JP4476356B2 - フォトレジストストリッパー廃液の再生方法及び再生装置、並びにその再生回収率の改善方法 - Google Patents
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Description
更に、本発明は、フォトレジストストリッパー廃液の再生工程での再生回収率を改善する方法に関する。
本発明による再生方法及び再生装置は、半導体または液晶表示装置の製造工程の下流工程としてフォトエッチングのストリッピング工程に利用することができるが、半導体または液晶表示装置の製造工程から回収された多様なストリッパー廃液にも適用することができる。
本発明による再生方法および再生回収率を改善する方法は、半導体装置の製造により回収される多様なストリッパー廃液に適用され、実施例に用いたストリッパー廃液の成分を表1に示した。
T−2、T−3;分離回収タンク
T−4、T−5、T−6、T−7、T−8、T−9;ストリッパー溶剤貯蔵タンク
F−1、1−1、1−2、2−1、2−2、2−3、2−4、2−5、3−1、3−2;移送ポンプ
D−1、D−2、D−3;蒸留塔
1、4、10、11;凝縮器
2、5、12;貯蔵タンク
3、7、14;リボイラー
7a;加熱媒体ライン
6;塔の下部
8、15;減圧ポンプ
9;螺旋型攪拌カラム
13;マイクロフィルター
16−1、16−2、16−3;流量制御バルブ
17;気体クロマトグラフィ
18;紫外吸収分光光度計
17a、18a;制御装置
19;NMP供給タンク
20;負荷セル
Claims (14)
- フォトレジストストリッパー廃液の供給装置、及び前記供給装置からパイプを通して移送されたフォトレジストストリッパー廃液を蒸留することでストリッパー溶剤に再生される主溶剤の沸点よりも低い沸点を持つ低沸点不純物を除去する1次蒸留塔とを備える1次蒸留装置と、
前記1次蒸留塔の下部に連結されたパイプを通して移送された前記低沸点不純物が除去されたストリッパー廃液から一度にストリッパー溶剤組成物を蒸発する2次蒸留塔、前記2次蒸留塔の上部に連結され、蒸発されたストリッパー溶剤を凝縮する凝縮器、及び再生回収率改善装置を備える2次蒸留装置と、
前記ストリッパー溶剤の成分を各沸点によって順次に蒸発する螺旋型スピンバンド式蒸留塔である3次蒸留塔、及び前記3次蒸留塔の上部に連結され、前記ストリッパー溶剤の成分を凝縮する凝縮器を備える3次蒸留装置と、
を含むことを特徴とするフォトレジストストリッパー廃液の再生装置。 - 前記3次蒸留塔の上部に連結された微量水分凝縮器を更に備え、前記3次蒸留塔で蒸発されたストリッパー溶剤に残留する微量水分を凝縮することを特徴とする請求項1に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生装置。
- 前記再生回収率改善装置は、前記2次蒸留塔の下部に連結されてリボイラーが備えられ、また、フォトレジストとN−メチルピロリドン(NMP)の各々の濃度測定装置、及びリボイラー内にあるストリッパー溶剤に再生される主溶剤よりも高い沸点を持つ高沸点不純物が析出されない程度の濃度に維持させる前記リボイラーに連結されたNMPの供給装置を更に備えて、前記高沸点不純物が凝固しない程度に前記リボイラーで濃縮された後、排出されることを特徴とする請求項1に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生装置。
- ストリッパー溶剤に再生される主溶剤の沸点よりも低い沸点を持つ低沸点不純物を除去するためにフォトレジストストリッパー廃液を1次蒸留する段階と、
ストリッパー溶剤に再生される主溶剤よりも高い沸点を持つ高沸点不純物を除去するために、前記低沸点不純物が除去されたフォトレジストストリッパー廃液を2次蒸留し、ストリッパー溶剤に1次再生する1次再生段階と、
各ストリッパー溶剤に2次再生するために、ストリッパー溶剤成分を順次蒸留する2次再生段階と、
を含み、前記1次再生段階は、フォトレジストストリッパー廃液の再生回収率改善段階が付加されて連続的に進行され、前記2次再生段階は、螺旋型攪拌カラム装置を備えるスピンバンド式蒸留塔で、1500〜2400rpmの攪拌速度、90〜300トールの減圧条件で行われることを特徴とするフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。 - 前記2次再生段階は、3〜17の還流比で行われることを特徴とする請求項4に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- 前記フォトレジストストリッパー廃液は、半導体または液晶表示装置(LCD)の製造工程で回収された後、混合されることを特徴とする請求項4に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- 前記1次再生段階の前に、中和、析出及びろ過のうち少なくとも1つの方法によりフォトレジストストリッパー廃液を前処理する段階を更に含むことを特徴とする請求項4に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- 前記1次蒸留は、常圧下で2〜5の還流比で行われることを特徴とする請求項4に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- 前記2次蒸留は、90〜110トールの減圧下で1〜3の還流比で行われることを特徴とする請求項4に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- 前記2次蒸留は、81〜158℃で行われることを特徴とする請求項9に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生方法。
- フォトレジストストリッパー廃液供給装置、前記供給装置に連結された蒸留塔、前記蒸留塔の下部に連結されたリボイラー、及び前記蒸留塔の上部に連結された凝縮器を含むフォトレジストストリッパー廃液の再生装置を利用し、フォトレジストストリッパー廃液を蒸留してフォトレジストストリッパー溶剤に再生する工程で、前記リボイラーに供給されたフォトレジストストリッパー廃液の蒸留残留物に溶解されたフォトレジストの濃度を、前記リボイラー、前記蒸留塔の下部または前記リボイラーに連結されたパイプに存在する蒸留残留物に溶解されたフォトレジストが固形成分として析出する飽和濃度を測定し、前記飽和濃度でのリボイラーの水位を第1最低水位と定める段階と、前記フォトレジストストリッパー廃液を前記蒸留塔に供給して、蒸留残留物の水位を前記第1最低水位以上に維持する段階とを順次行うフォトレジストの濃度調節方法により、前記フォトレジストが析出する飽和濃度以下に調節することを特徴とするフォトレジストストリッパー廃液の再生回収率の改善方法。
- フォトレジストストリッパー廃液供給装置、前記供給装置に連結された蒸留塔、前記蒸留塔の下部に連結されたリボイラー、及び前記蒸留塔の上部に連結された凝縮器を含むフォトレジストストリッパー廃液の再生装置を利用し、フォトレジストストリッパー廃液を蒸留してフォトレジストストリッパー溶剤に再生する工程で、前記リボイラーに供給されたフォトレジストストリッパー廃液の蒸留残留物に溶解されたフォトレジストの濃度を、前記リボイラー、前記蒸留塔の下部または前記リボイラーに連結されたパイプに存在する蒸留残留物に溶解されたフォトレジストが固形成分として析出する飽和濃度を測定し、前記飽和濃度でのリボイラーの水位を第1最低水位と定める段階と、前記フォトレジストストリッパー廃液を前記蒸留塔に供給して、蒸留残留物の水位を前記第1最低水位に維持する段階と、目的とする再生回収率が得られる特定NMP濃度を含む標準フォトレジストストリッパー廃液と、前記特定NMP濃度より低い濃度のNMPを含むフォトレジストストリッパー廃液に対して、第1最低水位で蒸留残留物に含まれるNMP濃度を分析し、前記NMP濃度に対するフォトレジストの重量比を比較する段階と、再生された前記フォトレジストストリッパー廃液の重量比が標準フォトレジストストリッパー廃液の重量比と等しくなるように、前記リボイラーにNMPを更に供給し、NMPが添加されるときの前記リボイラーの水位を第2最低水位と定める段階と、前記リボイラー内の蒸留残留物の水位を、前記リボイラーにNMPを供給することで第2最低水位以上に維持する段階と、を順次行うフォトレジスト濃度調節方法により、前記フォトレジストが析出する飽和濃度以下に調節することを特徴とするフォトレジストストリッパー廃液の再生回収率の改善方法。
- 前記フォトレジストの濃度は、紫外吸収法により測定されることを特徴とする請求項11または12に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生回収率の改善方法。
- 前記NMP含量は、気体クロマトグラフィにより測定されることを特徴とする請求項12に記載のフォトレジストストリッパー廃液の再生回収率の改善方法。
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