JP3804242B2 - 静電サーボ式物理量検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、物理量に応じて変化する差動容量を用いた静電サーボ式の物理量検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、加速度センサ、圧力センサ、ヨーレートセンサなどにおいて、センサの温度特性や非直線性を改善するために、静電気力によるサーボ制御を行う静電サーボ式の容量センサが種々提案されている。例えば、特公平6−44008号公報、米国特許第5,343,766号明細書には、静電サーボ式の加速度センサが開示されている。
【0003】
このような静電サーボ式の容量センサにおいては、物理量の変化に応じて変位する可動電極と、可動電極に対向して配置された一対の固定電極を備え、可動電極と一対の固定電極からなる差動容量の容量変化を検出し、その検出出力に基づき可動電極を所定の位置に保持するように可動電極への印加信号をサーボ制御するようにしている。
【0004】
この場合、差動容量の容量変化を検出するために、両固定電極には、搬送波信号が印加される。例えば、特公平6−44008号公報には、互いに逆相で中心電圧が異なる搬送波信号を両固定電極に印加するとともに、差動容量の容量変化に基づく出力電圧を可動電極にフィードバックして、可動電極と両固定電極に働く静電気力を制御することによりサーボをかけるようにしたものが開示されている。また、米国特許第5,343,766号明細書には、チャージアンプの出力を増幅して可動電極に印加するとともに、一方の固定電極には基準電圧とチャージアンプの出力を増幅した電圧を、他方の固定電極にはGNDとチャージアンプの出力を増幅した電圧を交互に印加するようにしたものが開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来のものにおいては、中心電圧が異なる搬送波信号を両固定電極に印加するようにしているため、可動電極に印加するフィードバック電圧の動作範囲外に、搬送波信号の中心値を設定する必要がある。このため、搬送波信号の振幅が小さくならざるを得なくなる。容量変化の検出感度は搬送波信号の振幅に比例するため、搬送波信号の振幅が小さいと検出感度が低く、S/N比が悪いという問題がある。
【0006】
本発明は上記問題に鑑みたもので、高感度のサーボ制御を可能とする静電サーボ式物理量検出装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1乃至5に記載の発明においては、電圧レベルが変化する第1の期間と所定電圧レベルの第2の期間を有する第1の搬送波信号を第1の固定電極(3)に印加し、第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号を第2の固定電極(4)に印加するようにし、第1の期間においてC−V変換回路(21)から容量変化に応じた電圧が出力され、第2の期間において信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧が可動電極(2d)に印加されるようにしたことを特徴としている。
【0008】
このようにC−V変換を行う期間とサーボ制御を行う期間を分けることによって、第1、第2の固定電極に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせる必要がなく、搬送波信号の振幅を大きくすることができる。従って、C−V変換の感度が上がり、高感度のサーボ制御を行うことができる。
また、請求項6に記載の発明においては、第1の電圧レベルとなる期間と第2の電圧レベルとなる期間が異なった第1の搬送波信号を第1の固定電極(3)に印加し、第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号を第2の固定電極(4)に印加するようにし、第1の電圧レベルとなる期間と第2の電圧レベルとなる期間の差の期間において信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧により可動電極(2d)のサーボ制御が行われるようにしたことを特徴としている。
【0009】
この発明においてもC−V変換を行う期間とサーボ制御を行う期間を分けることができるため、上記したのと同様、第1、第2の固定電極に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせる必要がないため、搬送波信号の振幅を大きして高感度のサーボ制御を行うことができる。
