JP4441495B2 - 差動型スイッチドキャパシタcv変換回路 - Google Patents
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Description
図1に示した回路図に基づいて、スイッチドキャパシタCV変換回路の基本原理を説明する。図1において、センサキャパシタCsの静電容量が、圧力や加速度といったセンシングの対象となる物理量に応じて変化する。センサキャパシタCsの一端は一定の正電圧源Vfに接続されている。Csの他端は、スイッチSW1を介して一定の負電圧源−Vdに接続されるとともに、スイッチSW2を介して演算増幅器1の反転入力に接続される。演算増幅器1の非反転入力は基板電位Vrに接続されている。演算増幅器1の出力と反転入力とを結ぶ帰還路に、スイッチSW3と帰還キャパシタCcの並列回路が接続されている。演算増幅器1の出力はスイッチSW4を介して出力キャパシタChの一端に接続されている。出力キャパシタChの他端は基板電位Vrに接続されている。
ここで、Cs・Cc・Chは各キャパシタの容量値をも表すこととする。
SW1がオンの期間はSW2はオフであり、この期間において、センサキャパシタCsは電圧(Vf+Vd)に充電される。この期間はSW3もオンしているので、帰還キャパシタCcの充電電荷はゼロである。
SW1とSW3がオフになってからSW2がオンとなる。そうすると、センサキャパシタCsの充電電荷Qsが帰還キャパシタCcに移り、帰還キャパシタCcは電圧Vcに充電される(Vc=Qs÷Cc)。
帰還キャパシタCcの充電電圧Vcが(Qs÷Cc)に安定した後で、SW4が短時間オンとなり、電圧Vcが出力キャパシタChに保持され(サンプルホールド)、平滑された安定な直流の出力電圧Voが生じる。
力・加速度・速度・変位など物理量の微細な変化を高感度に検出するために、差動型のセンサを用いることが多い。典型的な差動静電容量型センサは、2つの固定電極の間に1つの可動電極が配置され、第1固定電極と可動電極とで第1センサキャパシタが形成され、第2固定電極と可動電極とで第2センサキャパシタが形成される。そして、検出しようとする物理量の変化に応答して可動電極が変位し、第1センサキャパシタの容量値が増加する場合には第2センサキャパシタの容量値が減少するというように、2つのセンサキャパシタの容量値が相補的に変化する。近年では、各種の用途に合わせた微細構造の差動静電容量型センサが、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術により製作されている。
2つのセンサキャパシタの容量差を電圧信号に変換する差動型スイッチドキャパシタCV変換回路の典型的な3つの構成を図2(A)(B)(C)に示している。
まず図2(A)の回路について説明する。Csaが第1センサキャパシタ、Csbが第2センサキャパシタである。スイッチSW1a・SW2b・SW3aと演算増幅器1aと帰還キャパシタCcaは、図1で説明した基本回路と同等の構成であり、第1センサキャパシタCsaの容量値に比例した電圧信号が演算増幅器1aの出力に生じる。まったく同様に、第2センサキャパシタCsbの容量値に比例した電圧信号が演算増幅器1bの出力に生じる。演算増幅器1a・1bの出力は、演算増幅器2と抵抗R1〜R4からなる差動増幅器に入力され、演算増幅器2の出力には第1と第2のセンサキャパシタの容量差に比例した電圧信号Voが生じる。
2つのセンサキャパシタCsaとCsbへの印加電圧は逆極性で絶対値が等しいので、CsaとCsbとが等しければ、演算増幅器1の出力に生じる電圧Voはゼロであり、容量値に差があると、その差に比例した電圧Voが生じる。
第1発明のスイッチドキャパシタCV変換回路は、つぎの事項(11)〜(19)により特定されるものである。
(11)第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であること
(12)第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続可能であるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続可能であること
(13)補正キャパシタは、その一端が基準電位に接続され、その他端がスイッチを介して正負の補正電圧源に接続可能であるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続可能であること
(14)演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続されること
(15)帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であること
(16)制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせること
(17)充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタに正負の補正電圧源を交互に接続して充電すること
(18)短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放すること
(19)電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタを充電用電圧源と補正電圧源から切り離すとともに、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタを演算増幅器の反転入力端子に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させること
第2発明の差動型スイッチドキャパシタCV変換回路は、つぎの事項(21)〜(29)により特定されるものである。
(21)第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であること
(22)第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続可能であるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続可能であること
(23)補正キャパシタは、その一端が演算増幅器の反転入力に接続され、その他端がスイッチを介して正負の補正電圧源に切替接続可能であること
(24)演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続されること
(25)帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であること
(26)制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせること
(27)充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタに正負の補正電圧源を交互に接続して充電すること
(28)短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放すること
(29)電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタを充電用電圧源から切り離すしてから演算増幅器の反転入力端子に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させること
第3発明の差動型スイッチドキャパシタCV変換回路は、つぎの事項(31)〜(39)により特定されるものである。
(31)第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であること
(32)第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続可能であるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続可能であること
(33)補正キャパシタは、その一端が演算増幅器の反転入力に接続され、その他端がスイッチを介して補正電圧源と接地電位に切替接続可能であること
(34)演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続されること
(35)帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であること
(36)制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせること
(37)充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタを接地電位に接続してから補正電圧源に接続して充電すること
(38)短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放すること
(39)電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタを充電用電圧源から切り離すしてから演算増幅器の反転入力端子に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させること
図3に第1発明の実施例の回路構成を示している。
(ア)この差動型スイッチドキャパシタCV変換回路は、第1・第2のセンサキャパシタCsa・Csbと、補正キャパシタCoaと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源±Vdと、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源±Vocと、演算増幅器1と、演算増幅器1の入出力間に接続された帰還キャパシタCcvと、複数のスイッチSW1〜SW7・SWa〜SWcと、制御回路(図示省略)を備えている。
(エ)演算増幅器1は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタCcvが接続されている。
(オ)帰還キャパシタCcvは、スイッチSW7により短絡可能である。
(ク)短絡動作は、帰還キャパシタCcvを短絡してから開放する。
図4に第2発明の実施例の回路構成を示している。
(ア)この差動型スイッチドキャパシタCV変換回路は、第1・第2のセンサキャパシタCsa・Csbと、補正キャパシタCoaと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源±Vdと、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源±Vocと、演算増幅器1と、演算増幅器1の入出力間に接続された帰還キャパシタCcvと、複数のスイッチSW1〜SW7・SWa・SWbと、制御回路(図示省略)を備えている。
(オ)帰還キャパシタCcvは、スイッチSW7により短絡可能である。
(キ)充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタCsa・Csbに正負の充電用電圧±Vdを交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタCoaに正負の補正電圧源±Vocを交互に接続して充電する。
(ク)短絡動作は、帰還キャパシタCovを短絡してから開放する。
図5に第3発明の実施例の回路構成を示している。
(ア)この差動型スイッチドキャパシタCV変換回路は、第1・第2のセンサキャパシタCsa・Csbと、補正キャパシタCoaと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源±Vdと、補正電圧源+Vocと、演算増幅器1と、演算増幅器1の入出力間に接続された帰還キャパシタCcvと、複数のスイッチSW1〜SW7・SWa・SWbと、制御回路(図示省略)を備えている。
(エ)演算増幅器1は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタCcvが接続されている。
(オ)帰還キャパシタCcvは、スイッチSW7により短絡可能である。
(キ)充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタCsa・Csbに正負の充電用電圧±Vdを交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタCoaを接地電位に接続してから補正電圧源+Vocを接続して充電する。
(ク)短絡動作は、帰還キャパシタCovを短絡してから開放する。
Csa・Csb 第1・第2のセンサキャパシタ
Coa 補正キャパシタ
±Vd 充電用電圧源
±Voc 補正電圧源
Ccv 帰還キャパシタ
SW1〜SW7・SWa・SWb・SWc スイッチ
Claims (3)
- 第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であって、
第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続されるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続され、
補正キャパシタは、その一端が基準電位に接続され、その他端がスイッチを介して正負の補正電圧源に接続されるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続され、
演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続され、
帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であり、
制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせ、
充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタに正負の補正電圧源を交互に接続して充電し、
短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放し、
電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタを充電用電圧源と補正電圧源から切り離すとともに、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタを演算増幅器の反転入力に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させる
差動型スイッチドキャパシタCV変換回路。 - 第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、正負対称な電位をもつ2つの補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であって、
第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続されるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続され、
補正キャパシタは、その一端が演算増幅器の反転入力に接続され、その他端がスイッチを介して正負の補正電圧源に切替接続され、
演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続され、
帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であり、
制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせ、
充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタに正負の補正電圧源を交互に接続して充電し、
短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放し、
電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタを充電用電圧源から切り離すしてから演算増幅器の反転入力に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させる
差動型スイッチドキャパシタCV変換回路。 - 第1・第2のセンサキャパシタと、補正キャパシタと、正負対称な電位をもつ2つの充電用電圧源と、補正電圧源と、演算増幅器と、演算増幅器の入出力間に接続された帰還キャパシタと、複数のスイッチと、制御回路を備えた差動型スイッチドキャパシタCV変換回路であって、
第1・第2のセンサキャパシタは、それぞれの一端が基準電位に接続され、それぞれの他端が、スイッチを介して正負の充電用電圧源に接続されるとともに、スイッチを介して演算増幅器の反転入力に接続され、
補正キャパシタは、その一端が演算増幅器の反転入力に接続され、その他端がスイッチを介して補正電圧源と接地電位に切替接続され、
演算増幅器は、非反転入力が接地され、出力と反転入力の間に帰還キャパシタが接続され、
帰還キャパシタは、スイッチにより短絡可能であり、
制御回路は、各スイッチを制御し、充電動作と、短絡動作と、電荷転送動作を順次繰り返し行わせ、
充電動作は、第1・第2のセンサキャパシタに正負の充電用電圧を交互に接続して充電するとともに、補正キャパシタを接地電位に接続してから補正電圧源に接続して充電し、
短絡動作は、帰還キャパシタを短絡してから開放し、
電荷移転動作は、充電された第1・第2センサキャパシタを充電用電圧源から切り離すしてから演算増幅器の反転入力に接続し、第1・第2センサキャパシタと補正キャパシタの加算された充電電荷を帰還キャパシタに移転させ、加算された充電電荷に比例した電圧を演算増幅器の出力に発生させる
差動型スイッチドキャパシタCV変換回路。
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