CN113003745A - 一种废有机碱的纯化再生方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种废有机碱的纯化再生方法，包括如下步骤：1)将有机碱废液泵入精度为0.1um～10um的滤芯、滤袋等，初步过滤大颗粒杂质后加入净化装置循环储罐；2)通过高压泵将原料废液泵入高精度膜去除光刻胶杂质，得到净化有机碱溶液；3)将净化后的有机碱溶液泵入特种树脂，吸附、去除净化有机碱溶液中的金属杂质，得到净化液；4)最后再次将净化液通过精度＜0.001nm的膜，浓缩得到纯化再生有机碱。本发明的废有机碱的纯化再生方法，通过采用多级高精度膜去除废有机碱中的光刻胶杂质，同时采用两级特种树脂去除废液中的金属杂质，最后浓缩得到有机碱，不仅能够减少有机废水的排放，还能够实现有机碱液的循环回用利用。
Description
技术领域
本发明涉及有机废碱处理领域，具体涉及一种废有机碱的纯化再生方法。
背景技术
目前，有机碱(TMAH、MEA、甲醇钠、乙醇钾等)广泛应用于液晶显示器薄膜晶体管和触摸屏行业、半导体行业或者锂电池行业等等生产工艺中，使用后的废有机碱则按废水实施处理后排放，其存在如下问题：1)将有机废碱作为生产废水处理后排放，由于废水量较大，会导致大量的有机碱被中和处置，浪费极大；2)废水的处理成本较高；3)废有机碱通常均为有毒有害物质，排放后对环境具有较大隐患。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供一种废有机碱的纯化再生方法，通过采用多级高精度膜去除废有机碱中的光刻胶杂质，同时采用特种树去除废液中的金属杂质，最后浓缩得到有机碱，不仅能够减少有机废水的排放，降低废水处理成本和环保风险，而且还能够实现有机碱液的循环回用利用，减少浪费，降低成本。
本发明通过下述技术方案实现：
一种废有机碱的纯化再生方法，包括如下步骤：1)将有机碱废液泵入精度为0.1um～10um的滤芯、滤袋等，初步过滤大颗粒杂质后加入净化装置循环储罐；2)通过高压泵将原料废液泵入高精度膜去除光刻胶杂质，得到净化有机碱溶液；3)将净化后的有机碱溶液泵入特种树脂，吸附、去除净化有机碱溶液中的金属杂质，得到净化液；4)最后再次将净化液通过精度＜0.001nm的膜，浓缩得到纯化再生有机碱。
步骤2)的具体步骤如下：通过高压泵将原料废液泵入精度1-10nm的膜，进行一级精滤，收集一级精滤的料液装入缓存罐；再通过高压泵将一级精滤料液泵入精度<5nm的膜，进行二级精滤，收集二级精滤料液装入缓存罐；4)再次通过高压泵将二级精滤料液泵入精度<0.1nm的膜，进行三级精滤，得到净化有机碱溶液。
步骤2)中的膜为陶瓷膜或有机膜。
步骤4)的膜为陶瓷膜、耐碱膜或有机膜。
步骤3)的树脂吸附为两级树脂吸附。
本发明的废有机碱的纯化再生方法，通过采用多级高精度膜去除废有机碱中的光刻胶杂质，同时采用两级特种树脂去除废液中的金属杂质，最后浓缩得到有机碱，不仅能够减少有机废水的排放，还能够实现有机碱液的循环回用利用。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
1、本发明一种废有机碱的纯化再生方法，能够极大的减少废有机碱废水TMAH、MEA等的排放，减少量能达到约90％，降低了废水处置成本和环保风险；
2、本发明一种废有机碱的纯化再生方法，能够净化大量的有机碱废液，实现有机碱的工艺回用，减少浪费，降低成本；
3、本发明一种废有机碱的纯化再生方法，不仅适用于显示器薄膜晶体管和触摸屏行业、半导体行业光刻显影、锂电池生产等等行业用废有机碱的净化再生处理，而且适用于其他行业相类似组分的废有机碱处理。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1为本发明工艺流程图结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例
如图1所示，一种废有机碱的纯化再生方法，包括如下步骤：
1)将有机碱废液泵入精度为0.1um～10um的滤芯、滤袋等，初步过滤大颗粒杂质后加入净化装置循环储罐；
2)通过高压泵将原料废液泵入精度1-10nm的膜，进行一级精滤，收集一级精滤的料液装入缓存罐；
3)再通过高压泵将一级精滤料液泵入精度<5nm的膜，进行二级精滤，收集二级精滤料液装入缓存罐；
4)再次通过高压泵将二级精滤料液泵入精度<0.1nm的膜，进行三级精滤，得到净化有机碱溶液；
5)将净化后的有机碱溶液泵入特种树脂进行两级树脂吸附，去除净化有机碱溶液中的金属杂质，得到净化液；
6)最后再次将净化液通过精度＜0.001nm的膜，浓缩得到纯化再生有机碱产品。
在废有机碱的纯化再生的每个过程，实时检测原料废液中的颜色、色度、光刻胶含量等参数，得出如下结果：
在步骤1)结束后，料液颜色：淡黄色，铂钴比色法色度：308.6，光刻胶含量：1.1％；
在步骤2)结束后，料液颜色：淡黄色，铂钴比色法色度：99.8，光刻胶含量：0.31％；
在步骤3)结束后，料液颜色：接近无色，铂钴比色法色度：33.1，光刻胶含量：0.28％；
在步骤4)结束后，料液颜色：无色，铂钴比色法色度：15；色度要求＜20，光刻胶含量：0.00％；
从上述结果可以看出，原料废液在经过多级高精度膜过滤处理后，废液中的光刻胶杂质完全被去除，处理效果好。
检测原料废液、步骤5)树脂吸附处理前、步骤5)树脂吸附处理后的净化液中金属离子的含量，实验结果如下表1：
表1各阶段溶液中金属杂质含量
从上述结果可以看出本发明的工艺方法能够有效地去除废液中含有的金属杂质；同时检测可以出，原料废液在处理前有机碱含量为1.5％；去除光刻胶后有机碱含量为1.3％；树脂除杂后有机碱含量为1.3％；而在高精度膜浓缩后有机碱含量达到了3.85％，可回用于液晶显示器薄膜晶体管和触摸屏行业、半导体行业、锂电行业等生产工艺。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种废有机碱的纯化再生方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将有机碱废液以0.1um～10um精度初步过滤大颗粒杂质后加入净化装置循环储罐；2)通过高压泵将原料废液泵入高精度膜去除光刻胶杂质，得到净化有机碱溶液；3)将净化后的有机碱溶液泵入特种树脂，吸附、去除净化有机碱溶液中的金属杂质，得到净化液；4)最后再次将净化液通过精度＜0.001nm的膜，浓缩得到纯化再生有机碱。
2.根据权利要求1所述的一种废有机碱的纯化再生方法，其特征在于，步骤2)的具体步骤如下：通过高压泵将原料废液泵入精度1-10nm的膜，进行一级精滤，收集一级精滤的料液装入缓存罐；再通过高压泵将一级精滤料液泵入精度<5nm的膜，进行二级精滤，收集二级精滤料液装入缓存罐；再次通过高压泵将二级精滤料液泵入精度<0.1nm的膜，进行三级精滤，得到净化有机碱溶液。
3.根据权利要求1所述的一种废有机碱的纯化再生方法，其特征在于，步骤2)中的膜为陶瓷膜或有机膜。
4.根据权利要求1所述的一种废有机碱的纯化再生方法，其特征在于，步骤4)的膜为陶瓷膜、耐碱膜或有机膜。
5.根据权利要求1所述的一种废有机碱的纯化再生方法，其特征在于，步骤3)的树脂吸附为两级树脂吸附。
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Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0254550A1 (en) * | 1986-07-23 | 1988-01-27 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd | Treatment of photoresist materials containing waste solution |
| US6426007B1 (en) * | 1999-04-29 | 2002-07-30 | International Business Machines Corporation | Removal of soluble metals in waste water from aqueous cleaning and etching processes |
| US20020197079A1 (en) * | 2001-06-25 | 2002-12-26 | Toshimoto Nakagawa | Non-water-based resist stripping liquid management apparatus and non-water-based resist stripping liquid management method |
| US20060102554A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Munirathna Padmanaban | Process for producing film forming resins for photoresist compositions |
| WO2009031731A1 (en) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Korex Corporation | Method and apparatus for recycling photoresist stripper waste |
| JP2013061426A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Nomura Micro Sci Co Ltd | フォトレジスト膜形成用樹脂溶液の不純物除去方法、不純物除去用濾過部材及び不純物除去用濾過装置 |
| CN103102279A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-05-15 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 一种单乙醇胺的纯化方法 |
| CN203429267U (zh) * | 2013-07-30 | 2014-02-12 | 杭州格林达化学有限公司 | 一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置 |
| CN203433266U (zh) * | 2013-08-06 | 2014-02-12 | 杭州格林达化学有限公司 | 一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置 |
| WO2016027986A1 (ko) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 주식회사 엘지화학 | 포토레지스트용 스트리퍼 폐액의 재생 방법 |
| JP2018195707A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 三福化工股▲分▼有限公司 | 水酸化テトラメチルアンモニウム（ｔｍａｈ）の回収方法 |
| CN109912485A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 慈溪市赛思德环保科技有限公司 | 一种nmp废液提纯的方法及系统 |
| CN210229641U (zh) * | 2019-06-27 | 2020-04-03 | 江苏跃华石化工程有限公司 | 一种常温渗透tmah回收利用装置 |
-
2021
- 2021-02-24 CN CN202110205964.XA patent/CN113003745A/zh active Pending
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0254550A1 (en) * | 1986-07-23 | 1988-01-27 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd | Treatment of photoresist materials containing waste solution |
| CN87105308A (zh) * | 1986-07-23 | 1988-02-03 | 住友重机械工业株式会社 | 含光刻胶的废液的处理 |
| US6426007B1 (en) * | 1999-04-29 | 2002-07-30 | International Business Machines Corporation | Removal of soluble metals in waste water from aqueous cleaning and etching processes |
| US20020197079A1 (en) * | 2001-06-25 | 2002-12-26 | Toshimoto Nakagawa | Non-water-based resist stripping liquid management apparatus and non-water-based resist stripping liquid management method |
| US20060102554A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Munirathna Padmanaban | Process for producing film forming resins for photoresist compositions |
| WO2009031731A1 (en) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Korex Corporation | Method and apparatus for recycling photoresist stripper waste |
| JP2013061426A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Nomura Micro Sci Co Ltd | フォトレジスト膜形成用樹脂溶液の不純物除去方法、不純物除去用濾過部材及び不純物除去用濾過装置 |
| CN103102279A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-05-15 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 一种单乙醇胺的纯化方法 |
| CN203429267U (zh) * | 2013-07-30 | 2014-02-12 | 杭州格林达化学有限公司 | 一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置 |
| CN203433266U (zh) * | 2013-08-06 | 2014-02-12 | 杭州格林达化学有限公司 | 一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置 |
| WO2016027986A1 (ko) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 주식회사 엘지화학 | 포토레지스트용 스트리퍼 폐액의 재생 방법 |
| JP2018195707A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 三福化工股▲分▼有限公司 | 水酸化テトラメチルアンモニウム（ｔｍａｈ）の回収方法 |
| CN109912485A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 慈溪市赛思德环保科技有限公司 | 一种nmp废液提纯的方法及系统 |
| CN210229641U (zh) * | 2019-06-27 | 2020-04-03 | 江苏跃华石化工程有限公司 | 一种常温渗透tmah回收利用装置 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20210622 |