なお、上記した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1に、サーボ式加速度センサにおけるセンサ部の模式的構成を示す。このセンサ部は、センサエレメント10および検出回路20から構成されている。
センサエレメント10は、梁構造体2を有する構造になっており、この梁構造体2は、梁構造体2を基板1の上面に固定するための4つのアンカ部2aと、4つの梁部2bと、質量部2cと、質量部2cの両側に形成された複数の可動電極2dから構成されている。また、それぞれの可動電極2dには、固定電極3、4が対向配置され、固定電極3、4は基板1上に固定されている。
【0011】
このような構成において、質量部2cが加速度を受けて変位すると、可動電極2dもそれに応じて変位する。可動電極2dと固定電極3および可動電極2dと固定電極4は差動の容量を構成しており、可動電極2dの変位に応じてそれらの容量が変化する。
検出回路20は、可動電極2dと固定電極3、4による容量の変化を検出し、可動電極2dを所定の位置に保持するように可動電極2dにフィードバック電圧を印加するサーボ制御を行う。
【0012】
図2に、その検出回路20の具体的な構成を示す。
検出回路20は、C−V変換回路21、信号処理回路22、スイッチS2、S3、制御回路23、および発振器24から構成されている。
C−V変換回路21は、可動電極2dと固定電極3、4からなる差動容量の変化を電圧に変換するもので、演算増幅器21a、コンデンサ21b、およびスイッチS1から構成されている。演算増幅器21aの非反転入力端子は基準電圧(VDD/2)に接続され、反転入力端子は可動電極2dに接続されており、反転入力端子と出力端子との間には、スイッチS1およびコンデンサ21bが並列に接続されている。
【0013】
信号処理回路22は、C−V変換回路21の出力電圧に基づき可動電極2dを可動電極2dが加速度を受けて変位した方向と逆方向に変位させるためのフィードバック電圧を出力するもので、サンプルホールド(S/H)回路22a、ローパスフィルタ(LPF)22b、および増幅器(AMP)22cから構成されている。
【0014】
スイッチS2は、可動電極2dをC−V変換回路21に接続するために設けられており、スイッチS3は、信号処理回路22から出力されるフィードバック電圧を可動電極2dに印加するために設けられている。これらのスイッチ手段をなすスイッチS2、S3は、可動電極2dをC−V変換回路21と信号処理回路22に所定のタイミングで択一的に接続する切り替え手段を構成している。
【0015】
制御回路23は、発振器24から出力されるクロックに基づき、固定電極3、4に印加する搬送波信号P1、P2、スイッチS1、S2、S3を開閉させるスイッチ開閉信号、およびサンプルホールド回路22aをサンプルホールドさせるS/H信号をそれぞれ作成して出力する。
上記構成においてその作動を図3に示す信号波形図を参照して説明する。
【0016】
制御回路23から出力される搬送波信号P1、P2は、図3に示すように、3つのフェーズ(φ1〜3)でハイレベル(Hi)とローレベル(Lo)が変化する一定振幅の矩形波信号となっており、搬送波信号P2は、搬送波信号P1に対して電圧レベルが反転した信号となっている。これらの搬送波信号P1、P2は、固定電極3、4にそれぞれ印加される。
【0017】
まず、第1のフェーズ(φ1)では、搬送波信号P1はHi、搬送波信号P2はLoになっている。また、制御回路23からのスイッチ開閉信号により、スイッチS1は閉、スイッチS2は閉、スイッチS3は開になり、可動電極2dはC−V変換回路21に接続される。このとき、C−V変換回路21のスイッチS1が閉じているため、コンデンサ21bの電荷が放電され、演算増幅器21aの出力端子からは、基準電圧(VDD/2)が出力される。また、可動電極2dの電位は演算増幅器21aの働きにより基準電圧に固定される。
【0018】
第2のフェーズ(φ2)では、搬送波信号P1、P2の電圧レベルが反転(P1がLo、P2がHi)し、スイッチS1が開く。このとき、可動電極2dと固定電極3間の容量C1と、可動電極2dと固定電極4間の容量C2との間にΔCの差があると、搬送波信号の振幅VDDとΔCの積で表される電荷Qが可動電極2dに生じるが、演算増幅器21aの働きにより可動電極2dの電位が基準電位に保たれるため、電荷Qはコンデンサ21bに蓄積され、演算増幅器21aの出力電圧が変化する。
【0019】
例えば、可動電極2dが、図の矢印方向に変位したとすると、第1のフェーズでは可動電極2dの固定電極3側に通常よりも大きいマイナスの電荷が発生し、第2のフェーズでは可動電極2dの固定電極3側に通常よりも小さいプラスの電荷が発生するため、その差であるマイナスの電荷によりコンデンサ21bにおける演算増幅器21aの反転入力端子側、出力端子側にマイナスの電荷、プラスの電荷がそれぞれ発生する。このため、演算増幅器21aの出力電圧が+ΔVだけ変化する。逆に、可動電極2dが、図の矢印方向と逆方向に変位したとすると、演算増幅器21aの出力電圧が−ΔVだけ変化する。
【0020】
そして、信号処理回路22におけるサンプルホールド回路22aは、そのときの演算増幅器21aの出力電圧をサンプリングする。
第3のフェーズ(φ3)では、スイッチS2が開き、スイッチS3が閉じる。また、サンプルホールド回路22aは、サンプリングした電圧をホールドする。このホールドされた電圧は、ローパスフィルタ22bを介し増幅器22cにて反転増幅される。例えば、増幅器22cは、サンプリングホールドされた電圧(±ΔV)を(−1)倍し、その電圧を基準電圧に加えて出力する。
【0021】
このとき、スイッチS3が閉じているため、増幅器22cの出力電圧(フィードバック電圧)は、可動電極2dに印加される。その結果、可動電極2dを加速度によって変位した方向と逆方向に変位させることができる。
例えば、可動電極2dが、図の矢印方向に変位したときには、上述したように演算増幅器21aの出力電圧が+ΔVだけ変化し、増幅器22cからは(基準電圧−ΔV)の電圧が出力され、その電圧が可動電極2dに印加される。この第3のフェーズでは搬送波信号P1、P2がそれぞれLo、Hiになっているため、可動電極2dに印加される電圧が−ΔV変化したことによって、可動電極2dと固定電極4間の電圧が大きく、また可動電極2dと固定電極3間の電圧が小さくなるため、可動電極2dは、固定電極4の方に変位する。すなわち、可動電極2dが、加速度によって変位したのと逆方向に変位する。
【0022】
従って、上記した第1から第3のフェーズの動作を繰り返すことにより、可動電極2dを所定の位置に戻すようにサーボ制御が行われ、信号処理回路22から加速度を示す電圧Vout が出力される。
上記した実施形態によれば、C−V変換を行う期間(第1、第2のフェーズ)とサーボ制御を行う期間(第3のフエーズ)を分けているため、固定電極3、4に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせる必要がなく、搬送波信号の振幅を大きくすることができるため、C−V変換の感度が上がり、高感度のサーボ制御を行うことができる。
【0023】
なお、上記した実施形態においては、第1から第3のフェーズにおける搬送波信号P1、P2のデューティ比が50%になっていないものを示したが、HiとLoの期間を異ならせてデューティ比が50%になるようにしてもよい。
(第2実施形態)
図4に、本発明の第2実施形態における検出回路20の構成を示す。なお、センサ部におけるセンサエレメン10の構成は図1に示すものと同じである。
【0024】
上記した第1実施形態では、C−V変換を基準電圧を基準に行うようにしていたが、この第2実施形態では、信号処理回路3の出力電圧を基準に行うようにしている。このため、第1実施形態におけるスイッチS2、S3をなくし、信号処理回路22からの出力電圧を演算増幅器21aの反転入力端子に接続するようにしている。
【0025】
また、信号処理回路22においては、サンプルホールド回路22aの出力電圧とこの信号処理回路22の出力電圧を差動増幅する差動増幅回路22dを設け、また第1実施形態における増幅器22cの代わりに、ローパスフィルタ22bを介して入力される電圧を積分してその積分結果を基準電圧に加えて出力する積分回路22dを設けている。
【0026】
上記構成においてその作動を図5に示す信号波形図を参照して説明する。
第1のフェーズ(φ1)では、搬送波信号P1はHi、搬送波信号P2はLoで、スイッチS1は閉となり、また第2のフェーズ(φ2)では、搬送波信号PはLo、搬送波信号P2はHiで、スイッチS1は開となるので、第1実施形態と同様、可動電極2dが加速度を受けて変位した場合に、演算増幅器21aの出力電圧が±ΔVだけ変化する。すなわち、この第1、第2のフェーズにおいて、第1実施形態と同様、C−V変換が行われる。
【0027】
この演算増幅器21aの出力電圧、すなわち基準電圧±ΔVの電圧は、サンプルホールド回路22aでサンプリングされ、第3のフェーズ(φ3)でホールドされる。そして、このホールドされた電圧と信号処理回路22の出力電圧とが差動増幅回路22eにおいて差動増幅され、演算増幅器21aの出力電圧の変化分の電圧が出力される。その出力電圧は、ローパスフィルタ22bを介し積分回路22dにて積分処理され、上記した変化分の電圧を積分した積分電圧を基準電圧に加えて出力する。
【0028】
この積分回路22dの出力電圧は、演算増幅器21aの反転入力端子に入力される。その結果、可動電極2dの電圧は、上記した積分電圧分だけ変化する。その変化方向は、演算増幅器21aの出力電圧の変化方向と同じである。従って、例えば、可動電極2dが図の矢印方向に変化し、演算増幅器21aの出力電圧が+Vだけ変化したときは、積分回路22dの出力電圧は+方向に変化し、可動電極2dの電圧が基準電圧から+方向に変化する。この第3のフェーズ(φ3)では、搬送波信号P1はHi、搬送波信号P2はLoとなっているため、可動電極2dと固定電極4間の電圧が大きく、また可動電極2dと固定電極3間の電圧が小さくなるため、可動電極2dは、固定電極4の方に変位する。すなわち、可動電極2dが、加速度によって変位したのと逆方向に変位する。なお、可動電極2dが図の矢印方向と逆方向に変化したときには、可動電極2dの電圧が−方向に変化し、この場合も可動電極2dは、加速度によって変位したのと逆方向に変位する。
【0029】
すなわち、この実施形態においては、積分回路22dの出力電圧が基準電圧から変化したときに、その出力電圧が基準電圧に戻るようにフィードバック制御を行うようにしている。このようなフィードバック制御においては、搬送波信号P1、P2のデューティ比が50%になっていると、可動電極2dを所定の位置に戻す静電気力を発生させることができないため、搬送波信号P1、P2のデューティ比を50%とは異なる値にして、可動電極2dを所定の位置に戻す静電気力を発生させるようにしている。すなわち、搬送波信号P1、P2のHiとLoの期間を異ならせ、HiとLoの期間の差の期間(上記した例においては第3のフェーズ)において可動電極2dに信号処理回路22から出力される電圧を印加して可動電極2dを所定の位置に戻す静電気力を発生させるようにしている。
【0030】
なお、この実施形態においては、可動電極2dの電圧が常時信号処理回路22の出力電圧となるため、C−V変換器21の出力電圧は、可動電極2dの電圧が基準電圧からずれている分だけオフセットを持つことになる。このため、信号処理回路22では差動増幅回路22eを設け、C−V変換器21の出力電圧と信号処理回路22の出力電圧の差をとって、上記したオフセットを除去するようにしている。
【0031】
このように本実施形態においても、C−V変換を行う期間(第1、第2のフェーズ)とサーボ制御を行う期間(第3のフエーズ)を分けているため、固定電極3、4に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせる必要がなく、搬送波信号の振幅を大きくすることができるため、C−V変換の感度が上がり、高感度のサーボ制御を行うことができる。
【0032】
なお、上記した第1実施形態においても、この第2実施形態に示すような積分回路22dを用いて信号処理回路22を構成するようにすることができる。
また、積分回路の代わりに比較器を用いて構成するようにしてもよい。
さらに、本発明は、加速度センサに適用するもの限らず、圧力センサ、ヨーレートセンサなどの静電容量式の物理量検出装置にも同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における加速度センサのセンサ部の模式的構成を示す図である。
【図2】図1中の検出回路20の具体的な構成を示す図である。
【図3】図2に示す検出回路20の作動説明に供する信号波形図である。
【図4】本発明の第2実施形態における検出回路20の具体的な構成を示す図である。
【図5】図4に示す検出回路20の作動説明に供する信号波形図である。
【符号の説明】
2…梁構造体、2d…可動電極、3、4…固定電極、
10…センサエレメント、20…検出回路、21…C−V変換回路、
22…信号処理回路、S2、S3…スイッチ、23…制御回路。
Claims (6)
- 物理量の変化に応じて変位する可動電極(2d)と、
前記可動電極(2d)に対向して配置された第1、第2の固定電極(3、4)と、
