JPH064891A - 偏芯調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】円盤状物体１の中心とその表面に形成されるパ
ターンの中心がずれがあっても回転機構部２の回転中心
と芯合せをすることが出来る。 【構成】測定時、光ディスク原盤などの円盤状物体１を
保持し回転する回転機構部２に装着し回転した状態で、
レーザ発振器３から円盤状物体１に形成されたパターン
上にレーザビーム４を照射する。そして円盤状物体１に
形成されたパターンによって回折する１次回折光５を光
位置センサ部で捕捉し、偏芯量算出部７は受光位置信号
ａの変化量が小さくなるよう偏芯量補正信号ｂを出力し
位置調整部８は偏芯量補正信号ｂによって円盤状物体１
を移動し回転機構部２の回転中心と円盤状物体１上のパ
ターン中心との偏芯を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、偏芯調整装置に関し、
特に同心円あるいはスパイラル状に等ピッチでパターン
が形成された円盤状物体を保持し回転する回転機構部の
回転中心と前記円盤状物体に形成されたパターン中心と
の偏芯量を小さくするよう調整する偏芯調整装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の偏芯調整装置の一例におけ
る構成を示す図である。

【０００３】従来の偏芯調整装置は、図３に示すよう
に、円盤状物体１を保持し回転する回転機構部２と、こ
の回転機構部２の回転テーブル上に固定された円盤状物
体１の中心を回転中心に位置決めする位置決めピン１
８，１９，２０とを有していた。そして、回転機構部２
の回転中心と円盤状物体に形成されたパターン中心との
偏芯量を円盤状物体２の外径によって調整していた。

【０００４】この場合、例えば、円盤状物体を光ディス
ク原盤とすると、光ディスク原盤用のガラス基板の外径
精度は±０．１ｍｍ程度であるため位置決めピンは最大
径が入るよう固定されるので、ガラス基板を位置決めピ
ンにより位置決めしたときの回転機構部の回転中心とガ
ラス基板の外径中心とのズレは最大で２００μｍ程度と
なる。

【０００５】さらに、この円盤状物体１であるガラス基
板の外径中心と基板上に形成されたパターン中心とのズ
レがあった場合、回転機構部の回転中心とパターン中心
との偏芯は２００μｍを越えることも有る得る。

【０００６】このような従来の偏芯調整装置を用いた光
ディスク原盤信号評価装置では、このような位置決めピ
ン１８，１９，２０で外形を基準にし、芯合せを行った
後、光ヘッドはプッシュプル法等の公知の手法によりパ
ターン上にトラッキングをかけパターンからの再生信号
を検出していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の偏芯調
整装置は光ディスク原盤の信号評価装置に使用した場合
に、基板の中心とパターンの中心のずれを加味すると、
回転機構部の回転中心と原盤上に形成されたパターン中
心との偏芯量が２００μｍ以上となることも考えられ、
芯合せを許容値内に出来ないことがある。この場合は、
光ヘッドのトラッキングの状態が劣化し、パターンから
の再生信号が乱れ、信号変調度等の評価が正確にできな
いという欠点があった。

【０００８】本発明の目的は、基板の中心とパターンの
中心の位置ずれがあっても回転中心とパターンの中心と
を芯合せの出来る偏芯調整装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の偏芯調整装置
は、同心円状あるいはスパイラル状に等ピッチでパター
ンが形成される円盤状物体を保持し回転する回転機構部
と、この円盤状物体上にレーザビームを照射する光学系
と、前記円盤状物体のパターン面上からの１次回折光を
受光し受光位置を出力する光位置センサ部と、この光位
置センサ部の受光位置信号から前記回転機構部の回転中
心と前記円盤状物体に形成されたパターン中心との偏芯
量を算出し偏芯補正信号を出力する偏芯量算出部と、該
偏芯量算出部からの偏芯補正信号によって前記回転機構
部上での前記円盤状物体の位置を調整する位置調整部と
を備えている。

【００１０】

【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。

【００１１】図１は本発明の偏芯調整装置の一実施例に
おける構成を示す図である。この偏芯調整装置は、図１
に示すように、同心円状あるいはスパイラル状に等ピッ
チでパターンが形成された円盤状物体１を保持し回転す
る回転機構部２と、前記円盤状物体１上にレーザビーム
４を照射するレーザ発振器３と、円盤状物体１のパター
ン面上からの１次回折光５を受光し受光位置信号ａを出
力する光位置センサ部６と、受光位置信号ａから前記回
転機構部２の回転中心と前記円盤状物体１に形成された
パターン中心との偏芯量を算出し偏芯量補正信号ｂを出
力する偏芯量算出部７と、偏芯量補正信号ｂによって回
転機構部２上での円盤状物体１の位置を調整する位置調
整部８とで構成される。

【００１２】すなわち、回転機構部２に保持され回転す
る円盤状物体１上にレーザ発振器３から出射されるレー
ザビーム４を円盤状物体１上に形成されたパターンに照
射し、そのパターンの位置によって生ずる回折光５を検
知し、基準位置と比較し、その差で円盤状物体１の位置
を補正することである。

【００１３】例えば、回転機構部２の回転中心と円盤状
物体１に形成されたパターン中心とに偏芯がある場合、
１次回折光５は光位置センサ部６のセンサ面上での受光
位置が変化し、光位置センサ部６は１次回折光５の受光
位置信号ａを出力する。そして偏芯量算出部７は、受光
位置信号ａから回転機構部２の回転中心と円盤状物体１
に形成されたパターン中心との偏芯量を算出し、偏芯量
が小さくなるよう偏芯量補正信号ｂを出力する。そして
位置調整部８では、偏芯量補正信号ｂに従って回転機構
部２に保持されている円盤状物体１の位置を調整する。

【００１４】図２は回転機構部の回転中心と円盤状物体
に形成されたパターン中心との偏芯があった場合の光位
置センサ部上での１次回折光の受光位置を変化の状態を
示す図である。次にパターン中心と回転中心とのずれを
検出する手順を説明する。

【００１５】光位置センサ部のセンサ面９を含む平面と
回転機構部の回転中心軸との交点が点１０であり、レー
ザビームの光軸との交点が点１２である。

【００１６】回転機構部の回転中心と円盤状物体に形成
されたパターン中心との偏芯量を２００μｍとすると、
円盤状物体に形成されたパターン中心軸は、点１０を中
心とする半径２００μｍの円１１を前記平面上に描く。

【００１７】センサ面９と円盤状物体のパターン面との
距離が１００ｍｍ、パターンのピッチが２μｍ、パター
ン面上に照射するレーザビームの波長が６３２．８ｎｍ
の場合、光位置センサ部のセンサ面９上での１次回折光
の受光位置は、点１２を中心とする半径１６ｍｍ程度の
円１３上で、点１２から辺１１への接線１４，１５でか
こまれた円弧１６上を移動することとなる。

【００１８】光位置センサ部として、例えば、浜松ホト
エレクトロニクス社製の位置検出素子を用いれば、１次
回折光の受光位置の変化に従って、受光位置信号のレベ
ルが変化する。

【００１９】偏芯量算出部では、前記受光位置信号のレ
ベルの変化が小さくなるよう偏芯量補正信号を出力し、
位置調整部では、前記偏芯量補正信号に従って回転機構
部に保持されている円盤状物体の位置を調整して、回転
機構部の回転中心と円盤状物体上に形成されたパターン
中心との偏芯量を補正する。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は円盤状物体
の同心円パターンあるいはスパイラルパターンの中を光
学的に検出し、回転機構部の回転中心と前記パターン中
心との偏芯をモニタし、両者の中心位置を合せる位置調
整部を設けることによって、円盤状物体の中心と前記パ
ターンの中心がずれても、芯合せが出来、光ヘッドのト
ラッキングの状態が安定しパターンからの再生信号の信
号変調度等の評価が正確にできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の偏芯調整装置の一実施例における構成
を示す図である。

【図２】回転機構部の回転中心と円盤状物体に形成され
たパターン中心との偏芯があった場合の光位置センサ部
上での１次回折光の受光位置の変化の状態を示す図であ
る。

【図３】従来の偏芯調整装置の一例における構成を示す
図である。

【符号の説明】

１ 円盤状物体 ２ 回転機構部 ３ レーザ発振器 ４ レーザビーム ５ １次回折光 ６ 光位置センサ部 ７ 偏芯量算出部 ８ 位置調整部 ９ センサ面 １７，１８，１９ 位置決めピン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同心円状あるいはスパイラル状に等ピッ
   チでパターンが形成される円盤状物体を保持し回転する
   回転機構部と、この円盤状物体上にレーザビームを照射
   する光学系と、前記円盤状物体のパターン面上からの１
   次回折光を受光し受光位置を出力する光位置センサ部
   と、この光位置センサ部の受光位置信号から前記回転機
   構部の回転中心と前記円盤状物体に形成されたパターン
   中心との偏芯量を算出し偏芯補正信号を出力する偏芯量
   算出部と、該偏芯量算出部からの偏芯補正信号によって
   前記回転機構部上での前記円盤状物体の位置を調整する
   位置調整部とを備えることを特徴とする偏芯調整装置。