JP4495679B2 - 基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法 - Google Patents
基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4495679B2 JP4495679B2 JP2006016904A JP2006016904A JP4495679B2 JP 4495679 B2 JP4495679 B2 JP 4495679B2 JP 2006016904 A JP2006016904 A JP 2006016904A JP 2006016904 A JP2006016904 A JP 2006016904A JP 4495679 B2 JP4495679 B2 JP 4495679B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- substrate
- line
- standing wave
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 68
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 112
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 4
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000011161 development Methods 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000025 interference lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70408—Interferometric lithography; Holographic lithography; Self-imaging lithography, e.g. utilizing the Talbot effect
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/001—Phase modulating patterns, e.g. refractive index patterns
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/201—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
- G03F7/203—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure comprising an imagewise exposure to electromagnetic radiation or corpuscular radiation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
- G03F7/70466—Multiple exposures, e.g. combination of fine and coarse exposures, double patterning or multiple exposures for printing a single feature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
本発明の第2の目的は、転写するパターンが所定の適当な形状または周期性を備えるときに、純粋な光学リソグラフィでなく干渉フォトリソグラフィを使用する基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法を提供することにある。
本発明の第3の目的は、干渉リソグラフィにおいて、二つ以上のコヒーレントビームの定在波干渉パターンを利用し、必要なパターンイメージをウェーハ表面へ形成してパターンを直接に形成する基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法を提供することにある。
第1の方向を向いている複数の線を含む第1のサブパターンおよび第2の方向を向いている複数の線を含む第2のサブパターンにパターンを分けるステップ。第1の定在波干渉パターンを使用して基板上の第1の感光材料層上に第1の方向を向いている複数の第1の線を形成するステップ。第1の線の一部をトリミング(除去を含む)して第1のサブパターンを形成するステップ。第1のサブパターンを形成した後に基板に第2の感光材料層を提供するステップ。第2の定在波干渉パターンを使用して第2の感光材料層上に第2の方向を向いている複数の第2の線を形成するステップ。第2の線の一部をトリミング(除去を含む)して第2のサブパターンを形成するステップ。
(1)波干渉により製作するパターンサイズは波長の何分の一であるため良好な解像度を得ることができる。
(2)従来の光学リソグラフィよりも優れた焦点深度を有する。
(3)従来の光学ステッパーまたはスキャナーよりも簡便で低価格である。
wave interference pattern)を形成する設備5を示す模式図である。レーザまたはその他高度な空間的かつ時間的コヒーレンスを有する単色光源などにより生成される単入射ビーム10をビームスプリッタ20に入射する。本実施形態の単入射ビーム10にはレーザビームが採用され、例えばこのレーザビームのレーザ波長は約248nm、193nm、157nmまたは157nmよりも小さいなど、約400〜10nmの間である。反射ビーム22および入射ビーム24は、例えばそれぞれ平面鏡である反射面32および反射面34へ向かう。そして反射面32および反射面34により反射された後、反射ビーム22および入射ビーム24はそれぞれビームエキスパンダ42およびビームエキスパンダ44を透過し、十分に均一で断面を有する最終ビーム52、54を形成して必要な干渉パターンが製作される。最終ビーム52、54は、フォトレジスト材料70で覆われた基板60上に照射され、各ビームと基板60の法線との間には入射角度θが形成される。基板60はアライメントモジュール80の適当な位置に固定され、アライメントモジュール80は回転台90上に配置され、回転台90は垂直軸の周りで360度回転することができる。入射角度θは干渉パターン中の縞(Fringes)のピッチ(Pitch)および縞の幅にとって非常に重要であり、それは反射面32、34を利用して調整することができる。基板60上には少なくとも一つのマルチビーム干渉装置または少なくとも一つのステッパー/スキャン装置に応用することのできる複数のアライメント標記イメージが設けられていることが好ましい。
22…反射ビーム、 24、210…入射ビーム、
32、34、215、216…反射面、 42、44、225…ビームエキスパンダ、52、54…最終ビーム、 60、702、801、1001…基板、
70…フォトレジスト材料、 80…アライメントモジュール、 90…回転台、
120…第1の集光レンズ、 122、312、313…レーザビーム、
124…針孔、 126…第2の集光レンズ、 128…平行ビーム、
210…入射ビーム、 230…網かけ部分、 232…非網かけ部分、
270…感光層、 300…平坦表面、 315、325…最大値、
317、327…最小値、
400、600、800、900、1000…フォトレジスト、
412、502、802、902、1002、1102…斜線領域、
414、422、504、804、904、1104、1004…非斜線領域、
416…最大強度、 418…最小強度、 420…領域、
500、806、906、1006、1106…マスク、 513…つぶし円、
515…直線パターン、 517…不要なホール、 611…必要なホール、
703…ポジ型フォトレジスト、 704…入射放射線、 705…露光領域、
706…紫外線、
802a、802b、902a、902b、1102a、1102b…部分、
707、1002a…未露光部分、 1002b…露光部分、
806a、806b、1006a、1006b 1106a、1106b、1106c …マスク部分、 1100…ネガ型フォトレジスト層、 θ…入射角度
Claims (14)
- 第1の方向を向いている複数の線を含む第1のサブパターンおよび第2の方向を向いている複数の線を含む第2のサブパターンにパターンを分けるステップと、
第1の定在波干渉パターンを使用して基板上の第1の感光材料層上に、前記第1の方向を向いている複数の第1の線を形成するステップと、
前記第1の線の一部をトリミングして前記第1のサブパターンを形成するステップと、
前記第1のサブパターンを形成した後に前記基板に形成した第1のサブパターン上に第2の感光材料層を提供するステップと、
第2の定在波干渉パターンを使用して前記第2の感光材料層上に前記第2の方向を向いている複数の第2の線を形成するステップと、
前記第2の線の一部をトリミングして前記第2のサブパターンを形成するステップと、
を含み、前記第1および第2の定在波干渉パターンの形成は、水、および屈折率が1≦n≦2である任意の流体から選択した少なくとも一つが含まれている媒体を通した複数の放射線ビームの投射を含むことを特徴とする基板上にパターンを製作する方法。 - 前記第1の線の一部をトリミングするステップの後と、前記第2の感光材料層を提供するステップの前とに、前記第1のサブパターンを形成する前記第1の線を硬化するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- 前記第1の線を硬化させるステップは、紫外線放射、ベーキング処理、注入処理および化学処理の内の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項2に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- 前記第1の線の一部をトリミングして前記第1のサブパターンを形成するステップは、
マスクを使用して前記第1の線の一部を保護するステップと、
前記マスクを使用するステップの後に、前記第1の線を露光するステップと、
前記第1の線を現像して該第1の線の前記マスクにより保護されていない部分を除去するステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。 - 前記第2の線の一部をトリミングして前記第2のサブパターンを形成するステップは、
前記マスクを使用して前記第2の線の一部を保護するステップと、
前記マスクを使用するステップの後に、前記第2の線を露光するステップと、
前記第2の線を現像して前記第2の線の前記マスクにより保護されていない部分を除去するステップと、
を含むことを特徴とする請求項4に記載の基板上にパターンを製作する方法。 - 前記第1の線を形成するステップの後と、前記第2の線を形成するステップの前とに、前記基板の表面の法線の周りで実質上90度回転させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- 前記感光材料は、ポジ型フォトレジスト、ネガ型フォトレジスト、単層レジストまたは多層レジストであることを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- 前記パターンには、線、スペース(space)、矩形、湾曲(elbow)または島(island)形状の内の少なくとも一つが含まれていることを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- 前記第1の定在波干渉パターンと前記第2の定在波干渉パターンとは同じであることを特徴とする請求項1に記載の基板上にパターンを製作する方法。
- コヒーレント放射ビームを形成するために配置されている放射源と、
少なくとも一つの前記放射源を使用して第1の定在波干渉パターンおよび第2の定在波干渉パターンを基板上の放射感光材料へ投射する投射手段と、
前記第1の定在波干渉パターンを投射した後と、前記第2の定在波干渉パターンを投射する前とに前記基板の位置を修正する修正手段と、
少なくとも前記第1の定在波干渉パターンを投射した後に前記放射感光材料を現像する現像手段と、
を備え、前記投射手段は、前記第1および第2の定在波干渉パターンを投射する時、水、および屈折率が1≦n≦2である任意の流体から選択した少なくとも一つが含まれている媒体を介して複数の放射線ビームを投射することを特徴とする干渉フォトリソグラフィにより基板上にパターンを製作するシステム。 - 前記修正手段は、回転台に固定されたアライメントモジュールを含み、前記アライメントモジュールは基板を保持可能であり、前記回転台は垂直軸の周りで360度回転可能であることを特徴とする請求項10に記載のシステム。
- 前記投影手段は、ビームスプリッタ、第1の反射面、第2の反射面、第1のビームエキスパンダおよび第2のビームエキスパンダを備え、
前記ビームスプリッタは、前記コヒーレント放射ビームから透過ビームおよび反射ビームを生成し、
前記第1の反射面および前記第2の反射面は、前記ビームスプリッタに対称的に配置され、前記ビームスプリッタからの前記透過ビームを前記第1の反射面上へ照射し、前記ビームスプリッタからの前記反射ビームを前記第2の反射面上へ照射し、
前記第1のビームエキスパンダは、前記第1の反射面の先で、前記第1の反射面で反射されたビームの線路上に配置され、
前記第2のビームエキスパンダは、前記第2の反射面の先で、前記第2の反射面で反射されたビームの線路上に配置され、
前記第1のビームエキスパンダからのビームおよび前記第2のビームエキスパンダからのビームは、それぞれ同一の角度で前記基板に入射し、前記基板表面に対する法線の両側で対称状に配置されており、定在波干渉パターンを形成することを特徴とする請求項10に記載のシステム。 - 前記投射手段は、
前記コヒーレント放射ビームが入射するビームエキスパンダと、
前記ビームエキスパンダから射出されるビームの線路上に配置されている第1の反射面と、
前記第1の反射面で反射されるビームの上側部位の線路上に配置されている第2の反射面とを備え、
