JP4463049B2 - セラミック構造体とこれを用いた位置決め装置用部材 - Google Patents
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Description
2:下面
3:周面
11:第1補強部
11a:第1補強部の境界部
11b:第1補強部の開放端
11c:中心の第1補強部
11d:T字型の補助部
12:第2補強部
13:第3補強部
20:上板
21:下板
22:貫通穴
31:天板
32:Xステージ
33:Xガイド
34:Xリニアモータ固定子
37:Yステージ
38:固定Yガイド
39:固定子
40:稼働
41:Yリニアモータ固定子
42:定盤
43:基準面
45:X方向ミラー
46:Y方向ミラー
61:補強部
62:天板
63:四角形の補強部
64:ひし形の補強部
H2:中空内部
H2a:導通穴
Claims (6)
- 半導体または液晶製造装置用部材に用いられる、内部に複数の補強部を有する中空のセラミック構造体であって、多角形状の内周面を形成する各側面から突出し、上下面と連続して一方端が開放するように配置した複数の第1補強部と、各側面の中心の前記第1補強部を中央部に向かって伸ばしてそれぞれの一方端を中央部で連結させてなる第2補強部と、該第2補強部から突出し、上下面と連続して一方端が開放するように配置した複数の第3補強部とを有することを特徴とするセラミック構造体。
- 前記第1補強部が略平行に配置されたことを特徴とする請求項1に記載のセラミック構造体。
- 前記第1補強部の開放端が曲面状であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック構造体。
- 前記第1補強部の開放端がT字型の補助部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック構造体。
- 前記セラミック構造体をなすセラミックスがコージェライトセラミックスであることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のセラミック構造体。
- 請求項1〜5の何れかに記載のセラミック構造体を用いたことを特徴とする位置決め装置用部材。
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