JP4330855B2 - 配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線パターンが板状部材に配設されている配線板の製造方法に係り、特に、配線パターンの微細化に適正を有する配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
板状部材に配線パターンを形成し、さらにはそれらの配線パターンの存在する配線層を複数備えた配線板が、様々な用途に用いられている。
【0003】
両面配線板の従来の製造方法例について図8を参照して説明する。図8は、導電性バンプを配線層間の導通手段として用いる両面配線板の製造方法の一例を示す模式図であり、(a)から(d)に向かって手順が進行する。
【0004】
まず、図8(a)に示すように、金属箔(例えば銅箔)101上の必要な位置(特定の両面配線板としてのレイアウトに従う位置)に導電性バンプ102を形成する。導電性バンプ102の形成には、例えばスクリーン印刷を用いることができる。そのためには、導電性ペーストとして、例えばペースト状樹脂の中に金属粒(銀、金、銅、ハンダなど)を分散させ、加えて揮発性の溶剤を混合させたものを用意し、これをスクリーン印刷により金属箔101上に印刷する。
【0005】
導電性バンプ102は、次述するように絶縁板103を貫通するだけの高さが必要なので、一回のスクリーン印刷で必要な高さが得られない場合には、乾燥工程を間に設けながら複数回のスクリーン印刷により高さ方向に継ぎ足して形成し、全体としてほぼ円錐形にすることができる。
【0006】
次に、図8(b)に示すように、絶縁板103とすべき半硬化状態のプリプレグを金属箔101と一体化する。このとき導電性バンプ102が絶縁板103を貫通しその頭部が露出するようにする。この一体化は、例えば、プリプレグの金属箔101に対向する面とは反対側の面に離型シートをあてがい、この離型シート、プリプレグ、金属箔101の三者を積層プレスすることによって行なうことができる。離型シートは、このプレスのあとはがされる。なお、プリプレグは、例えば、エポキシ樹脂のような硬化性樹脂をガラス繊維のような補強材に含浸させたものである。また、硬化する前には半硬化状態にあり、熱可塑性および熱硬化性を有する。
【0007】
次に、図8(c)に示すように、導電性バンプ102の頭部が露出した絶縁板103面に金属箔104を配置して積層加圧かつ加熱し、一体化する。このとき、導電性バンプ102の頭部が塑性変形して金属箔104との電気的接触が確立し、また絶縁板103は完全に硬化する。これにより、絶縁板103の両面に配線層を有する両面配線板が形成される。
【0008】
次に、図8(d)に示すように、両面に位置する金属箔101、104を所定に(特定の両面配線板としてのレイアウトに従うように)パターニングして、それぞれパターン101a、104aに加工する。パターニングは、例えば、フォトレジストの適用・露光によるマスクの形成、このマスクによる金属箔101、104のエッチングなど、周知の方法を用いることができる。
【0009】
なお、このあとは図示しないが、この配線板が応用される用途に応じて、パターン101a、104a上を含めてハンダレジストやめっき層の形成、あるいはさらにパターン101a、104a上に表面実装部品の実装、半導体チップのフリップチップ実装などを、周知の方法によって行なうことができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにして製造される配線板は、実装配線板に用いられるほか、半導体パッケージ用の部材としても用いられ得る。いずれの場合も、より小さい端子ピッチの部品を高密度実装するため配線パターンの微細化が一つの課題である。
【0011】
図9は、パターニングされたマスク105により、細かいパターン104aを形成した場合の拡大模式図であり、図8と対応する部位に同一番号を付してある。マスク105のパターニング自体は微細に行ない得るとしても、図9に示すように、マスク105による金属箔104のエッチングは、通常、ウエット状態で行なわれるため等方的に進行し、適当な段階でエッチングを停止してもパターン104aの絶縁板103側の面に広がりが残る。
【0012】
このため、パターンとしてのラインLおよびスペースSの最小寸法は、それぞれ名目で30μm程度が限度である。これ以上微細にすると、スペースSにエッチング残りが生じたり、エッチングによりラインLが必要以上に細くなり過ぎたりして収率が悪化する。
【0013】
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、配線パターンが板状部材に配設されている配線板の製造方法において、配線パターンをより微細化することが可能な配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る、配線板の製造方法は、金属箔上に導電性バンプを形成する工程と、前記金属箔の前記形成された導電性バンプの存在する側の面に対向して熱硬化性を有する半硬化状態の絶縁板を配置し、前記形成された導電性バンプが前記絶縁板を貫通してその頭部が露出するように、積層加圧して一体化素材を形成する工程と、金属板上にレジストを適用し前記適用されたレジストをパターニングする工程と、前記パターニングされたレジストをマスクに前記金属板上に積層化された金属層を形成する工程と、前記形成された一体化素材の前記絶縁板側の面に対向して前記金属板の前記積層化金属層の存在する側の面を配置し、前記頭部が露出されている前記導電性バンプと前記積層化金属層との電気的接続が確立するように、積層加圧かつ加熱して一体化し両面配線板を形成する工程と、前記形成された両面配線板の前記金属箔の一部をエッチングする工程とを具備することを特徴とする。
【0016】
すなわち、配線を形成するため、金属板上にレジストを適用してパターニングし、パターニングされたレジストをマスクに金属板上に金属層を形成する。この金属層のパターンは、エッチングにより形成されるものではないのでより微細なパターンとすることができる。このあと、金属層を有する金属板は絶縁板の片面側に着設され、この金属層が、絶縁板を貫通する導電性バンプにより絶縁板の反対側面に存在する金属箔との電気的接続を確立するように、一体化される。これにより、両面配線層間の導通が確立される。一体化されたあとには、容易に、配線たる金属層を形成するための台部材して機能した金属板を例えばエッチングにより除去することができる。
【0017】
したがって、配線パターンをより微細にすることが可能な、配線板の製造方法を提供することができる。なお、上記で「金属箔」、「金属板」は、特に厚みについて限定を課す趣旨ではない。矛盾のない限りいずれがより厚くてもよい。また、レジストは、フィルム状のドライタイプのものや液体状から固化するタイプのものを用いることができる。これらは以下でも同様である。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明に係る、配線板の製造方法は、実施態様として、前記両面配線板の前記エッチングの残留部分たる金属箔上に第2の導電性バンプを形成する工程と、前記両面配線板の前記形成された第2の導電性バンプの存在する側の面に対向して熱硬化性を有する半硬化状態の第2の絶縁板を配置し、前記形成された第2の導電性バンプが前記第2の絶縁板を貫通してその頭部が露出するように、積層加圧して第2の一体化素材を形成する工程と、前記形成された第2の一体化素材の前記第2の絶縁板側の面に対向して、前記両面配線板と同様の構成を有しかつその金属箔の一部がエッチングされている第2の両面配線板の前記金属箔の存在する側の面を配置し、前記頭部が露出されている前記第2の導電性バンプと前記第2の両面配線板の前記金属箔との電気的接続が確立するように、積層加圧かつ加熱して一体化し4層配線板を形成する工程と、前記形成された4層配線板の外側に位置する金属板の少なくとも一部をエッチングする工程とをさらに具備する。
【0022】
両面配線板を素材として利用し4層配線板を得るものである。
【0023】
また、実施態様として、金属層を形成する前記工程は、電解めっきによりなされ、かつ前記金属板が電解めっき電流供給導電体として利用される。配線たる金属層の形成を電解めっきにより効率的に行なうものである。ここで、金属板がめっき電流供給導電体となるので、例えば銅パターン上にめっきを施す場合に必要なめっき電流供給用の導電パターンは一切必要とならない。
【0024】
また、実施態様として、前記金属板は、銅板であり、金属層を形成する前記工程は、前記銅板の上に第1のニッケル層、金層、第2のニッケル層、および銅層の順に形成される。ニッケル層は、銅と金との相互安定を保つための層である。このような金属層の形成および絶縁層との一体化のあと、金属板を例えばエッチングで除去し、さらに第1のニッケル層を例えばエッチングで除去することにより、銅層が地金となり、その上面にニッケル層、さらにその上面に金層が形成された配線パターンを得ることができる。したがって、この微細な配線パターンを例えばボンディングパッドやフリップチップ接続のためのバンプ形成エリアとして使用することができる。
【0025】
また、本発明に係る配線板の製造方法は、実施態様として、前記金属板のエッチングにより露出された前記積層化金属層の前記第1のニッケル層をエッチングする工程をさらに具備する。金を表層に露出する工程を具備するものである。
【0026】
また、実施態様として、金属板の少なくとも一部をエッチングする前記工程は、前記金属板を枠状に残すようになされる。金属板を枠状に残すことにより例えば半導体パッケージとしてのフレームにすることができる。
【0036】
以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図1、図2、図3は、本発明の一実施形態に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図である。図1、図2は、それぞれ、両面配線板の素材たる一部分の製造プロセスを示し、図3は、これらの素材により製造される、半導体チップを封止した半導体パッケージの製造プロセスを示す図である。
【0037】
まず、ひとつの素材の製造として、図1(a)に示すように、金属箔(例えば銅箔)11上の必要な位置(特定の両面配線板としてのレイアウトに従う位置)に導電性バンプ12を形成する。導電性バンプ12の形成には、例えばスクリーン印刷を用いることができる。そのためには、導電性ペーストとして、例えばペースト状樹脂の中に金属粒(銀、金、銅、ハンダなど)を分散させ、加えて揮発性の溶剤を混合させたものを用意し、これをスクリーン印刷により金属箔11上に印刷する。
【0038】
導電性バンプ12は、次述するように絶縁板13を貫通するだけの高さが必要なので、一回のスクリーン印刷で必要な高さが得られない場合には、乾燥工程を間に設けながら複数回のスクリーン印刷により高さ方向に継ぎ足して形成し、全体としてほぼ円錐形にすることができる。
【0039】
次に、図1(b)に示すように、絶縁板13とすべき半硬化状態のプリプレグを金属箔11と一体化し、配線板素材31を形成する。このとき導電性バンプ12が絶縁板13を貫通しその頭部が露出するようにする。この一体化は、例えば、プリプレグの金属箔11に対向する面とは反対側面に離型シートをあてがい、この離型シート、プリプレグ、金属箔11の三者を積層プレスすることによって行なうことができる。離型シートは、このプレスのあとはがされる。なお、プリプレグは、例えば、エポキシ樹脂のような硬化性樹脂をガラス繊維のような補強材に含浸させたものである。また、硬化する前には半硬化状態にあり、熱可塑性および熱硬化性を有する。
【0040】
また、もうひとつの素材の製造として、図2(a)に示すように、金属板(例えば銅板、厚さは例えば0.15mm)16の必要な位置(特定の両面配線板としてのレイアウトに従う位置)にパターニングされたレジスト17を形成する。このレジスト17の形成には、例えばフォトレジストの適用、露光など周知の方法を用いることができる。なお、レジスト17の存在しない金属板16上部分がのちに配線パターンとなる。
【0041】
次に、図2(b)に示すように、レジスト17をマスクに金属板16上に金属層22を形成する。金属層22は、例えば、図2(b1)に詳細に示すように、下(金属板16側)からニッケル層18、金層19、ニッケル層20、銅層21の積層構造を有するように順次形成する。これらの各厚さは、例えば、金属板16に接するニッケル層18を0.5μm程度、金層19を0.5μm程度、もうひとつのニッケル層20を5μm程度、銅層21を15μm程度とすることができる。これらの積層金属層の形成には、無電解めっき、電解めっき、いずれを用いてもよいが、電解めっきを用いるとより効率的に形成することができる。電解めっきにおいては、金属板16をめっき電流供給の導電体として利用することができる。
【0042】
金属層22が形成されたら、図2(c)に示すように、レジスト17を例えば薬液処理により除去する。これにより、金属板16上に配線パターンとしての金属層22が形成されたものを、もうひとつの配線板素材32として得ることができる。この金属層22のパターンは、レジスト17のパターニングの微細さに従う微細さを有しており、基本的にフォトレジスト技術が提供する程度まで微細にできる。
【0043】
次に、以上のようにして得られた配線板素材31、32を用いて、図3に示すように、半導体チップを封止する半導体パッケージを製造する。
【0044】
まず、図3(a)に示すように、配線板素材31の導電性バンプ12頭部が露出した絶縁板13面に、配線板素材32の金属層22が存在する側の面を配置して積層加圧かつ加熱し、一体化する。このとき、導電性バンプ12の頭部を塑性変形させて金属層22との電気的接触を確立させる。また絶縁板13は加熱により完全に硬化させる。
【0045】
なお、この一体化では、金属層22が、絶縁板13の厚み方向に沈み込んだ構造になる。これは、絶縁板13とすべきプリプレグの熱可塑性・熱硬化性のためである。以上より、絶縁板13の両面に配線層(金属箔11および金属層22)を有する両面配線板33を得ることができる。
【0046】
次に、図3(b)に示すように、両面配線板33の両面に位置する金属板16、金属箔11を所定に(特定の両面配線板としてのレイアウトまたは構造に従うように)パターニングして、それぞれパターン16a、11aに加工する。パターニングは、例えば、フォトレジストの適用・露光によるマスクの形成、このマスクによる金属板16、金属箔11のエッチングなど、周知の方法を用いることができる。金属板16、金属箔11が銅であれば、エッチングには、例えば銅アンモニウム錯イオンを主成分とする薬液や塩化第2銅溶液をエッチング液として使用することができる。
【0047】
なお、ここでのパターン11a、16aの形成は、以下のようにしてもよい。すなわち、上記フォトレジストの適用・露光によって、まず、金属箔11、金属板16のめっきすべき領域(パターン11a、16aとすべき領域)を残すようにこのレジストをパターニングする。続いて、このレジストをマスクに所定のめっき(例えばニッケル層、続いて金層のめっき)を施し、次に、このめっきパターンをマスクに金属箔11、金属板16をエッチング除去する方法である。
【0048】
また、パターン16aは、ここでは、半導体パッケージとしてのフレームとするため絶縁板13上に枠状に残るように形成しているが、用途に応じてパターン化したりあるいはすべて除去してもよい。いずれの場合も、金属層22は金属板16から分離され、絶縁板13面上の配線パターンとして独立する。独立された金属層22は、さらに、その内層たる例えば金層19が露出するように、表層に現れた例えばニッケル層18が除去される。ニッケル層18の除去には、例えば過酸化水素水を薬液としたエッチング処理を用いることができる。
【0049】
このような処理により、金属層22aは、表層に例えば金層19、その下地に例えばニッケル層20、さらにその地金として例えば銅層21を有する積層構造の配線パターンとなる。ここでの金層19は、ボンディング技術による接続にも有用である。
【0050】
以上のようにして得られた両面配線板を半導体パッケージ用部材として用いることにより、例えば図3(c)に示すような、半導体チップを封止した半導体パッケージを得ることができる。このため、必要な工程としては、パターン11a側の面として、パターン11a上を含めてハンダレジスト26やめっき層の形成、パターン11aに接続されたハンダボール27の形成などである。
【0051】
また、金属層22a側の面として、機能面を上に向けての半導体チップ23のマウント、半導体チップ23上のボンディングパッドと金属層22aとのボンディングワイヤ24による接続、封止樹脂25による半導体チップ23の封止などである。なお、パターン16aは、図3(c)に示す場合には、半導体パッケージのフレームとして機能するほか、封止樹脂25をせき止めるダムとしても機能し得る。これは、封止樹脂25を液状樹脂のポッティングにより形成する場合に有用である。
【0052】
以上説明のように、この実施形態では、金属層22の形成により両面配線板の片面の配線パターンについて微細なパターンとすることが可能である。また、より微細な配線パターンたる金属層22aの側には、層間導通手段たる導電性バンプ12の細い側端部が突き当たる構造となるので、金属層22a側の配線パターンの微細化により好ましい結果を与えることができる。
【0053】
また、金属層22aは、表層に例えば金層19が露出する形で絶縁板13上に形成されている。このため、さらに金めっきする工程を必要としない。従来であれば、配線パターン形成後に効率的にこのようなめっきをするためには、必要パターンに共通に電気的接続を有するめっき線をダミーパターンとして配線板上に描いておいてめっき電流供給を行なう必要がある。
【0054】
また、従来では、このダミーパターンの描かれた配線板部分が、不要部分としてめっき工程のあと除去されるまで、必要パターンとして電気的な導通チェックを行なうことができない。上記実施形態では、金属層22a側の必要パターンとしての導通チェックは、金属板16が除去されたあとであれば、いくつのも半導体パッケージ用部材たる両面配線板33がつながった状態においても行なうことができる。
【0055】
次に、上記実施形態の参考例に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合について、図4、図5を参照して説明する。図4、図5は、参考例に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図である。図4は、両面配線板の素材たる一部分の製造プロセスを示し、図5は、この素材により製造される、半導体チップを封止した半導体パッケージの製造プロセスを示す図である。なお、すでに説明した構成要素には同一符号を付してある。
【0056】
この製造方法は、図1ないし図3を用いて説明した上記実施形態たる製造方法と、導電性バンプを形成する対象が異なる。以下この点を中心に説明する。
【0057】
図4(a)、(b)、(c)は、それぞれ、図2(a)、(b)、(c)と全く同じなので、これらの説明は省略する。図4(c)に示すような配線板素材32が得られたら、次に、図4(d)に示すように、金属層22上の必要な位置(特定の両面配線板としてのレイアウトに従う位置)に導電性バンプ12aを形成し、導電性バンプ12aを有する配線板素材34を得る。導電性バンプ12aの形成は、すでに述べた導電性バンプ12の形成と同様の方法で行なうことができる。
【0058】
次に、図4(e)に示すように、絶縁板13とすべき半硬化状態のプリプレグを配線板素材34と一体化し、配線板素材35を形成する。このとき導電性バンプ12aが絶縁板13を貫通しその頭部が露出するようにする。この一体化は、例えば、プリプレグの金属板16に対向する面とは反対側面に離型シートをあてがい、この離型シート、プリプレグ、配線板素材34の三者を積層プレスすることによって行なうことができる。離型シートは、このプレスのあとはがされる。
【0059】
なお、この一体化では、金属層22が、絶縁板13の厚み方向に沈み込んだ構造になる。これは、絶縁板13とすべきプリプレグの熱可塑性・熱硬化性のためである。
【0060】
次に、以上のようにして得られた配線板素材35を用いて、図5に示すように、半導体チップを封止する半導体パッケージを製造する。
【0061】
まず、図5(a)に示すように、配線板素材35の導電性バンプ12a頭部が露出した絶縁板13面に、金属箔11を対向配置して積層加圧かつ加熱し、一体化する。このとき、導電性バンプ12aの頭部を塑性変形させて金属箔11との電気的接触を確立させる。また絶縁板13は加熱により完全に硬化させる。これにより、絶縁板13の両面に配線層(金属箔11および金属層22)を有する両面配線板36を得ることができる。
【0062】
次に、図5(b)に示すように、両面配線板36の両面の位置する金属板16、金属箔11を所定に(特定の両面配線板としてのレイアウトまたは構造に従うように)パターニングして、それぞれパターン16a、11aに加工する。これらのパターニング以下の工程、および図5(c)に示す工程については、すでに説明した図3(b)、(c)の説明と同様である。また、主な利点についても同様のことが言える。
【0063】
この参考例では、図5(c)に示すように、導電性バンプ12の細い側端部は、パターン11aに突き当たる構造になる。したがって、細い側端部が金属層22aに突き当たる構造の前述の実施形態ほどには、金属層22a側の配線パターンの微細化に寄与しないが、製造工程としては並列進行工程を必要としないなど単純化が図れる。
【0064】
また、以上述べた、図1ないし図3を用いて説明した実施形態、ならびに図4および図5を用いて説明した参考例では、両面配線板の片面の配線パターンについてより微細化する方法を述べているが、これらの形態から導かれる方法として、両面配線板の両面の配線パターンについてより微細化する方法も提供することができる。
【0065】
すなわち、図4(e)に示す配線板素材35と、図2(c)に示す配線板素材32とを積層加圧かつ加熱して一体化すれば、両面ともに配線パターンは、金属層22によるものとなり、両面の配線パターンともにより微細化されるものである。
【0066】
次に、本発明の他の実施形態に係る配線板の製造方法を、図6、図7を参照して説明する。図6、図7は、本発明の他の実施形態に係る配線板の製造方法としてのプロセスを示す模式図であり、図7は、このプロセスとしての図6の続き図である。図6、図7において、すでに説明した構成要素には同一符号を付してある。
【0067】
この実施形態は、図1ないし図3を用いて説明した実施形態(または図4および図5を用いて説明した参考例)により得られる両面配線板を素材に用いて4層配線板を形成するものである。4層の配線層を有する配線板とすることにより全体としてより複雑な配線パターンの配線板を提供することができる。
【0068】
まず、図6(a)に示すように、両面配線板33を用意する。これは、図3(a)に至るプロセスと同様のプロセスにより製造されたものである(ただし上下反対に描いてある)。両面配線板33に代えて、図5(a)に示した両面配線板36を用いてもよい。
【0069】
次に、図6(b)に示すように、両面配線板33の片面に位置する金属箔11を所定に(特定の4層配線板としてのレイアウトに従うように)パターニングしてパターン11aに加工し、配線板素材33aとする。なお、同様のプロセスにより形成されたもうひとつの配線板素材33bをのちの工程のため用意しておく。ここでのパターニングは、例えば、フォトレジストの適用・露光によるマスクの形成、このマスクによる金属箔11のエッチングなど、周知の方法を用いることができる。金属箔11が銅であれば、エッチングには、例えば銅アンモニウム錯イオンを主成分とする薬液や塩化第2銅溶液をエッチング液として使用することができる。
【0070】
次に、図6(c)に示すように、パターン11a上の必要な位置(特定の4層配線板としてのレイアウトに従う位置)に導電性バンプ41を形成する。導電性バンプ41の形成は、すでに述べた導電性バンプ12、12aの形成と同様の方法で行なうことができる。
【0071】
次に、図6(d)に示すように、絶縁板42とすべき半硬化状態のプリプレグを導電性バンプ41が形成された配線板素材33aと一体化する。絶縁板42とすべきプリプレグは、絶縁板13とすべきプリプレグと同様のものを用いることができる。一体化においては、導電性バンプ41が絶縁板42を貫通しその頭部が露出するようにする。このため、例えば、プリプレグの絶縁板13に対向する面とは反対側面に離型シートをあてがい、この離型シート、プリプレグ、配線板素材33aの三者を積層プレスすることによって一体化を行なう。離型シートは、このプレスのあとはがされる。
【0072】
なお、この一体化では、パターン11aが、絶縁板42の厚み方向に沈み込んだ構造になる。これは、絶縁板42とすべきプリプレグの熱可塑性・熱硬化性のためである。
【0073】
次に、図6(e)に示すように、導電性バンプ41頭部が露出した絶縁板42面に、上記した両面配線板33bにおけるパターン11a側を対向配置して積層加圧かつ加熱し、一体化する。このとき、導電性バンプ41の頭部を塑性変形させて両面配線板33b側のパターン11aとの電気的接触を確立させる。また絶縁板42は加熱により完全に硬化させる。これにより、内側配線層として2層のパターン11a、外側配線層として金属層22を有する4層配線板を得ることができる。
【0074】
なお、この一体化では、両面配線板33b側のパターン11aも、絶縁板42の厚み方向に沈み込んだ構造になる。これは、絶縁板42とすべきプリプレグの熱可塑性・熱硬化性のためである。また、導電性バンプは、図6(e)においていちばん下層に位置するものが、下端側太さが上端側太さより細く、中層に位置するものが、下端側太さが上端側太さより太く、いちばん上層に位置するものが、下端側太さが上端側の太さより太くなっている。これらの導電性バンプのうち、いちばん下層に位置するもの、いちばん上層に位置するものについては、その端部太さの配置関係が、両面配線板33を用いるか両面配線板36を用いるかにより変わる。
【0075】
次に、図7(a)に示すように、4層配線板の両面の位置する金属板16を所定に(特定の両面配線板としてのレイアウトまたは構造に従うように)パターニングして、パターン16aに加工する。パターニングは、例えば、フォトレジストの適用・露光によるマスクの形成、このマスクによる金属板16のエッチングなど、周知の方法を用いることができる。金属板16が銅であれば、エッチングには、例えば銅アンモニウム錯イオンを主成分とするエッチング液を使用することができる。これらは、図3(b)、図5(b)での説明と同様である。
【0076】
また、パターン16aは、ここでは、フレームとするため4層基板の片面に枠状に残るように形成しているが、用途に応じてパターン化したりあるいはすべて除去してもよい(ここではフレームとして残したパターン16aの反対面はすべて除去している。)。いずれの場合も、金属層22は、金属板16から分離され4層基板の両面の絶縁板面上の配線パターンとして独立する。独立された金属層22は、さらに、その内層たる例えば金層19が露出するように、表層に現れた例えばニッケル層18が除去される。ニッケル層18の除去には、例えば過酸化水素水を薬液としたエッチング処理を用いることができる。
【0077】
このような処理により、金属層22aは、表層に例えば金層19、その下地に例えばニッケル層20、さらにその地金として例えば銅層21を有する積層構造の配線パターンとなる。ここでの金層19は、例えば、半導体チップのフリップチップ接続に有用である。
【0078】
以上のようにして得られた4層配線板について、その両面の必要な領域にハンダレジスト43、44を形成して図7(b)に示すようにすることができる。さらに、例えば、片面については、金属層22a上にバンプ46を介して半導体チップ46をフリップチップ接続し、もう片面については、金属層22a上にハンダボール47を外部接続端子として設けることができる。これらの工程については、周知の方法を適宜用いてよい。
【0079】
以上説明のように、この実施形態では、金属層22の形成により4層配線板の両外側の配線パターンについて微細なパターンとすることが可能である。また、より微細な配線パターンたる金属層22aの側には、層間導通手段たる導電性バンプ12の細い側端部が突き当たる構造とすることが可能であり、金属層22a側の配線パターンの微細化により好ましい結果を与えることができる。
【0080】
また、両面配線板について、両面ともに配線パターンが金属層22によるものとなる場合を、すでに説明したが、このような両面とも微細な配線パターンを有する配線板を両面配線板33または36に代えて、上記で述べた4層配線板製造プロセスに適用すれば、ほぼ同様の手順により4層配線板において4層すべてを金属層22によるものにする(すなわち、4層ともにより微細な配線パターンとする)ことも可能である。
【0081】
なお、このような4層基板においては、内層となる配線層たる金属層22の形成については、必ずしも、外層となる金属層22と同様な積層構造にする必要はない。例えば銅層およびニッケル層の2層構造にすることができる。ここで、ニッケル層は、金属板16が銅である場合に、これがエッチング除去されるときのバリアとなる層である。
【0082】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明よれば、配線を形成するため、金属板上にレジストを適用してパターニングし、パターニングされたレジストをマスクに金属板上に金属層を形成する。この金属層のパターンは、エッチングにより形成されるものではないのでより微細なパターンとすることができる。
【0083】
このあと、金属層を有する金属板は絶縁板の片面側に着設され、この金属層が、絶縁板を貫通する導電性バンプにより絶縁板の反対側面に存在する金属箔との電気的接続を確立するように、一体化される。一体化されたあとには、容易に、配線たる金属層を形成するための台部材として機能した金属板を例えばエッチングにより除去することができる。したがって、配線パターンをより微細にすることが可能な配線板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図であって、両面配線板の素材たる一部分の製造プロセスを示す模式図。
【図2】 本発明の一実施形態に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図であって、両面配線板の素材たる他の一部分の製造プロセスを示す模式図。
【図3】 本発明の一実施形態に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図であって、図1、図2に示したプロセスにより製造された素材により、半導体チップを封止した半導体パッケージを製造するプロセスを示す模式図。
【図4】 参考例に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図であって、両面配線板の素材たる一部分の製造プロセスを示す模式図。
【図5】 参考例に係る配線板の製造方法を、半導体チップを封止する半導体パッケージの製造に応用する場合のプロセスを示す模式図であって、図4に示したプロセスにより製造された素材により、半導体チップを封止した半導体パッケージを製造するプロセスを示す模式図。
【図6】 本発明の他の実施形態に係る配線板の製造方法としてのプロセスを示す模式図。
【図7】 図6の続図であって、本発明の他の実施形態に係る配線板の製造方法としてのプロセスを示す模式図。
【図8】 導電性バンプを配線層間の導通手段として用いる両面配線板の製造方法の一例を示す模式図(従来図)。
【図9】 図8(d)における、パターニングされたマスク105により、細かいパターン104aを形成した場合の拡大模式図。
【符号の説明】
11…金属箔 11a…パターン 12、12a…導電性バンプ 13…絶縁板 16…金属板 16a…パターン 17…レジスト 18…ニッケル層 19…金層 20…ニッケル層 21…銅層 22…金属層 22a…金属層 23…半導体チップ 24…ボンディングワイヤ 25…封止樹脂 26…ハンダレジスト 27…ハンダボール 31、32、34、35…配線板素材 33、33a、33b、36…両面配線板 41…導電性バンプ 42…絶縁板 43、44…ハンダレジスト 45…半導体チップ 46…バンプ 47…ハンダボール
Claims (6)
- 金属箔上に導電性バンプを形成する工程と、
前記金属箔の前記形成された導電性バンプの存在する側の面に対向して熱硬化性を有する半硬化状態の絶縁板を配置し、前記形成された導電性バンプが前記絶縁板を貫通してその頭部が露出するように、積層加圧して一体化素材を形成する工程と、
金属板上にレジストを適用し前記適用されたレジストをパターニングする工程と、
前記パターニングされたレジストをマスクに前記金属板上に積層化された金属層を形成する工程と、
前記形成された一体化素材の前記絶縁板側の面に対向して前記金属板の前記積層化金属層の存在する側の面を配置し、前記頭部が露出されている前記導電性バンプと前記積層化金属層との電気的接続が確立するように、積層加圧かつ加熱して一体化し両面配線板を形成する工程と、
前記形成された両面配線板の前記金属箔の一部をエッチングする工程と
を具備することを特徴とする配線板の製造方法。 - 前記両面配線板の前記エッチングの残留部分たる金属箔上に第2の導電性バンプを形成する工程と、
前記両面配線板の前記形成された第2の導電性バンプの存在する側の面に対向して熱硬化性を有する半硬化状態の第2の絶縁板を配置し、前記形成された第2の導電性バンプが前記第2の絶縁板を貫通してその頭部が露出するように、積層加圧して第2の一体化素材を形成する工程と、
前記形成された第2の一体化素材の前記第2の絶縁板側の面に対向して、前記両面配線板と同様の構成を有しかつその金属箔の一部がエッチングされている第2の両面配線板の前記金属箔の存在する側の面を配置し、前記頭部が露出されている前記第2の導電性バンプと前記第2の両面配線板の前記金属箔との電気的接続が確立するように、積層加圧かつ加熱して一体化し4層配線板を形成する工程と、
前記形成された4層配線板の外側に位置する金属板の少なくとも一部をエッチングする工程と
をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の配線板の製造方法。 - 金属層を形成する前記工程は、電解めっきによりなされ、かつ前記金属板が電解めっき電流供給導電体として利用されることを特徴とする請求項1または2記載の配線板の製造方法。
- 前記金属板は、銅板であり、金属層を形成する前記工程は、前記銅板の上に第1のニッケル層、金層、第2のニッケル層、および銅層の順に形成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載の配線板の製造方法。
- 前記金属板のエッチングにより露出された前記積層化金属層の前記第1のニッケル層をエッチングする工程をさらに具備することを特徴とする請求項4記載の配線板の製造方法。
- 金属板の少なくとも一部をエッチングする前記工程は、前記金属板を枠状に残すようになされることを特徴とする請求項2記載の配線板の製造方法。
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