JP4287504B1 - 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 - Google Patents
導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4287504B1 JP4287504B1 JP2008556599A JP2008556599A JP4287504B1 JP 4287504 B1 JP4287504 B1 JP 4287504B1 JP 2008556599 A JP2008556599 A JP 2008556599A JP 2008556599 A JP2008556599 A JP 2008556599A JP 4287504 B1 JP4287504 B1 JP 4287504B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive polymer
- solid electrolyte
- film
- actuator
- organic polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G—SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G7/00—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
- F03G7/005—Electro-chemical actuators; Actuators having a material for absorbing or desorbing gas, e.g. a metal hydride; Actuators using the difference in osmotic pressure between fluids; Actuators with elements stretchable when contacted with liquid rich in ions, with UV light, with a salt solution
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
本発明の屈曲型導電性高分子アクチュエータは、フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンオキシド、ポリアクリロニトリルの少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータであって、前記導電性高分子膜表面にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体からなる第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
その他、本発明に関連し得る文献として、特許文献3および特許文献4が挙げられる。
一対の電極と、
前記一対の電極の間に挟まれる積層構造と
を具備している屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記積層構造は、
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)の少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合体からなり、前記固体電解質膜上に形成された導電性高分子膜と
を具備し、
前記導電性高分子膜表面にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれ、かつ
前記固体電解質膜と前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面とが接している。
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータを用意する工程、および
前記一対の電極に電圧を印加する工程
を有する。
基板上に導電性高分子分散液または溶液を塗付し、前記分散液または溶液が乾燥し固体膜となる前にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる第2の有機ポリマーを散布、塗付の手段を用いて分散された状態で埋め込む工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面を対向させて積層させる工程と
を有する。
予めフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる、比重が前記導電性高分子分散液または溶液よりも小さい第2の有機ポリマーを導電性高分子分散液または溶液中に分散させることによって前記導電性高分子膜表面に前記第2の有機ポリマーを分散された状態で埋め込む工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面を対向させて積層させる工程と
を有する。
固体電解質膜の片面に導電性高分子膜を積層させ、固体電解質膜のもう片面には電圧を印加するために金属電極薄膜(対極)を形成した構造であっても同様に屈曲動作するが、固体電解質膜の両面に導電性高分子膜を積層することでより大きな屈曲変位が得られる。
[第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている導電性高分子膜作製]
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、5重量パーセントのジメチルスルホキシド(DMSO)、0.1重量パーセントのフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を混合したPEDOTとPSS混合体の水分散液(スタルク社製、商品名バイトロンPH500)を所定量滴下した。P(VDF/HFP)の比重はPEDOTとPSS混合体の水分散液よりも小さいためにP(VDF/HFP)は混合液の上部に浮上する。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上にPVPが分散された状態で埋め込まれている導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた導電性高分子膜は平均厚さ20μm、四端針法を用いて測定した導電率は230S/cmであった。
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、エチルメチルイミダゾリウム(EMI)、アニオンとして、ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド[(CF3SO2)2N−](TFSI)を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を用いた。EMITFSIとP(VDF/HFP)混合比は重量比で8:2とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。
厚み0.1mmのポリエチレンテレフタレート(PET)シートを76mm×26mmの大きさに裁断し、これを大きさ76mm×26mmのスライドグラスに密着させた。これを2組作製した。そして、二つのPETシートが所定の間隔を空けて対向するように、40μm厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて100℃、30分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ40μmのイオンゲル含浸紙を得た。PETシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲルを電解質イオンゲルと記す。
電解質イオンゲルの両面に、導電性高分子膜の[P(VDF/HFP)]が分散された状態で埋め込まれている面を対向させて重ね、恒温槽にて100℃、30分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜/電解質イオンゲル/導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅2.5mm、長さ15mmに裁断し、一端部から長手方向に5mmの領域に幅2mm、長さ10mmの白金電極を取り付け、可動部長さ10mmの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
[第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている導電性高分子膜作製]
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、5重量パーセントのNメチルピロリドン(NMP)を混合したPEDOTとPSS混合体の水分散液(スタルク社製、商品名バイトロンPH500)を所定量滴下した。この膜が乾燥する前にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]をPEDOTとPSS混合体の水分散液に対して1重量パーセント表面に散布し、その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上にP(VDF/HFP)が分散された状態で埋め込まれている導電性高分子膜を形成した。
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、ブチルメチルイミダゾリウム(BMI)、アニオンとしてヘキサフルオロリン酸アニオン(PF6 −)を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を用いた。EMITFSIとP(VDF/HFP)混合比は重量比で8:2とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。
厚み0.1mmのポリエチレンテレフタレート(PET)シートを76mm×26mmの大きさに裁断し、これを大きさ76mm×26mmのスライドグラスに密着させた。これを2組作製した。そして、二つのPETシートが所定の間隔を空けて対向するように、40μm厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて100℃、30分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ40μmのイオンゲル含浸紙を得た。PETシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲル含浸紙を電解質イオンゲルと記す。
電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を対向させて重ね、恒温槽にて100℃、30分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜/電解質イオンゲル/導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅2.5mm、長さ15mmに裁断し、一端部から長手方向に5mmの領域に幅2mm、長さ10mmの白金電極を取り付け、可動部長さ10mmの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を0.5、1、5、10、20重量パーセント混合した以外実施例1と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。これらのアクチュエータに±1.0Vの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をした。これらは実施例1および2と同様に長期連続駆動においても安定して屈曲動作することが可能であった。一方 フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を20重量パーセント溶解させた分散液は膜質が非常に脆く実施例1と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製することが出来なかった(表3)。
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、5重量パーセントのジメチルスルホキシド(DMSO)を溶解したPEDOTとPSS混合体の水分散液(スタルク社製、商品名バイトロンPH500)を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、5重量%のNメチルピロリドン(NMP)を溶解したPEDOTとPSS混合体の水分散液(スタルク社製、商品名バイトロンPH500)を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上に導電性高分子膜を形成した。最後に、シリコン基板を50体積%の水酸化カリウム水溶液に浸漬し、導電性高分子膜を基板から剥離した。
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、5重量パーセントのジメチルスルホキシド(DMSO)を溶解したPEDOTとPSS混合体の水分散液(スタルク社製、商品名バイトロンPH500)を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。導電性高分子膜を形成した後に、フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]を表面に散布した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。
102a 導電性高分子膜
102b 導電性高分子膜
103 固体電解質膜
104a 第2の有機ポリマー
104b 第2の有機ポリマー
105a 電極
105b 電極
201 アクチュエータ素子
202a 導電性高分子膜
202b 導電性高分子膜
203 固体電解質膜
204a 電極
204b 電極
Claims (6)
- 一対の電極と、
前記一対の電極の間に挟まれる積層構造と
を具備している屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記積層構造は、
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)の少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合体からなり、前記固体電解質膜上に形成された導電性高分子膜と
を具備し、
前記導電性高分子膜表面にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれ、かつ
前記固体電解質膜と前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面とが接している
ことを特徴とする屈曲型導電性高分子アクチュエータ。 - 前記固体電解質膜の両面に前記導電性高分子膜が形成されている、請求項1に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
- 屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記駆動方法は、
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータを用意する工程、および
ここで、前記屈曲型導電性高分子アクチュエータは、
一対の電極と、
前記一対の電極の間に挟まれる積層構造と
を具備しており、
前記積層構造は、
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)の少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に形成されたポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合体からなり、前記固体電解質膜上に形成された導電性高分子膜と
を具備し、
前記導電性高分子膜表面にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれ、かつ
前記固体電解質膜と前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面とが接しており、
前記一対の電極に電圧を印加する工程
を有する、屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。 - 前記固体電解質膜の両面に前記導電性高分子膜が形成されている、請求項3に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
- 一対の電極と、
前記一対の電極の間に挟まれる積層構造と
を具備し、
前記積層構造は、
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)の少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に形成されたポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合体からなり、前記固体電解質膜上に形成された導電性高分子膜と
を具備している屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
基板上に導電性高分子分散液または溶液を塗付し、前記分散液または溶液が乾燥し固体膜となる前にフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる第2の有機ポリマーを散布、塗付の手段を用いて分散された状態で埋め込む工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面を対向させて積層させる工程と
を有することを特徴とする屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。 - 一対の電極と、
前記一対の電極の間に挟まれる積層構造と
を具備し、
前記積層構造は、
フッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロスルホン酸/PTFE共重合体、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)の少なくとも一種以上を含む第1の有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に形成されたポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合体からなり、前記固体電解質膜上に形成された導電性高分子膜と
を具備している屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
予めフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体[P(VDF/HFP)]からなる、比重が前記導電性高分子分散液または溶液よりも小さい第2の有機ポリマーを導電性高分子分散液または溶液中に分散させることによって前記導電性高分子膜表面に前記第2の有機ポリマーを分散された状態で埋め込む工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜表面の前記第2の有機ポリマーが分散された状態で埋め込まれている面を対向させて積層させる工程と
を有することを特徴とする屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/002219 WO2010018612A1 (ja) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4287504B1 true JP4287504B1 (ja) | 2009-07-01 |
JPWO2010018612A1 JPWO2010018612A1 (ja) | 2012-01-26 |
Family
ID=40921813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008556599A Active JP4287504B1 (ja) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7733000B2 (ja) |
JP (1) | JP4287504B1 (ja) |
CN (1) | CN101828330B (ja) |
WO (1) | WO2010018612A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011024219A1 (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 導電性高分子アクチュエータ、並びにその駆動方法および製造方法 |
WO2011070853A1 (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | 株式会社ニコン | 空間光変調器、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7872396B2 (en) | 2004-06-14 | 2011-01-18 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrochemical actuator |
US8247946B2 (en) * | 2004-06-14 | 2012-08-21 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrochemical actuator |
EP1784890A4 (en) | 2004-06-14 | 2010-04-07 | Massachusetts Inst Technology | ELECTROCHEMICAL METHODS, DEVICES AND STRUCTURES |
JP4552916B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2010-09-29 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US7828771B2 (en) * | 2007-07-26 | 2010-11-09 | Entra Pharmaceuticals, Inc. | Systems and methods for delivering drugs |
JP5402140B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2014-01-29 | ソニー株式会社 | アクチュエータ |
CN102342013B (zh) * | 2009-05-26 | 2014-07-16 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 高分子促动器装置 |
JP5473483B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2014-04-16 | キヤノン株式会社 | アクチュエータ |
JP5733938B2 (ja) * | 2009-12-08 | 2015-06-10 | キヤノン株式会社 | アクチュエータ |
JP5466758B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2014-04-09 | アルプス電気株式会社 | 高分子アクチュエータを用いた駆動装置 |
US8337457B2 (en) | 2010-05-05 | 2012-12-25 | Springleaf Therapeutics, Inc. | Systems and methods for delivering a therapeutic agent |
WO2012023989A2 (en) | 2010-08-20 | 2012-02-23 | Rhodia Operations | Polymer compositions, polymer films, polymer gels, polymer foams, and electronic devices containing such films, gels, and foams |
US8368285B2 (en) | 2010-12-17 | 2013-02-05 | Massachusette Institute Of Technology | Electrochemical actuators |
JP5942338B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2016-06-29 | デクセリアルズ株式会社 | 駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置 |
JP2013123366A (ja) * | 2011-11-10 | 2013-06-20 | Canon Inc | アクチュエータ |
CN103998777B (zh) * | 2011-12-19 | 2016-12-07 | 松下电器产业株式会社 | 致动器 |
JP5848639B2 (ja) * | 2012-03-07 | 2016-01-27 | 本田技研工業株式会社 | バルブ装置、及び油圧回路の故障検出装置 |
JP5954412B2 (ja) | 2012-04-23 | 2016-07-20 | 株式会社村田製作所 | 複合材料、アクチュエータおよびそれらの製造方法 |
JP6322900B2 (ja) * | 2013-04-26 | 2018-05-16 | デクセリアルズ株式会社 | ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置 |
JP6108138B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2017-04-05 | 株式会社村田製作所 | 導電パターン付絶縁基材 |
KR102287697B1 (ko) * | 2014-12-12 | 2021-08-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액츄에이터, 이를 포함하는 표시 장치 및 액츄에이터의 제조 방법 |
KR102313293B1 (ko) * | 2014-12-30 | 2021-10-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액츄에이터, 액츄에이터 구동 방법 및 액츄에이터를 포함하는 표시 장치 |
KR101714713B1 (ko) * | 2015-09-23 | 2017-03-09 | 숭실대학교산학협력단 | 센서 결합형 액추에이터 햅틱 소자와 그 제작방법 |
KR102476387B1 (ko) * | 2015-12-31 | 2022-12-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 접촉 감응 소자 및 이를 포함하는 표시 장치 |
US11189779B2 (en) | 2016-06-07 | 2021-11-30 | Koninklijke Philips N.V. | Electroactive polymer actator |
TWI798160B (zh) * | 2016-06-30 | 2023-04-11 | 施奕兆 | 磺酸化聚偏氟乙烯(S-PVdF)及磺酸化聚偏氟乙烯-六氟丙烯共聚物含質子性離子液體之複合薄膜、製備方法及其應用 |
US10007347B1 (en) * | 2017-03-09 | 2018-06-26 | Immersion Corporation | Fiber actuator for haptic feedback |
US11233189B2 (en) | 2018-12-11 | 2022-01-25 | Facebook Technologies, Llc | Nanovoided tunable birefringence |
CN111403431B (zh) | 2019-01-02 | 2023-09-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性体及控制其发生形变的方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6812624B1 (en) * | 1999-07-20 | 2004-11-02 | Sri International | Electroactive polymers |
CA2255993A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-15 | Wataru Takashima | Artificial muscles |
JP4154474B2 (ja) | 1998-01-09 | 2008-09-24 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | アクチュエータ素子の製造方法 |
JPH11169394A (ja) * | 1997-12-15 | 1999-06-29 | Keiichi Kanefuji | 金属電極を表面に有する人工筋肉体 |
US6545391B1 (en) * | 1999-10-22 | 2003-04-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Polymer-polymer bilayer actuator |
US6982514B1 (en) * | 2000-05-22 | 2006-01-03 | Santa Fe Science And Technology, Inc. | Electrochemical devices incorporating high-conductivity conjugated polymers |
JP3983731B2 (ja) | 2003-01-28 | 2007-09-26 | トッパン・フォームズ株式会社 | 導電性高分子ゲル及びその製造方法、アクチュエータ、イオン導入用パッチラベル並びに生体電極 |
KR100968107B1 (ko) | 2003-01-28 | 2010-07-06 | 돗빤호무즈가부시기가이샤 | 도전성 고분자 겔 및 그 제조 방법, 액추에이터, 이온도입용 패치 라벨, 생체 전극, 토너, 도전 기능 부재, 대전방지 시트, 인쇄 회로 부재, 도전성 페이스트, 연료전지용 전극, 및 연료 전지 |
JP4038685B2 (ja) | 2003-12-08 | 2008-01-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | アクチュエータ素子 |
JP2006050780A (ja) | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Japan Carlit Co Ltd:The | 導電性高分子アクチュエータ |
JP2006129541A (ja) | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高分子アクチュエータデバイス |
WO2006046620A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Asahi Glass Company, Limited | 電解質材料、電解質膜、及び固体高分子形燃料電池用膜電極接合体 |
JP4802680B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2011-10-26 | ソニー株式会社 | アクチュエータ |
US7443082B2 (en) * | 2006-03-03 | 2008-10-28 | Basf Corporation | Piezoelectric polymer composite article and system |
JP5156940B2 (ja) | 2006-06-08 | 2013-03-06 | 国立大学法人福井大学 | 高分子アクチュエータおよびその製造方法 |
JP5098232B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2012-12-12 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | アクチュエータ素子、及びアクチュエータ素子の製造方法 |
WO2009150697A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | パナソニック株式会社 | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 |
-
2008
- 2008-08-15 CN CN2008800074385A patent/CN101828330B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-08-15 JP JP2008556599A patent/JP4287504B1/ja active Active
- 2008-08-15 WO PCT/JP2008/002219 patent/WO2010018612A1/ja active Application Filing
-
2009
- 2009-05-01 US US12/434,456 patent/US7733000B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011024219A1 (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 導電性高分子アクチュエータ、並びにその駆動方法および製造方法 |
WO2011070853A1 (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | 株式会社ニコン | 空間光変調器、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100039001A1 (en) | 2010-02-18 |
CN101828330B (zh) | 2012-05-30 |
US7733000B2 (en) | 2010-06-08 |
CN101828330A (zh) | 2010-09-08 |
WO2010018612A1 (ja) | 2010-02-18 |
JPWO2010018612A1 (ja) | 2012-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4287504B1 (ja) | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP4256469B1 (ja) | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP4256470B1 (ja) | 導電性高分子アクチュエータ、その製造方法、およびその駆動方法 | |
JP4038685B2 (ja) | アクチュエータ素子 | |
Duncan et al. | Beyond Nafion: charged macromolecules tailored for performance as ionic polymer transducers | |
JP2010161870A (ja) | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 | |
US9966525B2 (en) | Carbon nanofiber actuator | |
JP4691703B2 (ja) | アクチュエータ素子およびその製造方法 | |
JP2010283926A (ja) | 高分子トランスデューサ | |
JP6964855B2 (ja) | 導電性薄膜、積層体、アクチュエータ素子及びその製造方法 | |
Khan et al. | Soft actuator based on Kraton with GO/Ag/Pani composite electrodes for robotic applications | |
JP4777488B2 (ja) | 平板積層型導電性高分子アクチュエータ | |
Terasawa et al. | Performance enhancement of PEDOT: poly (4-styrenesulfonate) actuators by using ethylene glycol | |
JP2011205751A (ja) | 導電性高分子アクチュエータ及びアクチュエータ用駆動素子の製造方法 | |
Malone et al. | Freeform fabrication of electroactive polymer actuators and electromechanical devices | |
JP4985320B2 (ja) | 高分子アクチュエータ及びその製造方法 | |
WO2011024219A1 (ja) | 導電性高分子アクチュエータ、並びにその駆動方法および製造方法 | |
JP6359248B2 (ja) | 導電性薄膜、積層体、アクチュエータ素子及びその製造法 | |
JP7307931B2 (ja) | 導電性薄膜、積層体、アクチュエータ素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090326 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120403 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4287504 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130403 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130403 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140403 Year of fee payment: 5 |