JP6322900B2 - ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置 - Google Patents
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- 229920000642 polymer Polymers 0.000 title claims description 387
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 185
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 179
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 15
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 37
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 30
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 30
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 25
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 description 13
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 9
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 8
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 8
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000557 Nafion® Polymers 0.000 description 4
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 4
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 4
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 2
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 1H-imidazole Chemical group C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002972 Acrylic fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLVVSXFLKOJNIY-UHFFFAOYSA-N Magnesium ion Chemical compound [Mg+2] JLVVSXFLKOJNIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N Potassium ion Chemical compound [K+] NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical compound [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000007824 aliphatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000005210 alkyl ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000004693 imidazolium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000003273 ketjen black Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910001425 magnesium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G—SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G7/00—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
- F03G7/008—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for characterised by the actuating element
- F03G7/012—Electro-chemical actuators
- F03G7/0121—Electroactive polymers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/09—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G—SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G7/00—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
- F03G7/027—Control or monitoring
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G—SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G7/00—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/857—Macromolecular compositions
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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Description
1.実施の形態(アクチュエータ素子またはセンサー素子として用いた場合の例)
2.変形例
変形例1〜5(伸縮抑制層の他の構成例)
3.適用例
適用例1(レンズを駆動する駆動装置を備えた撮像装置への適用例)
適用例2(撮像素子を駆動する駆動装置を備えた撮像装置への適用例)
4.その他の変形例
[ポリマー素子1の構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係るポリマー素子(ポリマー素子1)の断面構成例(Z−X断面構成例)を表したものである。また、図2は、このポリマー素子1における積層構造を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。ポリマー素子1は、後述するように、例えばポリマーアクチュエータ素子またはポリマーセンサ素子等として機能するものである。
高分子層10は、例えばイオン物質が含浸されたイオン導電性高分子化合物膜からなる。ここで言う「イオン物質」とは、高分子層10内を伝導することが可能なイオン全般を指している。具体的には、水素イオンや金属イオン単体、またはそれら陽イオンおよび/または陰イオンと極性溶媒とを含むもの、あるいはイミダゾリウム塩などのそれ自体が液状である陽イオンおよび/または陰イオンを含むものを意味する。前者としては、例えば、陽イオンおよび/または陰イオンに極性溶媒が溶媒和したものが挙げられ、後者としては、例えばイオン液体が挙げられる。
電極層12A,12Bはそれぞれ、1種あるいは2種以上の導電性材料を含んでいる。これら電極層12A,12Bはそれぞれ、導電性材料粉末同士がイオン導電性高分子により結着されたものが好ましい。電極層12A,12Bの柔軟性が高まるからである。導電性材料粉末としてはカーボン粉末が好ましい。導電性が高く、比表面積が大きいため、より大きい変形量が得られるからである。カーボン粉末としては、ケッチェンブラックが好ましい。イオン導電性高分子としては、上記した高分子層10の構成材料と同様のものが好ましい。
伸縮抑制層11は、高分子層10における層内(面内)方向の伸縮を抑制する機能(例えば、高分子層10の体積変化率を5%未満に抑える機能)を有する層である。この伸縮抑制層11は、一対の電極層12A,12Bの間において、各電極層12A,12Bから離間配置されている。具体的には、この例では、伸縮抑制層11は、高分子層10における厚み方向の中央付近に配置されている。すなわち、電極層12Aから伸縮抑制層11までの離間距離d1Aと、電極層12Bから伸縮抑制層11までの離間距離d1Bとが、互いに略等しく(d1A≒d1B)、望ましくは等しく(d1A=d1B)なっている。つまり、この例ではポリマー素子1は、厚み方向に沿って対称の構造(上下対称の構造)となっている。
本実施の形態のポリマー素子1は、例えば次のようにして製造することができる。すなわち、まず、前述した材料からなる一対の電極層12A,12Bをそれぞれ、前述した手法を用いて形成する。また、前述した材料からなる高分子層10A,10Bをそれぞれ形成する。
(A.ポリマーアクチュエータ素子として機能する場合の基本動作)
本実施の形態のポリマー素子1では、電極層12A,12Bの間に所定の電位差が生じると、以下の原理にて、高分子層10において変形(湾曲)が生じる。つまり、この場合には、ポリマー素子1がポリマーアクチュエータ素子として機能することになる。
また、本実施の形態のポリマー素子1では、逆に、高分子層10が厚み方向と直交する方向(ここではZ軸方向)へ変形(湾曲)すると、以下の原理にて、電極層12Aと電極層12Bとの間に電圧(起電力)が生じる。つまり、この場合には、ポリマー素子1がポリマーセンサ素子(例えば、速度センサや加速度センサ等)として機能することになる。以下、図3A,図3B,図3Cを参照して、このポリマーセンサ素子としての動作について、上記と同様に陽イオン物質の種類に応じて場合分けをしつつ説明する。
続いて、本実施の形態のポリマー素子1における伸縮抑制層11の作用について、比較例(比較例1,2)と比較しつつ詳細に説明する。図4は、比較例1に係るポリマー素子(ポリマー素子101)の断面構成(Z−X断面構成)を表したものであり、図5は、比較例2に係るポリマー素子(ポリマー素子201)の断面構成(Z−X断面構成)を表したものである。
まず、図4に示した比較例1のポリマー素子101では、本実施の形態のポリマー素子1とは異なり、伸縮抑制層11が設けられていない。したがって、このポリマー素子101では、周囲の環境変化(温度や湿度等の変化)に起因して、形状変化(寸法変化)が生じてしまう。具体的には、図4中の矢印で示したように、周囲の環境変化に起因して高分子層10が層内方向(この例ではX−Y面内方向)に沿って伸び縮みし、その結果、ポリマー素子101全体としての特性(変形特性等)が劣化してしまうことになる。
一方、図5に示した比較例2のポリマー素子201では、上記比較例1とは異なり、一対の電極層12A,12Bの間に伸縮抑制層11が設けられている。したがって、このポリマー素子201ではポリマー素子101と比べ、周囲の環境変化に起因した形状変化が抑えられる。具体的には、図5中の矢印および×印で示したように、周囲の環境変化に起因した高分子層10の層内方向に沿った伸び縮みが抑えられ、その結果、ポリマー素子201全体としての変形特性等の劣化が抑制される。
これに対して本実施の形態のポリマー素子1では、図1および図2に示したように、まず上記比較例2と同様に、一対の電極層12A,12Bの間に伸縮抑制層11が設けられている。したがって、このポリマー素子1においてもポリマー素子201と同様に、周囲の環境変化に起因した形状変化が抑えられる。具体的には、図6中の矢印および×印で示したように、周囲の環境変化に起因した高分子層10の層内方向に沿った伸び縮みが抑えられ、その結果、ポリマー素子1全体としての変形特性等の劣化が抑制される。
次いで、本実施の形態における具体的な実施例について、比較例(比較例1,3)と比較しつつ説明する。ここで、実施例および比較例1,3の各条件は、以下の通りである。
・電極層12A,12B …カーボン粉末(濃度=40重量%)、膜厚=25μm
・高分子層10および伸縮抑制層11 …基材としてナフィオン(登録商標)を使用
・伸縮抑制層11A,11B …ガラスペーパー(空隙率=90%、ガラス繊維径=1μm)を含有、膜厚=各々25μm
・高分子層10A,10B …ガラスペーパー(空隙率=90%、ガラス繊維径=1μm)を非含有、膜厚=各々25μm
・伸縮抑制層11A,11Bが各電極層12A,12Bから離間配置
・電極層12A,12B …カーボン粉末(濃度=40重量%)、膜厚=25μm
・高分子層10A〜10D …基材としてナフィオン(登録商標)を使用、ガラスペーパー(空隙率=90%、ガラス繊維径=1μm)を非含有、膜厚=各々25μm
・伸縮抑制層11が無し
・電極層12A,12B …カーボン粉末(濃度=40重量%)、膜厚=25μm
・高分子層10および伸縮抑制層11 …基材としてナフィオン(登録商標)を使用
・伸縮抑制層11A,11B …ガラスペーパー(空隙率=90%、ガラス繊維径=1μm)を含有、膜厚=各々25μm
・高分子層10A,10B …ガラスペーパー(空隙率=90%、ガラス繊維径=1μm)を非含有、膜厚=各々25μm
・伸縮抑制層11A,11Bが各電極層12A,12Bと接触配置
続いて、上記実施の形態の変形例(変形例1〜5)について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
図12は、変形例1に係るポリマー素子(ポリマー素子1A)の構成例を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。本変形例のポリマー素子1Aは、上記実施の形態のポリマー素子1において、伸縮抑制層11を複数層(この例では2層)の積層構造とすると共に伸縮抑制の方向を複数種類設けたものに対応しており、他の構成は同様となっている。
図13は、変形例2に係るポリマー素子(ポリマー素子1B)の構成例を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。本変形例のポリマー素子1Bは、上記比較例1と同様に、実施の形態のポリマー素子1において、伸縮抑制層11を複数層(この例では3層)の積層構造とすると共に伸縮抑制の方向を複数種類設けたものに対応しており、他の構成は同様となっている。
図15は、変形例3に係るポリマー素子(ポリマー素子1C)の構成例を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。また、図16は、変形例4に係るポリマー素子(ポリマー素子1D)の構成例を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。これらのポリマー素子1C,1Dではそれぞれ、これまでに説明したポリマー素子1,1A,1Bとは異なり、伸縮抑制層11C,11Dがそれぞれ、高分子層10の形成領域(X−Y平面内)のうちの一部分のみに配置されている。なお、他の構成については、基本的にはポリマー素子1と同様となっている。
図17は、変形例5に係るポリマー素子(ポリマー素子1E)の構成例を、模式的に斜視図および分解斜視図で表わしたものである。本変形例のポリマー素子1Eもまた、上記変形例3,4と同様に、伸縮抑制層11Eが、高分子層10の形成領域(X−Y平面内)のうちの一部分のみに配置されている。なお、他の構成については、基本的にはポリマー素子1と同様となっている。
続いて、上記実施の形態および変形例1〜5に係るポリマー素子の適用例(撮像装置への適用例;適用例1,2)について説明する。
(携帯電話機8の構成)
図18および図19は、上記実施の形態等のポリマー素子の適用例1に係る撮像装置を備えた電子機器の一例として、撮像機能付き携帯電話機(携帯電話機8)の概略構成を斜視図で表わしたものある。この携帯電話機8では、2つの筐体81A,81B同士が、図示しないヒンジ機構を介して折り畳み自在に連結されている。
図20は、撮像装置2の概略構成例を斜視図で表したものであり、図21は、この撮像装置2におけるレンズモジュール4の構成を分解斜視図で表したものである。
図22A,図22Bはそれぞれ、レンズモジュール4の概略構成例を側面図(Z−X側面図)で模式的に表したものであり、図22Aは動作前の状態を、図22Bは動作後の状態をそれぞれ示している。
続いて、上記実施の形態等のポリマー素子の適用例2に係る撮像装置(カメラモジュール)について説明する。本適用例に係る撮像装置もまた、例えば前述した図18,図19に示したような、撮像機能付き携帯電話機8に内蔵されるようになっている。ただし、適用例1の撮像装置2では、ポリマー素子(ポリマーアクチュエータ素子)をレンズ駆動装置として用いていたのに対し、本適用例の撮像装置では以下説明するように、撮像素子3を駆動するための駆動装置として用いている。
図23は、本適用例に係る撮像装置(撮像装置2A)の概略構成例を、側面図(Z−X側面図)で表したものである。この撮像装置2Aは、基板60上に、各種部材を保持するためのハウジング61を備えている。
図24A,図24Bはそれぞれ、撮像装置2Aの一部(上記した撮像素子駆動装置)を側面図(Z−X側面図)で模式的に表したものであり、図24Aは動作前の状態を、図24Bは動作後の状態をそれぞれ示している。
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本開示の技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
(1)
一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を備えたポリマー素子。
(2)
前記伸縮抑制層は、前記高分子層における厚み方向の中央付近に配置されている
上記(1)に記載のポリマー素子。
(3)
前記一対の電極層のうちの一方の電極層から前記伸縮抑制層までの離間距離と、他方の電極層から前記伸縮抑制層までの離間距離とが、互いに略等しい
上記(2)に記載のポリマー素子。
(4)
前記伸縮抑制層は、イオン伝導性を有する
上記(1)ないし(3)のいずれかに記載のポリマー素子。
(5)
前記伸縮抑制層が、繊維状膜または多孔質膜とイオン導電性樹脂とからなる
上記(4)に記載のポリマー素子。
(6)
前記伸縮抑制層が、前記高分子層の形成領域のうちの少なくとも一部に配置されている
上記(1)ないし(5)のいずれかに記載のポリマー素子。
(7)
前記伸縮抑制層は、前記形成領域内で略等方的に部分配置されている
上記(6)に記載のポリマー素子。
(8)
前記伸縮抑制層が、前記形成領域内で所定方向に沿って延在する異方性形状からなる
上記(6)に記載のポリマー素子。
(9)
前記伸縮抑制層が複数層の積層構造からなり、
伸縮抑制作用が相対的に大きい高伸縮抑制方向が、前記積層構造全体として複数種類設けられている
上記(1)ないし(8)のいずれかに記載のポリマー素子。
(10)
前記複数種類の高伸縮抑制方向が、全体として略等方的となっている
上記(9)に記載のポリマー素子。
(11)
前記積層構造が3層以上からなり、
前記積層構造における外側層と中間層とで、前記高伸縮抑制方向が互いに異なる
上記(9)に記載のポリマー素子。
(12)
所定方向に沿って延在する異方性形状からなり、
前記伸縮抑制層において伸縮抑制作用が相対的に大きい高伸縮抑制方向と、前記所定方向とが、互いに略等しい
上記(1)ないし(11)のいずれかに記載のポリマー素子。
(13)
前記伸縮抑制層は、前記高分子層における層内方向の伸縮を抑制する
上記(1)ないし(12)のいずれかに記載のポリマー素子。
(14)
前記伸縮抑制層は、前記高分子層と比べ、線膨張係数が低く、かつ、ヤング率が高い
上記(13)に記載のポリマー素子。
(15)
ポリマーアクチュエータ素子またはポリマーセンサ素子として構成されている
上記(1)ないし(14)のいずれかに記載のポリマー素子。
(16)
前記ポリマーアクチュエータ素子は、レンズまたは撮像素子を駆動するものである
上記(15)に記載のポリマー素子。
(17)
レンズと、
ポリマー素子を用いて構成され、前記レンズを駆動する駆動装置と
を備え、
前記ポリマー素子は、
一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を有するレンズモジュール。
(18)
レンズと、
前記レンズにより結像されてなる撮像信号を取得する撮像素子と、
ポリマー素子を用いて構成され、前記レンズまたは前記撮像素子を駆動する駆動装置と
を備え、
前記ポリマー素子は、
一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を有する撮像装置。
(19)
一対の電極層を形成する工程と、
前記一対の電極層の間に高分子層を設ける工程と、
前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層を、前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置させる工程と
を含むポリマー素子の製造方法。
(20)
繊維状膜または多孔質膜に対してイオン伝導性樹脂を含浸させることにより、前記伸縮抑制層を形成する
上記(19)に記載のポリマー素子の製造方法。
Claims (18)
- 一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を備えたポリマー素子であって、
前記伸縮抑制層は、前記高分子層における層内方向の伸縮を抑制しており、前記高分子層と比べ、低い線膨張係数と高いヤング率とを有するものである
ポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層は、前記高分子層における厚み方向の中央付近に配置されている
請求項1に記載のポリマー素子。 - 前記一対の電極層のうちの一方の電極層から前記伸縮抑制層までの離間距離と、他方の電極層から前記伸縮抑制層までの離間距離とが、互いに略等しい
請求項2に記載のポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層は、イオン伝導性を有する
請求項1に記載のポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層が、繊維状膜または多孔質膜とイオン導電性樹脂とからなる
請求項4に記載のポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層が、前記高分子層の形成領域のうちの少なくとも一部に配置されている 請求項1に記載のポリマー素子。
- 前記伸縮抑制層は、前記形成領域内で略等方的に部分配置されている
請求項6に記載のポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層が、前記形成領域内で所定方向に沿って延在する異方性形状からなる
請求項6に記載のポリマー素子。 - 前記伸縮抑制層が複数層の積層構造からなり、
前記伸縮抑制層が、その層平面内において互いに異なる2以上の伸縮抑制方向を有し、2以上の伸縮抑制方向のうち相対的に伸縮抑制作用が大きい高伸縮抑制方向が、前記積層構造全体として複数種類設けられている
請求項1に記載のポリマー素子。 - 前記複数種類の高伸縮抑制方向が、全体として略等方的となっている
請求項9に記載のポリマー素子。 - 前記積層構造が3層以上からなり、
前記積層構造における外側層と中間層とで、前記高伸縮抑制方向が互いに異なる
請求項9に記載のポリマー素子。 - 所定方向に沿って延在する異方性形状からなり、
前記伸縮抑制層が、その層平面内において互いに異なる2以上の伸縮抑制方向を有し、2以上の伸縮抑制方向のうち相対的に伸縮抑制作用が大きい高伸縮抑制方向と、前記所定方向とが、互いに略等しい
請求項1に記載のポリマー素子。 - ポリマーアクチュエータ素子またはポリマーセンサ素子として構成されている
請求項1に記載のポリマー素子。 - 前記ポリマーアクチュエータ素子は、レンズまたは撮像素子を駆動するものである
請求項13に記載のポリマー素子。 - レンズと、
ポリマー素子を用いて構成され、前記レンズを駆動する駆動装置と
を備えたレンズモジュールであって、
前記ポリマー素子は、
一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を有し、
前記伸縮抑制層は、前記高分子層における層内方向の伸縮を抑制しており、前記高分子層と比べ、低い線膨張係数と高いヤング率とを有するものである
レンズモジュール。 - レンズと、
前記レンズにより結像されてなる撮像信号を取得する撮像素子と、
ポリマー素子を用いて構成され、前記レンズまたは前記撮像素子を駆動する駆動装置と を備えた撮像装置であって、
前記ポリマー素子は、
一対の電極層と、
前記一対の電極層の間に挿設された高分子層と、
前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置され、前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層と
を有し、
前記伸縮抑制層は、前記高分子層における層内方向の伸縮を抑制しており、前記高分子層と比べ、低い線膨張係数と高いヤング率とを有するものである
撮像装置。 - 請求項1記載のポリマー素子の製造方法であって、
一対の電極層を形成する工程と、
前記一対の電極層の間に高分子層を設ける工程と、
前記高分子層の伸縮を抑制する伸縮抑制層を、前記一対の電極層の間において各電極層から離間配置させる工程と
を含むポリマー素子の製造方法。 - 繊維状膜または多孔質膜に対してイオン伝導性樹脂を含浸させることにより、前記伸縮抑制層を形成する
請求項17に記載のポリマー素子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093429A JP6322900B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置 |
US14/253,565 US9891404B2 (en) | 2013-04-26 | 2014-04-15 | Polymer device, method of manufacturing the same, lense module, and imaging unit |
CN201410158464.5A CN104122641B (zh) | 2013-04-26 | 2014-04-18 | 聚合物器件及其制造方法、透镜模块以及成像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093429A JP6322900B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014215488A JP2014215488A (ja) | 2014-11-17 |
JP6322900B2 true JP6322900B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=51768119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013093429A Active JP6322900B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9891404B2 (ja) |
JP (1) | JP6322900B2 (ja) |
CN (1) | CN104122641B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017070150A (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 株式会社ニコン | 異方性エラストマー、誘電エラストマーアクチュエータ、補助用具、および異方性エラストマーの製造方法 |
JP7043171B2 (ja) * | 2017-01-25 | 2022-03-29 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
EP3540796A1 (en) * | 2018-03-15 | 2019-09-18 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator device based on an electroactive material |
US11594668B2 (en) * | 2018-12-28 | 2023-02-28 | Tdk Corporation | Thin film laminate, thin film device and multilayer substrate |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AUPR907101A0 (en) * | 2001-11-23 | 2001-12-20 | University Of Wollongong, The | An electromechanical actuator and methods of providing same |
JP2007158588A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Fujifilm Corp | 撮像システムおよび結像位置補正方法 |
JP2007140169A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Fujifilm Corp | 手ぶれ補正ユニットおよび撮影装置 |
US20070122132A1 (en) * | 2005-11-18 | 2007-05-31 | Fujifilm Corporation | Camera shake compensation unit, image taking apparatus, image taking system, and method of compensating for image formation position |
JP5047771B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-10-10 | 株式会社リコー | 転写装置および転写装置の製造方法、その転写装置を用いた画像形成装置 |
KR101000214B1 (ko) * | 2008-05-28 | 2010-12-10 | 주식회사 엘지화학 | 이온전도성 수지 파이버, 이온전도성 복합막, 막-전극 접합체 및 연료전지 |
WO2010018612A1 (ja) * | 2008-08-15 | 2010-02-18 | パナソニック株式会社 | 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法 |
US8237324B2 (en) * | 2008-12-10 | 2012-08-07 | The Regents Of The University Of California | Bistable electroactive polymers |
JP5392471B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2014-01-22 | 株式会社村田製作所 | 電歪高分子材料とその製造方法、及び電子部品 |
JP2010214634A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Ricoh Co Ltd | 薄膜アクチュエータ、液体吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置 |
JP5487678B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-05-07 | ソニー株式会社 | アクチュエータ |
WO2010137604A1 (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-02 | アルプス電気株式会社 | 高分子アクチュエータ装置 |
JP5466758B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2014-04-09 | アルプス電気株式会社 | 高分子アクチュエータを用いた駆動装置 |
IT1400870B1 (it) * | 2010-06-25 | 2013-07-02 | Fond Istituto Italiano Di Tecnologia | Attuatore polimerico lineare e flessionale, a tre elettrodi. |
JP5942338B2 (ja) | 2011-04-28 | 2016-06-29 | デクセリアルズ株式会社 | 駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置 |
JP2013021176A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Fujifilm Corp | 圧電素子 |
JP2013038956A (ja) | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Canon Inc | アクチュエータおよびその製造方法 |
-
2013
- 2013-04-26 JP JP2013093429A patent/JP6322900B2/ja active Active
-
2014
- 2014-04-15 US US14/253,565 patent/US9891404B2/en active Active
- 2014-04-18 CN CN201410158464.5A patent/CN104122641B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104122641B (zh) | 2019-05-21 |
US20140320988A1 (en) | 2014-10-30 |
CN104122641A (zh) | 2014-10-29 |
US9891404B2 (en) | 2018-02-13 |
JP2014215488A (ja) | 2014-11-17 |
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