JP4284019B2 - マイクロ−ブリッジ構造体 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 114
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 claims abstract description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 65
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 57
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 8
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 16
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 7
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRZFDJOWKAFVOO-UHFFFAOYSA-N [O-][Si]([O-])([O-])O.[B+3].P Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])O.[B+3].P VRZFDJOWKAFVOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000000347 anisotropic wet etching Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000006100 radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0853—Optical arrangements having infrared absorbers other than the usual absorber layers deposited on infrared detectors like bolometers, wherein the heat propagation between the absorber and the detecting element occurs within a solid
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
- G01J5/22—Electrical features thereof
- G01J5/24—Use of specially adapted circuits, e.g. bridge circuits
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one thermoelectric or thermomagnetic element covered by groups H10N10/00 - H10N15/00
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- Radiation Pyrometers (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Fire-Detection Mechanisms (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
本発明は、マイクロ−ブリッジをつくる方法及び、入射放射を検出する画像装置に使用されるような、マイクロ−ブリッジの新しい構造体に関する。本発明は、熱画像の分野から生じたが、その分野に限定される必要はない。
【0002】
熱検出器の2次元アレイに基づいた赤外線画像カメラは、それらの近傍周囲温度動作のために魅力的である。赤外線画像に使用される熱検出器は、赤外線放射の吸収による感知材料の温度変化に依存する。環境の1℃の温度変化は、検出器内では約0.001℃の温度変化になり、従って、吸収される放射の量を計ってこれを最大にすることが重要である。
【0003】
感知材料は、温度変化の大きさを電気回路構成を使用して検出させ、増幅させ且つ表示させる温度依存性を有する。強磁性材料に起こる温度に伴う電気分極の変化に依存するピロ電気アレイ、及び、或る材料に起こる温度に伴う電気抵抗の変化を利用する抵抗マイクロボロメーターアレイがその例である。
【0004】
熱検出器の全てのタイプでは、赤外線の吸収による感知材料の温度の上昇を最大にすることが有利である。温度上昇は、感知材料から熱を奪う熱伝導作用によって減少される。その結果、検出器設計は感知材料の熱隔離を最大にすることになる。電気的読み出し及び機械的剛体手段の要件として、ほとんどの実用検出器について、物理的連結が感知材料に必要とされる。
【0005】
赤外線画像化は、全ての物体は、その温度に依存するピーク波長を有するエネルギーを放射するという事実に依存する。周囲温度の物体については、このピーク波長は約10μmの赤外線である。より温かい物体はより強く放射する。この放射を、光学機器の焦点面に置かれた感受性要素のアレイに集め且つ焦点合わせするために、IR画像化は、一般的に、ゲルマニウムのものであるのがよいレンズを使用することを伴う。要素は、通常、マイクロ−コンデンサー又はマイクロ−抵抗体(マイクロ−ボロメーター)であり、それらの特性パラメーター(それぞれ、電荷又は抵抗)は温度に依存する。マイクロ−ボロメーターは、普通は、「マイクロマシン技術」を使用して、シリコン基板に形成される。これは、犠牲層の上に活性層を付着させ、平版印刷でパターン形成することを伴い、犠牲層は、最終的にエッチングで除去されて自由に立つ、熱的に隔離された構造体を残す。
【0006】
そのような構造体は、添付図面の図1に示され、レッグ2、4が素子1の本体を基板(図示せず)より上に支持する。レッグ2、4は、機械的支持が基板への低熱伝導で主本体に確実になされる。
【0007】
各素子は、素子の温度に比例する電気信号を発生し、素子の温度は、各素子又は要素に隣接した層によって吸収されたIRエネルギーの強さに依存する。次いで、電気信号は、濾過と増幅の両方を行う回路を使用して読みだされなければならない。
【0008】
伝統的に、IR放射を検出するのに使用される量子装置は、液体窒素温度に冷やすことを必要としていた。ここに記載した「アンクールド(Uncooled)」技術は、室温で作動する。IR放射は、煙によって暗くされないので、この技術は又、消防用途に有用である。又、高解像度イメージを形成することが必要でない用途もある。IR感受性素子は、簡単な「侵入者検出器」又は火炎検出器に使用することができる。
【0009】
現在、抵抗マイクロ−ブリッジの2つの基本形態がある。第1に、添付図面の図2aに断面で示すように、均質ブリッジのタイプがある。このタイプのボロメーターでは、ブリッジは、吸収される放射によって温度が変化すると特性が変化する材料で形成されている。材料特性の変化は、或る方法で、恐らくブリッジを通る電流の変化を測定することによって、決定される。当業者は、均質ブリッジが十分満足に働くが、その性能は、所望する程効率的でないかも知れないことを認識するだろう。
【0010】
マイクロ−ブリッジの第2のクラスは、「フィルム−オン−サポート」と名付けることができ、支持ブリッジの上のフィルムとして温度依存性材料(抵抗性である)を設ける。そのようなフィルム−オン−サポートのマイクロ−ブリッジを、添付図面の図2bに断面で示す。ブリッジは、関心のある波長の入射熱放射を吸収して、ブリッジ内に抵抗性材料の抵抗をもたらす温度変化を引き起こす。一般的に、抵抗性材料はブリッジの上に位置決めされたとき、入射放射のいくらかを反射させてマイクロ−ボロメーターの感度を減ずる金属であろう。更に、ブリッジの上面に金属を設けることにより、ブリッジにバイアを製作することを必要とし、更なるプロセスステップを必要とする。
【0011】
マイクロ−ブリッジ構造体の例が、Shie、Chenらによる、1996年12月に刊行された「マイクロエレクトロメカニカルシステム(Microelectromechanical systems)、Vol.5、No.4」に示されている。しかしながら、そこに示されているマイクロ−ボロメーターは、所望されるよりいくらかさらに複雑化されたプロセスで製造される。ブリッジは、異方性ウェットエッチングを使用して製造されたV溝の上に形成される。
【0012】
更なるマイクロ−ブリッジ構造体が、米国特許第5,698,852号にも示され、この特許では、チタン層が、SiO2の層で形成されたブリッジの下側に抵抗体をなしている。しかしながら、この資料は、2つのSiO2層の間に挟まれた抵抗ボロメーター部分を示す。この米国特許に示されたマイクロ−ボロメーターは、ここで説明されるものよりもかなり複雑な構造を有する。構造及び製造工程の簡単化は、装置のコストを減じ、又、歩留まりの増加を助ける。
【0013】
発明の第1の側面によれば、基板上にマイクロ−ブリッジ装置を製造する方法を提供し、以下のステップを含む
a.基板の表面領域に犠牲材料を設ける
b.犠牲材料をパターン状にエッチングする
c.犠牲材料の表面領域に感知材料を設ける
d.感知材料の表面領域に支持材料を設ける
e.犠牲材料を取り除いて、基板の上に実質的に自由に立つ、支持材料とその下面の感知材料とを残す
【0014】
この方法は、先行技術の方法よりも処理ステップが少ない有する方法によってマイクロ−ブリッジを提供することから、有利である。当業者は、この処理ステップが製造プロセスの歩留まりを増加させ、又、本方法によって製造された装置のコストを減ずるから、処理ステップの数の減少は非常に有利であることを認識するだろう。
【0015】
有利には、支持要素が単一層の材料として設けられ、感知材料のための物理的支持をなし、且つ、入射放射の吸収体としても作用する。
【0016】
感知材料は、導電性材料であるのが良い。そのような材料は、抵抗の変化を測定するマイクロ−ブリッジ構造体を提供するのに適している。好ましくは、マイクロ−ブリッジ構造体は、感知材料が抵抗体をなすマイクロ−ボロメーターである。
変形例として、感知材料は強誘電材料でも良い。そのような材料は、電荷の変化を測定するマイクロ−ブリッジ構造体を提供するのに適している。
【0017】
好ましくは、基板には、電気回路が設けられ、これは、マイクロ−ブリッジからの信号を処理するための電子回路が設けられ、且つ、マイクロ−ブリッジ及び処理電子回路の両方を収容するための単一のパッケージが設けられるから、有利である。最適な処理電子回路を設けることは、或る先行技術の構造体では可能ではない。例えば、Shie、Chenらによる刊行物では、ブリッジ構造体の下に設けられたV溝は、ブリッジ装置の平らな領域の下にそのような電子回路を設けることを恐らく防止し、電子回路を設ける基板の領域がエッチング除去される。従って、本方法によって提供される構造は、信号処理電子回路が位置決めされる領域を、マイクロ−ブリッジ構造体の下に設けることができる。
【0018】
最も好ましくは、本方法はCMOS処理ステップとの互換性である。これは、標準の製造プロセスが使用されるようになり、一般的に、本方法により製造された装置のコストを減ずるので、有利である。
【0019】
都合のいいことに、プロセスのステップbは、犠牲材料を介して、基板の電子回路部品との接続を可能にするバイアを設けることを含む。そのようなステップは、処理電子回路及びマイクロ−ブリッジを単一パッケージに設ける便利な方法である。当業者は、バイアが、犠牲層をパターン形成するために従来のフォトレジストを使用して、或いは、犠牲層として感光性ポリマーの使用によって作られてもよいことを理解するであろう。
【0020】
一実施形態では、犠牲材料は、スピン付着され且つ硬化されるポリイミドである。犠牲材料は、約3μmの厚さに付けられるのが良い。しかしながら、変形実施形態では、犠牲材料は、約1.5μmと約6μmの間の厚さに付けられ、或いは約2μmと約4.5μmの間であってもよい。犠牲材料の厚さは、最終的に、最終のマイクロ−ブリッジ構造体の基板上の感知材料の高さを支配することが認識されるだろう。
【0021】
本方法は、全てのレジスト層が犠牲材料の付着に続いて確実に取り除かれるようにするために、エッチング溶剤を使用するステップを含む。エッチング溶剤は、EKCであるのが良い。
【0022】
感知材料は、チタン(Ti)であるのが良い。チタンは、温度とともに特性が変化するために、且つ又、チタンの低ノイズレベルのために有利である。更に、チタンは、高抵抗性を有し、その高抵抗性によって、CMOS回路の設計を、他の感知材料よりもっと容易に最適化させることができる。当業者は、材料の2つの等しい部分について、より高い抵抗率を有する部分により高い抵抗を有することを認識するだろう。
【0023】
感知材料は、CMOS互換性である都合の良い方法を提供するスパッター付着によって付着されるのがよい。感知材料は、約0.2μmの厚さに付着されるのがよい。
しかしながら、当業者は、他の厚さが適当であるかもしれないことを認識するだろう。例えば、感知材料は、約0.05μm乃至約0.3μmの範囲の厚さに設けられてもよいし、或いは、約0.1μm乃至約0.025μmであってもよい。もしマイクロ−ブリッジ装置がマイクロ−ボロメーターであるならば、感知材料は抵抗体を形成する。この抵抗体の抵抗は、マイクロ−ボロメーターから得られた信号をプロセスに容易に送るので、比較的高いことが望ましい。感知材料をこの範囲にすることは、適した抵抗を提供する。この範囲より大きい厚さは、抵抗を減らし過ぎる傾向がある。
【0024】
ここに説明した厚さ及び抵抗は、感知材料がチタンであるとき特に適する。もし感知材料が他の材料であるならば、他の厚さが適用できる。
変形実施形態では、感知材料は、アモルファスシリコン、バナジウム酸化物、白金、ニッケル、アルミニウム、又は各々適切な特性を提供する上記の金属のいずれか1つの合金であるのがよい。
【0025】
感知材料は、3.3Ω/sqのシート抵抗を有するのがよい。変形例として、感知材料は、約1.5Ω/sq乃至約6Ω/sqのシート抵抗を有しても良いし、或いは、約2.5Ω/sq乃至約4.5Ω/sqのものであってもがよい。
都合良いこととして、本方法のステップc.は、基板に設けられた、次の層のアラインメントのための光学アラインメントターゲット(OAT)から感知材料を取り除く更なるステップを含む。そのようなステップは、該ステップが方法の残りのステップを簡単化し、且つ、それを、残りの層を位置決めすることを容易にするので、有利である。OATはウェーハーステッパーが使用されるとき必要であることは当業者に明らかであろう。
【0026】
方法のステップb.は又、基板に設けられたOATから犠牲材料を取り除くステップを含む。そのようなステップは、犠牲材料がシリコン酸化物以外の材料であれば特に有利である。
【0027】
好ましくは、支持材料は、感知材料の表面領域上に付着される。この付着プロセスは、プラズマ化学蒸着法(PECVD)、低圧化学蒸着法(LPCVD)によって、或いはスパッタリングによって行われる。
支持材料は、約1μmの深さに付着されるのがよい。この深さは、十分な構造剛性をもたらすので都合が良い。しかしながら、当業者は、他の厚さの範囲が適当であるかもしれないことを認識するだろう。例えば、支持材料は、約0.05μm、0.1μm、0.5μm乃至恐らく約2μm、3μm、4μm、5μmの厚さを有していてもよい。
【0028】
好ましくは、方法は、支持材料を約±10%の精度に付ける。上述した説明から、検出器を、その環境から熱的に隔離しなければならないことが認識されるだろう。一般的に、これは、一対のレッグによって支持されるブリッジ構造体(支持材料の)を設けることによって成し遂げられる。そのような構造体では、レッグは、ブリッジとウェーハー又は基板との間の熱接触をもたらす。レッグを厚くし過ぎることは、より多くの熱がウェーハー又は基板からブリッジに伝えられ、マイクロ−ブリッジ装置の感度を減ずるので、有利ではない。もしレッグが薄すぎれば、ブリッジ構造体にとって十分な機械的支持がない。従って、剛性指示をなすことと熱隔離をなすこととの間に妥協がある。
【0029】
当業者は、マイクロ−ブリッジ構造体が、2つ以外の数のレッグを設けてもよいことを認識するだろう。マイクロ−ブリッジ構造体は、1、3、4、5、6、7、又はより多くのレッグを備えても良い。
【0030】
方法は、支持材料を約1/4λの厚さを有するように付けることを含む。ここで、λは、支持材料内での関心のある入射放射の波長である。当業者は、放射の波長が、放射が移動している材料によって変わることを認識するだろう。支持材料をこの厚さに付けることは、支持材料の底面から反射される関心のある波長の放射とブリッジに入射した放射との弱め合う干渉(destructive interference)を起こすので、有利である。この弱め合う干渉は、エネルギーの吸収を促進し、且つ、関心のある波長の入射放射により、支持材料の温度上昇を増加させる。
【0031】
支持材料は、必要な構造体を提供するようにパターン形成され且つエッチングされるのが都合良い。好ましくは、支持材料をパターン形成し且つエッチングするのに使用されるレジストは、都合良くは、EKCであるエッチング溶剤によって取り除かれる。
一実施形態では、支持材料は、CMOSプロセスステップを使用して提供することが容易であるので有利であり、且つ、都合良くは、前述したように、マイクロ−ブリッジ構造体によってモニターされる波長である約8μm乃至14μmの波長の放射を容易に吸収するシリコン酸化物である。支持材料が、所望の波長の入射放射により、支持材料の温度変化を最大にするように放射を吸収することが有利である。当業者は、8μm乃至14μm以外の波長について、関心のある波長を吸収する他の材料が有益であることを認識するだろう。
【0032】
方法は、基板の表面領域に反射層を設ける更なるステップを含んでもよい。そのような層は、マイクロ−ブリッジ構造体が入射放射を吸収する効率を更に高める。
【0033】
基板の表面領域に、反射層を位置決めする都合良い方法をもたらす犠牲層の前に、反射層を設けてもよい。そのような方法が、基板の上領域に反射層を設けたマイクロ−ブリッジ構造体を提供し、マイクロ−ブリッジ構造体が実質的に反射層より上に懸架されることが認識されるだろう。
都合良くは、方法は、アルミニウム、チタン、ニクロム(登録商標)、白金、ニッケル又はこれらの材料の任意のものの合金のうちの、任意の1つである金属で反射層を作る。
反射層は、スパッタリング、蒸発、又は当業者によって認識されるように、他の任意適当な技術によって作られるのが良い。
【0034】
都合良くは、犠牲材料は、酸素プラズマで行われる灰化によって取り除かれ、犠牲材料を覆う層と干渉することなく犠牲材料を取り除くのに効果的なプロセスを提供する。
【0035】
方法のステップe.後、好ましくは、熱アニールが基板について行われる。熱アニールは、Tiの抵抗の温度係数の上昇値を保つので有益であり、且つ、回路内の接点を確実に正しく形成する。熱アニールは、急速熱アニールプロセス又は産業標準的炉アニールによって行われるのが良い。
感知材料は、少なくとも1つの感知材料トラックとして設けられるのが良い。好ましくは、方法は、特定の偏光を有する入射放射が通過することができないように感知材料トラックを設けることを含む。これは、偏光を有する放射の通過をさえぎる方法で感知材料トラックを配列することによって成し遂げられる。特に、感知材料トラックは、互いに交わる方向に走る長さを有するように設けられるのが良い。感知材料トラックは、互いに平行な方向に走る実質的な長さを備えていても良いし、互いに交わっても良いし、或いは、互いに直交しても良い。他の実施形態では、方法は、感知材料トラックに湾曲部分を設けることを含んでも良い。湾曲部分は、円形や楕円形等であっても良い。
【0036】
支持材料の上の領域に、設けられ、入射放射を吸収するようになったマッチング層が設けられるのが良い。マッチング層は、ニッケルクロム合金であるのが良く、且つ蒸着によって設けられても良いし、或いは、スパッタリングであっても良い。
マッチング層は、マイクロ−ブリッジ構造体の屈折率を自由空間の屈折率に整合させるので、有利である。当業者は、波面がそれぞれ異なる屈折率の材料の境界に入射するとき、ある程度の反射が起こることを認識するだろう。明瞭には、当該波長の入射放射が反射されるならば、放射に応答して生じた信号が減少される。それゆえ、マイクロ−ブリッジの上面に起こる反射量を最小にすることは有利である。
マッチング層は、平方当たり所要の抵抗を有するまで付着されるのが良い。抵抗は、約377Ω/平方であるのが良い。変形例として、抵抗は、約250Ω/平方乃至約500Ω/平方の範囲にあっても良いし、或いは、約320Ω/平方乃至約430Ω/平方の範囲にあっても良い。
【0037】
方法は、封入パッケージ内にマイクロ−ブリッジ構造体を設けることを更に含むのが良い。封入パッケージは、低熱伝導率を有するガス(キセノンは一例である)で満たされるのが良く、或いは、より好ましくは、封入パッケージは排気されるのが良い。
【0038】
発明の第2の側面によると、基板を有するマイクロ−ブリッジ構造体を提供し、基板の上にマイクロ−ブリッジ構造体の支持要素が設けられ、支持要素の下側には、感知材料が設けられ、感知材料は基板の上に支持要素によって支持されているが、接続領域で基板上のトラックに接続される。
【0039】
好ましくは、支持要素は、酸化シリコン(SiO2)の領域からなる。これは、CMOSプロセスで容易に達成できることを提供する都合の良い材料であり、且つ、関心のある波長の電磁波を強く吸収する。
支持要素は、平面がほぼ正方形であり、マイクロ−ブリッジ構造体のアレイを設けるために効率的な形状を提供するのが良い。
一実施形態では、支持要素は、平面がほぼ正方形であり、そして、支持要素の側面についてほぼ50μmの寸法を有する。変形実施形態では、支持要素は、約25μm乃至約100μmの範囲の側面を有してもよく、或いは、35μm乃至約75μmの範囲にあっても良い。
支持要素は、基板の上に支持要素を支持するようになっているレッグ部分を備えるのが良い。そのようなレッグ部分は、基板からの支持要素の熱隔離のために、有利である。熱隔離は、マイクロ−ブリッジ構造体によって測定されなければならない温度変化が、もし基板の熱質量が排除されなければ失われそうな大きさのものであるので有利である。
【0040】
都合良くは、感知材料は又、レッグ部分の下側に設けられる。そのような構造体は、支持要素上の感知材料が基板の回路素子に容易に接続することができる構造体を提供するので、再び都合がよい。
好ましくは、感知材料は導電性材料である。そのような場合に、感知材料は抵抗体を形成するのが良い。
変形例として、感知材料は、強誘電材料であっても良い。その場合に、感知材料は、コンデンサーの誘電体を形成するのが良い。そのような構造体は、支持要素内の温度変化(即ち、抵抗体の抵抗の変化、若しくは、コンデンサー誘電体によって形成されたコンデンサーの電荷の変化)を測定する手段を提供するので、都合が良い。
【0041】
抵抗体は、基板に設けられたCMOSトランジスターに接続されるのが良い。これは、マイクロ−ブリッジ構造体によって提供される情報を処理する都合の良い構造体を提供する。
トランジスターが、抵抗体の抵抗が測定される正しい瞬間に抵抗体を処理電子回路に接続する都合の良い構造体を提供するスイッチとして配置されるのが良い。
抵抗体は、約3kΩの抵抗を有するのが良い。変形例として、抵抗体は、約1.5kΩ乃至約6kΩの範囲の抵抗を有しても良いし、或いは、約2kΩ乃至約4.5kΩであっても良い。
【0042】
感知材料は金属であり、より詳細には、使用するCMOS互換性プロセスを提供するのに都合の良い材料であるチタンであるのが良い。更に、チタンは、チタンをこの用途に特に適するようにする温度依存抵抗を示し、且つ比較的高い抵抗性を有する。変形実施形態では、アモルファスシリコン、酸化バナジウム、白金、ニッケル、アルミニウム、前述した金属の任意の1つの合金のような材料が、感知材料を提供する。
好ましくは、抵抗体が、支持要素上に感知材料トラックとして設けられる。これは、感知材料トラックにより、抵抗体の長さを最大にし、提供し得る抵抗の値を増大させるので、有利である。より高い抵抗を有することは、検出電子回路がより高い値の抵抗体から読み出しを処理することがより簡単であるので、それ自身有利である。
【0043】
都合良くは、感知材料トラックは、感知材料トラックの長さを最大にするように試みるのに都合の良い構造体である曲折構造体を有する。好ましくは、曲折構造体は、直交方向に主部分を有する。直交方向は、互いにほぼ直角であるのが良い。そのような直交方向は、特定の偏光を有する放射が、吸収されることなしに感知素子を通過するのを防ぐことを助けるので、有利である。
【0044】
当業者は、ある実施形態では、支持要素の厚さが、支持要素の材料内の入射放射のほぼ1/4λであるように調整されることを認識するだろう。かくして、支持要素に入射する関心のある波長の放射は、下面によって支持要素の上面に向かって反射され、且つ関心のある波長の入射放射と弱め合う干渉をするのが良い。支持要素の下側に感知材料を設けることは、この反射プロセスを助けることができ、特定偏光の放射が通過しないようにすることは、この反射プロセスを更に高める。
都合良くは、支持要素は、測定したい放射の波長のほぼ4分の1の厚さを有するのが良い。これは前述した概要の理由によって、有利である。特に、支持要素は、ほぼ1μmの厚さを有するのが良い。他の実施形態では、支持要素は約0.5μm乃至2μmの範囲の厚さを有していても良いし、或いは、0.75μm乃至1.5μmであっても良い。
【0045】
反射層が、マイクロ−ブリッジ構造体を通過した後基板からマイクロ−ブリッジ構造体に反射される放射の割合を更に高めるために設けられるのが良い。反射層は、基板の上領域に、基板とマイクロ−ブリッジ構造体との間のギャップの下に設けられるのが良い。
都合良くは、反射層は、アルミニウム、チタン、ニクロム(登録商標)、白金、ニッケル又はそれらの金属の任意のものの合金のうちの任意の1つである金属で作られる。
【0046】
マイクロ−ブリッジ構造体は、支持要素の最上面に設けられるマッチング層を更に含むのが良い。そのようなマッチング層は、関心のある波長の入射放射の吸収を確実に最大にする更なるメカニズムであるので、有利である。マッチング層は、放射を関心のある波長で特に強く吸収するように、構造体を補助する。
当業者は、波面が2つの媒体間を通過するとき、ある程度の反射が起こることを認識するだろう。従って、マッチング層は、マイクロ−ブリッジの屈折率を自由空間の屈折率に整合させ、それは、マイクロ−ブリッジ装置の上面に起こる反射量を最小にするので、有利である。
【0047】
発明の第3の側面により、発明の第2の側面によるマイクロ−ブリッジ構造体を有するトランスデューサーを提供する。
トランスデューサーは、圧力変換器であるのが良い。一定のバイア電流に対して、マイクロ−ブリッジ構造体の温度は、周囲のガスにより熱状態に依存するので、トランスデューサーはそれらのガスの圧力を測定することが出来る。トランスデューサーには、ピラニゲージの考えられる。
もしトランスデューサーがピラニゲージであれば、犠牲材料が発明の第1の側面による方法によって約0.1μmの深さに付着されるのが良い。もしかすると、犠牲材料は、0.05μm、0.075μm、0.125μm或いは0.15μmの任意の1つの付近の深さに付着されても良い。
トランスデューサーは、フロートランスデューサーであっても良い。所定のバイア電流について、マイクロ−ブリッジ構造体の温度は、熱がガス又は流体流れによってどのくらい早く運び去られるかに依存し、従って、フロートランスデューサーとして使用される。
【0048】
もちろん、トランスデューサーは、火災報知機、侵入者アラーム、IR画像装置又は自動検査のような用途のIRトランスデューサーとして使用される。
確かに、トランスデューサーは、適当な電流がマイクロ−ブリッジを流れるとき、マイクロ−ブリッジの温度が変化するので、IRエミッターであるのが良い。そのようなエミッターは、恐らくシミュレーションの目的のために、物体のIRサインを発生させるのに有用である。
【0049】
今、添付図面を参照して発明の詳細な説明のみの例示として続ける。
【0050】
図1に、代表的なマイクロ−ブリッジ装置、この場合はマイクロ−ボロメーターを示す。主本体1が、本体に入射した、関心のある波長の放射を吸収するために設けられ且つ該放射を吸収するようになっている。レッグ2、4が、基板(図示せず)の上に本体1を支持するために設けられ、且つその基板から熱隔離を行う。基板は、半導体ウェーハーとして構成されるのがよい。
【0051】
図2aは、ブリッジが実質的に均一材料のものである均質ブリッジタイプのマイクロ−ブリッジ構造体を示す。センシングの或る手段は、ブリッジの温度変化を決定するようになっている。センシングの手段は、電流をブリッジに通し、電流変化を測定することのためであるのが良い。
【0052】
図2bは、フィルム−オン−支持タイプのマイクロ−ブリッジ構造体を示し、この場合には、金属性フィルム6が支持ブリッジ8の上に設けられている。金属性フィルムは、抵抗体として作用するように形成されている。バイア10、12は、抵抗体を、ブリッジ8の下の領域で処理電子回路に接続させるために、ブリッジ8に設けられる。この設計による装置は、2つの欠点を有している。第1に、金属性フィルムは、関心のある波長の入射放射の一定の量を反射させ、かくして、設計の効率を減ずる。第2に、バイア10、12の製造は、余分の重要なプロセスステップを導入し、これは装置をより高価にするだけでなくプロセスの歩留まりを減ずる。
【0053】
図2cは、マイクロ−ブリッジ装置の構造、即ち、この場合には、金属性フィルム14をブリッジ構造体16の下側に設けた、本発明により製造されたマイクロ−ボロメーターを示す。
【0054】
図3は、図2cの構造体の製造に伴われるプロセスステップの要点を示す。図3aに示すように、プロセスのスタートポイントは、完全に処理されたCMOSウェーハー20である。領域22(図3aにのみ示されている)は、ウェーハー20に設けられたCMOS回路構成を表わすものである。図3に関して説明する例では、方法の初期ステップは、ウェーハーの上面に金属層を設けることを含む。この金属層は、回路構成22をマイクロ−ブリッジ構造体に接続する。この金属層は、CMOS回路構成22の製造に利用できる金属層の数によって必要とされたり、されなかったりする場合がある。
【0055】
図3aに関して説明するプロセスのスタートでは、ウェーハー20は、最上面に設けられるボロンリン−ケイ酸塩ガラス(BPSG)パッシベーション層24を有する。
【0056】
図3bに示すように、開示した方法の第1のステップは、BPSGパッシベーション層24をパターン形成し且つエッチングして、CMOS回路構成22へのバイア26を開く。バイア26が一旦開かれたら、予金属洗浄が行われる。これは、10対1のHF酸を30秒間使用することによって成し遂げられる。
一旦洗浄が行われたら、金属が付着され且つパターン形成される。基板上の金属トラック28がバイア26に形成される。一実施形態では、60〜70mΩ/平方の抵抗率を有する、5μmのAl/1%Siが付着される。
【0057】
図3dに示すように、一旦基板上の金属トラック28が設けられたら、更なるパッシベーション層30がウェーハー20の表面に付着される。この実施形態では、シリコン窒化物を、プラズマ化学蒸着法(PECVD)によって2μmの深さに蒸着させた。
当業者は、CMOS回路が、製造されるべきマイクロ−ブリッジ構造体との接続を行うのに十分な金属層を有するならば、このポイントはプロセスの始めとなることを認識するだろう。
【0058】
一旦パッシベーション層30が設けられたら、犠牲材料32がウェーハー20の表面に設けられる。この犠牲層は、必要とされるエッチングが、マイクロ−ブリッジ構造体、センサー材料、又は下に位置する任意のCMOS回路部品のいずれも損傷させることなく、複雑なマイクロ−ブリッジ構造体の下からエッチングにより取り去ることができる材料からなる。都合良くは、この材料はポリイミドであるのが良い。普通のポリイミドを、パターン形成の間フォトレジストを保護するために標準フォトレジストプロセスで使用しても良いし、或いは、ディファイニングマスク(defining mask)を通して紫外線光にさらされた後直接パターン形成されるフォトイメージャブル(photo imageable)ポリイミドを使用しても良い。
【0059】
説明した実施形態では、普通のポリイミドをフォトレジストについて使用した。犠牲層を、約3μmの深さにスピン付着させ且つ硬化させる。パターン形成の後レジスト層の全てのトレースを取り除くことが重要であり、ここで説明する実施形態の場合は、これはEKCエッチングで成し遂げられる。このクリーニングプロセスの間のポリイミドの厚さの少しの減少は許容することができる。
【0060】
一旦犠牲材料32が設けられたら、図3fに示すようにパターン形成され且つエッチングされる。パッシベーション層30も、基板上のトラック28の領域でエッチングされ、基板上の金属トラック28への接触を可能にすることに注目すべきである。
【0061】
パターン形成及びエッチングが行われた後、チタン34(感知材料)のほぼ0.2μm厚の層が、図3gに示すように、プロセスを受けているウェーハーの表面にスパッター付着される。金属層は、プラズマエッチングされて、所望の構造を作る。感知材料がエッチングされて、所望の構造を作ると同時に、感知材料は、次の層の粗アライメントを補助するために、光学アライメントターゲット(OATs)から取り除かれる。
【0062】
シリコン酸化物(SiO2)36(支持要素をなす支持材料)のほぼ1μm厚の層が、図3hに示すように、チタン34の表面に付着される。この酸化物層36は、パターン形成され且つエッチングされ、そしてレジストがEKCを使用して確実に取り除かれる。
プロセスの或る実施形態では、マッチング層(図示せず)を、酸化物層の上に付着させ又は成長させる。
【0063】
次のステップは、プロセスを受けているウェーハーを灰化して、犠牲材料(ポリイミド)を取り除くことである。説明する実施形態では、灰化プロセスは、約12分間続く。灰化プロセスは、基板から支持要素を解放し、且つ、チタンの感知材料34とパッシベーション層30との間に十分な空隙38を残す。
プロセスの最後のステップは、30秒間続き且つ400℃で行われる急速熱アニールを行うことにある。
【0064】
当業者は、図1、図2c及び図4は、図3に示すプロセスにより製作されたマイクロ−ブリッジ装置の構造を示すことを認識するだろう。
主に図1を参照すると、マイクロ−ブリッジ装置48は、平面がほぼ正方形である。正方形部分は、レッグ2、4によって基板(図示せず)より上に懸架された支持要素50からなる。レッグ2、4は、スリット52、54によって支持要素50から分離され、スリットは、支持要素50が基板からの良好な熱隔離を確実に有するようにする。
【0065】
図1のマイクロ−ブリッジ構造体の構造は、レッグ2、4の構造を考慮するとき、幾分簡単化される。図1では、各レッグ2、4は、支持要素50と同じ平面に平らな部分56を有するが、スリット52、54によって支持要素50から分離される。平らな部分56に加え、傾斜部分58が設けられ、該傾斜部分は、平らな部分56から基板に向って或る角度で延び、支持要素50は基板より上に懸架される。各レッグ2、4の平らな部分は、連結領域によって支持要素50に接合されている。傾斜部分は、連結領域から遠位端にある。
当業者は、開示した方法によって製造されるレッグ2、4の特定構造は、わずかに異なってもよいことを認識するだろう。レッグ2、4は、犠牲材料にエッチングされたくぼみを感知材料で被覆し、そして、感知材料を支持材料で被覆することによって形成される。
支持要素50の下側には、温度依存特性を有する抵抗体を形成する金属の感知材料トラック60(これは図2cで金属性フィルムとして示されている)が設けられる。感知材料トラック60は、基板から、マイクロ−ブリッジ装置の第1のレッグ2を昇り、第1のレッグ2を支持要素に接合する連結領域(抵抗体の連結領域を形成する)を横切り、支持要素50の下側を横切って曲折し、他の連結領域(抵抗体の他の連結領域を形成する)を横切り、他方のレッグ4を下って、走る。
【0066】
図4a及び図4bに見られるように、或る実施形態では、感知材料トラック60のその曲折は、互いにほぼ垂直な方向に走る主要部分を有する。曲折は、感知材料トラック60の長さを確実に最大にして、感知材料トラック60によってもたらされる抵抗の値を増加させ、抵抗は、この場合は、約3kΩである。感知材料トラックは、約0.35%/Kの抵抗温度係数を有するチタンから製造される。
図4cは、主要部分が実質的に1方向にのみ走る曲折を有するマイクロ−ブリッジ構造体の実施形態を示す。
【0067】
図5及び図6に示す走査電子顕微鏡写真は、主要部分が互いに直交する方向に走る曲折形態を有する感知材料トラックを示す。この曲折形態は、特定の偏光の放射がマイクロ−ブリッジを通過するのを防止するのを助けると信じられている。
当業者は、感知材料トラックは支持材料の下に設けられているけれども、感知材料トラックの経路は、図5及び6では、マイクロ−ブリッジ構造体を製造するのに使用されるプロセスの性質により支持材料の上面に見ることができることを認識するだろう。
支持要素を製作するSiO2(支持材料)の厚さは、SiO2内での関心のある波長の入射放射の波長の4分の1波長と等しく作られる。当業者は、放射の波長は、自由空間とSiO2内とでは異なることを認識するであろう。この場合には、SiO2は、およそ1μm厚さであるように作られる。
【0068】
使用中、図に示すように、装置のアレーが、装置に入射する放射を有するように、設けられ且つ配列される。支持要素50は、8μm乃至14μmの範囲の波長の放射を吸収するように調整され(しかし変形例として、他の波長に調整されても良い)、従って、そのような放射が入射されるとき温度変化を経験する。この温度変化により、感知材料トラック60の抵抗値を、周知の方法で変化させ、この温度変化は、感知材料トラック60が接続される回路構成によって使用されて、支持要素50に入射した関心のある波長の放射の量を計算することができる。かくして、支持要素50は、物理的支持体としても、又放射の吸収体としても作用するように構成される。マイクロ−ブリッジ装置は、その最も簡単な形態では、物理的支持、放射吸収及び放射検知の3つの機能を共に提供する2つの層(支持材料36及び感知材料34)を有する。
【0069】
レッグ2、4は、支持材料50が基板より上に機械的に確実に支持するが、レッグの設計は、基板の熱質量が支持要素の温度変化に影響を及ぼさないように、十分な熱隔離を確実に行う。
マイクロ−ブリッジに入射する関心のある波長の放射は、ブリッジ構造体に入る。ついには、この放射は、感知材料トラック60を形成する金属性フィルム14に当たり、金属性フィルムは、放射をマイクロ−ブリッジの上面に向って反射させる。曲折した感知材料トラック60のパターンは、全ての偏光の放射が確実に反射され、且つこのために確実に吸収されるように作られ、これによって、放射吸収を増大させる。もし曲折が実質的に単一方向のみに走るならば、特定の配向に偏光された放射が、他の偏光(大きい比率が依然として反射されるけれども)の放射より高い比率で、感知材料トラックを通ることがある。1方向より多い曲折を有することは、感知材料トラックを通ることができる放射の量を減ずるのを助ける。
【0070】
SiO2が関心のある放射の波長の1/4なので、上面から金属性フィルムの下面まで、そして上面に戻るまでの全光路長は、1/2波長である。従って、弱め合う干渉が、上面の領域に起こり、関心のある放射の高い程度の吸収が確実に起こる。
或る実施形態では、マイクロ−ブリッジの上面に、該上面を自由空間即ち377Ω/平方に整合させるマッチング層が設けられても良い。当業者は、波面が2つの媒体間を通過するとき、ある程度の反射が起こることを認識するだろう。マッチング層は、この反射を最小にするのを助け、更に、マイクロ−ブリッジによって吸収される放射の量を増大させる。支持要素50に生じる温度変化が、可能な限り確実に大きくなるように、吸収される放射の量を確実に増大させることは、重要である。
【0071】
当業者は、本出願はおおむね8μm乃至14μmの波長を有する放射の吸収について説明するが、説明した技術はより広い用途に使用できることを認識するだろう。8μm乃至14μmの波長を検出することは、大気によってほとんど吸収されない大気吸収ウィンドーと一致することから、特に有利である。当業者は、3μm乃至5μmの間の更なる吸収ウィンドーがあり、それをも使用しても良いことを更に認識するだろう。更に、これらの波長以外の放射を吸収する装置を製造することが同様に可能である。そのような装置では、ブリッジ構造の材料及び構造は、問題の波長を最適化することを単に必要とするものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】 一般的なマイクロ−ブリッジ装置の概略図を示す。
【図2】 マイクロ−ブリッジ装置の3つの異なるタイプの断面図を示す。
【図3】 本発明によるマイクロ−ブリッジ装置のための製造プロセスの断面図を示す。
【図4】 図1のマイクロ−ブリッジ装置の下側の等角図を示す。
【図5】 本発明によるマイクロ−ブリッジ構造体の走査電子顕微鏡写真を示す。
【図6】 本発明によるマイクロ−ブリッジ構造体の走査電子顕微鏡写真を示す。
Claims (18)
- 入射放射を吸収するように構成され、その上に支持要素が設けられた基板を備えたマイクロ−ブリッジ構造体を含むボロメーターであって、
支持要素の下側には、入射放射に応答して抵抗が変化するように構成された抵抗性感知材料が設けられ、
感知材料は基板の上に支持要素によって支持されているが、接続領域で基板上のトラックに接続され、
支持要素は、基板と当該支持要素との間に基板上のトラック及び抵抗性感知材料を介した領域から延び、実質的に単層の材料を有することを特徴とするボロメーター。 - 支持要素の厚さが支持要素の材料内での入射放射の1/4波長であるように調整されている、請求項1に記載のボロメーター。
- 支持要素はSiO2から製造される、請求項1又は請求項2に記載のボロメーター。
- レッグ部分が支持要素を基板より上に懸架するように設けられ、感知材料がレッグ部分の下側に設けられている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のボロメーター。
- 感知材料は、曲折構造を有する少なくとも1つの感知材料トラックとして設けられた、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のボロメーター。
- 曲折構造は直交方向の部分を有する、請求項5に記載のボロメーター。
- 直交方向は互いに実質的に垂直である、請求項6に記載のボロメーター。
- マッチング層が支持要素の最上面に設けられている、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のボロメーター。
- a.犠牲材料を基板の表面領域に設けるステップと、
b.犠牲材料をパターン状にエッチングするステップと、
c.基板上のトラックに接触するように犠牲材料の表面領域に感知材料を設けるステップと、
d.感知材料の表面領域に支持材料を設けるステップと、
e.支持材料が入射放射を吸収するように構成されるように、犠牲材料を取り除いて、
基板の上に実質的に自由に立つ、支持材料とその下面の感知材料とを残すステップと、
を有する、基板上にマイクロ−ブリッジ構造体を含むボロメーターの製造方法。 - 犠牲材料はポリイミドである、請求項9に記載の方法。
- 方法は、約1/4λの厚さを有するように支持材料を付けることを有し、ここにλは、支持材料が支持材料内での関心のある入射放射の波長である、請求項9又は10に記載の方法。
- 特定の偏光を有する入射放射が通過することができないように感知材料を設けることを有する、請求項9乃至11のいずれか一項に記載の方法。
- 感知材料は少なくとも1つの曲折した感知材料トラックとして設けられる、請求項9乃至12のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの感知材料トラックは、互いに直交する方向に走る長さを有するように設けられている、請求項13に記載の方法。
- 封入パッケージがマイクロ−ブリッジ構造体のために設けられている、請求項9乃至14のいずれか一項に記載の方法。
- 封入パッケージをキセノンガスで満たし、或いは、パッケージを排気することを有する、請求項15に記載の方法。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のマイクロ−ブリッジ構造体を組み込んだトランスデューサー。
- トランスデューサーは、IRトランスデューサー及び又はエミッターである、請求項17に記載のトランスデューサー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB9919877.2 | 1999-08-24 | ||
GBGB9919877.2A GB9919877D0 (en) | 1999-08-24 | 1999-08-24 | Micro-bridge structure |
PCT/GB2000/003243 WO2001014838A1 (en) | 1999-08-24 | 2000-08-23 | Micro-bridge structure |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003507904A JP2003507904A (ja) | 2003-02-25 |
JP2003507904A5 JP2003507904A5 (ja) | 2007-10-11 |
JP4284019B2 true JP4284019B2 (ja) | 2009-06-24 |
Family
ID=10859608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001519147A Expired - Fee Related JP4284019B2 (ja) | 1999-08-24 | 2000-08-23 | マイクロ−ブリッジ構造体 |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7002153B1 (ja) |
EP (1) | EP1206687B1 (ja) |
JP (1) | JP4284019B2 (ja) |
KR (1) | KR100704518B1 (ja) |
CN (2) | CN1168960C (ja) |
AT (1) | ATE232972T1 (ja) |
AU (1) | AU761197B2 (ja) |
CA (1) | CA2381311C (ja) |
DE (1) | DE60001462T2 (ja) |
ES (1) | ES2192539T3 (ja) |
GB (2) | GB9919877D0 (ja) |
HK (1) | HK1070940A1 (ja) |
TR (1) | TR200200495T2 (ja) |
TW (1) | TW514723B (ja) |
WO (1) | WO2001014838A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9919877D0 (en) * | 1999-08-24 | 1999-10-27 | Secr Defence | Micro-bridge structure |
US6489614B1 (en) * | 1999-09-16 | 2002-12-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thermal-type infrared radiation detector cell and image capture device incorporating the same |
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US20050077469A1 (en) | 2002-02-02 | 2005-04-14 | Kaushal Tej Paul | Head position sensor |
GB0424934D0 (en) | 2004-11-12 | 2004-12-15 | Qinetiq Ltd | Infrared detector |
CN101249935B (zh) * | 2007-03-31 | 2011-06-22 | 浙江大立科技股份有限公司 | 一种热绝缘微桥结构及其加工方法 |
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CN101780944B (zh) * | 2010-01-05 | 2015-04-29 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种mems微桥结构的制备方法 |
JP5706174B2 (ja) * | 2011-01-26 | 2015-04-22 | 三菱電機株式会社 | 赤外線センサおよび赤外線センサアレイ |
JP5721597B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2015-05-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体光素子および半導体光装置 |
TWI476969B (zh) * | 2012-01-13 | 2015-03-11 | Univ Nat Kaohsiung Applied Sci | Metal silicide thermal sensor and its preparation method |
US9698281B2 (en) * | 2012-08-22 | 2017-07-04 | Robert Bosch Gmbh | CMOS bolometer |
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EP2909591B1 (en) * | 2012-10-17 | 2023-06-21 | Robert Bosch GmbH | Multi-stack film bolometer |
US9903763B2 (en) | 2013-09-27 | 2018-02-27 | Robert Bosch Gmbh | Titanium nitride for MEMS bolometers |
CN105093356A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种高能量利用率的微桥结构电阻阵列 |
CA3074067C (en) * | 2017-08-31 | 2023-09-12 | Google Llc | Quantum information processing device formation |
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CN111960377B (zh) * | 2020-07-29 | 2024-03-15 | 上海集成电路研发中心有限公司 | Mems传感器微桥桥面的制作方法 |
JP7485581B2 (ja) | 2020-10-16 | 2024-05-16 | セイコーNpc株式会社 | 赤外線センサ素子及び赤外線センサ |
CN113720479B (zh) * | 2021-03-26 | 2022-11-08 | 北京北方高业科技有限公司 | 基于cmos工艺的红外探测器像元和红外探测器 |
JP2023028860A (ja) | 2021-08-20 | 2023-03-03 | Tdk株式会社 | 電磁波センサ |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11326037A (ja) | 1998-05-12 | 1999-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出器用真空パッケージ及びその製造方法 |
US6198098B1 (en) | 1998-05-26 | 2001-03-06 | Philips Laou | Microstructure for infrared detector and method of making same |
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GB9919877D0 (en) * | 1999-08-24 | 1999-10-27 | Secr Defence | Micro-bridge structure |
US6690014B1 (en) | 2000-04-25 | 2004-02-10 | Raytheon Company | Microbolometer and method for forming |
US6541772B2 (en) | 2000-12-26 | 2003-04-01 | Honeywell International Inc. | Microbolometer operating system |
-
1999
- 1999-08-24 GB GBGB9919877.2A patent/GB9919877D0/en not_active Ceased
-
2000
- 2000-08-23 AT AT00954753T patent/ATE232972T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-08-23 CN CNB008120234A patent/CN1168960C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 KR KR1020027002183A patent/KR100704518B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-08-23 EP EP00954753A patent/EP1206687B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 GB GB0201115A patent/GB2370156A/en not_active Withdrawn
- 2000-08-23 CN CNB2004100029241A patent/CN100383504C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 TR TR2002/00495T patent/TR200200495T2/xx unknown
- 2000-08-23 DE DE60001462T patent/DE60001462T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 US US10/069,363 patent/US7002153B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 AU AU67110/00A patent/AU761197B2/en not_active Ceased
- 2000-08-23 WO PCT/GB2000/003243 patent/WO2001014838A1/en active IP Right Grant
- 2000-08-23 JP JP2001519147A patent/JP4284019B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-23 CA CA002381311A patent/CA2381311C/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-23 ES ES00954753T patent/ES2192539T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-08 TW TW089118419A patent/TW514723B/zh not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-04-27 HK HK05103609A patent/HK1070940A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2192539T3 (es) | 2003-10-16 |
EP1206687A1 (en) | 2002-05-22 |
TW514723B (en) | 2002-12-21 |
KR100704518B1 (ko) | 2007-04-09 |
GB0201115D0 (en) | 2002-03-06 |
ATE232972T1 (de) | 2003-03-15 |
US7002153B1 (en) | 2006-02-21 |
DE60001462T2 (de) | 2003-12-04 |
JP2003507904A (ja) | 2003-02-25 |
KR20020060692A (ko) | 2002-07-18 |
AU761197B2 (en) | 2003-05-29 |
CN1558193A (zh) | 2004-12-29 |
CN1371474A (zh) | 2002-09-25 |
GB9919877D0 (en) | 1999-10-27 |
CA2381311C (en) | 2009-02-03 |
EP1206687B1 (en) | 2003-02-19 |
AU6711000A (en) | 2001-03-19 |
GB2370156A (en) | 2002-06-19 |
HK1070940A1 (en) | 2005-06-30 |
DE60001462D1 (de) | 2003-03-27 |
WO2001014838A1 (en) | 2001-03-01 |
CA2381311A1 (en) | 2001-03-01 |
CN1168960C (zh) | 2004-09-29 |
CN100383504C (zh) | 2008-04-23 |
TR200200495T2 (tr) | 2002-06-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070822 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080716 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090323 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140327 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |