JP4280087B2 - セラミック回路基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置や複合電子部品等に用いられるセラミック回路基板及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体装置や複合電子部品等にセラミック回路基板が用いられている。
【0003】
かかる従来のセラミック回路基板としては、例えば図3に示すように、基体31の一主面上に、複数個の電極パッド32と、該電極パッド32を露出させる開口を有したオーバーコート層33とを被着させた構造のものが知られている。
【0004】
前記オーバーコート層33は、基体33の表面を保護するとともに、電極パッド32上に電子部品素子を搭載する際に溶融した半田の流れを堰き止める半田ダムとして機能するものである。
【0005】
また、このような従来のセラミック回路基板30は、まず、無機組成物から成るセラミックグリーンシートの一主面上に導電パターンを形成し、この導電パターンの一部を覆うようにオーバーコート層を形成し、これらを所定の温度領域にて一括焼成することにより製作される(特許文献1参照。)。
【0006】
尚、上述のセラミックグリーンシートは、複数個の基板領域を有しており、焼成後に、各基板領域の外周に沿って切断することにより、複数個のセラミック回路基板を得るようにしていた。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−17343号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のセラミック回路基板は、その製造時、導電パターンがセラミックグリーンシートと共に収縮するようになっており、かかるセラミックグリーンシートの収縮量は必ずしも均一でないことから、前述の収縮に伴なって電極パッドの位置が所望する位置より大幅にずれてしまうことがあり、その場合、電極パッドに接続される電子部品素子の搭載が困難なものとなっていた。
【0009】
また、上述した従来のセラミック回路基板を構成するセラミックグリーンシート、導電パターン及びオーバーコート層は、それぞれ焼結温度及び収縮量が異なっていることから、その焼成時、セラミック回路基板が不均一に収縮して内部に大きな応力が残留してしまい、かかる応力によって反り等の変形やクラックが発生する欠点を有していた。
【0010】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、セラミック回路基板を形成するセラミックグリーンシートの焼成時、電極パッドの位置変動を極力抑えることができるとともに、変形やクラックの発生を有効に防止することが可能なセラミック回路基板及びその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のセラミック回路基板は、基体の一主面上に、前記基体の外周に沿って配設される環状の第1絶縁層と、その内側に所定の間隔をあけて配設される第2絶縁層とを形成するとともに、前記第1絶縁層と第2絶縁層との間に位置する基体の一主面上に電極パッドを配設し、前記第1絶縁層及び第2絶縁層を前記電極パッド上に開口を有したオーバーコート層で被覆してなるセラミック回路基板であって、前記第1絶縁層及び第2絶縁層は、基体を形成する第1の無機組成物、オーバーコート層を形成する第3の無機組成物の双方に比し低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成っていることを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明のセラミック回路基板は、前記第1の無機組成物と第3の無機組成物とが同質の材料から成ることを特徴とするものである。
【0013】
更に、前記第2絶縁層が環状に形成されており、その内側に位置する基体の一主面に電子部品素子を収容するためのキャビティ部が開口していることを特徴とするものである。
【0014】
また更に、本発明のセラミック回路基板の製造方法は、第1の無機組成物から成り、複数個の基板領域を有するセラミックグリーンシートの一主面上に、前記第1の無機組成物よりも低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成る第1絶縁性ペーストを各基板領域の内側に該基板領域の外周に沿って環状に塗布するとともに、該第1絶縁性ペーストと同質の無機組成物から成る第2絶縁性ペーストを第1絶縁性ペーストの塗布領域の内側に所定の間隔をあけて塗布する工程Aと、前記第1絶縁性ペーストの塗布領域と第2絶縁性ペーストの塗布領域との間に位置するセラミックグリーンシート上に電極パッドとなる導電材料を所定パターンに形成する工程Bと、前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペースト上に第3の無機組成物からなる第3の絶縁性ペーストを塗布する工程Cと、前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペーストを第1の温度領域で焼結させ、該焼結に伴なう収縮の90%以上が完了した後に、第1の温度領域よりも高温側にある第2の温度領域で前記セラミックグリーンシート及び第3絶縁性ペーストを焼結することにより、第1の無機組成物から成る基体、第2の無機組成物から成る第1,第2絶縁層、及び第3の無機組成物から成るオーバーコート層を形成する工程Dと、前記セラミックグリーンシートを各基板領域の外周に沿って切断することにより各基板領域に対応した複数個のセラミック回路基板を得る工程Eと、を含むものである。
【0015】
本発明によれば、環状の第1絶縁層と、その内側に所定の間隔をあけて配設される第2絶縁層とが、基体を形成する第1の無機組成物、オーバーコート層を形成する第3の無機組成物の双方に比し低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成っていることから、焼結時の面方向の収縮量が厚み方向に比して小さくなる。即ち、第1の温度領域における第1絶縁層及び第2絶縁層の面方向の収縮は、未焼結の基体及びオーバーコート層の剛性により有効に抑制され、また、第2の温度領域における基体及びオーバーコート層の面方向の収縮は、焼結に伴なう収縮の90%以上が完了している第1絶縁層及び第2絶縁層の剛性により有効に抑制される。従って、焼結時の面方向に収縮量は小さくなり、電極パッドの位置変動を極めて有効に抑制することができ、これらの電極パッドに接続される電子部品素子の搭載性を向上させることが可能となる。また同時に、セラミック回路基板の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生も少なくなり、高精度のセラミック回路基板とすることができる。
【0016】
尚、第1絶縁層と第2絶縁層との間の領域には、基体の収縮を抑制するものが何ら存在していないが、前記第1絶縁層は基体の外周に沿って環状に配設されているため、その内側領域における収縮も効果的に抑制されることとなり、これによってセラミック回路基板の精度劣化は最小限となる。
【0017】
また、本発明によれば、第1の無機組成物と第3の無機組成物とを同質の材料で形成することにより、第1絶縁層及び第2絶縁層を上下から挟み込んでいる基体とオーバーコート層の焼結温度ならびに収縮量は略等しく、これによってもセラミック回路基板内の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生をより有効に抑えることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1(a)は本発明の一実施形態に係るセラミック回路基板の平面図、図1(b)は図1(a)の断面図であり、図中の1は基体、2は電極パッド、3はオーバーコート層、4は第1絶縁層、5は第2絶縁層である。
【0019】
前記基体1は平板状をなしており、その一主面上には、基体1の外周に沿って環状の第1絶縁層4と、該第1絶縁層4の内側に所定の間隔をあけて第2絶縁層とが被着・形成されている。
【0020】
前記基体1は第1の無機組成物、第1絶縁層及び第2絶縁層は第2の無機組成物より構成されており、これら無機組成物の材料としては、例えば800℃〜1200℃の比較的低い温度で焼成が可能なガラス−セラミック材料が好適に用いられる。このようなガラス−セラミック材料はガラス粉末とセラミック粉末とで形成されており、ガラス粉末は30〜100重量部含まれ、ガラス粉末を除く残部が全てセラミック粉末により形成される。
【0021】
前記ガラス粉末の具体的な組成としては、例えば、必須成分として、SiO2を20〜70重量部、Al2O3を0.5〜30重量部、MgOを3〜60重量部、また任意成分として、CaOを0〜35重量部、BaOを0〜35重量部、SrOを0〜35重量部、B2O3を0〜20重量部、ZnOを0〜30重量部、TiO2を0〜10重量部、Na2Oを0〜3重量部、Li2Oを0〜5重量部含むものが用いられる。
【0022】
また、前記セラミック粉末としては、例えば、Al2O3、SiO2、MgTiO3、CaZrO3、CaTiO3、Mg2SiO4、BaTi4O9、ZrTiO4、SrTiO3、BaTiO3、TiO2から選ばれる1種以上の材料が用いられる。
【0023】
尚、本実施形態においては、例えば、第1の無機組成物をガラス粉末が55重量部、第2の無機組成物をガラス粉末が85重量部の無機組成物により製作した。
【0024】
上記組成のガラス粉末とセラミック粉末とを組み合わせた場合、1000℃以下での低温焼結が可能となるとともに、導電材料として、銀(融点960℃)、銅(融点1083℃)、金(融点1063℃)などの低抵抗導体を用いて同時焼成により形成することが可能となり、低損失な回路を形成することができる。また、誘電率の制御も可能であり、高誘電率化による回路の小型化、低損失化、あるいは、低誘電率化による高速伝送化に適したものとなる。しかも、上記の範囲で種々組成を制御することによって、焼成収縮挙動を容易に制御、変更することが可能である。
【0025】
前記電極パッド2は、上述の銀、金、銅のいずれか一種を含む導電材料から成り、その厚みは、例えば、5μm〜25μmに設定される。
【0026】
また前記オーバーコート層3は、電極パッド2を露出させるように、電極パッド2上に開口を有しており、かかるオーバーコート層3を形成する第3の無機組成物もガラス粉末とセラミック粉末とを組み合わせた材料を用いて構成する。第3の無機組成物におけるガラス粉末とセラミック粉末の組成は、任意選択して用いることが可能であるが、本実施形態においては、第1の無機組成物と同じ組成とした。
【0027】
尚、このオーバーコート層3は、電極パッド2を除く導体膜表面を保護するとともに、電子部品素子の搭載に用いられる半田等の接合材が溶融した際に周囲に流れ出ないように堰き止めるためのものである。
【0028】
そして、上述したセラミック回路基板は以下の工程を経て製作される。
(工程A)
まず、上述した第1の無機組成物となる組成の粉末に、有機バインダと有機溶剤及び必要に応じて可塑剤とを混合して泥奬上のスラリとし、このスラリを用いてドクターブレード法などによりテープ成形を行ってセラミックグリーンシートを得る。
【0029】
セラミックグリーンシートは、複数個の基板領域を有しており、一主面上に、第2の無機組成物とビヒクルとを混合して成る第1絶縁性ペーストを各基板領域の内側に該基板領域の外周に沿って環状に塗布する。その後、第1絶縁性ペーストと同質の無機組成物から成る第2絶縁性ペーストを第1絶縁性ペーストの塗布領域の内側に所定の間隔をあけて塗布する。
【0030】
(工程B)
次に、前記第1絶縁性ペーストの塗布領域と第2絶縁性ペーストの塗布領域との間に位置するセラミックグリーンシート上に電極パッドとなる導電材料を所定パターンに形成する。
【0031】
(工程C)
次に、前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペースト上に第3の無機組成物からなる第3の絶縁性ペーストを塗布する。
【0032】
(工程D)
次に、前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペーストを第1の温度領域で焼結させ、該焼結に伴なう収縮の90%以上が完了した後に、第1の温度領域よりも高温側にある第2の温度領域で前記セラミックグリーンシート及び第3絶縁性ペーストを焼結することにより、第1の無機組成物から成る基体、第2の無機組成物から成る第1,第2絶縁層、及び第3の無機組成物から成るオーバーコート層を形成する。
【0033】
(工程E)
そして最後に、前記セラミックグリーンシートを各基板領域の外周に沿って切断することにより各基板領域に対応した複数個のセラミック回路基板が同時に得られる。
【0034】
このように本実施形態においては、環状の第1絶縁層と、その内側に所定の間隔をあけて配設される第2絶縁層とが、基体を形成する第1の無機組成物、オーバーコート層を形成する第3の無機組成物の双方に比し低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物により形成されていることから、焼結に伴なう面方向の収縮量を厚み方向の収縮量に比し小さくなすことができる。
【0035】
即ち、第1の温度領域における第1絶縁層及び第2絶縁層の面方向の収縮は、未焼結の基体及びオーバーコート層の剛性により有効に抑制され、また、第2の温度領域における基体及びオーバーコート層の面方向の収縮は、焼結に伴なう収縮の90%以上が完了している第1絶縁層及び第2絶縁層の剛性により有効に抑制される。これにより、焼結時の面方向の収縮量が小さくなるので、電極パッドの配設位置が安定することとなり、電子部品素子の搭載性を向上させることができる。また同時に、セラミック回路基板の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生も少なくなり、高精度のセラミック回路基板を得ることができる。
【0036】
尚、第1絶縁層と第2絶縁層との間の領域には、基体の収縮を抑制するものが何ら存在していないが、前記第1絶縁層は基体の外周に沿って環状に配設されているため、その内側領域における収縮も効果的に抑制されることとなり、これによってセラミック回路基板の精度劣化は最小限となる。
【0037】
また、本実施形態のセラミック回路基板では、第1の無機組成物と第3の無機組成物とを同質の材料で形成したことから、第1絶縁層及び第2絶縁層を上下から挟み込んでいる基体とオーバーコート層の焼結温度ならびに収縮量は略等しく、これによってもセラミック回路基板内の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生をより有効に抑えることができる。
【0038】
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、改良等が可能である。
【0039】
例えば、図2に示すように、前記第2絶縁層24が環状に形成されており、その内側に位置する基体21の一主面に電子部品素子を収容するためのキャビティ部6が開口した構造である場合、収縮時の応力が集中しやすい開口部のコーナー部においてもクラック等が発生しにくくなるという利点がある。
【0040】
また、上述の実施形態においては、電極パッドは独立したパターン形状となっているが、構成する導電材料の一部が第1絶縁層とオーバーコート層との界面、若しくは第2絶縁層とオーバーコート層との界面に引き出されて導体層を形成し、回路と接続する基体にセラミック積層体を用いた場合には、下部にビアを形成して内部回路と接続する方法を用いても良い。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、環状の第1絶縁層と、その内側に所定の間隔をあけて配設される第2絶縁層とが、基体を形成する第1の無機組成物、オーバーコート層を形成する第3の無機組成物の双方に比し低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成っていることから、焼結時の面方向の収縮量が厚み方向に比して小さくなる。即ち、第1の温度領域における第1絶縁層及び第2絶縁層の面方向の収縮は、未焼結の基体及びオーバーコート層の剛性により有効に抑制され、また、第2の温度領域における基体及びオーバーコート層の面方向の収縮は、焼結に伴なう収縮の90%以上が完了している第1絶縁層及び第2絶縁層の剛性により有効に抑制される。従って、焼結時の面方向に収縮量は小さくなり、電極パッドの位置変動を極めて有効に抑制することができ、これらの電極パッドに接続される電子部品素子の搭載性を向上させることが可能となる。また同時に、セラミック回路基板の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生も少なくなり、高精度のセラミック回路基板とすることができる。
【0042】
尚、第1絶縁層と第2絶縁層との間の領域には、基体の収縮を抑制するものが何ら存在していないが、前記第1絶縁層は基体の外周に沿って環状に配設されているため、その内側領域における収縮も効果的に抑制されることとなり、これによってセラミック回路基板の精度劣化は最小限となる。
【0043】
また、本発明によれば、第1の無機組成物と第3の無機組成物とを同質の材料で形成することにより、第1絶縁層及び第2絶縁層を上下から挟み込んでいる基体とオーバーコート層の焼結温度ならびに収縮量は略等しく、これによってもセラミック回路基板内の内部応力に起因した反り等の変形やクラックの発生をより有効に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の一実施形態に係るセラミック回路基板の平面図、(b)はそのA−A´断面図である。
【図2】(a)は本発明の他の実施形態に係るセラミック回路基板の平面図、(b)はそのB−B´断面図である。
【図3】(a)は従来のセラミック回路基板の平面図であり、(b)はそのC−C´断面図である。
【符号の説明】
1・・・基体
2・・・電極パッド
3・・・オーバーコート層
4・・・第1絶縁層
5・・・第2絶縁層
6・・・キャビティ
Claims (4)
- 基体の一主面上に、前記基体の外周に沿って配設される環状の第1絶縁層と、その内側に所定の間隔をあけて配設される第2絶縁層とを形成するとともに、前記第1絶縁層と第2絶縁層との間に位置する基体の一主面上に電極パッドを配設し、前記第1絶縁層及び第2絶縁層を前記電極パッド上に開口を有したオーバーコート層で被覆してなるセラミック回路基板であって、
前記第1絶縁層及び第2絶縁層は、基体を形成する第1の無機組成物、オーバーコート層を形成する第3の無機組成物の双方に比し低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成っていることを特徴とするセラミック回路基板。 - 前記第1の無機組成物と第3の無機組成物とが同質の材料から成ることを特徴とする請求項1に記載のセラミック回路基板。
- 前記第2絶縁層が環状に形成されており、その内側に位置する基体の一主面に電子部品素子を収容するためのキャビティ部が開口していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック回路基板。
- 第1の無機組成物から成り、複数個の基板領域を有するセラミックグリーンシートの一主面上に、前記第1の無機組成物よりも低い温度で焼結を開始する第2の無機組成物から成る第1絶縁性ペーストを各基板領域の内側に該基板領域の外周に沿って環状に塗布するとともに、該第1絶縁性ペーストと同質の無機組成物から成る第2絶縁性ペーストを第1絶縁性ペーストの塗布領域の内側に所定の間隔をあけて塗布する工程Aと、
前記第1絶縁性ペーストの塗布領域と第2絶縁性ペーストの塗布領域との間に位置するセラミックグリーンシート上に電極パッドとなる導電材料を所定パターンに形成する工程Bと、
前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペースト上に第3の無機組成物からなる第3の絶縁性ペーストを塗布する工程Cと、
前記第1絶縁性ペースト及び第2絶縁性ペーストを第1の温度領域で焼結させ、該焼結に伴なう収縮の90%以上が完了した後に、第1の温度領域よりも高温側にある第2の温度領域で前記セラミックグリーンシート及び第3絶縁性ペーストを焼結することにより、第1の無機組成物から成る基体、第2の無機組成物から成る第1,第2絶縁層、及び第3の無機組成物から成るオーバーコート層を形成する工程Dと、
前記セラミックグリーンシートを各基板領域の外周に沿って切断することにより各基板領域に対応した複数個のセラミック回路基板を得る工程Eと、を含むセラミック回路基板の製造方法。
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