
８５０℃で２時間仮焼し、更にボールミルで２時間粉砕
した。これを造粒後プレス成形により直径２０ｍｍ長さ
１５ｍｍの成形体を作成した。この成形体をアルミナ若
しくはマグネシアからなる容器内に密閉した状態で酸素
中１２６０℃５時間の焼結を行った。得られた焼結体を
切断、研磨加工により、直径１６ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ
の素子にし、両端面にＣｒ−Ａｕからなる電極を形成
し、シリコンオイル中において３ｋＶ／ｍｍの直流電圧
を印加して分極処理を行った。表１に（Ｐｂ1-xＳｒx）
（ＺｒyＴｉ1-y）Ｏ3＋zwt％Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt％ＭｎＯ
2＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3系の特性を示す。アクチュエータの
変位量は材料の圧電歪定数（ｄ定数）に比例する。Ｎ
ｏ．１〜５のデータよりＰｂの一部をＳｒに置換するこ
とにより圧電歪定数が大きくなることがわかる。Ｓｒの
置換量がＰｂの２モル％未満ではその効果が小さく、圧
電歪定数−ｄ31も１５０×１０ー12ｍ／Ｖ以下と小さ
く、アクチュエータ用圧電材料としては不適である。置
換量が１２モル％を越えるとキュリー温度が低下し、素
子とした際に温度安定性が悪い、また、比誘電率が３０
００以上と大きく、素子とした際に静電容量が大きくな
りすぎ、駆動回路に負担がかかる等の問題点が生じる。
Ｎｏ．６〜１０よりＳｂ2Ｏ3の添加もＳｒの置換と同様
の効果があることがわかる。また、Ｎｏ．１１〜１６よ
りｙが０．５２≦ｙ≦０．５９の範囲で−ｄ31が１５０
×１０ー12ｍ／Ｖ以上の大 きな値を確保できることがわ
かる。
ロンチウム（ＳｒＣＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ
3）、酸化マンガン （ＭｎＯ2）および酸化アルミニウ
ム（Ａｌ2Ｏ3）を化学式（Ｐｂ1-xＳｒx）（ ＺｒyＴｉ
1-y）Ｏ3＋zwt％Ｓｂ2Ｏ3＋Wwt％ＭｎＯ2＋vwt%Ａｌ2Ｏ
3となるように秤量し、これを溶媒にエチルアルコール
を用いてボールミルで２時間混合した。得られた混合物
を１００℃で５時間乾燥し、仮成形後、空気中において
８５０℃で２時間仮焼し、更にボールミルで２時間粉砕
した。これを造粒後プレス成形により直径２０ｍｍ長さ
１５ｍｍの成形体を作成した。この成形体をアルミナ若
しくはマグネシアからなる容器内に密閉した状態で酸素
中１２６０℃５時間の焼結を行った。得られた焼結体を
切断、研磨加工により、直径１６ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ
の素子にし、両端面にＣｒ−Ａｕからなる電極を形成
し、シリコンオイル中において３ｋＶ／ｍｍの直流電圧
を印加して分極処理を行った。表１に（Ｐｂ1-xＳｒx）
（ＺｒyＴｉ1-y）Ｏ3＋zwt％Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt％ＭｎＯ
2＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3系の特性を示す。アクチュエータの
変位量は材料の圧電歪定数（ｄ定数）に比例する。Ｎ
ｏ．１〜５のデータよりＰｂの一部をＳｒに置換するこ
とにより圧電歪定数が大きくなることがわかる。Ｓｒの
置換量がＰｂの２モル％未満ではその効果が小さく、圧
電歪定数−ｄ31も１５０×１０ー12ｍ／Ｖ以下と小さ
く、アクチュエータ用圧電材料としては不適である。置
換量が１２モル％を越えるとキュリー温度が低下し、素
子とした際に温度安定性が悪い、また、比誘電率が３０
００以上と大きく、素子とした際に静電容量が大きくな
りすぎ、駆動回路に負担がかかる等の問題点が生じる。
Ｎｏ．６〜１０よりＳｂ2Ｏ3の添加もＳｒの置換と同様
の効果があることがわかる。また、Ｎｏ．１１〜１６よ
りｙが０．５２≦ｙ≦０．５９の範囲で−ｄ31が１５０
×１０ー12ｍ／Ｖ以上の大 きな値を確保できることがわ
かる。
【表１】 また表２に示すように（Ｐｂ0.95Ｓｒ0.05）（Ｚｒ0.55
Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%ＭｎＯ2＋0.05
wt%Ａｌ2Ｏ3でＳｒの代わりにアルカリ土類金属である
Ｂａ、Ｃａを用いても同様の効果が得られることがわか
る。
Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%ＭｎＯ2＋0.05
wt%Ａｌ2Ｏ3でＳｒの代わりにアルカリ土類金属である
Ｂａ、Ｃａを用いても同様の効果が得られることがわか
る。
【表２】 表３には（Ｐｂ0.95Ｓｒ0.05）（Ｚｒ0.55Ｔｉ0.45）Ｏ
3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋Wwt%ＭｎＯ2＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3系の
特性を示す。