前記第2の反射面で反射されるビームおよび前記第1の反射面で反射されるビームの下側部位は、これらが基板上で重畳された時に定在波干渉パターンを形成するように、前記基板表面に対する法線との間で同一の角度を形成し、該法線の両側に対称状に配置されることを特徴とする請求項10に記載のシステム。 - 投射される時には前記第1の定在波干渉パターンと前記第2の定在波干渉パターンとが同じであるが、前記基板が回転することにより前記放射感光材料上に異なるパターンが形成されることを特徴とする請求項10に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/043,304 US8110345B2 (en) | 2002-12-04 | 2005-01-26 | High resolution lithography system and method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006210923A JP2006210923A (ja) | 2006-08-10 |
JP4495679B2 true JP4495679B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=36216809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006016904A Active JP4495679B2 (ja) | 2005-01-26 | 2006-01-25 | 基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8110345B2 (ja) |
JP (1) | JP4495679B2 (ja) |
KR (1) | KR100717540B1 (ja) |
CN (1) | CN1811599B (ja) |
NL (1) | NL1030986C2 (ja) |
TW (1) | TWI331355B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006090807A1 (ja) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Nikon Corporation | 露光方法および装置、ならびに電子デバイス製造方法 |
US8431328B2 (en) * | 2007-02-22 | 2013-04-30 | Nikon Corporation | Exposure method, method for manufacturing flat panel display substrate, and exposure apparatus |
KR100881140B1 (ko) | 2007-08-09 | 2009-02-02 | 삼성전기주식회사 | 나노패턴 형성장치 및 이를 이용한 나노패턴 형성방법 |
CN101634810B (zh) * | 2008-07-21 | 2011-06-01 | 财团法人工业技术研究院 | 步进排列式干涉微影方法与系统 |
US8426119B2 (en) | 2009-10-21 | 2013-04-23 | GM Global Technology Operations LLC | Dynamic projection method for micro-truss foam fabrication |
US9304410B2 (en) | 2011-11-18 | 2016-04-05 | Periodic Structures Inc. | Apparatus and method of direct writing with photons beyond the diffraction limit |
TWI497231B (zh) * | 2011-11-18 | 2015-08-21 | David Arthur Markle | 以超越繞射極限光子直接寫入之裝置及方法 |
US9195139B2 (en) | 2013-12-30 | 2015-11-24 | Periodic Structures, Inc. | Apparatus and method of direct writing with photons beyond the diffraction limit using two-color resist |
JP6221849B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2017-11-01 | ウシオ電機株式会社 | 露光方法、微細周期構造体の製造方法、グリッド偏光素子の製造方法及び露光装置 |
US9500468B2 (en) | 2014-08-25 | 2016-11-22 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Scanning interferometry technique for through-thickness evaluation in multi-layered transparent structures |
JP2016111058A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | ウシオ電機株式会社 | 半導体発光素子の製造方法及び半導体発光素子 |
JP6609917B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2019-11-27 | ウシオ電機株式会社 | 蛍光光源用発光素子の製造方法 |
JP6528394B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2019-06-12 | ウシオ電機株式会社 | 基板上構造体の製造方法 |
JP6547283B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2019-07-24 | ウシオ電機株式会社 | 基板上構造体の製造方法 |
JP2017054006A (ja) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | ウシオ電機株式会社 | 光照射方法、基板上構造体の製造方法および基板上構造体 |
US10101652B2 (en) * | 2015-09-24 | 2018-10-16 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Exposure method, method of fabricating periodic microstructure, method of fabricating grid polarizing element and exposure apparatus |
JP6953109B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2021-10-27 | ウシオ電機株式会社 | 基板上構造体の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5280041A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Method for selectively exposing photosensitive material |
JPS5966117A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パタ−ン形成方法 |
JPH0267559A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 干渉露光装置 |
US5415835A (en) * | 1992-09-16 | 1995-05-16 | University Of New Mexico | Method for fine-line interferometric lithography |
JPH09153446A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Sharp Corp | 干渉露光装置およびそれを用いた干渉露光方法 |
JP2000260705A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-22 | Canon Inc | 露光方法ならびにそれを用いたデバイスおよびデバイス製造方法 |
JP2002175981A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-06-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体装置のパターン形成方法 |
US20020106588A1 (en) * | 2001-02-06 | 2002-08-08 | Chien-Wen Lai | Photolithography process for forming an opening |
US20040110092A1 (en) * | 2002-12-04 | 2004-06-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Novel method and systems to print contact hole patterns |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4517280A (en) * | 1982-11-04 | 1985-05-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for fabricating integrated optics |
US4568631A (en) * | 1984-04-30 | 1986-02-04 | International Business Machines Corporation | Process for delineating photoresist lines at pattern edges only using image reversal composition with diazoquinone |
US5216257A (en) * | 1990-07-09 | 1993-06-01 | Brueck Steven R J | Method and apparatus for alignment and overlay of submicron lithographic features |
US5225918A (en) * | 1990-07-18 | 1993-07-06 | Sony Magnescale, Inc. | Hologram scale, apparatus for making hologram scale, moving member having hologram scale assembled hologram scale and apparatus for making assembled hologram scale |
JP3363799B2 (ja) * | 1998-08-28 | 2003-01-08 | キヤノン株式会社 | デバイスの構造部分の配置方法およびデバイス |
JP2000223400A (ja) | 1999-02-01 | 2000-08-11 | Canon Inc | パターン形成方法及びそれを用いた露光装置 |
AU2001290937A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-04-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of design and fabrication of integrated circuits using regular arrays and gratings |
AU2002324868A1 (en) * | 2002-03-04 | 2003-09-29 | Massachusetts Institute Of Technology | A method and system of lithography using masks having gray-tone features |
JP2004014866A (ja) | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Nikon Corp | 多光子干渉露光装置 |
US7082596B2 (en) * | 2002-11-27 | 2006-07-25 | Synopsys, Inc. | Simulation-based selection of evaluation points for model-based optical proximity correction |
-
2005
- 2005-01-26 US US11/043,304 patent/US8110345B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-24 TW TW094128999A patent/TWI331355B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-09-09 CN CN200510098695.2A patent/CN1811599B/zh active Active
-
2006
- 2006-01-24 NL NL1030986A patent/NL1030986C2/nl active Search and Examination
- 2006-01-25 KR KR1020060007871A patent/KR100717540B1/ko active IP Right Grant
- 2006-01-25 JP JP2006016904A patent/JP4495679B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5280041A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Method for selectively exposing photosensitive material |
JPS5966117A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パタ−ン形成方法 |
