JP4445860B2

JP4445860B2 - レジスト及びレジストパターン形成方法

Info

Publication number: JP4445860B2
Application number: JP2004534148A
Authority: JP
Inventors: 幸徳落合; 真彦石田; 淳一藤田; 卓小倉; 潤二百田; 栄治大島
Original assignee: NEC Corp; Tokuyama Corp
Current assignee: NEC Corp; Tokuyama Corp
Priority date: 2002-09-09
Filing date: 2003-09-04
Publication date: 2010-04-07
Anticipated expiration: 2023-09-04
Also published as: EP1541543A4; WO2004022513A1; US7514197B2; US20060127798A1; EP1541543A1; JPWO2004022513A1; JP5000692B2; AU2003261921A8; JP2009282542A; AU2003261921A1

Description

本発明は、半導体デバイス、半導体集積回路に例示される微細な構造体を形成するためのパターン形成やエッチングに使用されるレジストに関する。本発明は特に、放射線照射露光用のレジストに関する。

微細パターン形成技術は、半導体デバイスもしくは半導体集積回路の形成技術として急速に発展してきた。パターンの微細化により、個々の半導体デバイスの高性能化すなわち高速化、低消費電力化が成し遂げられてきた。さらに、デバイスの集積度が上がることにより高機能な半導体集積回路が実現されてきた。現在、回路寸法（幅）が１３０ｎｍ程度の半導体集積回路が量産されている。
半導体集積回路に用いられるデバイスは、シリコンを基板に用いている。このようなデバイスが動作する寸法の微細化限界は５ｎｍ程度であると言われている。半導体デバイスもしくは集積回路の形成には、従来光露光が用いられている。現在は波長２５６ｎｍのフッ化クリプトンレーザを用いた光露光が行われている。パターンの微細化に対応するために、より短い波長の光が用いられることが求められている。次世代の光露光に用いられることが期待されている光として、波長１９５ｎｍのフッ化アルゴンレーザが例示される。さらに次次世代の光露光に用いられることが期待されている光として、波長１５４ｎｍのフッ素レーザが例示される。さらに将来は、波長１１〜１３．５ｎｍの極端紫外光露光、波長１ｎｍほどのＸ線露光などが用いられる可能性がある。
一方、デバイスそのものの開発は、量産前に始めておく必要があるため、スループットは低いが汎用性のある電子線露光技術が使われている。電子線露光技術としては、マスクを用いた比較的スループットの高い方式が実用化されており、解像度は５０ｎｍ程度である。その一方、細く絞った電子線を用いる電子線露光は、任意のパターンが形成できる実用性と超高解像度が両立した露光技術であり、５０ｎｍ以下の解像度が容易に得られ、量子サイズ効果の研究や超微細トランジスタの試作に用いられている。電子ビームの直径は、細いものでは１ｎｍほどであるが、最小パターンはレジストの解像度で決まり、実用性の高い有機分子を用いたレジストではポジ型のポリメチルメタアクリレート（ＰＭＭＡ）で１０ｎｍ程度である。
特開２００１−２８１８６４号公報、及び特開２００２−４９１５３号公報には、ネガ型及びポジ型レジスト組成物としてポリエチレン基を基本骨格として用いたものが提案されている。
特公平６−５３８１９号公報、特公平７−２３３４０号公報、及び特開２０００−３３０２８１号公報には、１０ｎｍ程度の分解能を持つネガ型のレジストとしてカリックスアレーンレジストが提案されている。
特許第２７９２５０８号公報には、上述のカリックスアレーンレジストは、アセチル化により溶媒に可溶となることが示される。またこのカリックスアレーンレジストは、クロロ化によって、放射性に対する感度が高くなることが示されている。このカリックスアレーンレジストによりネガ型レジストを用いて１０ｎｍレベルのパターン形成が容易に行われる。
長崎等：「テトラヘドロン」、第４８巻、７９７〜８０４頁、１９９２年には、レジスト材料であるＣＭＣ４ＡＯＭｅ又はＣＭＣ３ＡＯＭｅの合成方法が示されている。

上述したように、カリックスアレーンは、ネガ型レジストとして働き、１０ｎｍほどの解像度が得られる超高解像度レジストとして有用である。しかし、このレジスト材料が溶解する溶媒はジクロロベンゼン、モノクロロベンゼンなどの塩素を含有した有機溶媒であり、現像にはキシレンなどの有機溶媒が使用される。これらの塩素を含有した溶媒は、オゾン層破壊物質として使用が禁止される方向にあり、また作業環境上好ましくないとして使用が禁止される方向である。
これら溶媒や現像液はパターン形成プロセスにおいて大量に使用するとともに揮発性であるため完全に回収することが難しく、そのため半導体集積回路などの量産現場では使用が許可されない。
このように従来のカリックスアレーンは、溶媒ならびに現像液を大量に消費する量産工場では使用できず、半導体デバイスの製造に用いることが難しい。さらに、近年はナノテクノロジーへの期待が高まり、１０ｎｍ以下の超微細パターンに対する要求が高まり、従来のカリックスアレーンの解像度の不足が指摘されるようになった。
そこで、本発明の技術的課題は、従来のカリックスアレーンより高解像度であり、作業環境上比較的問題の少ない、作業環境性のよい溶媒に可溶で、ならびに該溶媒を含む現像液を用いて現像することができるレジスト材料、それを用いた露光方法並びに微細加工方法を提供することにある。
本発明では、上記課題を解決するために、カリックスアレーン誘導体を種々合成し検討した結果、下記化１式の構造式（Ｉ）で表される５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）と、下記化２式の構造式（ＩＩ）で表される５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）組成物との内の少なくとも一方を含むレジストが有望であることを見出した。

化１

本発明によれば、上記化１式の構造式（Ｉ）で表される５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）と、上記化２式の構造式（ＩＩ）で表される５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）との内の少なくとも一方を含むカリックスアレーン組成物が提供される。
また、本発明によれば、上記化１式の構造式（Ｉ）で表される５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）ならびに上記化２式の構造式（ＩＩ）で表される５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）の内の少なくとも一方を含むレジストが提供される。
また、本発明によれば、前記レジストに加えて、さらに下記化３式の構造式（ＩＩＩ）で表される５，１１−ジクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ２ＡＯＭｅ）と、下記化４式の構造式（ＩＶ）で表される５−モノクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ１ＡＯＭｅ）との内の少なくとも一方を含むレジストが提供される。

また、本発明によれば、上記いずれかのレジストに加えて、さらにオリゴマーもしくは高分子との内の少なくとも一方を含むレジストが提供される。
また、本発明によれば、上記いずれか一つのレジストにおいて、電子ビーム、Ｘ線、イオンビーム、原子ビームの内の少なくとも一つを照射することにより感光されるレジストが提供される。
また、本発明によれば、上記いずれかのレジストにおいて作業環境性のよい溶媒を溶媒とするレジストが提供される。
また、本発明によれば、作業環境性のよい溶媒を溶媒とする上記のレジストを基板に塗布するステップと、基板に塗布されたレジストを放射線に露光するステップと、そのレジストの現像を行うステップとを具備するレジストパターン形成方法が提供される。
露光に用いられる放射線は、電子ビーム、Ｘ線、イオンビーム、原子ビームの内の少なくとも一つである。
また、本発明によるレジストパターン形成方法において、作業環境性のよい溶媒は、乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンの内の少なくとも一種を含む。現像液は、乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの内の少なくとも一種を含む。
また、本発明によれば、上記いずれか一つのレジストパターン形成方法を用いてレジストパターンを形成するステップと、前記レジストパターンをマスクとして基板に対する加工を行うステップとを具備する微細加工方法が提供される。
（作用）
本発明のレジストに使用される上記化１式の構造式（Ｉ）で表されるカリックスアレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）は、ベンゼン環数が４個である。これに対して、特許第２７９２５０８号公報に開示され下記化５式の構造式（Ｖ）に示される５，１１，１７，２３，２９，３５−ヘキサクロロメチル−３７，３８，３９，４０，４１，４２−ヘキサメトキシカリックス［６］アレーン（ＣＭＣ６ＡＯＭｅ）は、ベンゼン環数が６個であり相違している。
また、本発明のレジストに使用される上記化２式の構造式（ＩＩ）で表されるＣＭＣ３ＡＯＭｅの場合、４つのベンゼン環中３つのベンゼン環にクロロメチル基が結合し、４つのベンゼン環にメトキシ基が結合しており、ＣＭＣ６ＡＯＭｅとは構造が相違している。

本発明のレジストに使用されるカリックスアレーン化合物はＣＭＣ６ＡＯＭｅと比較し、多くの点で作用が異なっており、実用的に有用である。
まず、本発明の化合物は、従来のヘキサクロロメチルヘキサメトキシカリックス［６］アレーンと比較し、分子量が小さいためさらに高い解像度を有しており、超微細パターン形成が可能で、半導体デバイス試作や製造のみならず、バイオチップなどのナノテクノジー全般の有意な材料である。本発明の材料をレジストとして用いてパターンを形成したのち、本レジストパターンをマスクとしてエッチング加工を施すことにより、レジストの下地材料を加工し、下地材料を微細加工することができる。
さらに、本発明の化合物又は組成物は、多くの作業環境性にすぐれた溶媒［いわゆる安全溶媒］に可溶である。具体的には乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンなどの半導体量産工場で使用が許されるこれらの溶剤に可溶である。これらの溶剤は、一般に市販されている多くのレジスト材料の溶媒でもある。そして、これらの溶剤に溶かした溶液は、スピンコーティングによって、シリコンなどの半導体基板上に薄く均一な膜を形成することができる。そして、形成した膜を電子線などで露光し現像することにより微細なパターンを形成することができる。このとき用いることができる現像液は、ＣＭＣ６ＡＯＭｅの現像液として用いたキシレンが使えることは勿論、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンなどの作業環境性のよい溶媒で現像することができる。さらに半導体量産現場で用いられている一般のレジストの現像液であるテトラメチルアンモニユウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）で現像することができる。
さらに、本発明のレジストをＣＭＣ４ＯＭｅとＣＭＣ３ＯＭｅの混合物を主成分として構成した組成物の場合、溶剤への溶解性が向上し、エッジラフネスが改良されシャープなパターンを得ることができる。ＣＭＣ４ＡＯＭｅとＣＭＣ３ＡＯＭｅの組成比としては、９９．５：０．５〜０．５：９９．５の範囲であり、好ましくは９９：１〜１：９９であり、さらに好ましくは９５：５〜５：９５での範囲である。またこれの組成物以外に他の種類のカリックスアレーン類や高分子が含まれても良く、同様に溶解性が向上しエッジラフネスが改善される。
本発明のＣＭＣ４ＡＯＭｅ又はＣＭＣ４ＡＯＭｅとＣＭＣ３ＡＯＭｅが含まれる組成物は、安全溶媒に可溶であること、安全溶媒ならびにテトラメチルアンモニユウムハイドロオキサイドで現像できるという有用な性質を有している。これにより作業環境上問題が少ないため、シリコンデバイスなどのレジストを消費する量産現場においても使用に問題なく、実用的なレジスト材料である。
本発明の放射線レジストは、１０ｎｍ以下のパターンが形成できるほど高解像度であり、半導体デバイスの微細化や量子効果の研究、バイオチップの製作などナノテクノロジーの有力な材料を提供することができる。
また、本発明の放射線レジストは、作業環境性がよく乃至は環境負荷の少ない溶媒に可溶であるので、特にレジストを大量に使用する半導体量産現場などで使用することが可能である。

Ｆｉｇ．１は、本発明の実施の形態によるレジストの合成方法ならびに微細パターン形成方法を示す工程図である。
Ｆｉｇ．２は、本発明の実施の形態によるレジストの露光特性の一例を示す図である。
Ｆｉｇ．３は、本発明の実施の形態によるレジストを電子線で露光し現像して得られた線パターンの一例を示した電子顕微鏡写真であり、基板はシリコン、現像はキシレンで行っている。
Ｆｉｇ．４は、本発明の実施の形態によるレジストを電子線で露光し現像して得られた線パターンの一例を示した電子顕微鏡写真で、基板はシリコン、現像は乳酸エチルで行っている。

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
Ｆｉｇ．１は本発明の実施の形態によるレジストの合成及び微細パターンの形成方法を示す工程図である。Ｆｉｇ．１を参照すると、レジスト材料であるＣＭＣ４ＡＯＭｅ又はＣＭＣ３ＯＭｅは、前述の長崎等：「テトラヘドロン」、第４８巻、７９７〜８０４頁、１９９２年に開示された方法を用いて合成される。
まず、原料である２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス〔４〕アレーンを、５０倍量のジオキサンに溶解し、４０モル倍のパラホルムアルデヒド、５倍量の酢酸、１０倍量の濃塩酸、１０倍量の８５％リン酸を加え、１００℃で８時間加熱攪拌する。反応後、反応液を氷水に注入し、析出する白色固体を濾取する。
合成過程として、前記固体をクロロホルムに溶解し、水を加え、水相が中性になるまで、洗浄する。クロロホルム相を硫酸マグネシウムで乾燥後、濃縮し、組成物を得る（ステップＳ１）。この組成物はシリカゲルカラムクロマトグラフィー（展開溶媒／酢酸エチル：ヘキサン＝１：７）により精製する（ステップＳ２）。
精製して得られたカリックスアレーンの誘導体を、必要に応じて適当な混合比で混合し組成物とする。またオリゴマー（例示：低分子量のポリスチレン）やポリマー（例示：ＰＭＭＡ、高分子量のポリスチレン）を添加し混合する。添加量は、１パーセントから９９パーセントの範囲で可能である。好ましくは添加量は、１パーセントから５０パーセントの範囲である。
次に、合成して得られた材料もしくは組成物を、溶剤に溶かす（ステップＳ３）。
ここで、溶剤には、先に述べたように非安全溶媒であるモノクロロベンゼンもしくはジクロロベンゼンに溶かすことも可能であるが、本材料の特徴である安全溶媒に可溶であること、すなわち乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンなどに溶かし込む。十分に溶かすためにスタイラーなどを用いて攪拌することは有効である。溶解する溶剤はここに上げた溶剤に限定されるものではない。
次に、塗布工程として、溶かした溶液を、回転塗布法によりシリコン基板などの被加工物に塗布する。基板の材質としては、シリコン基板（ステップＳ４ａ）、膜付き基板（ステップＳ４ｂ）、ハードマスク付基板（ステップＳ４ｃ）が例示される。塗布膜厚は回転数により制御される。回転塗布後は溶剤を飛散されるためにプリベークと呼ばれる加熱工程を行うこともある。加熱は例えば８０℃から１７０℃程度の温度で窒素雰囲気中のオーブンもしくはホットプレートなどで加熱する。時間は１分程度から数時間程度である。
このプロセス条件は所望の加工処理に最適な条件を選択することが望ましい。代表的な塗布条件は回転数３０００ｒｐｍで３０秒から１分間回転すると、プリベーク後膜厚３０ｎｍ程度が得られる。この膜厚は、加工対象物とレジストのエッチング比や、エッチング深さにより適当に変えることが望ましい。塗布する基板は、シリコン基板のみ、シリコンにシリコン酸化膜、ポリシリコンの膜、アルミの膜がついたものなどが可能である。これ以外にも必要に応じて被加工膜を選択することができる。また非加工膜の加工深さが深い場合や、エッチング速度が高くない場合は、ハードマスクと称する中間膜を被加工膜の上に形成しておく。レジストで形成したパターンをこの中間膜に一旦転写し、エッチング耐性の高い中間膜をマスクとして、さらのその下の被加工物を効率的にエッチング加工することができる。ハードマスクとしては、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜などの膜がよく用いられる。
次に、塗布後、レジスト膜を放射線で露光する（ステップＳ５）。微細なパターンを形成する場合は、電子線で露光する事が多い。電子線は、ビーム径を数ｎｍ程度まで細くでき、超微細パターンを形成するには好適である。また電子線以外にも、一般の光露光で用いられている紫外線、Ｘ線、極端紫外線（ＥＵＶ）、イオンビーム、原子ビームなどで露光することも可能である。
次に露光したレジスト膜を現像する（ステップＳ６）。現像には、レジスト材料の溶媒として用いた乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンやテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、キシレンなどが用いられる。基本的に露光部と未露光部の溶解速度が異なる溶媒が現像液として用いられる。現像は、露光したレジストもしくは試料を現像液に３０秒から数分程度浸漬するか現像液に接触させる。本レジストは、照射した放射線量が増えると現像液に溶けづらくなり、パターンが形成される。このように本レジストはネガ型レジストとして働く。
Ｆｉｇ．２は本発明の実施の形態によるレジストの露光特性の一例を示す図であり、レジストは５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）／５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）＝７／３の組成物であり、その組成物を乳酸エチルに溶解し、加速５０ｋＶのガウシアン電子ビームで露光し、乳酸エチルもしくはキシレンで現像した。横軸は、電子線照射量、縦軸は現像後の膜厚を示している。
Ｆｉｇ．２を参照すると、これに示される特性は、構造式（Ｉ）の５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）ならびに５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）が分子数比で７：３の割合に混合したものである。照射した電子線は加速電圧５０ｋＶのガウシアンビーム型電子線である。溶媒には乳酸エチルを用い、現像は乳酸エチルとキシレンを用いている。比較のためにＣＭＣ６ＡＯＭｅの特性も示している。電子線照射量が増えるに従い、現像後も現像液に溶けずにレジスト膜が残るようになる。乳酸エチル、キシレンとも１ｍＣ／ｃｍ^２程度の照射量で半分程度の膜厚が残るようになり、２ｍＣ／ｃｍ^２程度の照射量でほぼ塗布時の膜厚が残るようになる。塗布時の膜厚が残る露光量を一般的にレジストの感度と呼ぶ。キシレン現像より乳酸エチル現像の方が若干感度が高い。比較のためのＣＭＣ６ＡＯＭｅはさらに感度が高いことがわかる。この理由は、分子量の違いにより、分子量の小さいＣＭＣ４ＡＯＭｅ又はＣＭＣ４ＡＯＭｅとＣＭＣ３ＡＯＭｅの組成物の方が同じ重合度をえるためにより多くの電子線照射が必要であったと考えられる。
Ｆｉｇ．２に示したレジストの感度は、一般的な市販されているレジストの感度度比較すると低い。しかし、高解像度になるほど感度は低下する傾向にあり、クロル化していないＭＣ６ＡＯＡｃの感度は１０ｍＣ／ｃｍ^２と悪く、本レジストは高解像度であるにも関わらず比較的高い感度を有している。
Ｆｉｇ．３及びＦｉｇ．４は本発明の実施の形態による現像後のレジストパターンの一例を示す電子顕微鏡写真で、Ｆｉｇ．３はキシレン現像、Ｆｉｇ．４は乳酸エチルで現像したもので基板はシリコンである。５０ｋＶのガウシアンビームを用い一本線描きで露光した線パターンである。いずれの例でも線幅は約８ｎｍ程度で非常に高解像度である。Ｆｉｇ．３ならびにＦｉｇ．４で示すレジストパターンは、構造式（Ｉ）の５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）ならびに化２の５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）が分子数比で７：３の割合に混合したものであり、高感度で、線幅８ｎｍの高解像度パターンが得られている。
また、レジストの組成物としては、化４式又は化２式の構造式（ＩＶ）に示す５−モノクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーンもしくは化３に示す５，１１−ジクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーンが、前記構造式（Ｉ）の組成物に、どちらか一方もしくは両方が混合しているものでも良い。またさらにはカリックスアレーン以外の適度な分子量のオリゴマー（例示：低分子量のポリスチレン）や有機高分子化合物（例示：ＰＭＭＡ、高分子量のポリスチレン）が混合していても良い。混合量は、０．０１％の微量な混合から３０％ほどの範囲である。これらの組成からなるレジストも、安全溶媒に可溶で、放射線に対して感度があり、安全溶媒で現像できて微細パターンを形成でき、微細形状の作製に用いることができる。
以上に説明したように、本レジストを用いて微細なレジストパターンが形成される。この後、必要な場合は、このレジストパターンをマスクとして、下地がエッチング加工される。エッチングの方法としては、プラズマやイオンを用いたドライエッチングと溶液を用いたウエットエッチングがある。微細な形状を精度良く形成するためにはドライエッチングが一般に用いられる。例えば、アルゴンイオンを用いたスパッタもしくはミリングにより下地の被加工物がエッチング加工される。より効率的にエッチングするためには、反応性イオンエッチングが用いられ、被加工物の材料に応じて用いられイオンすなわちガス種やガスの混合比が変えられる。例えば、シリコン酸化膜のエッチングには、フッ素系のガスや臭素系のガスが用いられる。あるいは砒化ガリウム（ＧａＡｓ）などの化合物系のエッチングには塩素系のガスが用いられる。具体的にはＣＦ_４，ＣＨＦ_３，ＣＣｌＦ_２，ＢＣｌ_３，ＣＢｒＦ_３，ＳＦ_６などのガス、あるいはそれらのガスに酸素やアルゴンガスが混合されたガスが用いられる。こうしたガス種やそれらの混合の組み合わせは多数ある。また目的とする加工物のエッチング速度がレジストマスクのエッチング速度と比較しあまり速くないもしくは遅い場合は、エッチング耐性の高い中間膜にレジストパターンが一旦転写され、この中間膜をマスクとして下地が加工される。この場合、レジストパターンを中間膜に転写するときには、レジストとのエッチング速度比が取れるガス種が用いられる。中間膜をマスクとして下地をエッチングするときには、ガス種を変えて、中間膜と下地とのエッチング速度比がとれるガス種が用いられる。またイオンやプラズマを生成する方法は多種あり、そのいずれも適用可能である。