3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋Wwt%ＭｎＯ2＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3系の
特性を示す。
【表３】 ※は本発明外 表３から明らかなように微量のＭｎを添加することによ
り電気抵抗率が２桁程度大きくなることがわかる。な
お、Ｍｎの添加量がＭｎＯ2に換算して０．０１重量％
未満ではＭｎの混合が困難で添加効果が不十分となり電
気抵抗率が大きくならない。一方、Ｍｎの添加量がＭｎ
Ｏ2に換算して０．５重量％を越えると比誘電率εT 33、
および電気機械結合係数ＫPの低下が著しく、圧電歪定
数-ｄ31が小さくなりすぎる。表４には（Ｐｂ0.95Ｓｒ
0.05）（Ｚｒ0.55Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05
wt%ＭｎＯ2＋vwt%Ａｌ2Ｏ3系の特性を示す。
り電気抵抗率が２桁程度大きくなることがわかる。な
お、Ｍｎの添加量がＭｎＯ2に換算して０．０１重量％
未満ではＭｎの混合が困難で添加効果が不十分となり電
気抵抗率が大きくならない。一方、Ｍｎの添加量がＭｎ
Ｏ2に換算して０．５重量％を越えると比誘電率εT 33、
および電気機械結合係数ＫPの低下が著しく、圧電歪定
数-ｄ31が小さくなりすぎる。表４には（Ｐｂ0.95Ｓｒ
0.05）（Ｚｒ0.55Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05
wt%ＭｎＯ2＋vwt%Ａｌ2Ｏ3系の特性を示す。
【表４】 ※は本発明外 表４よりＡｌを添加することにより機械抗折強度は著し
く改善されることがわかる。特に本発明のＡｌ添加量が
Ａｌ2Ｏ3に換算して０．００５から１．０重量％では電
気抵抗率、機械抗折強度が共に大きく、かつ、-ｄ31も
大きくアクチュエータ、特に積層型圧電アクチュエータ
に最適の圧電磁器組成物であることがわかる。なお、Ａ
ｌの添加量がＡｌ2Ｏ3に換算して０．００５重量％未満
ではＡｌの混合が困難で添加効果が不十分となり機械抗
折強度が向上しない。一方、Ａｌの添加量がＡｌ2Ｏ3に
換算して１．０重量％を越えると圧電歪定数、電気抵抗
率が低下し、かつ機械抗折強度も低下する。
く改善されることがわかる。特に本発明のＡｌ添加量が
Ａｌ2Ｏ3に換算して０．００５から１．０重量％では電
気抵抗率、機械抗折強度が共に大きく、かつ、-ｄ31も
大きくアクチュエータ、特に積層型圧電アクチュエータ
に最適の圧電磁器組成物であることがわかる。なお、Ａ
ｌの添加量がＡｌ2Ｏ3に換算して０．００５重量％未満
ではＡｌの混合が困難で添加効果が不十分となり機械抗
折強度が向上しない。一方、Ａｌの添加量がＡｌ2Ｏ3に
換算して１．０重量％を越えると圧電歪定数、電気抵抗
率が低下し、かつ機械抗折強度も低下する。
【０００８】（実施例２）実施例１の方法と同様の方法
により、試料を作成し評価した。（Ｐｂ0.95Ｓｒ0.05）
（Ｚｒ0.55Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%Ａ
ｌ2Ｏ3にＦｅ、Ｃｒを添加することにより、表５から表
６の特性が得られる。Ｆｅ、Ｃｒの添加によりＭｎの添
加と同様の効果が得られることがわかる。
により、試料を作成し評価した。（Ｐｂ0.95Ｓｒ0.05）
（Ｚｒ0.55Ｔｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%Ａ
ｌ2Ｏ3にＦｅ、Ｃｒを添加することにより、表５から表
６の特性が得られる。Ｆｅ、Ｃｒの添加によりＭｎの添
加と同様の効果が得られることがわかる。
【表５】 ※は本発明外
【表６】 ※は本発明外
【０００９】（実施例３）酸化鉛（ＰｂＯ）、炭酸スト
ロンチウム（ＳｒＣＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ
3）を化学式（Ｐｂ0 .95Ｓｒ0.05）（Ｚｒ0.55Ｔ
ｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3となる
ように秤量し、これにＭｎ、Ｆｅ、ＣｒをそれぞれＭｎ
（ＯＣ2Ｈ5）2、Ｆｅ （ＯＣ2Ｈ5）3、Ｃｒ（ＯＣ
2Ｈ5）3でそれぞれの酸化物に換算して０．０１重量％
加え、混合溶媒であるエチルアルコール中に溶解した。
実施例１の方法と同様の方法により、試料を作成し、表
７の特性を得た。表７より添加量が微量であるＭｎ、Ｆ
ｅ、Ｃｒの出発原料を溶液状で添加することにより良好
な特性が得られることがわかる。なお、Ａｌの出発原料
をＡｌ2Ｏ3の代わりにＡｌ（ＯＣ2Ｈ5）3とすると機械
抗折強度が約１０％向上した。
ロンチウム（ＳｒＣＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ
3）を化学式（Ｐｂ0 .95Ｓｒ0.05）（Ｚｒ0.55Ｔ
ｉ0.45）Ｏ3+0.3wt%Ｓｂ2Ｏ3＋0.05wt%Ａｌ2Ｏ3となる
ように秤量し、これにＭｎ、Ｆｅ、ＣｒをそれぞれＭｎ
（ＯＣ2Ｈ5）2、Ｆｅ （ＯＣ2Ｈ5）3、Ｃｒ（ＯＣ
2Ｈ5）3でそれぞれの酸化物に換算して０．０１重量％
加え、混合溶媒であるエチルアルコール中に溶解した。
実施例１の方法と同様の方法により、試料を作成し、表
７の特性を得た。表７より添加量が微量であるＭｎ、Ｆ
ｅ、Ｃｒの出発原料を溶液状で添加することにより良好
な特性が得られることがわかる。なお、Ａｌの出発原料
をＡｌ2Ｏ3の代わりにＡｌ（ＯＣ2Ｈ5）3とすると機械
抗折強度が約１０％向上した。
【表７】
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は圧電歪定
数が大きく、電気抵抗率が大で、かつ、機械的強度が大
きいことから、アクチュエータ、特に積層型圧電アクチ
ュエータ用材料として極めて有用である。
数が大きく、電気抵抗率が大で、かつ、機械的強度が大
きいことから、アクチュエータ、特に積層型圧電アクチ
ュエータ用材料として極めて有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 定村 茂 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 (72)発明者 深田 典宏 東京都文京区西片一丁目17番８号日立フェ ライト株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｐｂ（ＺｒxＴｉy）Ｏ3（但しx＋y＝
１）で表される組成をもって基本組成とし、０．５２≦
x≦０．５９の範囲内の組成から成りＰｂ原子の２〜１
２モル％をＣａ、Ｓｒ及びＢａの少なくとも一種で置換
し、これにＳｂをＳｂ2Ｏ3に換算して０．１〜２．０重
量％含有し、かつＭｎ、Ｆｅ、Ｃｒの少なくとも一種を
それぞれ酸化物に換算して０．０１〜０．５重量％含有
し、かつＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算し０．００５〜１．０重
量％含有することを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項２】 請求項１の圧電磁器組成物に於いて溶液
状のマンガン化合物、鉄化合物、クロム化合物、アルミ
化合物の少なくとも一種を用いることを特徴とする圧電
磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4313173A JPH06157137A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4313173A JPH06157137A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06157137A true JPH06157137A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18037990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4313173A Pending JPH06157137A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06157137A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390446B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2003-07-04 | 한국과학기술연구원 | 마이크로파용 고유전율 유전체 세라믹 조성물 |
| JP2007246371A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
| JP2015224174A (ja) * | 2014-05-29 | 2015-12-14 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
| CN116283281A (zh) * | 2023-04-07 | 2023-06-23 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种有双向应变的压电驱动器材料及其制备方法 |
-
1992
- 1992-11-24 JP JP4313173A patent/JPH06157137A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390446B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2003-07-04 | 한국과학기술연구원 | 마이크로파용 고유전율 유전체 세라믹 조성물 |
| JP2007246371A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
| JP2015224174A (ja) * | 2014-05-29 | 2015-12-14 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
| CN116283281A (zh) * | 2023-04-07 | 2023-06-23 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种有双向应变的压电驱动器材料及其制备方法 |
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