JP4470333B2 - SiC半導体における酸化膜形成方法およびSiC半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、SiC半導体における酸化膜形成方法およびSiC半導体装置に関し、特に、高品質な半導体電子部品、半導体デバイスに適用されるSiC半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、炭化珪素(SiC)あるいは窒化ガリウム(GaN)等の軽元素で構成される化合物半導体の研究が盛んである。特に、SiCは、エネルギーの禁制帯幅(バンドギャップ)が広く、絶縁破壊電界が高く、更には熱伝導度が大きい等の優れた特性を持っており、このようなワイドバンドギャップの特徴を活かして、高効率・高耐圧パワーデバイス、高周波パワーデバイス、高温動作デバイス等の既存の半導体(Si,GaAs等)では物性限界のために実現できない次世代デバイス用半導体として注目を集めている。
【0003】
そして、パワーデバイスでは、MOS構造、あるいは素子分離等に酸化膜が必要とされる場合が多く、SiC半導体においては、Siと同様に熱酸化により高品質な酸化膜を形成していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、SiC半導体に熱酸化膜を形成する場合に、次のような問題が生じていた。すなわち、熱酸化膜の形成に要する時間が非常に長いという問題があり、このように熱酸化工程を長時間にわたって行う結果、SiC半導体に表面荒れ等による品質低下を引き起こすことがあった。また、熱酸化時間を短縮するために酸化温度を高く設定する試みもなされていたが、この場合は、高温処理が必要であるがゆえに半導体製造プロセスの自由度が制限されるという問題を招いていた。
【0005】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、短時間且つ低温で熱酸化膜を形成することができるSiC半導体における酸化膜形成方法、およびSiC半導体装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、まず、酸化膜を形成するSiC半導体の面に着目した。そして、鋭意研究の結果、以下のような発明によれば、上記目的を達成できることを見出した。
【0007】
すなわち、本発明のSiC半導体における酸化膜形成方法は、4H型のSiC半導体層に酸化膜を形成する方法であって、SiC半導体層の{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面に対して熱酸化処理を行うことで、酸化膜を形成することを特徴とする。
【0008】
従来、SiC半導体の熱酸化膜は、SiCの{0001}面に形成されていた。この場合、SiCの{0001}面は六方最密面であることから、熱酸化を進行させるためには、その最密面に垂直に酸素或いはシリコンが拡散しなければならない。ところが、結晶面のなかでも原子を最密面に垂直に進ませる場合が、結晶格子と相互作用がもっとも大きいことから拡散速度が遅くなり、このことが熱酸化時間の遅延を招いていたのである。これに対して、本発明者らが研究の結果見出した4H型SiC{03−38}面は最密面からずれた面であるため、その面に垂直な方向の原子の拡散は容易である。このため、本発明では、熱酸化膜を低温且つ短時間で形成することができ、表面が荒れず、酸化膜と半導体界面の平坦性を保つこともできる。最密面からずれた面のなかでも4H型SiC{03−38}面を採用した場合に特に良い結果が得れた理由としては、最密面から離れた面でありながら原子の結合手が比較的周期的に表面に現れているためと考えられる。
【0009】
尚、4H型SiC{03−38}面そのものでなく、この面から10°以内のオフ角を有する面に対して熱酸化処理を行った場合についても同様の効果を得ることができる。また、オフ角は5°以内、更には3°以内であることが好ましい。
【0010】
また、本発明のSiC半導体における酸化膜形成方法において、SiC半導体層の{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面にエッチングによってトレンチを形成し、トレンチ内に酸化膜を形成することとしてもよい。
【0011】
半導体デバイスにおいてトレンチキャパシタ等を形成するために、トレンチ(溝)を形成することがある。ところが従来、例えばMOSデバイスでトレンチを形成し、さらにトレンチの内壁面に酸化膜を形成させると、トレンチの底部と側面部で酸化速度が異なり、絶縁破壊が発生しやすくなるという問題があった。これに対して、本発明のように上記SiC半導体層の{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面にトレンチを形成し、このトレンチ内に酸化膜を形成すると、トレンチの底部と側壁にも最密面が現れないため、底部と側壁での酸化速度がほぼ等しくなり、厚さが均一な酸化膜を形成することができる。
【0012】
また、本発明のSiC半導体装置は、4H型のSiC半導体層を有するSiC半導体装置において、{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面を主面とするSiC半導体層と、主面を熱酸化して形成されたSiO2からなる酸化膜と、を備えることを特徴とする。
【0013】
上記のように、4H型SiC{03−38}面は最密面からずれた面であるため、その面に垂直な方向の原子の拡散は容易である。このため、本発明のSiC半導体装置を構成する熱酸化膜は低温且つ短時間で形成することができ、酸化膜の表面は荒れておらず、且つ、酸化膜と半導体界面の平坦性も保たれている。尚、4H型SiC{03−38}面そのものでなく、この面から10°以内のオフ角を有する面に酸化膜が形成されている場合についても同様の効果を得ることができる。
【0014】
さらに、本発明のSiC半導体装置において、SiC半導体層にトレンチが形成されており、熱酸化膜はトレンチの内壁面に形成されていることが好ましい。この場合、トレンチの底部と側壁に最密面が現れないため、底部と側壁での酸化速度がほぼ等しくなり、酸化膜の厚さは均一になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るSiC半導体の酸化膜形成方法およびSiC半導体装置の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。また、実施形態および実施例の説明で結晶の格子方向および格子面を使用する場合があるが、ここで格子方向及び格子面の記号の説明をしておく。個別方位は[ ]、集合方位は< >、個別面は( )、集合面は{ }でそれぞれ示すことにする。また、負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、明細書作成の都合上、数字の前に負号を付けることにする。
【0016】
[第1実施形態]
図1を参照して、本実施形態のSiC半導体の酸化膜形成方法を説明する。ここでは、MOSFET用のゲート酸化膜を形成する場合について説明する。まず、図1(a)に示すように、4H型(「H」は六方晶系、「4」は原子積層が4層で一周期となる結晶構造を意味する)のSiC半導体からなる基板10を作製する。基板10は、その露出面10aが{03−38}面とされている。基板10は、改良レーリー法によって成長させたインゴットをスライスし、鏡面研磨すること等によって作製できる。
【0017】
ここで、図2を参照して、4H型SiC単結晶の(03−38)面について説明する。同図に示すように、(03−38)面は、[0001]方向に対して約35゜(35.26゜)の傾きを有し、[0001]方向と垂直な面に対して約55゜(54.74゜)の傾きを有するものである。
【0018】
次に、図1(b)に示すように、基板10上にCVD法等によってSiCをエピタキシャル成長させ、バッファ層20を形成する。さらに、図1(c)に示す工程で、CVD法等によって更にSiCをエピタキシャル成長させ、活性層30を形成する。得られた活性層30の露出面(主面)30aは、基板10およびバッファ層20の露出面に倣って{03−38}面となる。
【0019】
次いで、図1(d)に示す工程で、活性層30の露出面30aに、ドライ酸化(乾燥酸素雰囲気中の酸化)を施すことでSiO2からなる熱酸化膜40を形成し、本実施形態のSiC半導体装置50を完成させる。
【0020】
本実施形態によれば、熱酸化処理を施す活性層30の露出面30aは最密面からずれた{03−38}となっているため、その面に垂直な方向の原子の拡散が容易である。このため、本実施形態では、熱酸化膜を低温且つ短時間で形成することができ、熱酸化膜40の表面が荒れず、熱酸化膜40と活性層30との界面の平坦性を保つこともできる。そして、このようなSiC半導体装置50は、表面平滑性が優れかつ高品質なため、高性能パワーデバイス、高周波デバイス、高温デバイス等に好適に適用することができる。具体的には、SiC半導体装置50は、Siパワーデバイスの分野で広く研究開発および工業化が進められているIGBT(Insulate Gate Bipolar Transistor)やMOS制御型サイリスタ、さらにはMOSFETやpチャネルMOSFET、CMOSを用いた高温動作集積回路やセンサに好適に用いることができる。
【0021】
また、SiC半導体装置50の熱酸化膜は、MOSFETのゲート酸化膜のようなものに限られず、非常に優れた表面保護膜としても利用することができる。この場合には、非常に安定で、表面漏れ電流や雑音特性に優れた半導体デバイスが実現できる。
【0022】
尚、図3に示すように、活性層30の露出面30aを本実施形態のように{03−38}面とせず、この{03−38}面に対して約10゜以内のオフ角αだけ傾けた面としても、上記と同様の効果を得ることができる。さらに、オフ角αは5゜以内であることが好ましく、より好適には、3゜以内であることが好ましい。すなわち、熱酸化膜40を形成するSiC半導体層の表面が{03−38}面に近くなるほど、上記の効果を得易くなる。
【0023】
[第2実施形態]
次に、図4を参照して、本発明の第2実施形態を説明する。図4(a)〜図4(c)は図1(a)〜図1(c)と同様の処理を行うため、説明を省略する。次いで、図4(d)に示す工程で、活性層30の露出面30aに反応性イオンエッチング(RIE: Reactive Ion Etching)を施し、トレンチ(溝)60を形成する。尚、反応性イオンエッチングを施す前に公知の技術により活性層30の表面にマスク層を形成するが、その説明及び図示は省略する。
【0024】
その後、図4(e)に示す工程で、活性層30にドライ酸化を施し、活性層30の露出面30aおよびトレンチ60の内壁面に熱酸化膜40を形成する。これにより、本実施形態のSiC半導体装置50が完成する。
【0025】
このようにして得られたSiC半導体装置50では、上記のように活性層30の{03−38}面にトレンチ60を形成し、このトレンチ60内に熱酸化膜40を形成しているが、トレンチ60の底部と側壁には最密面が現れないため、底部と側壁での酸化速度がほぼ等しくなり、熱酸化膜40の厚さは均一になっている。
【0026】
[第3実施形態]
次に、図5を参照して、本発明の第3実施形態を説明する。本実施形態では、LOCOS(Local Oxidation of Silicon)プロセスによってショットキーダイオードを作製する。まず、図5(a)に示す工程で、n+型で4H型SiCからなる基板10、厚さ約5μmの4H型SiCからなるn型エピタキシャル層70、および厚さ約0.8μmの4H型SiCからなるp型エピタキシャル層80を備える積層体を形成し、更に、p型エピタキシャル層80上にSiNからなるマスク層90を形成する。マスク層90,90の間には、窓部92が形成される。また、基板10、n型エピタキシャル層70、およびp型エピタキシャル層80の露出面(上面)は、{03−38}面とされている。
【0027】
次に、図5(b)に示す工程で、ドライ酸化処理を施して、窓部92から露出しているp型エピタキシャル層80に熱酸化膜40を形成する。熱酸化膜40は、n型エピタキシャル層70まで到達させる。
【0028】
続いて、図5(c)に示す工程で、ウェットエッチングによって熱酸化膜40を除去してガードリングを形成する。その後、マスク層90を除去する。次いで、図5(d)に示す工程で、n型エピタキシャル層70の露出部、およびp型エピタキシャル層80の表面の一部を覆うようにAl/Tiのショットキー電極95を形成する一方、基板10の下面にNiのオーミック電極97を形成してショットキーダイオードが完成する。
【0029】
従来、SiC(0001)C面では酸化速度が速いが良好なエピが得られず、またSiC(0001)Si面では良好なエピが得られるものの酸化速度がSiNなどのマスク材に比べて小さく、LOCOSプロセスを利用することができなかった。これに対して、本実施形態のようにSiC{03−38}面を利用すれば、良好なエピが得られ且つ酸化速度も十分であることから、LOCOSプロセスが可能となる。
【0030】
尚、本実施形態のLOCOSプロセスは、上記のようなガードリングの形成のみならず、素子分離、或いは、エピ表面の緩やかなスロープの形成にも用いることができる。
【0031】
【実施例】
次に、実施例および比較例に基づいて、本発明をより具体的に説明する。
【0032】
(実施例1)
本実施例では、4H型SiC{03−38}基板上にエピタキシャル成長させたSiC層を用いて、nチャネル反転型MOS構造を試作した。一方、比較例1として、4H-SiC(0001)Si面8度オフ面を露出面とした基板を用いて、同様にnチャネル反転型MOS構造を試作した。実施例および比較例において、基板は、改良レーリー法によって成長したインゴットをスライスし、鏡面研磨することによって作製した(図1(a))。基板は全てp型で、ショットキー障壁の容量−電圧特性から求めた実効アクセプタ密度は2×1018〜5×1018cm-3、膜厚は320〜340μmであった。
【0033】
この上に、CVD法によってホウ素ドープp型SiC層をエピタキシャル成長させた。合計約1.6μmの厚さのバッファ層を形成した後(図1(b))、活性層となる高純度p型SiC層を成長させた(図1(c))。活性層のアクセプタ密度は5×1015cm-3、膜厚は5μmであった。
【0034】
次いで、1時間のドライ酸化により、熱酸化膜を形成した(図1(d))。また、酸化温度を1050℃、1100℃、1150℃の3パターンに設定し、それぞれの膜厚を測定した。表1に、酸化温度と酸化膜厚の関係を示す。
【表1】
【0035】
表1に示すように、実施例1の4H型SiC{03−38} では1100℃の酸化温度でも1時間程度でMOSFET用の酸化膜を形成できた。一方、比較例1の4H型SiC{0001}8度オフ面では、十分な酸化膜を得るためには1100℃の温度で結局5時間の酸化時間が必要であった。また、比較例1では、長時間の酸化のために表面の荒れが発生した。
【0036】
(実施例2)
実施例2および比較例2では、実施例1および比較例1と同じ条件で(但し、活性層の厚さは20μmとした点で異なる)、図4(a)〜図4(c)の処理を行った。そして、反応性イオンエッチングによって、活性層に巾10μm、深さ5μmのトレンチを形成した。エッチングガスとしては流量20×10-3l/min(標準状態で)のCF4、流量10×10-3l/min(標準状態で)のO2を用い、高周波出力は13.56MHz、300Wで、エッチング時間は10分間とした。
【0037】
そして、そのトレンチに1100℃、2時間のドライ酸化を施して、熱酸化膜を形成した。表2に、トレンチ底部とトレンチ側面部の酸化膜厚を、側面部の酸化膜厚/底部の酸化膜厚の比で比較した結果を示す。
【表2】
【0038】
表2の結果から判るように、{03−38} 面に形成したトレンチに熱酸化膜を形成すると、この熱酸化膜は全体にわたって厚さが均一になった。
【0039】
(実施例3)
本実施例は、上記第3実施形態に対応するものであり、4H型SiC{03−38}基板を用いてショットキーダイオードを作製した。実施例および比較例において、基板は、改良レーリー法によって成長したインゴットをスライスし、鏡面研磨することによって作製した。基板は全てn型で、ショットキー障壁の容量−電圧特性から求めた実効アクセプタ密度は2×1018〜5×1018cm-3、膜厚は320〜340μmであった。この上に、CVD法によって窒素ドープn型SiC層5μm、及び、ホウ素ドープp型SiC層0.8μmをエピタキシャル成長させた(図5(a))。n層のドナー密度は1×1016cm-3、p層のアクセプタ密度は8×1016cm-3であった。さらに、p層の上に、スパッタリングによってSiNからなるマスク層を形成した。
【0040】
表3に、4H型SiC{0001}Si面、4H型SiC{03−38}、及びマスク層の酸化温度1200℃における酸化時間と酸化膜厚の関係を示す。
【表3】
酸化膜厚は、SiC{0001}Si面<SiNマスク層<SiC{03−38}の順であった。図5(b)に示すように、1200℃で、3時間の酸化を3回繰り返すことで、充分な厚みの酸化膜を形成することができた。次に、酸化膜とSiN膜を除去してガードリングを形成した後、Al/Tiのショットキー電極を形成して、ショットキーダイオードを完成させた。
【0041】
本実施例で作製したガードリング付きのショットキーダイオードでは、ガードリングが無い同じ電極面積のダイオードに比べて、500Vの逆方向リーク電流を2桁以上小さくすることができた。
【0042】
以上、本発明者らによってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。例えば、熱酸化方法は、ドライ酸化に限られず、水蒸気雰囲気中の酸化、分圧酸化、高圧酸化等でもよい。また、熱酸化膜は、エピタキシャル成長層でなく、SiCの基板に直接形成してもよい。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば4H型のSiC半導体層に熱酸化膜を低温且つ短時間で形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の酸化膜形成方法を示すフローチャートである。
【図2】(03−38)面の説明図である。
【図3】{03−38}面からオフ角α傾いた面を示す図である。
【図4】第2実施形態の酸化膜形成方法を示すフローチャートである。
【図5】第3実施形態の酸化膜形成方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10…基板、10a…露出面、20…バッファ層、30…活性層、30a…露出面(主面)、40…熱酸化膜、50…SiC半導体装置。
Claims (4)
- 4H型のSiC半導体層に酸化膜を形成する方法であって、
前記SiC半導体層の{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面に対して熱酸化処理を行うことで、前記酸化膜を形成することを特徴とするSiC半導体における酸化膜形成方法。 - 前記SiC半導体層の{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面にエッチングによってトレンチを形成し、前記トレンチ内に前記酸化膜を形成することを特徴とする請求項1記載のSiC半導体における酸化膜形成方法。
- 4H型のSiC半導体層を有するSiC半導体装置において、
{03−38}面、またはこの面から10°以内のオフ角を有する面を主面とする前記SiC半導体層と、
前記主面を熱酸化して形成されたSiO2からなる酸化膜と、
を備えることを特徴とするSiC半導体装置。 - 前記SiC半導体層にトレンチが形成されており、前記熱酸化膜は前記トレンチの内壁面に形成されていることを特徴とする請求項3記載のSiC半導体装置。
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