JP4448886B2 - ディスク原盤露光装置及びその調整方法 - Google Patents
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Description
200 電子ビーム発生系
201 電子ビーム鏡筒
202 電子ビーム源
203 コンデンサレンズ
204 ビーム変調器
205 アパチャ
206 ビーム偏向器
207 対物レンズ
300 真空チャンバ系
301 真空チャンバ
302 ターンテーブル
303 スピンドルモータ
304 移動ステージ
305 送りモータ
306 ネジ機構
307 反射鏡
308 レーザ測長器
309 定盤
310 マーク検出器
410 スピンドルモータ制御回路
420 送りモータ制御回路
430 照射位置調整回路
440 記録信号発生回路
450 検出信号処理回路
501 CPU
502 RAM
503 ROM
720 ハードディスク
800 熱式ナノインプリント装置
D ディスク原盤.
M マーク
y=−{(x2−x1)/(y2−y1)}・x+(y1+y2)/2+{(x2−x1)/(y2−y1)}・{(x1+x2)/2}
であり、点P2とP3とを結ぶ線分の垂直2等分線(2)の式は、
y=−{(x3−x2)/(y3−y2)}・x+(y2+y3)/2+{(x3−x2)/(y3−y2)}・{(x2+x3)/2}
であるので、これらの連立方程式を解くことによってターンテーブルの回転中心座標(x0、y0)の値が以下の通り定まる(S307ステップ)。
x0=(y3−y1)/2+(x3−x2)/(y3−y2)−{(x2−x1)/(y2−y1)}・{(x1+x2)/2}
y0=−{(x2−x1)/(y2−y1)}・〔(y3−y1)/2+(x3−x2)/(y3−y2)−{(x2−x1)/(y2−y1)}・{(x1+x2)/2}〕+{(x2−x1)/(y2−y1)}・{(x1+x2)/2}
すなわち、S301ステップ乃至S307ステップを実行する部分が本発明の回転中心偏倚量検出手段に対応している。なお、3点P1、P1及びP3の座標からそれらを通る円の中心の座標を求める算出法は上記以外に存在することはいうまでもない。
x0=(x1+x2)/2
x0=(y1+y2)/2
となる(S317ステップ)。すなわち、S311ステップ乃至S317ステップを実行する部分が本発明の回転中心偏倚量検出手段に対応している。
Claims (8)
- ディスク原盤を回転せしめるターンテーブルと、前記ターンテーブルを少なくとも一方向に水平移動せしめる移動手段と、前記ターンテーブルに向けて電子ビームを照射して前記ターンテーブル若しくはディスク原盤上にビームスポットを形成するビーム照射手段と、前記ビームを偏向せしめるビーム偏向手段と、前記移動手段、前記ビーム照射手段及び前記ビーム偏向手段を制御する制御手段と、を有するディスク原盤露光装置であって、
前記制御手段は、起動時において前記移動手段及び前記ビーム偏向手段の少なくとも一方を駆動して前記ビームスポットの原点を前記ターンテーブルの回転中心に一致させるための初期動作をなす初期化手段を含んでいることを特徴とするディスク原盤露光装置。 - 前記ビームスポットの原点を前記ターンテーブルの回転中心に一致させるための前記初期動作は、前記ターンテーブル若しくは前記ディスク原盤表面上に設けられているマーク位置を検出することによって行なわれることを特徴とする請求項1記載のディスク原盤露光装置。
- 前記初期化手段は、前記ビームスポットから得られる二次電子又は反射電子に基づいて、前記マーク位置を示すマーク位置信号を得るマーク位置検出手段と、
前記ターンテーブル若しくは前記ディスク原盤の異なる角度位置において得られる前記マーク信号の少なくとも2つに基づいて前記ターンテーブルの回転中心位置のビーム原点からの偏倚量を検知する回転中心偏倚量検知手段と、
前記偏倚量に基づいて前記回転中心が前記ビーム原点に一致するように前記ビーム偏向手段を駆動する第1ビーム位置調整手段と、からなることを特徴とする請求項2記載のディスク原盤露光装置。 - 前記初期化手段は、前記ビームスポットから得られる二次電子又は反射電子に基づいて、前記マーク位置を示すマーク位置信号を得るマーク位置検出手段と、
前記ターンテーブル若しくは前記ディスク原盤の異なる角度位置において得られる前記マーク信号の少なくとも2つに基づいて前記ターンテーブルの回転中心位置のビーム原点からの偏倚量を検知する回転中心偏倚量検知手段と、
前記偏倚量に基づいて前記回転中心が前記ビーム原点に一致するように前記移動手段を駆動する第2ビーム位置調整手段と、からなることを特徴とする請求項1記載のディスク原盤露光装置。 - 前記ディスク原盤露光装置は、前記初期動作前に前記ビームを用いて前記ディスク原盤上で且つその回転中心を除く領域にマークを付すことを特徴とする請求項1に記載のディスク原盤露光装置。
- ディスク原盤を回転せしめるターンテーブルと、前記ターンテーブルを少なくとも一方向に水平移動せしめる移動手段と、前記ターンテーブルに向けて電子ビームを照射して前記ターンテーブル若しくはディスク原盤上にビームスポットを形成するビーム照射手段と、前記ビームを偏向せしめるビーム偏向手段と、前記移動手段、前記ビーム照射手段及び前記ビーム偏向手段を制御する制御手段と、を有するディスク原盤露光装置のビーム照射位置の調整方法であって、
起動時において前記移動手段及び前記ビーム偏向手段の少なくとも一方を駆動して前記ビームスポットの原点を前記ターンテーブルの回転中心に一致させるための初期動作を行なうことを特徴とするビーム照射位置の調整方法。 - 前記調整方法は、前記ビームスポットから得られる二次電子又は反射電子に基づいて得られる前記ターンテーブル若しくは前記ディスク原盤表面上に設けられたマーク位置を示すマーク位置信号を得るマーク位置検出ステップと、
前記ターンテーブル若しくは前記ディスク原盤の異なる角度位置において得られる前記マーク信号の少なくとも2つに基づいて前記ターンテーブルの回転中心位置のビーム原点からの偏倚量を検知する回転中心偏倚量検知ステップと、
前記偏倚量に基づいて前記回転中心が前記ビーム原点に一致するように前記ビーム偏向手段を駆動するビーム位置調整ステップと、からなることを特徴とする請求項6記載のビーム照射位置の調整方法。 - 前記マーク位置検出ステップは、前記ターンテーブルを第1所定角度、第2所定角度及び第3所定角度だけ回転させてそれぞれ第1、第2及び第3のマーク位置信号を検出し、前記回転中心偏倚量検知ステップは前記第1、第2及び第3のマーク位置信号に基づいて前記前記ターンテーブルの回転中心位置のビーム原点からの偏倚量を検知することを特徴とする請求項7記載のビーム照射位置の調整方法。
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