Claims

下記化１式の構造式（Ｉ）で表される５，１１，１７，２３−テトラクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ４ＡＯＭｅ）と、下記化２式の構造式（ＩＩ）で表される５，１１，１７−トリクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ３ＡＯＭｅ）との内の少なくとも一方を含むレジストであって、
前記レジストは、乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノンから選択された少なくとも一つを溶媒とするレジスト。
請求項１に記載されたレジストにおいて、
さらに、下記化３式の構造式（ＩＩＩ）で表される５，１１−ジクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ２ＡＯＭｅ）と、下記化４式の構造式（ＩＶ）で表される５−モノクロロメチル−２５，２６，２７，２８−テトラメトキシカリックス［４］アレーン（ＣＭＣ１ＡＯＭｅ）との内の少なくとも一方を含むレジスト。
請求項１又は２に記載されたレジストにおいて、
さらに、オリゴマーと有機高分子化合物との内の少なくとも一方を含むレジスト。
請求項１から３の内のいずれか一つに記載されたレジストにおいて、
電子ビーム、Ｘ線、イオンビーム、原子ビームの内の少なくとも一つを照射することにより感光されるレジスト。
請求項１に記載されたレジストを基板に塗布するステップと、
前記レジストを放射線に露光するステップと、
前記レジストの現像を行うステップ
とを具備する
レジストパターン形成方法。
請求項５において、
前記放射線は、電子ビーム、Ｘ線、イオンビーム、原子ビームのうちのいずれかである
レジストパターン形成方法。
請求項５又は６に記載されたレジストパターン形成方法において、
前記現像は、乳酸エチル（ＥＬ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピオン酸エチル、酢酸−ｎブチル、２−ヘプタノン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの内の少なくとも一種を含む現像液を用いて行われる
レジストパターン形成方法。
請求項５から７の内のいずれか一つに記載されたレジストパターン形成方法を用いてレジストパターンを形成するステップと、
前記レジストパターンをマスクとして前記基板に対する加工を行うステップ
とを具備する
微細加工方法。