JP4287255B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態による基板検査装置1の構成の一例を説明するための概念図である。図1に示す基板2は、基板検査装置1の検査対象となる基板、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージに用いられるパッケージ基板で、図1に示す基板2は、その断面を模式的に示している。そして、基板2の、半導体チップが取り付けられる側の表面21に、配線212によって導体部202と導体部203とが互いに接続されてなる配線パターン216と、配線213によって導体部204と導体部205とが互いに接続されてなる配線パターン217とが形成されている。また、基板2の裏面22に、配線214によって互いに接続されたパッド208とパッド209、及び例えば内層のベタ導体パターン等の配線215と接続されたパッド207が形成されている。さらに、基板2の表面21に形成された導体部201は、基板2の厚み方向に形成された配線211を介して基板2の表面22に形成されたパッド206と接続されている。
次に、本発明の第2の実施の形態による基板検査装置について説明する。図5は、本発明の第2の実施形態による基板検査装置の構成の一例を説明するための概念図である。図5に示す基板検査装置1aと図1に示す基板検査装置1とでは、下記の点で異なる。すなわち、図5に示す基板検査装置1aの制御部8aは、基準データ記憶部82及びタイマー83を備えない。また、制御部8aは、図1に示す制御部8とは、図3のフローチャートにおける動作が異なる。その他の構成は図1に示す基板検査装置1と同様であるのでその説明を省略し、以下、図5に示す基板検査装置1aの動作について説明する。
次に、本発明の第3の実施の形態による基板検査装置について説明する。図7は、本発明の第3の実施の形態による基板検査装置の構成の一例を説明するための概念図である。図7に示す基板検査装置1bと図1に示す基板検査装置1とでは、下記の点で異なる。すなわち、図7に示す基板検査装置1bは、チャンバー室5内に、電子放出用の金属からなる電極54と、電流計55とを備え、電極54は電流計55を介して電源グラウンドに接続されている。そして、電流計55は、電極54にレーザー光が照射されることによって、電極54から放出された電子に起因して流れる電流値を測定し、その測定した電流値を示すデータを制御部8へ出力する。また、図7に示す基板検査装置1bの制御部8bは、例えばROMに記憶された放電制御を実行するための放電制御プログラムを実行することにより、放電制御部84として機能する。
2 基板
3 レーザー装置(電磁波照射部)
4 ガルバノミラー
5 チャンバー室
6 多針状プローブ
8,8a,8b 制御部
21,22 表面
51 透明電極板(電極部)
52 パッキン
53 電流計(検出部)
54 電極(放電用電極部)
55 電流計(放電電流検出部)
61,62,63,64 接触子
71,72,73,74 スイッチ(切替部)
75 直流電源(電源部)
76,77,78,79 浮遊容量
81 基板データ記憶部
82 基準データ記憶部
83 タイマー
84 放電制御部
201 導体部(第1の配線パターン)
202 導体部(第1の配線パターン、第1の検査点)
203 導体部(第1の配線パターン、第2の検査点)
204,205 導体部(第1の配線パターン)
206,207,208,209 パッド(第2の配線パターン)
211,212,213,214,215 配線
216,217 配線パターン(第1の配線パターン)
Claims (7)
- 検査位置に保持され、一方表面に複数の第1の配線パターンが、他方表面に複数の第2の配線パターンが形成され、第1配線パターンの一部は第1配線パターン間でのみの間で接続されている基板の、前記第1の配線パターンにおける検査点に、電磁波を照射することによって放出される電子に起因する電気信号を検出することにより、前記配線パターンの検査を行う基板検査装置において、
前記電磁波を前記検査点に収斂させて照射する電磁波照射部と、
前記第2の配線パターンのそれぞれに同時に接触する多針状の接触子と、
前記電磁波照射部から照射された電磁波によって前記検査点から放出された電子を捕捉する電極部と、
前記多針状の接触子と前記電極部との間に電位差を生じさせる電源部と、
前記多針状の接触子と前記電源部の負極側との間の接続をオンオフする切替部と、
前記電極部により捕捉された電子に起因する電気信号を検出する検出部と、
前記切替部をオンさせて多針状接触子全てを電源部の負極に接続すると共に、前記第1の配線パターンのうち第1配線パターン間でのみの間で接続されている配線パターンにおける検査点に対して、電磁波照射部によって電磁波を照射させることにより当該検査点を充電した場合に、前記検出部によって検出された電気信号に基づいて、当該第1配線パターン間でのみの間で接続されている配線パターンの良否を判定する良否判定制御を行う制御部と、
電流値を測定する放電電流検出部を介して前記電源部の負極側に接続される放電用電極部とを備え、
前記制御部は、前記良否判定制御の実行後、さらに前記電磁波照射部によって電磁波を前記放電用電極部へ照射させることによって前記第1配線パターン間でのみの間で接続されていると共に前記良否判定制御の実行により充電された配線パターンを放電させる放電制御を実行し、当該放電制御を実行する過程において前記放電電流検出部によって検出される電流値に基づいて、当該良否判定制御を実行した対象である配線パターンについての良否を再度判定すること
を特徴とする基板検査装置。 - 前記検出部は、前記電極部により捕捉された電子に起因して流れる電流値を測定するものであり、
前記制御部は、前記良否判定制御において、第1配線パターン間でのみの間で接続されている配線パターンにおける検査点に対して、前記検出部によって検出される電流値が零になるまで前記電磁波照射部により電磁波を照射させ、前記電磁波が照射された時間が、予め定められた基準値の範囲内である場合に当該配線パターンを良と判定し、予め定められた基準値の範囲を超える場合に当該第配線パターンが他の配線パターンと短絡している短絡不良と判定し、予め定められた基準値の範囲に満たない場合に当該配線パターンが断線している断線不良と判定するものであることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 前記検出部は、前記電極部と前記電源部の正極側との間に介設されることを特徴とする請求項1又は2記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、前記放電制御を実行する場合に、前記切替部をオフさせて全ての接触子を電源から切り離すことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板検査装置。
- 前記放電用電極部の代わりに、前記第1の配線パターンのうち前記第2の配線パターンと導通されている配線パターンであって、前記切替部によって前記電源部の負極側に接続されている配線パターンを用いることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板検査装置。
- 前記切替部は、前記多針状の接触子各々について、前記電源部の負極側との間の接続をオンオフするものであり、
前記制御部は、前記放電制御を実行する場合に、前記第1の配線パターンと導通されている第2の配線パターンに接触している接触子以外の接触子について、前記切替部により前記接続をオフさせることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板検査装置。 - 検査位置に保持され、一方表面に複数の第1の配線パターンが、他方表面に複数の第2の配線パターンが形成され、第1配線パターンの一部は第1配線パターン間でのみの間で接続されている基板の、前記第1の配線パターンにおける検査点に、電磁波を照射することによって放出される電子に起因する電気信号を検出することにより、前記配線パターンの検査を行う基板検査方法において、
電磁波照射部が、前記電磁波を前記検査点に収斂させて照射する工程と、
多針状の接触子を、前記第2の配線パターンのそれぞれに同時に接触させる工程と、
電極部が、前記電磁波照射部から照射された電磁波によって前記検査点から放出された電子を捕捉する工程と、
電源部が、前記多針状の接触子と前記電極部との間に電位差を生じさせる工程と、
切替部が、前記多針状の接触子と前記電源部の負極側との間の接続をオンオフする工程と、
検出部が、前記電極部により捕捉された電子に起因する電気信号を検出する工程と、
制御部が、前記切替部をオンさせて多針状接触子全てを電源部の負極に接続すると共に、前記第1の配線パターンのうち第1配線パターン間でのみの間で接続されている配線パターンにおける検査点に対して、電磁波照射部によって電磁波を照射させることにより当該検査点を充電した場合に、前記検出部によって検出された電気信号に基づいて、当該第1配線パターン間でのみの間で接続されている配線パターンの良否を判定する良否判定制御を行う工程と、
放電用電極部を、電流値を測定する放電電流検出部を介して前記電源部の負極側に接続する工程と、
前記制御部が、前記良否判定制御の実行後、さらに前記電磁波照射部によって電磁波を前記放電用電極部へ照射させることによって前記第1配線パターン間でのみの間で接続されていると共に前記良否判定制御の実行により充電された配線パターンを放電させる放電制御を実行し、当該放電制御を実行する過程において前記放電電流検出部によって検出される電流値に基づいて、当該良否判定制御を実行した対象である配線パターンについての良否を再度判定する工程とを含むこと
を特徴とする基板検査方法。
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