JPH0267559A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 干渉露光装置 |
US5415835A (en) * | 1992-09-16 | 1995-05-16 | University Of New Mexico | Method for fine-line interferometric lithography |
JPH09153446A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Sharp Corp | 干渉露光装置およびそれを用いた干渉露光方法 |
JP2000260705A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-22 | Canon Inc | 露光方法ならびにそれを用いたデバイスおよびデバイス製造方法 |
JP2002175981A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-06-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体装置のパターン形成方法 |
US20020106588A1 (en) * | 2001-02-06 | 2002-08-08 | Chien-Wen Lai | Photolithography process for forming an opening |
US20040110092A1 (en) * | 2002-12-04 | 2004-06-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Novel method and systems to print contact hole patterns |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL1030986C2 (nl) | 2006-08-22 |
US20050147921A1 (en) | 2005-07-07 |
CN1811599B (zh) | 2010-05-05 |
JP2006210923A (ja) | 2006-08-10 |
KR100717540B1 (ko) | 2007-05-11 |
CN1811599A (zh) | 2006-08-02 |
TWI331355B (en) | 2010-10-01 |
KR20060086310A (ko) | 2006-07-31 |
TW200627510A (en) | 2006-08-01 |
US8110345B2 (en) | 2012-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4495679B2 (ja) | 基板上にパターンを製作するシステムおよびその方法 | |
JP4504622B2 (ja) | デバイスを製造するリソグラフィック方法 | |
US7005235B2 (en) | Method and systems to print contact hole patterns | |
US5863677A (en) | Aligner and patterning method using phase shift mask | |
KR101167319B1 (ko) | 패턴 형성 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 노광용마스크 세트 | |
JP2006221078A (ja) | フォトマスク、マスクパターンの生成方法、および、半導体装置のパターンの形成方法 | |
US10712670B1 (en) | Variable neutral density filter for multi-beam interference lithography exposure | |
TWI695220B (zh) | 相位移光罩、無鉻的相位移光罩及積體電路的製作方法 | |
KR100850329B1 (ko) | 조명 시스템 및 포토리소그래피 장치 | |
KR20070058643A (ko) | 고체 액침 렌즈 리소그래피 | |
US8908149B2 (en) | Projection exposure system and use thereof | |
JP3588212B2 (ja) | 露光用マスク及びその作製方法並びに半導体装置の製造方法 | |
KR100475083B1 (ko) | 미세한 콘택홀 어레이를 위한 포토마스크, 그 제조방법 및사용방법 | |
US20070287075A1 (en) | Mask arrangement, optical projection system and method for obtaining grating parameters and absorption properties of a diffractive optical element | |
US9158205B2 (en) | Optical arrangement for three-dimensionally patterning a material layer | |
JP2006210928A (ja) | 像面にパターンを投影するための構造体 | |
TWI742174B (zh) | 微影光罩與其製作方法及微影製程 | |
JPH0588355A (ja) | 反射型マスク及びそれを用いた露光装置 | |
KR20140108169A (ko) | 기판 결함들의 영향을 최소화하는 이중 마스크 포토리소그래피 방법 | |
KR101791729B1 (ko) | 노출 강도를 조정함으로써 극성 불균형을 감소시키는 방법 및 시스템 | |
US20050287446A1 (en) | Method for the photolithographic projection of a pattern onto a semiconductor wafer with an alternating phase mask | |
JPH0844039A (ja) | ハーフトーン方式位相シフトマスク及びレジスト露光方法 | |
JP2020060690A (ja) | 光照射方法、機能素子の製造方法および光照射装置 | |
KR20070071660A (ko) | 위상 반전 마스크 및 그의 제조 방법 | |
KR20090050653A (ko) | 고스트 이미지를 방지하기 위한 홀 패턴의 레티클 구조 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090408 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090831 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100331 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4495679 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |