JPH11201850A - 静電サーボ式物理量検出装置 - Google Patents
静電サーボ式物理量検出装置Info
- Publication number
- JPH11201850A JPH11201850A JP488798A JP488798A JPH11201850A JP H11201850 A JPH11201850 A JP H11201850A JP 488798 A JP488798 A JP 488798A JP 488798 A JP488798 A JP 488798A JP H11201850 A JPH11201850 A JP H11201850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- movable electrode
- period
- electrode
- carrier signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
式物理量検出装置を提供する。 【解決手段】 ハイレベル(Hi)とローレベル(L
o)の期間が異なる搬送波信号P1、P2を固定電極
3、4にそれぞれ印加する。搬送波信号P1、P2がH
iとLoの間で変化する第1の期間では、スイッチS2
を閉じ、スイッチS3を開にする。このとき、C−V変
換回路21は、可動電極2dと固定電極3、4からなる
差動容量の容量変化に応じた電圧を出力する。第1の期
間に続く第2の期間(搬送波信号P1、P2におけるH
iとLoの差の期間)では、スイッチS2を開き、スイ
ッチS3を閉じて、C−V変換回路21の出力電圧を信
号処理する信号処理回路22からフィードバック電圧を
出力させ、それを可動電極2dに印加して、可動電極2
dが所定の位置になるようにサーボ制御を行う。
Description
化する差動容量を用いた静電サーボ式の物理量検出装置
に関する。
レートセンサなどにおいて、センサの温度特性や非直線
性を改善するために、静電気力によるサーボ制御を行う
静電サーボ式の容量センサが種々提案されている。例え
ば、特公平6−44008号公報、米国特許第5,34
3,766号明細書には、静電サーボ式の加速度センサ
が開示されている。
いては、物理量の変化に応じて変位する可動電極と、可
動電極に対向して配置された一対の固定電極を備え、可
動電極と一対の固定電極からなる差動容量の容量変化を
検出し、その検出出力に基づき可動電極を所定の位置に
保持するように可動電極への印加信号をサーボ制御する
ようにしている。
ために、両固定電極には、搬送波信号が印加される。例
えば、特公平6−44008号公報には、互いに逆相で
中心電圧が異なる搬送波信号を両固定電極に印加すると
ともに、差動容量の容量変化に基づく出力電圧を可動電
極にフィードバックして、可動電極と両固定電極に働く
静電気力を制御することによりサーボをかけるようにし
たものが開示されている。また、米国特許第5,34
3,766号明細書には、チャージアンプの出力を増幅
して可動電極に印加するとともに、一方の固定電極には
基準電圧とチャージアンプの出力を増幅した電圧を、他
方の固定電極にはGNDとチャージアンプの出力を増幅
した電圧を交互に印加するようにしたものが開示されて
いる。
おいては、中心電圧が異なる搬送波信号を両固定電極に
印加するようにしているため、可動電極に印加するフィ
ードバック電圧の動作範囲外に、搬送波信号の中心値を
設定する必要がある。このため、搬送波信号の振幅が小
さくならざるを得なくなる。容量変化の検出感度は搬送
波信号の振幅に比例するため、搬送波信号の振幅が小さ
いと検出感度が低く、S/N比が悪いという問題があ
る。
のサーボ制御を可能とする静電サーボ式物理量検出装置
を提供することを目的とする。
め、請求項1乃至5に記載の発明においては、電圧レベ
ルが変化する第1の期間と所定電圧レベルの第2の期間
を有する第1の搬送波信号を第1の固定電極(3)に印
加し、第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第
2の搬送波信号を第2の固定電極(4)に印加するよう
にし、第1の期間においてC−V変換回路(21)から
容量変化に応じた電圧が出力され、第2の期間において
信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電
圧が可動電極(2d)に印加されるようにしたことを特
徴としている。
制御を行う期間を分けることによって、第1、第2の固
定電極に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせる必
要がなく、搬送波信号の振幅を大きくすることができ
る。従って、C−V変換の感度が上がり、高感度のサー
ボ制御を行うことができる。また、請求項6に記載の発
明においては、第1の電圧レベルとなる期間と第2の電
圧レベルとなる期間が異なった第1の搬送波信号を第1
の固定電極(3)に印加し、第1の搬送波信号に対し電
圧レベルが反転した第2の搬送波信号を第2の固定電極
(4)に印加するようにし、第1の電圧レベルとなる期
間と第2の電圧レベルとなる期間の差の期間において信
号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧
により可動電極(2d)のサーボ制御が行われるように
したことを特徴としている。
とサーボ制御を行う期間を分けることができるため、上
記したのと同様、第1、第2の固定電極に印加する搬送
波信号の中心電圧を異ならせる必要がないため、搬送波
信号の振幅を大きして高感度のサーボ制御を行うことが
できる。なお、上記した括弧内の符号は、後述する実施
形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
式加速度センサにおけるセンサ部の模式的構成を示す。
このセンサ部は、センサエレメント10および検出回路
20から構成されている。センサエレメント10は、梁
構造体2を有する構造になっており、この梁構造体2
は、梁構造体2を基板1の上面に固定するための4つの
アンカ部2aと、4つの梁部2bと、質量部2cと、質
量部2cの両側に形成された複数の可動電極2dから構
成されている。また、それぞれの可動電極2dには、固
定電極3、4が対向配置され、固定電極3、4は基板1
上に固定されている。
速度を受けて変位すると、可動電極2dもそれに応じて
変位する。可動電極2dと固定電極3および可動電極2
dと固定電極4は差動の容量を構成しており、可動電極
2dの変位に応じてそれらの容量が変化する。検出回路
20は、可動電極2dと固定電極3、4による容量の変
化を検出し、可動電極2dを所定の位置に保持するよう
に可動電極2dにフィードバック電圧を印加するサーボ
制御を行う。
を示す。検出回路20は、C−V変換回路21、信号処
理回路22、スイッチS2、S3、制御回路23、およ
び発振器24から構成されている。C−V変換回路21
は、可動電極2dと固定電極3、4からなる差動容量の
変化を電圧に変換するもので、演算増幅器21a、コン
デンサ21b、およびスイッチS1から構成されてい
る。演算増幅器21aの非反転入力端子は基準電圧(V
DD/2)に接続され、反転入力端子は可動電極2dに接
続されており、反転入力端子と出力端子との間には、ス
イッチS1およびコンデンサ21bが並列に接続されて
いる。
の出力電圧に基づき可動電極2dを可動電極2dが加速
度を受けて変位した方向と逆方向に変位させるためのフ
ィードバック電圧を出力するもので、サンプルホールド
(S/H)回路22a、ローパスフィルタ(LPF)2
2b、および増幅器(AMP)22cから構成されてい
る。
換回路21に接続するために設けられており、スイッチ
S3は、信号処理回路22から出力されるフィードバッ
ク電圧を可動電極2dに印加するために設けられてい
る。これらのスイッチ手段をなすスイッチS2、S3
は、可動電極2dをC−V変換回路21と信号処理回路
22に所定のタイミングで択一的に接続する切り替え手
段を構成している。
るクロックに基づき、固定電極3、4に印加する搬送波
信号P1、P2、スイッチS1、S2、S3を開閉させ
るスイッチ開閉信号、およびサンプルホールド回路22
aをサンプルホールドさせるS/H信号をそれぞれ作成
して出力する。上記構成においてその作動を図3に示す
信号波形図を参照して説明する。
1、P2は、図3に示すように、3つのフェーズ(φ1
〜3)でハイレベル(Hi)とローレベル(Lo)が変
化する一定振幅の矩形波信号となっており、搬送波信号
P2は、搬送波信号P1に対して電圧レベルが反転した
信号となっている。これらの搬送波信号P1、P2は、
固定電極3、4にそれぞれ印加される。
波信号P1はHi、搬送波信号P2はLoになってい
る。また、制御回路23からのスイッチ開閉信号によ
り、スイッチS1は閉、スイッチS2は閉、スイッチS
3は開になり、可動電極2dはC−V変換回路21に接
続される。このとき、C−V変換回路21のスイッチS
1が閉じているため、コンデンサ21bの電荷が放電さ
れ、演算増幅器21aの出力端子からは、基準電圧(V
DD/2)が出力される。また、可動電極2dの電位は演
算増幅器21aの働きにより基準電圧に固定される。
P1、P2の電圧レベルが反転(P1がLo、P2がH
i)し、スイッチS1が開く。このとき、可動電極2d
と固定電極3間の容量C1と、可動電極2dと固定電極
4間の容量C2との間にΔCの差があると、搬送波信号
の振幅VDDとΔCの積で表される電荷Qが可動電極2d
に生じるが、演算増幅器21aの働きにより可動電極2
dの電位が基準電位に保たれるため、電荷Qはコンデン
サ21bに蓄積され、演算増幅器21aの出力電圧が変
化する。
変位したとすると、第1のフェーズでは可動電極2dの
固定電極3側に通常よりも大きいマイナスの電荷が発生
し、第2のフェーズでは可動電極2dの固定電極3側に
通常よりも小さいプラスの電荷が発生するため、その差
であるマイナスの電荷によりコンデンサ21bにおける
演算増幅器21aの反転入力端子側、出力端子側にマイ
ナスの電荷、プラスの電荷がそれぞれ発生する。このた
め、演算増幅器21aの出力電圧が+ΔVだけ変化す
る。逆に、可動電極2dが、図の矢印方向と逆方向に変
位したとすると、演算増幅器21aの出力電圧が−ΔV
だけ変化する。
ルホールド回路22aは、そのときの演算増幅器21a
の出力電圧をサンプリングする。第3のフェーズ(φ
3)では、スイッチS2が開き、スイッチS3が閉じ
る。また、サンプルホールド回路22aは、サンプリン
グした電圧をホールドする。このホールドされた電圧
は、ローパスフィルタ22bを介し増幅器22cにて反
転増幅される。例えば、増幅器22cは、サンプリング
ホールドされた電圧(±ΔV)を(−1)倍し、その電
圧を基準電圧に加えて出力する。
め、増幅器22cの出力電圧(フィードバック電圧)
は、可動電極2dに印加される。その結果、可動電極2
dを加速度によって変位した方向と逆方向に変位させる
ことができる。例えば、可動電極2dが、図の矢印方向
に変位したときには、上述したように演算増幅器21a
の出力電圧が+ΔVだけ変化し、増幅器22cからは
(基準電圧−ΔV)の電圧が出力され、その電圧が可動
電極2dに印加される。この第3のフェーズでは搬送波
信号P1、P2がそれぞれLo、Hiになっているた
め、可動電極2dに印加される電圧が−ΔV変化したこ
とによって、可動電極2dと固定電極4間の電圧が大き
く、また可動電極2dと固定電極3間の電圧が小さくな
るため、可動電極2dは、固定電極4の方に変位する。
すなわち、可動電極2dが、加速度によって変位したの
と逆方向に変位する。
の動作を繰り返すことにより、可動電極2dを所定の位
置に戻すようにサーボ制御が行われ、信号処理回路22
から加速度を示す電圧Vout が出力される。上記した実
施形態によれば、C−V変換を行う期間(第1、第2の
フェーズ)とサーボ制御を行う期間(第3のフエーズ)
を分けているため、固定電極3、4に印加する搬送波信
号の中心電圧を異ならせる必要がなく、搬送波信号の振
幅を大きくすることができるため、C−V変換の感度が
上がり、高感度のサーボ制御を行うことができる。
から第3のフェーズにおける搬送波信号P1、P2のデ
ューティ比が50%になっていないものを示したが、H
iとLoの期間を異ならせてデューティ比が50%にな
るようにしてもよい。 (第2実施形態)図4に、本発明の第2実施形態におけ
る検出回路20の構成を示す。なお、センサ部における
センサエレメン10の構成は図1に示すものと同じであ
る。
基準電圧を基準に行うようにしていたが、この第2実施
形態では、信号処理回路3の出力電圧を基準に行うよう
にしている。このため、第1実施形態におけるスイッチ
S2、S3をなくし、信号処理回路22からの出力電圧
を演算増幅器21aの反転入力端子に接続するようにし
ている。
プルホールド回路22aの出力電圧とこの信号処理回路
22の出力電圧を差動増幅する差動増幅回路22dを設
け、また第1実施形態における増幅器22cの代わり
に、ローパスフィルタ22bを介して入力される電圧を
積分してその積分結果を基準電圧に加えて出力する積分
回路22dを設けている。
号波形図を参照して説明する。第1のフェーズ(φ1)
では、搬送波信号P1はHi、搬送波信号P2はLo
で、スイッチS1は閉となり、また第2のフェーズ(φ
2)では、搬送波信号PはLo、搬送波信号P2はHi
で、スイッチS1は開となるので、第1実施形態と同
様、可動電極2dが加速度を受けて変位した場合に、演
算増幅器21aの出力電圧が±ΔVだけ変化する。すな
わち、この第1、第2のフェーズにおいて、第1実施形
態と同様、C−V変換が行われる。
ち基準電圧±ΔVの電圧は、サンプルホールド回路22
aでサンプリングされ、第3のフェーズ(φ3)でホー
ルドされる。そして、このホールドされた電圧と信号処
理回路22の出力電圧とが差動増幅回路22eにおいて
差動増幅され、演算増幅器21aの出力電圧の変化分の
電圧が出力される。その出力電圧は、ローパスフィルタ
22bを介し積分回路22dにて積分処理され、上記し
た変化分の電圧を積分した積分電圧を基準電圧に加えて
出力する。
幅器21aの反転入力端子に入力される。その結果、可
動電極2dの電圧は、上記した積分電圧分だけ変化す
る。その変化方向は、演算増幅器21aの出力電圧の変
化方向と同じである。従って、例えば、可動電極2dが
図の矢印方向に変化し、演算増幅器21aの出力電圧が
+Vだけ変化したときは、積分回路22dの出力電圧は
+方向に変化し、可動電極2dの電圧が基準電圧から+
方向に変化する。この第3のフェーズ(φ3)では、搬
送波信号P1はHi、搬送波信号P2はLoとなってい
るため、可動電極2dと固定電極4間の電圧が大きく、
また可動電極2dと固定電極3間の電圧が小さくなるた
め、可動電極2dは、固定電極4の方に変位する。すな
わち、可動電極2dが、加速度によって変位したのと逆
方向に変位する。なお、可動電極2dが図の矢印方向と
逆方向に変化したときには、可動電極2dの電圧が−方
向に変化し、この場合も可動電極2dは、加速度によっ
て変位したのと逆方向に変位する。
回路22dの出力電圧が基準電圧から変化したときに、
その出力電圧が基準電圧に戻るようにフィードバック制
御を行うようにしている。このようなフィードバック制
御においては、搬送波信号P1、P2のデューティ比が
50%になっていると、可動電極2dを所定の位置に戻
す静電気力を発生させることができないため、搬送波信
号P1、P2のデューティ比を50%とは異なる値にし
て、可動電極2dを所定の位置に戻す静電気力を発生さ
せるようにしている。すなわち、搬送波信号P1、P2
のHiとLoの期間を異ならせ、HiとLoの期間の差
の期間(上記した例においては第3のフェーズ)におい
て可動電極2dに信号処理回路22から出力される電圧
を印加して可動電極2dを所定の位置に戻す静電気力を
発生させるようにしている。
2dの電圧が常時信号処理回路22の出力電圧となるた
め、C−V変換器21の出力電圧は、可動電極2dの電
圧が基準電圧からずれている分だけオフセットを持つこ
とになる。このため、信号処理回路22では差動増幅回
路22eを設け、C−V変換器21の出力電圧と信号処
理回路22の出力電圧の差をとって、上記したオフセッ
トを除去するようにしている。
変換を行う期間(第1、第2のフェーズ)とサーボ制御
を行う期間(第3のフエーズ)を分けているため、固定
電極3、4に印加する搬送波信号の中心電圧を異ならせ
る必要がなく、搬送波信号の振幅を大きくすることがで
きるため、C−V変換の感度が上がり、高感度のサーボ
制御を行うことができる。
この第2実施形態に示すような積分回路22dを用いて
信号処理回路22を構成するようにすることができる。
また、積分回路の代わりに比較器を用いて構成するよう
にしてもよい。さらに、本発明は、加速度センサに適用
するもの限らず、圧力センサ、ヨーレートセンサなどの
静電容量式の物理量検出装置にも同様に適用することが
できる。
センサ部の模式的構成を示す図である。
である。
号波形図である。
具体的な構成を示す図である。
号波形図である。
0…センサエレメント、20…検出回路、21…C−V
変換回路、22…信号処理回路、S2、S3…スイッ
チ、23…制御回路。
Claims (6)
- 【請求項1】 物理量の変化に応じて変位する可動電極
(2d)と、 前記可動電極(2d)に対向して配置された第1、第2
の固定電極(3、4)と、 前記可動電極(2d)と前記第1、第2の固定電極
(3、4)からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を
出力するC−V変換回路(21)と、 前記C−V変換回路(21)の出力に基づき前記可動電
極(2d)を前記可動電極(2d)が前記物理量の変化
によって変位した方向と逆方向に変位させるためのフィ
ードバック電圧を出力する信号処理回路(22)と、 電圧レベルが変化する第1の期間とこの第1の期間に続
く所定電圧レベルの第2の期間を有する第1の搬送波信
号を前記第1の固定電極(3)に印加し、前記第1の搬
送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号
を前記第2の固定電極(4)に印加する搬送波信号発生
手段(23)とを備え、 前記第1の期間において前記C−V変換回路(21)か
ら前記容量変化に応じた電圧が出力され、前記第2の期
間において前記信号処理回路(22)から出力されるフ
ィードバック電圧が前記可動電極(2d)に印加される
ようにしたことを特徴とする静電サーボ式物理量検出装
置。 - 【請求項2】 前記搬送波信号発生手段(23)は、前
記第1、第2の搬送波信号として、前記第1の期間では
電圧レベルが異なる第1、第2の電圧レベルとなり、前
記第2の期間では前記第1、第2の電圧レベルのいずれ
か一方の電圧レベルとなる矩形波信号を生成するもので
あることを特徴とする請求項1に記載の静電サーボ式物
理量検出装置。 - 【請求項3】 前記第1の期間において前記可動電極
(2d)を前記C−V変換回路(21)に信号接続し、
前記第2の期間において前記信号処理回路(22)から
出力されるフィードバック電圧を前記可動電極(2d)
に印加するスイッチ手段(S2、S3)を備えたことを
特徴とする請求項1又は2に記載の静電サーボ式物理量
検出装置。 - 【請求項4】 前記C−V変換回路(21)は、一方の
入力端子に前記可動電極(2d)が接続され他方の入力
端子に前記信号処理回路(22)からのフィードバック
電圧が印加される演算増幅器(21a)を有しており、
前記信号処理回路(22)は、前記演算増幅器(21
a)の出力電圧の変化に基づいて前記フィードバック電
圧を出力するものであることを特徴とする請求項1又は
2に記載の静電サーボ式物理量検出装置。 - 【請求項5】 前記信号処理回路(22)は、前記演算
増幅器(21a)の出力電圧と前記演算増幅器(21
a)の前記他方の入力端子に印加されているフィードバ
ック電圧の差を検出して前記フィードバック電圧を生成
する回路(22b、22d)を有することを特徴とする
請求項4に記載の静電サーボ式物理量検出装置。 - 【請求項6】 物理量の変化に応じて変位する可動電極
(2d)と、 前記可動電極(2d)に対向して配置された第1、第2
の固定電極(3、4)と、 前記第1、第2の固定電極(3、4)に第1、第2の搬
送波信号をそれぞれ印加する搬送波信号発生手段(2
3)と、 前記可動電極(2d)と前記第1、第2の固定電極
(3、4)からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を
出力するC−V変換回路(21)と、 前記C−V変換回路(21)の出力に基づき前記可動電
極(2d)を前記可動電極(2d)が前記物理量の変化
によって変位した方向と逆方向に変位させるためのフィ
ードバック電圧を出力する信号処理回路(22)とを備
えた静電サーボ式物理量検出装置において、 前記搬送波信号発生手段(23)は、第1の電圧レベル
と第2の電圧レベルを有し前記第1の電圧レベルとなる
期間と前記第2の電圧レベルとなる期間が異なる矩形波
信号を前記第1の搬送波信号として前記第1の固定電極
(3)に印加し、前記第1の搬送波信号に対し電圧レベ
ルが反転した第2の搬送波信号を前記第2の固定電極
(4)に印加するものであって、 前記第1の電圧レベルとなる期間と前記第2の電圧レベ
ルとなる期間の差の期間において前記信号処理回路(2
2)から出力されるフィードバック電圧により前記可動
電極(2d)のサーボ制御が行われるようにしたことを
特徴とする静電サーボ式物理量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00488798A JP3804242B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 静電サーボ式物理量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00488798A JP3804242B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 静電サーボ式物理量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11201850A true JPH11201850A (ja) | 1999-07-30 |
JP3804242B2 JP3804242B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=11596203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00488798A Expired - Fee Related JP3804242B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 静電サーボ式物理量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3804242B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001272414A (ja) * | 1999-12-18 | 2001-10-05 | Robert Bosch Gmbh | 内燃機関のノッキングを検出するためのセンサ |
US6990864B2 (en) * | 2001-12-03 | 2006-01-31 | Denso Corporation | Semiconductor dynamic quantity sensor |
JP2010019779A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Toyota Central R&D Labs Inc | 物理量検出センサと物理量検出装置とサーボ制御回路 |
JP2016511427A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-04-14 | ローズマウント インコーポレイテッド | センサ可変励起機能を有するプロセス計測システム |
CN107505479A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-22 | 华中科技大学 | 一种静电加速度计 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6545611B2 (ja) * | 2015-12-10 | 2019-07-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性検出装置 |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP00488798A patent/JP3804242B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001272414A (ja) * | 1999-12-18 | 2001-10-05 | Robert Bosch Gmbh | 内燃機関のノッキングを検出するためのセンサ |
US6990864B2 (en) * | 2001-12-03 | 2006-01-31 | Denso Corporation | Semiconductor dynamic quantity sensor |
JP2010019779A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Toyota Central R&D Labs Inc | 物理量検出センサと物理量検出装置とサーボ制御回路 |
JP2016511427A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-04-14 | ローズマウント インコーポレイテッド | センサ可変励起機能を有するプロセス計測システム |
CN107505479A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-22 | 华中科技大学 | 一种静电加速度计 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3804242B2 (ja) | 2006-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4178658B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP3861652B2 (ja) | 容量式物理量センサ | |
US7423568B2 (en) | Sigma delta modulator | |
JP3216455B2 (ja) | 容量型静電サーボ加速度センサ | |
US5977803A (en) | Capacitance type sensor interface circuit | |
JP3125675B2 (ja) | 容量型センサインターフェース回路 | |
US6278283B1 (en) | Capacitance detecting circuit | |
US6483322B2 (en) | Capacitive physical quantity sensor | |
US5661240A (en) | Sampled-data interface circuit for capacitive sensors | |
EP0715153A1 (en) | Differential type capacitive sensor system | |
US7456731B2 (en) | Capacitive-type physical quantity sensor | |
JP3265942B2 (ja) | 微少容量検出回路 | |
JP2000065664A (ja) | 静電容量式力学量センサ | |
JP2009097932A (ja) | 容量型検出装置 | |
JP6087927B2 (ja) | 容量性センサのための表面充電の減少技術 | |
US7525322B2 (en) | Capacitive physical quantity sensor and diagnosis method | |
US20030098699A1 (en) | Sense interface system with velocity feed-through rejection | |
JP3804242B2 (ja) | 静電サーボ式物理量検出装置 | |
JP6371984B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JPH08327677A (ja) | 容量型センサ用検出回路および検出方法 | |
JP2002098712A (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
WO1997034155A1 (en) | Reset switch for a micromachined device | |
JP3282360B2 (ja) | 容量型センサ | |
JP4269388B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP2005274457A (ja) | 加速度センサシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060501 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140519 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |