WO2010137604A1 - 高分子アクチュエータ装置 - Google Patents

高分子アクチュエータ装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2010137604A1
WO2010137604A1 PCT/JP2010/058872 JP2010058872W WO2010137604A1 WO 2010137604 A1 WO2010137604 A1 WO 2010137604A1 JP 2010058872 W JP2010058872 W JP 2010058872W WO 2010137604 A1 WO2010137604 A1 WO 2010137604A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
porous material
polymer actuator
conductive porous
electrode layer
electrode
Prior art date
Application number
PCT/JP2010/058872
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
高橋 功
Original Assignee
アルプス電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by アルプス電気株式会社 filed Critical アルプス電気株式会社
Priority to JP2011516030A priority Critical patent/JP5279902B2/ja
Priority to CN201080010240.XA priority patent/CN102342013B/zh
Publication of WO2010137604A1 publication Critical patent/WO2010137604A1/ja
Priority to US13/274,261 priority patent/US8203254B2/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0021Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03GSPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03G7/00Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
    • F03G7/005Electro-chemical actuators; Actuators having a material for absorbing or desorbing gas, e.g. a metal hydride; Actuators using the difference in osmotic pressure between fluids; Actuators with elements stretchable when contacted with liquid rich in ions, with UV light, with a salt solution
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03Microengines and actuators
    • B81B2201/038Microengines and actuators not provided for in B81B2201/031 - B81B2201/037
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0118Cantilevers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S310/00Electrical generator or motor structure
    • Y10S310/80Piezoelectric polymers, e.g. PVDF

Definitions

  • the present invention relates to a polymer actuator having an electrolyte layer and a pair of electrode layers provided on both surfaces of the electrolyte layer, and bending when a voltage is applied between the pair of electrode layers.
  • the following patent documents disclose inventions related to polymer actuators.
  • the polymer actuator includes an electrolyte layer and a pair of electrode layers provided on both surfaces of the electrolyte layer.
  • the polymer actuator When a voltage is applied between the pair of electrode layers, the polymer actuator can be bent.
  • the ionic liquid may ooze from the surface of the electrode layer as the ions move between the electrolyte layer and the electrode layer. I understood.
  • the leaching of ions from the electrode layer surface may cause adverse effects such as corrosion, oxidation, and dielectric breakdown on the periphery of the polymer actuator.
  • the present invention solves the above-described conventional problems, and in particular, a polymer actuator device that can improve the conductivity between the electrode layer and the terminal portion of the polymer actuator even when ions ooze out from the surface of the electrode layer.
  • the purpose is to provide.
  • the present invention includes an electrolyte layer and a pair of electrode layers provided on both surfaces of the electrolyte layer in the thickness direction, and a polymer actuator that bends when a voltage is applied between the pair of electrode layers, and the polymer actuator
  • a polymer actuator device having a terminal portion for applying a voltage
  • the polymer actuator includes a deformation portion and a support portion, A conductive porous material is interposed between at least one electrode layer of the support portion of the polymer actuator and the terminal portion.
  • ions exuding from the electrode layer surface can be absorbed by the conductive porous material, and the electrical conductivity between the electrode layer and the terminal portion of the polymer actuator can be improved. Further, adverse effects such as corrosion on the terminal portion and the periphery of the terminal portion can be suppressed.
  • the conductive porous material is preferably interposed between the terminal portion on the negative electrode side and the electrode layer.
  • the conductive porous material is interposed between the electrode layer facing outward and the terminal portion when the polymer actuator is bent by applying a voltage between the pair of electrode layers. Is preferred.
  • Ion oozing phenomenon tends to occur on the negative electrode side where positive ions move when voltage is applied, or on the outer electrode layer that swells when bent. Therefore, by providing a conductive porous material on the electrode layer side on the negative electrode side or on the electrode layer side facing the outside during bending, the conductivity between the electrode layer and the terminal portion of the polymer actuator can be improved more effectively. .
  • the conductive porous material is interposed between both the electrode layers and the terminal portion.
  • the ions oozed from the surface of each electrode layer can be appropriately absorbed by the conductive porous material, and the electrical conductivity between the electrode layer and the terminal portion of the polymer actuator can be improved.
  • the form in which the conductive porous material is provided in both directions is effective, for example, when DC driving is performed in both directions, when AC driving is performed at a low frequency, or when the electrode layer side from which ions penetrate is unknown. is there.
  • the conductive porous material is provided on the electrode layer surface from the support portion to the deformation portion.
  • ions that have exuded from the electrode layer surface of the deformed portion can be absorbed by the conductive porous material, and adverse effects such as corrosion on the peripheral portion of the polymer actuator can be more effectively suppressed.
  • ions absorbed in the conductive porous material can be returned to the polymer actuator to some extent again. Therefore, the deterioration of the characteristics of the polymer actuator can be suppressed even by repeated use.
  • the conductive porous material provided in the deformable portion is configured to be more easily deformed by an external force than the conductive porous material provided in the support portion.
  • the thickness of the conductive porous material provided in the deformable portion is thinner than the thickness of the conductive porous material provided in the support portion.
  • transformation part is suitable for the porosity of the said electroconductive porous material provided in the said deformation
  • the conductivity between the electrode layer and the terminal portion of the polymer actuator can be improved. Further, adverse effects such as corrosion on the terminal portion and the periphery of the terminal portion can be suppressed.
  • disconnected the polymer actuator apparatus in 1st Embodiment from the thickness direction The longitudinal cross-sectional view which cut
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the polymer actuator device in the first embodiment cut from the thickness direction
  • FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the polymer actuator device in the second embodiment cut from the thickness direction
  • FIG. FIG. 10 is a longitudinal sectional view of the polymer actuator device according to the third embodiment cut from the thickness direction.
  • the polymer actuator 10 in this embodiment includes an electrolyte layer 11 and electrode layers 12 and 13 formed on both surfaces in the thickness direction (Z direction) of the electrolyte layer 11.
  • a polymer actuator 10 including an electrolyte layer 11 having an ionic liquid and a base polymer, and electrode layers 12 and 13 having a conductive filler such as a carbon nanotube, an ionic liquid, and a base polymer can be presented.
  • a base polymer polyvinylidene fluoride (PVDF), polymethyl methacrylate (PMMA), or the like can be presented.
  • the polymer actuator 10 formed of a cross-sectional structure having an electrolyte layer 11 and electrode layers 12 and 13 on both surfaces thereof has a dimension in the length direction (Y direction) in the width direction (X direction). ) And a longer rectangular shape than the dimension in the thickness direction (Z direction).
  • one end portion of the polymer actuator 10 in the Y direction is a support portion 14 and is fixedly supported by the fixing portion 15.
  • fixed part 15 and the electrode layers 12 and 13 of the support part 14 of the polymer actuator 10 are electrically connected.
  • the polymer actuator 10 is fixedly supported by the fixing portion 15, and the terminal portions 16 and 17 are formed on the surface of the fixing portion 15 by a coating film, plating, or the like. May be formed of a metal plate, and the polymer actuator 10 may be fixedly supported by the terminal portions 16 and 17. The same applies to other embodiments.
  • the terminal portion 16 is a negative electrode and the terminal portion 17 is a positive electrode.
  • the cation in the electrolyte layer 11 moves to the 1st electrode layer 12 side by voltage application.
  • the volume tends to expand at a position biased toward the first electrode layer 12 side. That is, since an expansion stress is generated on the first electrode layer 12 side and an expansion strain is generated based on the expansion stress, a bending stress is generated in the polymer actuator 10, and as shown in FIG. Curves upward.
  • the first electrode layer 12 side which is the negative electrode side is the outside.
  • the ionic liquid may be pushed out and ooze out from the surface of the first electrode layer 12.
  • a conductive porous material 20 is interposed between the first electrode layer 12 and the terminal portion 16 of the support portion 14 of the polymer actuator 10.
  • the conductive porous material 20 may be formed in a sheet shape, or may be directly formed on the surface of the terminal portion 16 or the surface of the first electrode layer 12 by coating or the like. In addition, the conductive porous material 20 may or may not have adhesiveness. When the conductive porous material 20 does not have an adhesive ability, a conductive adhesive may be applied between the conductive porous material 20 and the terminal portion 16 or between the conductive porous material 20 and the first electrode layer 12. Alternatively, the conductive porous material 20 may be interposed between the first electrode layer 12 and the terminal portion 16 with some pressure. Further, when using a conductive porous material 20 formed in a sheet shape, the porous material expands the pores without greatly impairing the conductivity by sticking in a state of being pulled about 10% in each direction. Can be used effectively.
  • the conductive porous material 20 includes an acrylic conductive adhesive sheet (for example, model number T4420W of Sony Chemical & Information Device Co., Ltd.), conductive silicone rubber (for example, EC series of Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), conductive epoxy resin.
  • a conductive silicone for example, KE16-508 from GE Toshiba Silicone Co., Ltd.
  • a silicone foaming agent for example, porous resin (polytetrafluoroethylene (PTFE) or polyvinylidene fluoride (PVDF)), or porous cellulose.
  • Examples include chain black (for example, manufactured by Ketjen Black International Co., Ltd.) coated with a solvent / binder resin, or a porous conductive polymer.
  • the conductive porous material 20 a is provided to extend to the surface of the first electrode layer 12 of the deformable portion 18.
  • transformation part 18 can be absorbed with the electroconductive porous material 20a, and bad influences, such as corrosion with respect to the peripheral part of the polymer actuator 10, can be suppressed effectively.
  • the polymer actuator 10 is returned from the operation state (see the curved state of the dotted line shown in FIG.
  • the thickness H1 of the conductive porous material 20a provided in the deformable portion 18 is formed to be thinner than the thickness H2 of the conductive porous material 20b provided in the support portion 14. Is preferred. Thereby, the conductive porous material 20a is less likely to hinder the operation of the deformable portion 18, and the deformable portion 18 can be appropriately curved.
  • the thickness H1 of the conductive porous material 20a is about 5 to 20 ⁇ m, and the thickness H2 of the conductive porous material 20b is about 50 to 200 ⁇ m.
  • the porosity of the conductive porous material 20 a provided in the deformable portion 18 can be larger than the porosity of the conductive porous material 20 b provided in the support portion 14, the conductive porous material 20 a can be reduced. Therefore, the conductive porous material 20a is less likely to hinder the operation of the deformable portion 18, and the deformable portion 18 can be appropriately curved. At this time, the film thicknesses of the conductive porous material 20a provided in the deformable portion 18 and the conductive porous material 20b provided in the support portion 14 can be made comparable.
  • the porosity can be adjusted by adjusting the number of holes and the hole diameter.
  • the conductive porous material is not only between the first electrode layer 12 and the terminal portion 16 of the support portion 17 of the polymer actuator 10 but also between the second electrode layer 13 and the terminal portion 17. 20 is interposed.
  • the conductivity between the electrode layers 12 and 13 and the terminal portions 16 and 17 can be kept good.
  • the ionic liquid may ooze out from the first electrode layer 12 on the negative electrode side, which is outside when the deformable portion 18 is curved. At this time, the ionic liquid does not ooze out from the second electrode layer 13 on the positive electrode side (or the oozing amount is extremely small). Therefore, in the case of DC driving, as shown in FIGS. 1 and 2, it is sufficient to interpose the conductive porous material 20 only between the first electrode layer 12 serving as the negative electrode and the terminal portion 16, but FIG. The surface of the first electrode layer 12 is obtained when AC driving is performed, the polarity of the electrode layer is switched, and the deforming portion 18 of the polymer actuator 10 is alternately bent and deformed on the upper side and the lower side in the drawing.
  • the ionic liquid may ooze out from both the surface of the second electrode layer 13. Therefore, as shown in FIG. 3, not only between the first electrode layer 12 and the terminal portion 16 but also between the second electrode layer 13 and the terminal portion 17, the conductive porous material 20 is interposed, Even if the ionic liquid may ooze out from the surfaces of the electrode layers 12 and 13, the conductivity between both the electrode layers 12 and 13 and the terminal portions 16 and 17 can be kept good.
  • the ionic liquid that oozes out when the first electrode layer 12 is a negative electrode is absorbed by the conductive porous material 20 located between the terminal portion 16 and the ionic liquid is absorbed.
  • the ionic liquid is pulled back into the polymer actuator 10 to some extent when the first electrode layer 12 changes to the positive electrode. 2, by providing the conductive porous material 20 up to the deformed portion 18, that is, in FIG. 3, above and below the deformed portion 18 (on the surfaces of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 13, respectively).
  • By providing the conductive porous material 20 it is possible to suppress the deterioration of the characteristics of the polymer actuator 10 even by repeated AC driving.
  • FIG. 3 is effective when, for example, DC driving in both directions or AC driving at a low frequency is not possible when the electrode layer side from which the ionic liquid exudes is unknown.
  • all of the polymer actuators 10 are fixedly supported as one support part 14 as a support part 14.
  • the fixed part 15 provided with the terminal parts 16 and 17 on the surface may be provided at the intermediate position, and both sides thereof may be the deformed parts 18 and 18 (butterfly type).
  • the electrolyte layer 11 may include an ion exchange resin and a polar organic solvent containing a salt or a liquid organic compound that is an ionic liquid.
  • the ion exchange resin is a cation exchange resin.
  • the anion is fixed and the cation can move freely.
  • the cation exchange resin a resin obtained by introducing a functional group such as a sulfonic acid group or a carboxyl group into a resin such as polyethylene, polystyrene, or fluororesin can be preferably used.
  • the electrode layers 12 and 13 can be configured by mixing conductive fillers in the same resin configuration as the electrolyte layer 11. Carbon nanotubes, carbon nanofibers, and the like can be presented as the conductive filler.
  • the polymer actuator 10 of a three-layer structure film can be formed by overlapping an electrolyte sheet and an electrode layer sheet containing a conductive filler.
  • the first electrode layer 12 that is the negative electrode is positioned outside when the deformable portion 18 is curved, but is not limited to such a form.

Abstract

 電極層表面からイオンが染み出した場合でも高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる高分子アクチュエータ装置を提供することを目的としている。 電解質層11及び電解質層11の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極層12,13を有し、前記一対の電極層間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータ10と、前記高分子アクチュエータ10に電圧を付与するための端子部16,17と、を有する高分子アクチュエータ装置において、前記高分子アクチュエータ10は、変形部18と支持部14とを備え、前記高分子アクチュエータ10の前記支持部14の負極側である第1電極層12と、端子部16との間に、導電性多孔質材20が介在している。

Description

高分子アクチュエータ装置
 本発明は、電解質層と、電解質層の両面に設けられた一対の電極層を有し、一対の電極層間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータに関する。
 下記特許文献には、高分子アクチュエータに関する発明が開示されている。高分子アクチュエータは電解質層と、電解質層の両面に設けられた一対の電極層を有して構成されている。
 そして一対の電極層間に電圧を付与すると、高分子アクチュエータを湾曲させることができる。
特開2008-148452号公報 特開2008-211918号公報
 しかしながら、DC駆動や非常に周期の長い電圧波形で高分子アクチュエータを駆動させると、電解質層と電極層との間で移動するイオンの動きに伴ってイオン液体が電極層表面から染み出すことがあるとわかった。
 このように電極層表面からイオン液体が染み出した場合、高分子アクチュエータに電圧を付与する端子部と電極層間の導通性が悪化し、高分子アクチュエータの動作が低下したり、最悪の場合、高分子アクチュエータが動作しなくなるといった問題があった。
 また、電極層表面からのイオンの染み出しにより、高分子アクチュエータの周辺部への腐食や酸化、絶縁破壊等の悪影響が生じることがあった。
 またイオンの染み出し現象は、高分子アクチュエータを一方向に湾曲させたとき、特に、一方の電極層表面のみから生じ、他方の電極層表面からほとんど生じないことがわかった。
 そこで本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、特に、電極層表面からイオンが染み出した場合でも高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる高分子アクチュエータ装置を提供することを目的としている。
 本発明は、電解質層及び前記電解質層の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極層を有し、前記一対の電極層間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータと、前記高分子アクチュエータに電圧を付与するための端子部と、を有する高分子アクチュエータ装置において、
 前記高分子アクチュエータは、変形部と支持部とを備え、
 前記高分子アクチュエータの前記支持部の少なくとも一方の電極層と、前記端子部との間に、導電性多孔質材が介在していることを特徴とするものである。
 これにより、電極層表面から染み出したイオンを導電性多孔質材で吸収でき、高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる。また端子部や、端子部周辺に対する腐食等の悪影響を抑制できる。
 本発明では、負極側の前記端子部と前記電極層との間に、前記導電性多孔質材が介在していることが好ましい。
 また本発明では、前記一対の電極層間に電圧を印加して前記高分子アクチュエータが湾曲した際に、外側を向く電極層と前記端子部間に、前記導電性多孔質材が介在していることが好ましい。
 電圧印加により陽イオンが移動する負極側や、湾曲したときに膨潤が大きい外側の電極層では、イオンの染み出し現象が生じやすい。そのため、負極側の電極層側や湾曲時の外側を向く電極層側に導電性多孔質材を設けることでより効果的に、高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる。
 また本発明では、両方の前記電極層と前記端子部間に、前記導電性多孔質材が介在していることが好ましい。これにより、各電極層表面から染み出したイオンを導電性多孔質材で適切に吸収でき、高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる。このように両方向に導電性多孔質材を設ける形態は、例えば両方向にDC駆動させることがある場合や低周波数でAC駆動させる場合、あるいはイオンの染み出す電極層側が不明である場合に効果的である。
 また本発明では、前記導電性多孔質材は、前記支持部から前記変形部にかけての電極層表面に設けられていることが好ましい。これにより変形部の電極層表面から染み出したイオンを導電性多孔質材で吸収でき、高分子アクチュエータの周辺部に対する腐食等の悪影響をより効果的に抑制できる。また、高分子アクチュエータの動作状態から非動作状態に戻すときに、例えば、電極層間に逆電位を与えれば、導電性多孔質材に吸収されたイオンを再び、高分子アクチュエータ内部へある程度戻すことができるので、繰り返しの使用によっても高分子アクチュエータの特性劣化を抑制することができる。
 また本発明では、前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材は、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材よりも外力によって変形しやすく構成されていることが好ましい。例えば、前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材の厚さが、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材の厚さよりも薄いことが好適である。あるいは、前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材の空隙率が、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材の空隙率よりも大きいことが好適である。
 本発明の高分子アクチュエータによれば、高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる。また端子部や、端子部周辺に対する腐食等の悪影響を抑制できる。
第1実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、 第2実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、 第3実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、 高分子アクチュエータに対する支持部の位置を図1ないし図3とは代えた実施形態における高分子アクチュエータ装置の縦断面図。
 図1は第1実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、図2は、第2実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、図3は、第3実施形態における高分子アクチュエータ装置を厚さ方向から切断した縦断面図、である。
 本実施形態における高分子アクチュエータ10は、電解質層11と、電解質層11の厚さ方向(Z方向)の両側表面に形成される電極層12、13を備えて構成される。
 本実施形態では、イオン液体とベースポリマーを有する電解質層11と、カーボンナノチューブ等の導電性フィラー、イオン液体及びベースポリマーとを有する電極層12,13から成る高分子アクチュエータ10を提示できる。ベースポリマーとしては、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)や、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等を提示できる。
 図1に示すように電解質層11と、その両表面に電極層12,13を有する断面構造で形成された高分子アクチュエータ10は、長さ方向(Y方向)への寸法が幅方向(X方向)への寸法及び厚さ方向(Z方向)への寸法に比べて長い長方形状である。
 図1に示すように例えば高分子アクチュエータ10のY方向における一端部が支持部14であり、固定部15に固定支持されている。そして、固定部15の表面に設けられた端子部16,17と、高分子アクチュエータ10の支持部14の電極層12、13とが電気的に接続されている。なお、図1では、固定部15にて高分子アクチュエータ10を固定支持し、端子部16,17を固定部15表面に塗膜やメッキ等で形成したものであるが、例えば端子部16,17を金属板で形成し、端子部16,17にて高分子アクチュエータ10を固定支持する形態としてもよい。他の実施形態においても同様である。
 高分子アクチュエータ10を構成する電極層12,13間に電圧を印加すると、第1電極層12側と第2電極層13側で、膨潤差が生じ、曲げ応力が発生して、固定部15からY方向に長く突き出た変形部18が例えば上方向に湾曲する。
 図1に示す実施形態では、端子部16が負極で端子部17が正極である。このため、電解質層11内の陽イオンは電圧印加により、第1電極層12側に移動する。このとき陽イオンが陰イオンより大きいと仮定すると、第1電極層12側に偏った位置で体積が膨張しようとする。つまり、第1電極層12側において膨張応力が発生しこれに基づいて膨張歪みが発生するために、高分子アクチュエータ10に曲げ応力が発生して、図1に示すように、高分子アクチュエータ10が上方に向けて湾曲する。
 湾曲時、図1に示すように、負極側である第1電極層12側は外側となる。この湾曲状態を長時間保った場合に、イオン液体が外側に押し出されて第1電極層12の表面から染み出すことがある。
 本実施形態では図1に示すように、高分子アクチュエータ10の支持部14の第1電極層12と端子部16との間に導電性多孔質材20を介在させている。これにより、たとえ第1電極層12の表面からイオン液体が染み出しても導電性多孔質材20にて吸収でき、第1電極層12と端子部16間の導電性を良好に保つことが出来る。またイオン液体が端子部16まで染み出すのを抑制できるから、端子部16や端子部周辺の腐食、酸化、絶縁破壊等の悪影響を抑制することが可能である。
 導電性多孔質材20は、シート状で形成されたり、あるいは、塗布等により端子部16の表面や第1電極層12の表面に直接形成することもできる。また、導電性多孔質材20は、接着性の有無を問わない。導電性多孔質材20に接着能力がない場合、導電性接着剤を導電性多孔質材20と端子部16間や導電性多孔質材20と第1電極層12間に塗布してもよいし、導電性多孔質材20を介在させた状態で、第1電極層12と端子部16との間に多少圧力をかけて保持する形態でもよい。また、導電性多孔質材20としてシート状に形成されたものを用いる場合は、各方向に10%程度引っ張った状態で貼り付けることにより、導電性を大きく損なわずに孔が広がって多孔質性を有効に用いることができる。
 導電性多孔質材20には、アクリル系導電接着シート(例えば、ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)の型番T4420W)、導電シリコーンゴム(例えば信越化学工業(株)のECシリーズ)、導電性エポキシ樹脂、導電シリコーン(例えばGE東芝シリコーン(株)のKE16-508)にシリコーン発泡剤を添加したもの、多孔質樹脂(ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)やポリフッ化ビニリデン(PVDF))あるいは多孔質セルロースにケッチェンブラック(例えばケッチェン・ブラック・インターナショナル(株)製)を溶剤・バインダー樹脂と共に塗布したもの、あるいは、多孔質導電性高分子等を例示できる。
 図2に示す実施形態では、変形部18の第1電極層12の表面まで導電性多孔質材20aを延出して設けている。これにより、変形部18の第1電極層12表面から染み出したイオン液体を導電性多孔質材20aにより吸収でき、高分子アクチュエータ10の周辺部に対する腐食等の悪影響を効果的に抑制できる。また、高分子アクチュエータ10の動作状態(図1に示す点線の湾曲した状態を参照)から非動作状態に戻すときに、例えば、電極層12,13間に逆電位を与えれば、導電性多孔質材20に吸収されたイオン液体を再び、電解質層11内部へある程度戻すことができるので、繰り返しの使用によっても高分子アクチュエータ10の特性劣化を抑制することができる。
 また図2に示すように、変形部18に設けられた導電性多孔質材20aの厚さH1を、支持部14に設けられた導電性多孔質材20bの厚さH2よりも薄く形成することが好ましい。これにより、導電性多孔質材20aが変形部18の動作を阻害しにくくなり、変形部18を適切に湾曲させることが可能になる。導電性多孔質材20aの厚さH1は、5~20μm程度で、導電性多孔質材20bの厚さH2は、50~200μm程度である。
 また、変形部18に設けられた導電性多孔質材20aの空隙率を、支持部14に設けられた導電性多孔質材20bの空隙率より大きくすることで、導電性多孔質材20aを低剛性化でき、よって導電性多孔質材20aが変形部18の動作を阻害しにくくなり、変形部18を適切に湾曲させることが可能になる。このとき、変形部18に設けられた導電性多孔質材20aと、支持部14に設けられた導電性多孔質材20bとの膜厚を同程度とすることが出来る。空隙率の調整は、穴数や穴径を調整することで行うことができる。
 次に図3に示す実施形態では、高分子アクチュエータ10の支持部17の第1電極層12と端子部16間のみならず、第2電極層13と端子部17間にも導電性多孔質材20が介在している。
 これにより、第1電極層12表面のみならず第2電極層13表面からもイオン液体が染み出すような場合、あるいは、第1電極層12、第2電極層13のどちら側からイオン液体が染み出すのか不明であるような場合、各電極層12,13と端子部16,17間の導電性を良好に保つことができる。
 上記のように、変形部18が湾曲したときに外側となる負極側の第1電極層12からイオン液体が染み出すことがある。このとき、正極側である第2電極層13からイオン液体は染み出さない(あるいは、染み出す量が極めて少ない)。よって、DC駆動であるような場合、図1や図2に示すように負極となる第1電極層12と端子部16間にのみ導電性多孔質材20を介在させれば足りるが、図3に示すようにAC駆動させて、電極層の極性を入れ替え、高分子アクチュエータ10の変形部18を図示上側と図示下側とに交互に湾曲変形させるような場合は、第1電極層12の表面及び第2電極層13の表面の双方からイオン液体が染み出すことがある。よって、図3に示すように、第1電極層12と端子部16間のみならず、第2電極層13と端子部17間にも導電性多孔質材20を介在させることで、たとえ、各電極層12,13の表面からイオン液体が染み出すことがあっても、両方の電極層12,13と端子部16,17間の導電性を良好に保つことができる。
 また上記のようにAC駆動させる場合、第1電極層12が負極であるとき染み出したイオン液体は端子部16との間に位置する導電性多孔質材20に吸収されるが、その吸収されたイオン液体は、第1電極層12が正極に変わると高分子アクチュエータ10内にある程度引き戻されることになる。そして図2のように変形部18にまで導電性多孔質材20を設けることで、すなわち図3では、変形部18の上下に(第1電極層12と第2電極層13の表面に夫々)導電性多孔質材20を設けることで、AC駆動の繰り返しによっても高分子アクチュエータ10の特性劣化を抑制することができる。
 図3の構成は、例えば両方向にDC駆動させることがある場合や低周波数でAC駆動させる場合、イオン液体の染み出す電極層側が不明であるとき効果的である。
 図1ないし図3に示す実施形態では、いずれも、高分子アクチュエータ10の一方の端部を支持部14として固定支持した形態であるが、例えば、図4のように、高分子アクチュエータ10の略中間位置に表面に端子部16,17を備える固定部15が設けられ、その両側が変形部18,18となる形態(バタフライ型)であってもよい。
 また上記に代えて、電解質層11は、イオン交換樹脂と、塩を含有する分極性有機溶媒又はイオン液体である液状有機化合物とが含まれたものであってもよい。例えばイオン交換樹脂は陽イオン交換樹脂である。これにより陰イオンが固定され、陽イオンが自由に移動可能となる。陽イオン交換樹脂としては、ポリエチレン、ポリスチレン、フッ素樹脂等の樹脂に、スルホン酸基、カルボキシル基等の官能基が導入されたものを好ましく使用できる。
 また電極層12,13は、電解質層11と同じ樹脂構成に導電性フィラーを混合させた構成にできる。導電性フィラーとしては、カーボンナノチューブやカーボンナノファイバー等を提示できる。例えば、電解質シートと、導電フィラーが入った電極層シートとを重ね合わせることで3層構造フィルムの高分子アクチュエータ10を形成できる。
 また上記した構成では、負極である第1電極層12が変形部18の湾曲時に外側に位置したが、そのような形態にのみ限定されるものでない。
10 高分子アクチュエータ
11 電解質層
12 第1電極層
13 第2電極層
14 支持部
15 固定部
16、17 端子部
18 変形部
20、20a、20b 導電性多孔質材

Claims (8)

  1.  電解質層及び前記電解質層の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極層を有し、前記一対の電極層間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータと、前記高分子アクチュエータに電圧を付与するための端子部と、を有する高分子アクチュエータ装置において、
     前記高分子アクチュエータは、変形部と支持部とを備え、
     前記高分子アクチュエータの前記支持部の少なくとも一方の電極層と、前記端子部との間に、導電性多孔質材が介在していることを特徴とする高分子アクチュエータ装置。
  2.  負極側の前記端子部と前記電極層との間に、前記導電性多孔質材が介在している請求項1記載の高分子アクチュエータ装置。
  3.  前記一対の電極層間に電圧を印加して前記高分子アクチュエータが湾曲した際に、外側を向く電極層と前記端子部間に、前記導電性多孔質材が介在している請求項1記載の高分子アクチュエータ装置。
  4.  両方の前記電極層と前記端子部間に、前記導電性多孔質材が介在している請求項1記載の高分子アクチュエータ装置。
  5.  前記導電性多孔質材は、前記支持部から前記変形部にかけての電極層表面に設けられている請求項1記載の高分子アクチュエータ装置。
  6.  前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材は、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材よりも外力によって変形しやすいものとされた請求項5記載の高分子アクチュエータ装置。
  7.  前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材の厚さが、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材の厚さよりも薄い請求項6記載の高分子アクチュエータ装置。
  8.  前記変形部に設けられた前記導電性多孔質材の空隙率が、前記支持部に設けられた前記導電性多孔質材の空隙率よりも大きい請求項6記載の高分子アクチュエータ装置。
PCT/JP2010/058872 2009-05-26 2010-05-26 高分子アクチュエータ装置 WO2010137604A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011516030A JP5279902B2 (ja) 2009-05-26 2010-05-26 高分子アクチュエータ装置
CN201080010240.XA CN102342013B (zh) 2009-05-26 2010-05-26 高分子促动器装置
US13/274,261 US8203254B2 (en) 2009-05-26 2011-10-14 Polymer actuator device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009-125968 2009-05-26
JP2009125968 2009-05-26

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US13/274,261 Continuation US8203254B2 (en) 2009-05-26 2011-10-14 Polymer actuator device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2010137604A1 true WO2010137604A1 (ja) 2010-12-02

Family

ID=43222711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2010/058872 WO2010137604A1 (ja) 2009-05-26 2010-05-26 高分子アクチュエータ装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8203254B2 (ja)
JP (1) JP5279902B2 (ja)
CN (1) CN102342013B (ja)
WO (1) WO2010137604A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013015503A1 (en) * 2011-07-22 2013-01-31 Snu R&Db Foundation Smart soft composite actuator

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5487678B2 (ja) * 2009-03-31 2014-05-07 ソニー株式会社 アクチュエータ
CN103190072A (zh) * 2010-11-12 2013-07-03 索尼公司 驱动单元及其制造方法、透镜模块和图像拾取单元
KR101275636B1 (ko) * 2011-08-30 2013-06-17 전자부품연구원 도핑 폴리머층을 포함하는 그래핀 기반 적층체
JP5871337B2 (ja) * 2012-02-08 2016-03-01 アルプス電気株式会社 高分子アクチュエータ素子及び前記高分子アクチュエータ素子の駆動装置ならびに駆動方法
JP2013251942A (ja) * 2012-05-30 2013-12-12 Sony Corp 高分子アクチュエーター、アクチュエーター装置、高分子アクチュエーターの製造方法及びアクチュエーター装置の製造方法
JP6322900B2 (ja) * 2013-04-26 2018-05-16 デクセリアルズ株式会社 ポリマー素子およびその製造方法、ならびにレンズモジュールおよび撮像装置
WO2016084031A1 (en) * 2014-11-27 2016-06-02 Fondazione Istituto Italiano Di Tecnologia Carbon nanotube-based material and polymerized ionic liquid for production of an actuator
GB2567725B (en) * 2017-08-15 2022-08-17 Xergy Incorporated Micro-electro-mechanical device with ion exchange polymer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003152234A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Sony Corp アクチュエータ及びその製造方法
JP2009278787A (ja) * 2008-05-15 2009-11-26 Sony Corp アクチュエータ素子

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5977685A (en) * 1996-02-15 1999-11-02 Nitta Corporation Polyurethane elastomer actuator
EP0924033A3 (en) * 1997-12-15 1999-11-17 Keiichi Kaneto Artificial muscles
JP4277103B2 (ja) * 2004-02-03 2009-06-10 国立大学法人信州大学 カーボンナノファイバーを用いる高分子アクチュエータ
JP4433840B2 (ja) * 2004-03-18 2010-03-17 ソニー株式会社 高分子アクチュエータ
WO2005114827A1 (ja) * 2004-05-24 2005-12-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 導電性高分子アクチュエータ
US7999435B2 (en) * 2004-06-14 2011-08-16 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical actuator
US7872396B2 (en) * 2004-06-14 2011-01-18 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical actuator
JP4802680B2 (ja) * 2005-11-18 2011-10-26 ソニー株式会社 アクチュエータ
JP2008148452A (ja) * 2006-12-11 2008-06-26 Japan Aviation Electronics Industry Ltd アクチュエータ
JP4704376B2 (ja) * 2007-02-26 2011-06-15 日本航空電子工業株式会社 高分子電解質膜アクチュエータ及びその作製方法
JP2008253016A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Tdk Corp 高分子アクチュエータ
JP5252616B2 (ja) * 2007-06-19 2013-07-31 国立大学法人福井大学 アクチュエータ駆動システムおよびアクチュエータの制御方法
JP4256470B1 (ja) * 2008-04-04 2009-04-22 パナソニック株式会社 導電性高分子アクチュエータ、その製造方法、およびその駆動方法
JP5162664B2 (ja) * 2008-07-02 2013-03-13 アルプス電気株式会社 高分子アクチュエータ及び高分子アクチュエータ搭載デバイス
JP4287504B1 (ja) * 2008-08-15 2009-07-01 パナソニック株式会社 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法
JP2010093954A (ja) * 2008-10-08 2010-04-22 Kuraray Co Ltd 高分子トランスデューサ
JP5470115B2 (ja) * 2010-03-16 2014-04-16 アルプス電気株式会社 高分子アクチュエータ素子及びそれを用いた駆動装置
JP2011205751A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Panasonic Corp 導電性高分子アクチュエータ及びアクチュエータ用駆動素子の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003152234A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Sony Corp アクチュエータ及びその製造方法
JP2009278787A (ja) * 2008-05-15 2009-11-26 Sony Corp アクチュエータ素子

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013015503A1 (en) * 2011-07-22 2013-01-31 Snu R&Db Foundation Smart soft composite actuator
KR101357462B1 (ko) 2011-07-22 2014-02-04 서울대학교산학협력단 지능형 연성 복합재 작동기
CN103826805A (zh) * 2011-07-22 2014-05-28 首尔大学校产学协力团 智能柔性复合驱动器
US10079335B2 (en) 2011-07-22 2018-09-18 Snu R&Db Foundation Smart soft composite actuator

Also Published As

Publication number Publication date
US8203254B2 (en) 2012-06-19
JP5279902B2 (ja) 2013-09-04
US20120032564A1 (en) 2012-02-09
CN102342013A (zh) 2012-02-01
CN102342013B (zh) 2014-07-16
JPWO2010137604A1 (ja) 2012-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5279902B2 (ja) 高分子アクチュエータ装置
US8487505B2 (en) Polymer actuator
JP5959807B2 (ja) アクチュエータおよびアクチュエータ構造体
JP4287504B1 (ja) 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法
JP4256469B1 (ja) 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法
JP4256470B1 (ja) 導電性高分子アクチュエータ、その製造方法、およびその駆動方法
JP5162664B2 (ja) 高分子アクチュエータ及び高分子アクチュエータ搭載デバイス
US20110074253A1 (en) Actuator and method of manufacturing the same
US8946971B2 (en) Actuator
JP4352128B2 (ja) アクチュエータ素子
US20120001520A1 (en) Actuator device and input apparatus
JP4931002B2 (ja) ポリマーイオンゲルを用いたアクチュエータ素子及びその製造方法
JP6303495B2 (ja) アクチュエータ
WO2014069390A1 (ja) 高分子アクチュエータ素子
WO2010090074A1 (ja) 高分子アクチュエータ及びその製造方法
CN109585904B (zh) 可挠式锂电池
WO2010010873A1 (ja) 高分子アクチュエータ
JP2010246181A (ja) 高分子アクチュエータ装置及び入力装置
JP6001762B2 (ja) 高分子アクチュエータ及びその製造方法
JP5243117B2 (ja) 高分子アクチュエータ
WO2011024219A1 (ja) 導電性高分子アクチュエータ、並びにその駆動方法および製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201080010240.X

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10780559

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2011516030

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10780559

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1