前記可動電極(2d)と前記第1、第2の固定電極(3、4)からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を出力するC−V変換回路(21)と、
前記C−V変換回路(21)の出力に基づき前記可動電極(2d)を前記可動電極(2d)が前記物理量の変化によって変位した方向と逆方向に変位させるためのフィードバック電圧を出力する信号処理回路(22)と、
電圧レベルが変化する第1の期間とこの第1の期間に続く所定電圧レベルの第2の期間を有する第1の搬送波信号を前記第1の固定電極(3)に印加し、前記第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号を前記第2の固定電極(4)に印加する搬送波信号発生手段(23)とを備え、
前記第1の期間において前記C−V変換回路(21)から前記容量変化に応じた電圧が出力され、前記第2の期間において前記信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧が前記可動電極(2d)に印加されるようにしたことを特徴とする静電サーボ式物理量検出装置。 - 前記搬送波信号発生手段(23)は、前記第1、第2の搬送波信号として、前記第1の期間では電圧レベルが異なる第1、第2の電圧レベルとなり、前記第2の期間では前記第1、第2の電圧レベルのいずれか一方の電圧レベルとなる矩形波信号を生成するものであることを特徴とする請求項1に記載の静電サーボ式物理量検出装置。
- 前記第1の期間において前記可動電極(2d)を前記C−V変換回路(21)に信号接続し、前記第2の期間において前記信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧を前記可動電極(2d)に印加するスイッチ手段(S2、S3)を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電サーボ式物理量検出装置。
- 前記C−V変換回路(21)は、一方の入力端子に前記可動電極(2d)が接続され他方の入力端子に前記信号処理回路(22)からのフィードバック電圧が印加される演算増幅器(21a)を有しており、前記信号処理回路(22)は、前記演算増幅器(21a)の出力電圧の変化に基づいて前記フィードバック電圧を出力するものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電サーボ式物理量検出装置。
- 前記信号処理回路(22)は、前記演算増幅器(21a)の出力電圧と前記演算増幅器(21a)の前記他方の入力端子に印加されているフィードバック電圧の差を検出して前記フィードバック電圧を生成する回路(22b、22d)を有することを特徴とする請求項4に記載の静電サーボ式物理量検出装置。
- 物理量の変化に応じて変位する可動電極(2d)と、
前記可動電極(2d)に対向して配置された第1、第2の固定電極(3、4)と、
前記第1、第2の固定電極(3、4)に第1、第2の搬送波信号をそれぞれ印加する搬送波信号発生手段(23)と、
前記可動電極(2d)と前記第1、第2の固定電極(3、4)からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を出力するC−V変換回路(21)と、
前記C−V変換回路(21)の出力に基づき前記可動電極(2d)を前記可動電極(2d)が前記物理量の変化によって変位した方向と逆方向に変位させるためのフィードバック電圧を出力する信号処理回路(22)とを備えた静電サーボ式物理量検出装置において、
前記搬送波信号発生手段(23)は、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルを有し前記第1の電圧レベルとなる期間と前記第2の電圧レベルとなる期間が異なる矩形波信号を前記第1の搬送波信号として前記第1の固定電極(3)に印加し、前記第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号を前記第2の固定電極(4)に印加するものであって、
前記第1の電圧レベルとなる期間と前記第2の電圧レベルとなる期間の差の期間において前記信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧により前記可動電極(2d)のサーボ制御が行われるようにしたことを特徴とする静電サーボ式物理量検出装置。
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