JP4270968B2 - 反射防止面付光学素子を持つ光学系を備えた光学機器 - Google Patents
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Description
(反射防止の原理)
光の反射は、異なる屈折率を持つ媒質の界面を光が透過する際に、屈折率差があるために生じる。全反射する臨界角θcは、θc=sin-1(n1/n2)で表される。(n1、n2は、それぞれの媒質の屈折率)。反射防止面となる周期微細凹凸は、屈折率が連続的に変化している層と同等の光反射防止効果が得られるから、微細凹凸層は微視的な範囲では、n1≒n2となり、非常に大きな臨界角となる。このため、周期微細凹凸は、光の入射角が大きくなっても良好な反射防止効果を得ることができる。
(材質の説明)
本発明の反射防止面付光学素子に用いられる有機無機複合材料について説明する。有機無機複合材料は、有機成分と無機成分とが分子レベルもしくはナノスケールレベルで混合複合化されたものである。
(反射防止面の形成)
有機無機複合材料乃至はその中間材である有機無機複合組成物は、流動状態から固化させて光学素子とすることが可能である。反射防止面の周期微細凹凸と逆の凹凸形状を有する型を準備し、この型の凹凸形状面に流動状態の有機無機複合材料または組成物を密着させ固化する。そして離型することで周期微細凹凸を有機無機複合体の表面に形成し、反射防止面付光学素子得る。
メタノール分散シリカゾル(平均粒径9nm、シリカ微粒子含有量25重量%、日産化学製オルガノシリカゾルMA−ST−S)37重量部にイソプロパノール30重量部を加えて攪拌し、さらにγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン3.82重量部とフェニルトリメトキシシラン3.05重量部を加えて攪拌した。これに攪拌しながらオクチル酸第1すず(KCS−405T、城北化学製)0.14重量部を滴下して加えて、常温25℃で72時間攪拌後、ネオペンチルグリコールジアクリレート(NP−A、共栄社化学製)7.11重量部とトリメチロールプロパントリアクリレート(TMP−A、共栄社化学製)2.14重量部および重合開始剤イルガキュア500(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)0.20重量部を加えて攪拌し、3μmメッシュのろ紙によりろ過をして浮遊しているゴミ等を除去した。この溶液から減圧エバポレーターにより、約40℃でメタノールおよびイソプロパノールなどの揮発性溶剤を留去し、流動性のあるアクリル樹脂系の有機無機複合組成物を得た。
−比較例の材料と性能−
実施例1の有機無機複合組成物に用いたモノマーだけを同条件で硬化させた比較例の材料を作成した。この比較例の材料の線膨張係数は、7.5×10-5m/m・℃であった。屈折率はnd=1.490(586nm)であり、屈折率の温度変化率は135×10-6/℃であった。
−有機無機複合材料の反射防止面および特性−
前記により得た有機無機複合組成物から反射防止面を形成した。先ずガラス板に略紡錘形の断面(図1参照)を持つ周期T=約200nm、高さH=200nmの凹凸が二次元に配置された周期微細凹凸を形成した。これを電鋳法により形状反転させて、形状形成した金型を作成した。この金型に有機無機複合組成物を注型し、窒素雰囲気下で光波長365nmにおける光強度12mW/cm2の紫外線を10分間照射し、離型した。図5に示す、中央部に1mm角の範囲で周期微細凹凸10を持つ5mm角、厚さ1mmのサンプル平板5を成形した。
で示されるビスフェノールA型エポキシ樹脂9重量部と3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン13.67重量部を混合した後、テトラエチレンペンタミン2.84重量部を加えて、0℃にて攪拌し、純水1.56重量部を添加して、さらに1時間攪拌し、透明で均質な有機無機複合組成物を得た。これを真空脱泡した後、実施例1と同様の成形型を用いて、成形型に、有機無機複合組成物を注ぎ、常温(25±5℃)にて24時間放置した後、成形型から取り出し、得られた平板を80℃で2時間加熱した。このようにして本発明の有機無機複合材料からなる中央部に周期微細凹凸をもつサンプル平板を得た。この成形されたサンプル平板も他の実施例のサンプル平板と同様、十分な表面硬度を有しており、鉛筆硬度は6Hであった。
(反射防止面付光学素子としての利用例)
実施例1で作製した有機無機複合組成物を原料にして、カプセルの一部を構成する有機無機複合材料の光透過性半球状ドームを成型した。図7に示すように、光透過性半球状ドーム6は底辺の直径D=12mm、肉厚1mmで、半球の内壁、同心状の等間隔の4箇所に、直径d=2mmの円部の範囲内に周期微細凹凸101・102・103・104を持っている。
3 凸部
5 サンプル平板
6 半球状ドーム
10 微細凹凸
11 オス型
13 メス型
14 入れ子型
15 アルミニウム基材
17 有機無機複合組成物
20 電子観察装置
22,23 カプセル枠体
24、35 底台
25 対物レンズ
26 発光ダイオード
28 イメージャ
30 電気回路部
31 電源電池
32 アンテナ
33 メッシュドーム
34 pHセンサ
37 マイクロカプセル
Claims (5)
- 照明光源素子と、前記照明光源素子からの照明光を透過して物体に照射するための照明光学系と、イメージャと、前記物体で反射された光を前記イメージャに結像する結像光学系と、前記イメージャの入出力を処理する電気回路部とを、カプセルに封入した光学機器であって、
前記カプセルは、少なくとも前記照明光が透過する部分が光透過性の有機無機複合材料により構成されており、
前記照明光が透過する部分は、内面側に透過光波長以下の周期を持つ微細凹凸からなる反射防止面を有することを特徴とする光学機器。 - 前記カプセルの光透過性の有機無機複合材料により構成される部分が、半球状ドームであることを特徴とする請求項1に記載の光学機器。
- 前記反射防止面が、前記半球状ドームの頂部を通る中心軸に対し傾いた部分に形成されたことを特徴とする請求項2に記載の光学機器。
- 前記反射防止面が、複数箇所に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学機器。
- 照明光源素子と、前記照明光源素子からの照明光を透過して物体に照射するための照明光学系と、イメージャと、前記物体で反射された光を前記イメージャに結像する結像光学系と、前記イメージャの入出力を処理する電気回路部とを備えた光学機器であって、
前記照明光学系の光路に、光透過性の有機無機複合材料からなり、前記光透過性の有機無機複合材料の少なくとも照明光を透過する前記照明光学系の透過面が、
前記照明光源素子と対向するように透過光波長以下の周期を持つ微細凹凸からなる反射防止面を有することを特徴とする光学機器。
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