JP4248210B2 - 基板処理装置及びそのスケジュール作成方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板に対して処理を施す基板処理装置及びそのスケジュール作成方法に係り、特に、特にタイムテーブルでリソースの使用タイミングを決定するスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置として、基板に対して処理を施す複数個のリソースを備え、これらのリソースを使用しながらロットを処理するのに先だって、各リソースを使用するタイミングをタイムテーブルで決定し、このタイムテーブルに基づいて各ロットに対して実際に処理を施すものがある（例えば、特開２０００−２７７４０１号公報）。
【０００３】
この装置では、ユーザへの装置の納品設置時等において処理に必要な各動作を実測する等して、予め各動作に要する「動作所要時間」が記憶されており、各リソースを使用する際の動作に応じた動作所要時間を参照してタイムテーブルが決定されてゆく。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置では、タイムテーブルにしたがって実際に処理を行う際に、エアシリンダの圧力変動や、ギヤの摩耗等に起因して、予め決められている所要動作時間よりも実際の動作に要する時間が長くなる等の経時変化による影響を受けやすい。すると、各処理が次第にスケジューリングされたタイムテーブルからずれてゆき、スケジュール通りに処理が実行できなくなったり、空き時間が多くなって効率の悪い処理となったり、異常状態となって処理が中断されたりという問題が生じる。
【０００５】
上記の問題点について、図７を参照して詳細に説明する。なお、図７は、従来例の説明に供する図であり、（ａ）はスケジュールされたタイムチャートを示し、（ｂ）は実際の処理状態を示す模式図である。
【０００６】
処理工程Ａと処理工程Ｂを含むレシピを実行する場合、処理工程Ａでは動作Ａ−Ｐｒｅ−１が１分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１が１分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−２が３分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−３が１分、動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１が１分として動作所要時間が設定されているものとする。この場合には、図７（ａ）に示すようなタイムテーブルが作成される。
【０００７】
ここで、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の動作が遅れた場合、例えば、１分の設定であるにもかかわらず実際の処理に２分を要した場合は、図７（ｂ）に示すように動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の動作完了がタイムテーブルから遅れることになる。その結果、この動作に続く動作Ａ−Ｍａｉｎ−２，Ａ−Ｍａｉｎ−３，Ａ−Ｐｏｓｔ−１が全て遅れ、さらに処理工程Ａに続く処理工程Ｂまで遅れることになる。特に、処理工程Ｂには、処理工程ＡのＡ−Ｍａｉｎ−３が完了するＴ時点で処理が移る予定になっているが、実際にはＴ´時点に遅れるため処理をうまく引き渡すことができない。したがって、装置が異常状態となって処理を中断しなければならなくなる。また、この異常状態による処理の中断は、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１を実行するたびに生じることになり、その結果、頻繁に異常状態を生じることとなる。
【０００８】
そこで、上記の異常状態による処理の中断等の問題が生じた場合にはメンテナンスを行う必要があるが、装置のリモコンから各動作の実行を指示すると同時にストップウォッチを動作させ、動作の完了に要する時間を計測することになる。したがって、メンテナンスによる装置の調整が非常に煩雑であり、しかも人間が手動によって計測するので、バラツキが大きいという問題がある。
【０００９】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、自動的に測定した実動作所要時間をスケジュールに反映させることにより、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる基板処理装置及びそのスケジュール作成方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置において、各動作に要する時間を動作ごとに動作所要時間として記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を参照して、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを決定するスケジュール作成手段と、タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する計測手段と、前記計測手段によって計測された実動作所要時間で、前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を更新する更新手段と、前記計測手段による実動作所要時間と第１の閾値及び第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する判断手段と、動作所要時間が変動したことを報知する報知手段と、を備え、前記判断手段は、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値を越える場合には、前記報知手段に異常アラームを報知させ、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値は越えていないが前記第１の閾値を越える場合には、前記報知手段に予備警報を報知させることを特徴とするものである。
【００１１】
（作用・効果）記憶手段に予め記憶されている動作所要時間を参照しながら、スケジュール作成手段がタイムテーブルを決定する。このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、計測手段が各動作の実動作所要時間を計測し、更新手段が実動作所要時間で、記憶手段に記憶されている当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってスケジュール作成手段がタイムテーブルを作成することができる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００１２】
（削除）
【００１３】
また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には、判断手段が妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知手段によって報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００１４】
（削除）
【００１５】
また、請求項２に記載の発明は、メンテナンス時に各動作を行わせる指示手段を備え、前記指示手段による動作の際に、前記判断手段および前記計測手段による実動作所要時間を計測させ、前記判断手段および前記更新手段を動作させることを特徴とするものである。
【００１６】
（作用・効果）指示手段により任意の動作を行わせ、その際に計測手段による実動作所要時間を計測させ、判断手段で妥当性を判断するとともに動作所要時間を更新することにより、任意の動作調整を容易に実施することが可能となる。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置のスケジュール作成方法において、予め記憶されている各動作に要する動作所要時間を参照しつつ、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを作成する過程と、タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する過程と、前記計測された実動作所要時間で当該動作の動作所要時間を更新する過程と、前記計測する過程または前記更新する過程の後に、実動作所要時間と第１の閾値及び 第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する過程と、前記妥当性を判断する過程において、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えている場合は、異常アラームを報知し、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えていないが前記第１の閾値を越えている場合は、予備警報を報知する報知過程と、を実施することものである。
【００１８】
（作用・効果）予め記憶されている動作所要時間を参照しながらタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、各動作の実動作所要時間を計測し、このときの実動作所要時間で、当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってタイムテーブルを作成することができる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００１９】
また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２はこの発明の一実施例に係り、図１は基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２はその概略構成を示すブロック図である。
【００２１】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理並びに乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２２】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２３】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００２４】
上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００２５】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する第１副搬送機構２５を備えている。この第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。
【００２６】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。
【００２７】
第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部３５は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００２８】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００２９】
制御部３７はＣＰＵなどを含み、スケジューリング機能部３９と、処理実行指示部４１と、実動作所要時間計測機能部４３と、動作所要時間データ更新機能部４５と、データ妥当性チェック機能部４７とを備えている。これらの各部は、以下に説明する制御プログラムに相当する手順に基づき動作する。
【００３０】
スケジューリング機能部３９は、後述するようなレシピに応じて上述した各構成のリソースの使用タイミングを予めタイムテーブルで決定するため、実際に処理を開始する前にタイムテーブルにロットを予め配置するスケジューリングの処理を実行する。スケジュールされたタイムテーブルは、必要に応じて表示部４９に表示される。また、この表示部４９には、後述する異常時等の表示がなされる。
【００３１】
なお、上記のスケジューリング機能部３９が本発明におけるスケジュール作成手段に相当し、表示部４９が本発明における報知手段に相当する。
【００３２】
ここでレシピは、例えば、表１に示すように、一部の処理工程を複数回行う７つの処理工程から構成されている。表１の例では、５種類の処理工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを、処理工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｂ，Ｄ，Ｂ，Ｅの順序で実施するように規定している。
【００３３】
【表１】
【００３４】
また、各処理工程Ａ〜Ｅは、それぞれ前作業、本作業、後作業に分けられる。その一例を、次の表２に示す。
【００３５】
【表２】
【００３６】
Ｎｏ．１〜３の処理は、第１搬送機構１１が投入部３側からカセット１を取り出し、第２搬送機構１３がそのカセット１からロット（複数枚の基板Ｗ）を取り出し、第１処理部１９の薬液処理部２３がそのロットを薬液処理してから純水洗浄処理部２１に至るまでの処理である。なお、その間に実行されるカセット洗浄部３５による空のカセット１の洗浄処理については省略してある。
【００３７】
詳細には、第１搬送機構１１が投入部３のカセット１を取り込んで第２搬送機構１３に渡し、第２搬送機構１３がカセット１からロットを構成する複数枚の基板Ｗを取り出すまでが処理工程Ａであり、ロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、第３搬送機構１５からロットを受け取り、このロットを純水洗浄処理部２１で純水洗浄し、副搬送機構２５によりロットを薬液処理部２３に搬送して薬液処理し、その後、再び副搬送機構２５を経て純水洗浄処理部２１に搬送して純水洗浄処理を終えるまでが処理工程Ｃである。なお、表中の数字は前作業、本作業、後作業に要する時間（分）の一例を示している。
【００３８】
Ｎｏ．４，５の処理は、第３搬送機構１５が純水洗浄処理部２１から処理済みのロットを取り出し、乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでの処理である。
【００３９】
詳細には、純水洗浄処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、ロットを乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでが処理工程Ｄである。
【００４０】
Ｎｏ．６，７の処理は、第３搬送機構１５が乾燥処理されたロットを取り出し、第２搬送機構１３がカセット１にロットを収納した後、カセット１ごと第１搬送機構１１が払出部７に搬送するまでの処理である。
【００４１】
詳細には、乾燥処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、第２搬送機構１３がロットを受け取り、複数枚の基板Ｗをカセット１に収納するとともにカセット１ごと第１搬送機構１１に渡して払出部７に払い出しするまでが処理工程Ｅである。
【００４２】
また、上記の各処理工程Ａ〜Ｅは、上述したいずれかのリソースを使用する複数の動作を含む。各動作には、いずれかのリソースを使用するにあたり、その動作に要する時間として予め「動作所要時間」が設定されている。
【００４３】
例えば、処理工程Ａの各動作は、使用するリソースに応じて、次の表３に示すように前作業にあたる動作Ａ−Ｐｒｅ−１が１分に、本作業にあたる動作Ａ−Ｍａｉｎ−１が１分に、本作業にあたる動作Ａ−Ｍａｉｎ−２が３分に、本作業に当たる動作Ａ−Ｍａｉｎ−３が１分に、後作業にあたる動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１が１分に設定されている。これらの設定は、各リソースを個別に指定して動作させる指示を行うためのリモコン操作部５１を操作したり、キーボード５３やマウス５５を操作したりすることによって行うことができる。設定された値は「処理データ」として、上記のレシピと、作成されたタイムテーブルとともに記憶部５７に記憶される。
【００４４】
【表３】
【００４５】
処理実行指示部４１は、記憶部５７に記憶されているタイムテーブルに基づき、各リソースに対して順次に動作に係わる指令を行ってロットに対して処理を施す。
【００４６】
本発明における計測手段に相当する実動作所要時間計測機能部４３は、計時機能を備えており、処理実行指示部４１によってロットに対して実際に処理が施されている際に、各処理工程における各動作に実際に要した時間を「実動作所要時間」として計測する。
【００４７】
更新手段に相当する動作所要時間データ更新機能部４５は、実動作所要時間計測機能部４３が測定した実動作所要時間で、記憶部５７に記憶されている処理データのうちの、対応する動作の動作所要時間を更新する。具体的には、元の動作所要時間を実動作所要時間で置換する。
【００４８】
判断手段に相当するデータ妥当性チェック機能部４７は、実動作所要時間計測機能部４３によって計測された実動作所要時間の妥当性をチェックする機能を有する。例えば、次の表４に示すように、動作ごとに閾値１および閾値２を予め記憶しており、これらの閾値１および閾値２を実動作所要時間が越えているか否かによって妥当性を判断する。
【００４９】
なお、閾値１が本発明における第１の閾値に相当し、閾値２が本発明における第２の閾値に相当する。
【００５０】
また、実動作所要時間計測部４３と、動作所要時間データ更新機構部４５と、データ妥当性チェック機能部４７は、オペレータによってリモコン操作部５１が操作され、メンテナンスモードが指示された場合にも動作する（詳細後述）。なお、リモコン操作部５１が本発明における指示手段に相当する。
【００５１】
【表４】
【００５２】
この表４においては、表２および表３の「分」表示とは異なり、実動作所要時間および閾値１，２を「秒」で表示している。また、この表４では、理解を容易にするために実動作所要時間を動作に対応付けて記載してあるが、この例では、記憶部５７の処理データの中から動作に対応する、更新された動作所要時間（実動作所要時間）を参照して閾値１，２と比較する。閾値２は、閾値１よりも大きな値に設定されている。したがって、実動作所要時間が閾値２を越える場合には、閾値１を越えて閾値２以内である場合に比較して深刻な問題であることを示す。
【００５３】
なお、閾値１，２は、上記のように絶対値ではなく、相対値で設定するようにしてもよい。例えば、１０％といったように設定するようにしてもよい。
【００５４】
次に、図３から５を参照して、上述した基板処理装置の動作について説明する。なお、図３は、動作を示すフローチャートであり、図４はスケジュールされたタイムテーブルを示し、図５はタイムテーブルの一部を示し、（ａ）はスケジュールされたものであり、（ｂ）は実際の処理状態である。
【００５５】
以下の説明においては、説明の理解を容易にするために、一つのロットだけをあるレシピで処理する場合を例に採って説明する。なお、それぞれ異なるレシピで複数のロットを並行して処理してゆく等の場合であっても、同様に処理することができる。
【００５６】
ステップＳ１
ロットを搬入する。
オペレータは、処理対象であるロットを載置台５に載置する。そして、キーボード５３やマウス５５を操作してレシピを指示するとともに、処理の開始を指示する。
【００５７】
ステップＳ２
ロットの処理データを読み込む。
制御部３７のスケジューリング機能部３９は、搬入されたロットと、その際に指示されたレシピとを関連付け、記憶部５７からレシピと、処理データのうちレシピに関連する動作について全ての動作所要時間を読み込む。
【００５８】
ステップＳ３
スケジューリング機能部３９は、レシピを構成する各処理工程について時間計算を行う。レシピを構成している処理工程がわかっており、各処理工程を構成している動作についての「動作所要時間」も記憶部５７の処理データからわかっているので、これらに基づいて時間を求める。
【００５９】
ステップＳ４
レシピを構成している各処理工程の時間計算に基づき、どのように各処理工程を配置すればロットの処理が行えるかをスケジューリング機能部３９が各種の処理工程配置組み合わせを考慮しながら決定する。その結果、例えば、当該ロットについて図４に示すようなタイムテーブルが作成されたものとする。なお、この図４では、処理工程Ａについてだけ各動作を示し、他の処理工程については詳細な動作内容については省略して図示してある。このようにして作成されたタイムテーブルは、記憶部５７に記憶される。
【００６０】
なお、このステップＳ４が本発明におけるタイムテーブルを作成する過程に相当する。
【００６１】
ステップＳ５
処理実行指示部４１は、ステップＳ４において作成されたタイムテーブルを参照し、規定されたタイミングでロットの処理を開始する。具体的には、図５（ａ）に示すように、規定のタイミングで各動作を順次に実行させようと試みる。
【００６２】
すなわち、動作Ａ−Ｐｒｅ−１を開始時点から時間Ｔａ１で実行し、続いて動作Ａ−Ｍａｉｎ−１を時間Ｔａ２で実行し、同様に動作Ａ−Ｍａｉｎ−２を時間Ｔａ３で実行し、動作Ａ−Ｍａｉｎ−３を時間Ｔａ４で実行し、動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１を時間Ｔａ５で順次に実行しようとする。上記の説明から明らかなように、上記各動作の時間Ｔａ１〜Ｔａ５は、記憶部５７の処理データ（動作所要時間）に基づいて決められている。
【００６３】
ステップＳ６
処理実行指示部４１は、参照しているタイムテーブルに応じて、ロットの処理に必要な各リソースの動作を規定のタイミングで動作させようとする。
【００６４】
ステップＳ７
動作を行わせる際には、実動作所要時間計測機能部４３が実際の動作時間を計測する。
【００６５】
なお、このステップＳ７が本発明における実動作所要時間を計測する過程に相当する。
【００６６】
ステップＳ８（動作所要時間を更新する過程に相当する）
このようにして計測された実動作所要時間は、記憶部５７に反映される。
具体的には、記憶部５７に記憶されている、計測した動作に対応する動作所要時間を動作所要時間データ更新機能部４５が置き換える。
【００６７】
ここでは、ステップＳ１４まで実行され、再びステップＳ６に戻り、次に動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の指令がなされたとする。図５（ｂ）に示すように、例えば、経時変化等に起因して装置の一部に問題が生じ、処理工程Ａの動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の実動作所要時間Ｔａ２´が、スケジューリング時に参照された動作所要時間Ｔａ２よりも長くなったとする。すると、これに起因して、スケジュール上では動作Ａ−Ｍａｉｎ−３の完了時点Ｔで処理工程Ｂに移る予定であったが、この時点Ｔでは処理工程Ａの動作Ａ−Ｍａｉｎ−３の動作が完了しておらず、処理を移行するができないという問題が生じることになる。
【００６８】
ステップＳ９
データ妥当性チェック機能部４７は、計測した当該動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の実動作所要時間について、妥当性をチェックする。具体的には、まず、動作の実動作所要時間と、動作に対応して設定されている閾値２と比較して処理を分岐する。次の表５に、計測された実動作所要時間が閾値２を越えている場合の例を示す。
【００６９】
【表５】
【００７０】
ステップＳ１０
その結果、閾値２を越えている場合には、ステップＳ９からステップＳ１０に分岐し、表示部４９に異常発生を知らせる表示を行って異常アラームを報知する。これにより装置のオペレータは、装置に深刻な問題が生じたことを知ることができる。
【００７１】
ステップＳ１１
さらに、この場合には、次に続く処理工程Ｂ等を行うことが困難となる等の深刻な問題であるので、ステップＳ１１にてそのロットを退避させた後に、ステップＳ４に戻って再スケジューリングを行う。このとき、動作所要時間は既に実際に即した時間に更新されている。
【００７２】
ステップＳ１２
ステップＳ９において実動作所要時間が閾値２を越えていない場合であっても、閾値１を越えているか否かを判断して処理を分岐する。この場合の具体例を、次の表６に示す。
【００７３】
【表６】
【００７４】
ステップＳ１３
実動作所要時間が閾値１を越えている場合には、ステップＳ１２からステップＳ１３に移行し、表示部４９に予備警報を報知する。この場合は動作所要時間に変動が生じているものの、処理を継続するのに大きな支障が生じない程度であるので処理を停止させる必要はない。但し、何らかの変動が生じているので、報知によってオペレータに対して、装置に何らかの軽微な問題が生じつつあること等を知らせるようにする。
【００７５】
ステップＳ１４
処理実行指示部４１は、タイムテーブルを参照して、次に指令すべき処理があるか否かを判断する。これにより処理を終了するか、再びステップＳ６に戻って上述した処理を繰り返すかが決定される。
【００７６】
このように、スケジューリング機能部３９がタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、実動作所要時間計測機能部４３が各動作の実動作所要時間を計測し、動作所要時間データ更新機能部４５が実動作所要時間で、記憶部５７に記憶されている動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に自動的にフィードバックされるので、次のスケジューリング時に、更新された動作所要時間によってスケジューリング機能部３９がタイムテーブルを作成することになる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００７７】
具体的には、スケジュール結果であるタイムテーブルが図５（ａ）であって、実際に処理した際に図５（ｂ）のタイムテーブルに示すようになった場合、再度スケジュールを行うと、図５（ｂ）のように処理工程Ａが配置され、それに合わせて処理工程Ｂ（図５（ｂ）中の点線矩形）が右にずれて配置されたタイムテーブルが作成されることになる。
【００７８】
また、ステップＳ９，Ｓ１２にて実動作所要時間と閾値１，２とを比較し、その結果に基づいてステップＳ１１，Ｓ１３（報知する過程）において報知することにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００７９】
次に、図６のフローチャートを参照する。なお、図６は、調整処理時の動作を示すフローチャートである。
【００８０】
オペレータによってリモコン操作部５１が操作され、「メンテナンスモード」が指示された場合は、以下に説明するような調整処理に移行する。この場合には、例えば、製品の基板Ｗとは相違するダミーの基板Ｗ等を使って処理工程を構成する動作が擬似的に実施されることになる。
【００８１】
ステップＳ２１
所望の動作について調整を行うために、調整者は、例えば、アクチュエータやエアバルブ等の調整を行う。通常は、上述した処理によって異常アラームや予備警報の対象となった動作を調節する。
【００８２】
ステップＳ２２
調整を行った所望の動作について実動作所要時間を計測する。
具体的には、リモコン操作部５１を介して処理実行を指示すると、処理実行指示部４１がその動作を指示し、指定の動作が行われる。その際に、実動作所要時間計測機能部４３が動作に要する時間を計測する。
【００８３】
ステップＳ２３
上記のステップＳ２２で計測された実動作所要時間が妥当か否かを判断する。この判断は、上述したステップＳ９，Ｓ１２と同様にして行う。
【００８４】
計測された実動作所要時間が「妥当である場合」には、ステップＳ２４に移行して、計測した実動作所要時間を反映させる。一方、計測された実動作所要時間が「妥当でない場合」には、ステップＳ２５に移行して、異常アラームまたは予備警報を報知し、調整者に対して再調整を促す。
【００８５】
上記の一連の処理によって、基板処理装置の動作についての調整処理が行われ、動作所要時間が自動的に更新される。このように任意の動作を行わせ、その際に実動作所要時間を計測させ、これで動作所要時間を更新することにより、任意の動作調整を容易に実施することができる。
【００８６】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のように変形実施が可能である。
【００８７】
（１）実施例に挙げた基板処理装置は基板に薬液処理と、水洗処理と、乾燥処理とを順に施す装置であるが、これ以外の処理を施す基板処理装置であっても本発明を適用することができる。例えば、基板にフォトレジスト液を塗布し、回転処理によって薄膜化し、ベーク処理によって被膜を形成する装置等が挙げられる。
【００８８】
（削除）
【００８９】
（２）実動作所要時間の妥当性判断（ステップＳ９，Ｓ１２）と、報知（ステップＳ１１，Ｓ１３）とを更新（ステップＳ８）の後に行うのではなく、計測（ステップＳ７）の直後に行うようにしてもよい。これにより、迅速に妥当性判断および報知が可能となる。また、異常アラームで処理を中断する必要がある場合に、動作所要時間の更新処理を行う必要がなくなる。
【００９０】
（３）閾値１，２は、動作が遅くなった場合の判断のために実動作所要時間の上限値を規定しているが、この他にさらに下限値を規定するようにしてもよい。
【００９１】
例えば、閾値３，４を設定しておき、実動作所要時間がこれを下回るか否かの判断を追加するようにしてもよい。これにより、例えば、クリーンルームのユーティリティである気体源からの気体供給によって動作するアクチュエータが、気体源の圧力上昇に起因してその作動が速くなったこと等に起因して装置が異常状態となって処理を中断しなければならなくなるといった問題を回避することができる。
【００９２】
（４）表示部４９を報知手段として利用しているが、例えば、ブザーやランプ等をこれに代えて用いるあるいは併用するようにしてもよい。
【００９３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、記憶手段に予め記憶されている動作所要時間を参照しながら、スケジュール作成手段がタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、計測手段が各動作の実動作所要時間を計測し、更新手段が実動作所要時間で、記憶手段に記憶されている当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってスケジュール作成手段がタイムテーブルを作成できる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止できる。また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には、判断手段が妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知手段によって報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】 基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】 スケジュールされたタイムテーブルを示す。
【図５】 タイムテーブルの一部を示し、（ａ）はスケジュールされたものであり、（ｂ）は実際の処理状態を示す。
【図６】 調整処理時の動作を示すフローチャートである。
【図７】 従来技術の説明に供する図であり、（ａ）はスケジュールされたタイムテーブルを示し、（ｂ）は実際の処理状態を示すタイムテーブルである。
【符号の説明】
Ｗ … 基板
１ … カセット
３７ … 制御部
３９ … スケジューリング機能部３９（スケジュール作成手段）
４１ … 処理実行指示部
４３ … 実動作所要時間計測機能部（計測手段）
４５ … 動作所要時間データ更新機能部（更新手段）
４７ … データ妥当性チェック機能部（判断手段）
４９ … 表示部
５１ … リモコン操作部（指示手段）
５３ … キーボード
５５ … マウス
５７ … 記憶部（記憶手段）
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板に対して処理を施す基板処理装置及びそのスケジュール作成方法に係り、特に、特にタイムテーブルでリソースの使用タイミングを決定するスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置として、基板に対して処理を施す複数個のリソースを備え、これらのリソースを使用しながらロットを処理するのに先だって、各リソースを使用するタイミングをタイムテーブルで決定し、このタイムテーブルに基づいて各ロットに対して実際に処理を施すものがある（例えば、特開２０００−２７７４０１号公報）。
【０００３】
この装置では、ユーザへの装置の納品設置時等において処理に必要な各動作を実測する等して、予め各動作に要する「動作所要時間」が記憶されており、各リソースを使用する際の動作に応じた動作所要時間を参照してタイムテーブルが決定されてゆく。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置では、タイムテーブルにしたがって実際に処理を行う際に、エアシリンダの圧力変動や、ギヤの摩耗等に起因して、予め決められている所要動作時間よりも実際の動作に要する時間が長くなる等の経時変化による影響を受けやすい。すると、各処理が次第にスケジューリングされたタイムテーブルからずれてゆき、スケジュール通りに処理が実行できなくなったり、空き時間が多くなって効率の悪い処理となったり、異常状態となって処理が中断されたりという問題が生じる。
【０００５】
上記の問題点について、図７を参照して詳細に説明する。なお、図７は、従来例の説明に供する図であり、（ａ）はスケジュールされたタイムチャートを示し、（ｂ）は実際の処理状態を示す模式図である。
【０００６】
処理工程Ａと処理工程Ｂを含むレシピを実行する場合、処理工程Ａでは動作Ａ−Ｐｒｅ−１が１分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１が１分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−２が３分、動作Ａ−Ｍａｉｎ−３が１分、動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１が１分として動作所要時間が設定されているものとする。この場合には、図７（ａ）に示すようなタイムテーブルが作成される。
【０００７】
ここで、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の動作が遅れた場合、例えば、１分の設定であるにもかかわらず実際の処理に２分を要した場合は、図７（ｂ）に示すように動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の動作完了がタイムテーブルから遅れることになる。その結果、この動作に続く動作Ａ−Ｍａｉｎ−２，Ａ−Ｍａｉｎ−３，Ａ−Ｐｏｓｔ−１が全て遅れ、さらに処理工程Ａに続く処理工程Ｂまで遅れることになる。特に、処理工程Ｂには、処理工程ＡのＡ−Ｍａｉｎ−３が完了するＴ時点で処理が移る予定になっているが、実際にはＴ´時点に遅れるため処理をうまく引き渡すことができない。したがって、装置が異常状態となって処理を中断しなければならなくなる。また、この異常状態による処理の中断は、動作Ａ−Ｍａｉｎ−１を実行するたびに生じることになり、その結果、頻繁に異常状態を生じることとなる。
【０００８】
そこで、上記の異常状態による処理の中断等の問題が生じた場合にはメンテナンスを行う必要があるが、装置のリモコンから各動作の実行を指示すると同時にストップウォッチを動作させ、動作の完了に要する時間を計測することになる。したがって、メンテナンスによる装置の調整が非常に煩雑であり、しかも人間が手動によって計測するので、バラツキが大きいという問題がある。
【０００９】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、自動的に測定した実動作所要時間をスケジュールに反映させることにより、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる基板処理装置及びそのスケジュール作成方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置において、各動作に要する時間を動作ごとに動作所要時間として記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を参照して、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを決定するスケジュール作成手段と、タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する計測手段と、前記計測手段によって計測された実動作所要時間で、前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を更新する更新手段と、前記計測手段による実動作所要時間と第１の閾値及び第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する判断手段と、動作所要時間が変動したことを報知する報知手段と、を備え、前記判断手段は、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値を越える場合には、前記報知手段に異常アラームを報知させ、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値は越えていないが前記第１の閾値を越える場合には、前記報知手段に予備警報を報知させることを特徴とするものである。
【００１１】
（作用・効果）記憶手段に予め記憶されている動作所要時間を参照しながら、スケジュール作成手段がタイムテーブルを決定する。このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、計測手段が各動作の実動作所要時間を計測し、更新手段が実動作所要時間で、記憶手段に記憶されている当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってスケジュール作成手段がタイムテーブルを作成することができる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００１２】
（削除）
【００１３】
また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には、判断手段が妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知手段によって報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００１４】
（削除）
【００１５】
また、請求項２に記載の発明は、メンテナンス時に各動作を行わせる指示手段を備え、前記指示手段による動作の際に、前記判断手段および前記計測手段による実動作所要時間を計測させ、前記判断手段および前記更新手段を動作させることを特徴とするものである。
【００１６】
（作用・効果）指示手段により任意の動作を行わせ、その際に計測手段による実動作所要時間を計測させ、判断手段で妥当性を判断するとともに動作所要時間を更新することにより、任意の動作調整を容易に実施することが可能となる。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置のスケジュール作成方法において、予め記憶されている各動作に要する動作所要時間を参照しつつ、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを作成する過程と、タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する過程と、前記計測された実動作所要時間で当該動作の動作所要時間を更新する過程と、前記計測する過程または前記更新する過程の後に、実動作所要時間と第１の閾値及び 第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する過程と、前記妥当性を判断する過程において、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えている場合は、異常アラームを報知し、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えていないが前記第１の閾値を越えている場合は、予備警報を報知する報知過程と、を実施することものである。
【００１８】
（作用・効果）予め記憶されている動作所要時間を参照しながらタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、各動作の実動作所要時間を計測し、このときの実動作所要時間で、当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってタイムテーブルを作成することができる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００１９】
また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２はこの発明の一実施例に係り、図１は基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２はその概略構成を示すブロック図である。
【００２１】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理並びに乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２２】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２３】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００２４】
上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００２５】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する第１副搬送機構２５を備えている。この第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。
【００２６】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。
【００２７】
第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部３５は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００２８】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００２９】
制御部３７はＣＰＵなどを含み、スケジューリング機能部３９と、処理実行指示部４１と、実動作所要時間計測機能部４３と、動作所要時間データ更新機能部４５と、データ妥当性チェック機能部４７とを備えている。これらの各部は、以下に説明する制御プログラムに相当する手順に基づき動作する。
【００３０】
スケジューリング機能部３９は、後述するようなレシピに応じて上述した各構成のリソースの使用タイミングを予めタイムテーブルで決定するため、実際に処理を開始する前にタイムテーブルにロットを予め配置するスケジューリングの処理を実行する。スケジュールされたタイムテーブルは、必要に応じて表示部４９に表示される。また、この表示部４９には、後述する異常時等の表示がなされる。
【００３１】
なお、上記のスケジューリング機能部３９が本発明におけるスケジュール作成手段に相当し、表示部４９が本発明における報知手段に相当する。
【００３２】
ここでレシピは、例えば、表１に示すように、一部の処理工程を複数回行う７つの処理工程から構成されている。表１の例では、５種類の処理工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを、処理工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｂ，Ｄ，Ｂ，Ｅの順序で実施するように規定している。
【００３３】
【表１】
また、各処理工程Ａ〜Ｅは、それぞれ前作業、本作業、後作業に分けられる。その一例を、次の表２に示す。
【００３５】
【表２】
Ｎｏ．１〜３の処理は、第１搬送機構１１が投入部３側からカセット１を取り出し、第２搬送機構１３がそのカセット１からロット（複数枚の基板Ｗ）を取り出し、第１処理部１９の薬液処理部２３がそのロットを薬液処理してから純水洗浄処理部２１に至るまでの処理である。なお、その間に実行されるカセット洗浄部３５による空のカセット１の洗浄処理については省略してある。
【００３７】
詳細には、第１搬送機構１１が投入部３のカセット１を取り込んで第２搬送機構１３に渡し、第２搬送機構１３がカセット１からロットを構成する複数枚の基板Ｗを取り出すまでが処理工程Ａであり、ロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、第３搬送機構１５からロットを受け取り、このロットを純水洗浄処理部２１で純水洗浄し、副搬送機構２５によりロットを薬液処理部２３に搬送して薬液処理し、その後、再び副搬送機構２５を経て純水洗浄処理部２１に搬送して純水洗浄処理を終えるまでが処理工程Ｃである。なお、表中の数字は前作業、本作業、後作業に要する時間（分）の一例を示している。
【００３８】
Ｎｏ．４，５の処理は、第３搬送機構１５が純水洗浄処理部２１から処理済みのロットを取り出し、乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでの処理である。
【００３９】
詳細には、純水洗浄処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、ロットを乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでが処理工程Ｄである。
【００４０】
Ｎｏ．６，７の処理は、第３搬送機構１５が乾燥処理されたロットを取り出し、第２搬送機構１３がカセット１にロットを収納した後、カセット１ごと第１搬送機構１１が払出部７に搬送するまでの処理である。
【００４１】
詳細には、乾燥処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでが処理工程Ｂであり、第２搬送機構１３がロットを受け取り、複数枚の基板Ｗをカセット１に収納するとともにカセット１ごと第１搬送機構１１に渡して払出部７に払い出しするまでが処理工程Ｅである。
【００４２】
また、上記の各処理工程Ａ〜Ｅは、上述したいずれかのリソースを使用する複数の動作を含む。各動作には、いずれかのリソースを使用するにあたり、その動作に要する時間として予め「動作所要時間」が設定されている。
【００４３】
例えば、処理工程Ａの各動作は、使用するリソースに応じて、次の表３に示すように前作業にあたる動作Ａ−Ｐｒｅ−１が１分に、本作業にあたる動作Ａ−Ｍａｉｎ−１が１分に、本作業にあたる動作Ａ−Ｍａｉｎ−２が３分に、本作業に当たる動作Ａ−Ｍａｉｎ−３が１分に、後作業にあたる動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１が１分に設定されている。これらの設定は、各リソースを個別に指定して動作させる指示を行うためのリモコン操作部５１を操作したり、キーボード５３やマウス５５を操作したりすることによって行うことができる。設定された値は「処理データ」として、上記のレシピと、作成されたタイムテーブルとともに記憶部５７に記憶される。
【００４４】
【表３】
処理実行指示部４１は、記憶部５７に記憶されているタイムテーブルに基づき、各リソースに対して順次に動作に係わる指令を行ってロットに対して処理を施す。
【００４６】
本発明における計測手段に相当する実動作所要時間計測機能部４３は、計時機能を備えており、処理実行指示部４１によってロットに対して実際に処理が施されている際に、各処理工程における各動作に実際に要した時間を「実動作所要時間」として計測する。
【００４７】
更新手段に相当する動作所要時間データ更新機能部４５は、実動作所要時間計測機能部４３が測定した実動作所要時間で、記憶部５７に記憶されている処理データのうちの、対応する動作の動作所要時間を更新する。具体的には、元の動作所要時間を実動作所要時間で置換する。
【００４８】
判断手段に相当するデータ妥当性チェック機能部４７は、実動作所要時間計測機能部４３によって計測された実動作所要時間の妥当性をチェックする機能を有する。例えば、次の表４に示すように、動作ごとに閾値１および閾値２を予め記憶しており、これらの閾値１および閾値２を実動作所要時間が越えているか否かによって妥当性を判断する。
【００４９】
なお、閾値１が本発明における第１の閾値に相当し、閾値２が本発明における第２の閾値に相当する。
【００５０】
また、実動作所要時間計測部４３と、動作所要時間データ更新機構部４５と、データ妥当性チェック機能部４７は、オペレータによってリモコン操作部５１が操作され、メンテナンスモードが指示された場合にも動作する（詳細後述）。なお、リモコン操作部５１が本発明における指示手段に相当する。
【００５１】
【表４】
この表４においては、表２および表３の「分」表示とは異なり、実動作所要時間および閾値１，２を「秒」で表示している。また、この表４では、理解を容易にするために実動作所要時間を動作に対応付けて記載してあるが、この例では、記憶部５７の処理データの中から動作に対応する、更新された動作所要時間（実動作所要時間）を参照して閾値１，２と比較する。閾値２は、閾値１よりも大きな値に設定されている。したがって、実動作所要時間が閾値２を越える場合には、閾値１を越えて閾値２以内である場合に比較して深刻な問題であることを示す。
【００５３】
なお、閾値１，２は、上記のように絶対値ではなく、相対値で設定するようにしてもよい。例えば、１０％といったように設定するようにしてもよい。
【００５４】
次に、図３から５を参照して、上述した基板処理装置の動作について説明する。なお、図３は、動作を示すフローチャートであり、図４はスケジュールされたタイムテーブルを示し、図５はタイムテーブルの一部を示し、（ａ）はスケジュールされたものであり、（ｂ）は実際の処理状態である。
【００５５】
以下の説明においては、説明の理解を容易にするために、一つのロットだけをあるレシピで処理する場合を例に採って説明する。なお、それぞれ異なるレシピで複数のロットを並行して処理してゆく等の場合であっても、同様に処理することができる。
【００５６】
ステップＳ１
ロットを搬入する。
オペレータは、処理対象であるロットを載置台５に載置する。そして、キーボード５３やマウス５５を操作してレシピを指示するとともに、処理の開始を指示する。
【００５７】
ステップＳ２
ロットの処理データを読み込む。
制御部３７のスケジューリング機能部３９は、搬入されたロットと、その際に指示されたレシピとを関連付け、記憶部５７からレシピと、処理データのうちレシピに関連する動作について全ての動作所要時間を読み込む。
【００５８】
ステップＳ３
スケジューリング機能部３９は、レシピを構成する各処理工程について時間計算を行う。レシピを構成している処理工程がわかっており、各処理工程を構成している動作についての「動作所要時間」も記憶部５７の処理データからわかっているので、これらに基づいて時間を求める。
【００５９】
ステップＳ４
レシピを構成している各処理工程の時間計算に基づき、どのように各処理工程を配置すればロットの処理が行えるかをスケジューリング機能部３９が各種の処理工程配置組み合わせを考慮しながら決定する。その結果、例えば、当該ロットについて図４に示すようなタイムテーブルが作成されたものとする。なお、この図４では、処理工程Ａについてだけ各動作を示し、他の処理工程については詳細な動作内容については省略して図示してある。このようにして作成されたタイムテーブルは、記憶部５７に記憶される。
【００６０】
なお、このステップＳ４が本発明におけるタイムテーブルを作成する過程に相当する。
【００６１】
ステップＳ５
処理実行指示部４１は、ステップＳ４において作成されたタイムテーブルを参照し、規定されたタイミングでロットの処理を開始する。具体的には、図５（ａ）に示すように、規定のタイミングで各動作を順次に実行させようと試みる。
【００６２】
すなわち、動作Ａ−Ｐｒｅ−１を開始時点から時間Ｔａ１で実行し、続いて動作Ａ−Ｍａｉｎ−１を時間Ｔａ２で実行し、同様に動作Ａ−Ｍａｉｎ−２を時間Ｔａ３で実行し、動作Ａ−Ｍａｉｎ−３を時間Ｔａ４で実行し、動作Ａ−Ｐｏｓｔ−１を時間Ｔａ５で順次に実行しようとする。上記の説明から明らかなように、上記各動作の時間Ｔａ１〜Ｔａ５は、記憶部５７の処理データ（動作所要時間）に基づいて決められている。
【００６３】
ステップＳ６
処理実行指示部４１は、参照しているタイムテーブルに応じて、ロットの処理に必要な各リソースの動作を規定のタイミングで動作させようとする。
【００６４】
ステップＳ７
動作を行わせる際には、実動作所要時間計測機能部４３が実際の動作時間を計測する。
【００６５】
なお、このステップＳ７が本発明における実動作所要時間を計測する過程に相当する。
【００６６】
ステップＳ８（動作所要時間を更新する過程に相当する）
このようにして計測された実動作所要時間は、記憶部５７に反映される。
具体的には、記憶部５７に記憶されている、計測した動作に対応する動作所要時間を動作所要時間データ更新機能部４５が置き換える。
【００６７】
ここでは、ステップＳ１４まで実行され、再びステップＳ６に戻り、次に動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の指令がなされたとする。図５（ｂ）に示すように、例えば、経時変化等に起因して装置の一部に問題が生じ、処理工程Ａの動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の実動作所要時間Ｔａ２´が、スケジューリング時に参照された動作所要時間Ｔａ２よりも長くなったとする。すると、これに起因して、スケジュール上では動作Ａ−Ｍａｉｎ−３の完了時点Ｔで処理工程Ｂに移る予定であったが、この時点Ｔでは処理工程Ａの動作Ａ−Ｍａｉｎ−３の動作が完了しておらず、処理を移行するができないという問題が生じることになる。
【００６８】
ステップＳ９
データ妥当性チェック機能部４７は、計測した当該動作Ａ−Ｍａｉｎ−１の実動作所要時間について、妥当性をチェックする。具体的には、まず、動作の実動作所要時間と、動作に対応して設定されている閾値２と比較して処理を分岐する。次の表５に、計測された実動作所要時間が閾値２を越えている場合の例を示す。
【００６９】
【表５】
ステップＳ１０
その結果、閾値２を越えている場合には、ステップＳ９からステップＳ１０に分岐し、表示部４９に異常発生を知らせる表示を行って異常アラームを報知する。これにより装置のオペレータは、装置に深刻な問題が生じたことを知ることができる。
【００７１】
ステップＳ１１
さらに、この場合には、次に続く処理工程Ｂ等を行うことが困難となる等の深刻な問題であるので、ステップＳ１１にてそのロットを退避させた後に、ステップＳ４に戻って再スケジューリングを行う。このとき、動作所要時間は既に実際に即した時間に更新されている。
【００７２】
ステップＳ１２
ステップＳ９において実動作所要時間が閾値２を越えていない場合であっても、閾値１を越えているか否かを判断して処理を分岐する。この場合の具体例を、次の表６に示す。
【００７３】
【表６】
ステップＳ１３
実動作所要時間が閾値１を越えている場合には、ステップＳ１２からステップＳ１３に移行し、表示部４９に予備警報を報知する。この場合は動作所要時間に変動が生じているものの、処理を継続するのに大きな支障が生じない程度であるので処理を停止させる必要はない。但し、何らかの変動が生じているので、報知によってオペレータに対して、装置に何らかの軽微な問題が生じつつあること等を知らせるようにする。
【００７５】
ステップＳ１４
処理実行指示部４１は、タイムテーブルを参照して、次に指令すべき処理があるか否かを判断する。これにより処理を終了するか、再びステップＳ６に戻って上述した処理を繰り返すかが決定される。
【００７６】
このように、スケジューリング機能部３９がタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、実動作所要時間計測機能部４３が各動作の実動作所要時間を計測し、動作所要時間データ更新機能部４５が実動作所要時間で、記憶部５７に記憶されている動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に自動的にフィードバックされるので、次のスケジューリング時に、更新された動作所要時間によってスケジューリング機能部３９がタイムテーブルを作成することになる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止することができる。
【００７７】
具体的には、スケジュール結果であるタイムテーブルが図５（ａ）であって、実際に処理した際に図５（ｂ）のタイムテーブルに示すようになった場合、再度スケジュールを行うと、図５（ｂ）のように処理工程Ａが配置され、それに合わせて処理工程Ｂ（図５（ｂ）中の点線矩形）が右にずれて配置されたタイムテーブルが作成されることになる。
【００７８】
また、ステップＳ９，Ｓ１２にて実動作所要時間と閾値１，２とを比較し、その結果に基づいてステップＳ１１，Ｓ１３（報知する過程）において報知することにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【００７９】
次に、図６のフローチャートを参照する。なお、図６は、調整処理時の動作を示すフローチャートである。
【００８０】
オペレータによってリモコン操作部５１が操作され、「メンテナンスモード」が指示された場合は、以下に説明するような調整処理に移行する。この場合には、例えば、製品の基板Ｗとは相違するダミーの基板Ｗ等を使って処理工程を構成する動作が擬似的に実施されることになる。
【００８１】
ステップＳ２１
所望の動作について調整を行うために、調整者は、例えば、アクチュエータやエアバルブ等の調整を行う。通常は、上述した処理によって異常アラームや予備警報の対象となった動作を調節する。
【００８２】
ステップＳ２２
調整を行った所望の動作について実動作所要時間を計測する。
具体的には、リモコン操作部５１を介して処理実行を指示すると、処理実行指示部４１がその動作を指示し、指定の動作が行われる。その際に、実動作所要時間計測機能部４３が動作に要する時間を計測する。
【００８３】
ステップＳ２３
上記のステップＳ２２で計測された実動作所要時間が妥当か否かを判断する。この判断は、上述したステップＳ９，Ｓ１２と同様にして行う。
【００８４】
計測された実動作所要時間が「妥当である場合」には、ステップＳ２４に移行して、計測した実動作所要時間を反映させる。一方、計測された実動作所要時間が「妥当でない場合」には、ステップＳ２５に移行して、異常アラームまたは予備警報を報知し、調整者に対して再調整を促す。
【００８５】
上記の一連の処理によって、基板処理装置の動作についての調整処理が行われ、動作所要時間が自動的に更新される。このように任意の動作を行わせ、その際に実動作所要時間を計測させ、これで動作所要時間を更新することにより、任意の動作調整を容易に実施することができる。
【００８６】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のように変形実施が可能である。
【００８７】
（１）実施例に挙げた基板処理装置は基板に薬液処理と、水洗処理と、乾燥処理とを順に施す装置であるが、これ以外の処理を施す基板処理装置であっても本発明を適用することができる。例えば、基板にフォトレジスト液を塗布し、回転処理によって薄膜化し、ベーク処理によって被膜を形成する装置等が挙げられる。
【００８８】
（削除）
【００８９】
（２）実動作所要時間の妥当性判断（ステップＳ９，Ｓ１２）と、報知（ステップＳ１１，Ｓ１３）とを更新（ステップＳ８）の後に行うのではなく、計測（ステップＳ７）の直後に行うようにしてもよい。これにより、迅速に妥当性判断および報知が可能となる。また、異常アラームで処理を中断する必要がある場合に、動作所要時間の更新処理を行う必要がなくなる。
【００９０】
（３）閾値１，２は、動作が遅くなった場合の判断のために実動作所要時間の上限値を規定しているが、この他にさらに下限値を規定するようにしてもよい。
【００９１】
例えば、閾値３，４を設定しておき、実動作所要時間がこれを下回るか否かの判断を追加するようにしてもよい。これにより、例えば、クリーンルームのユーティリティである気体源からの気体供給によって動作するアクチュエータが、気体源の圧力上昇に起因してその作動が速くなったこと等に起因して装置が異常状態となって処理を中断しなければならなくなるといった問題を回避することができる。
【００９２】
（４）表示部４９を報知手段として利用しているが、例えば、ブザーやランプ等をこれに代えて用いるあるいは併用するようにしてもよい。
【００９３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、記憶手段に予め記憶されている動作所要時間を参照しながら、スケジュール作成手段がタイムテーブルを決定し、このタイムテーブルにしたがって実際の処理を行う際に、計測手段が各動作の実動作所要時間を計測し、更新手段が実動作所要時間で、記憶手段に記憶されている当該動作の動作所要時間を更新する。したがって、経時変化により変動している動作所要時間が実所要動作時間に置換され、次のスケジューリング時に更新された動作所要時間によってスケジュール作成手段がタイムテーブルを作成できる。その結果、経時変化によるスケジュールへの悪影響を防止できる。また、実動作所要時間と閾値との比較の結果、例えば、実動作所要時間が閾値を越えた場合には、判断手段が妥当性を判断し、動作所要時間が変動したことを報知手段によって報知する。これにより、オペレータに対して装置に何らかの異常が生じつつある又は生じたことを知らせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】 基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】 スケジュールされたタイムテーブルを示す。
【図５】 タイムテーブルの一部を示し、（ａ）はスケジュールされたものであり、（ｂ）は実際の処理状態を示す。
【図６】 調整処理時の動作を示すフローチャートである。
【図７】 従来技術の説明に供する図であり、（ａ）はスケジュールされたタイムテーブルを示し、（ｂ）は実際の処理状態を示すタイムテーブルである。
【符号の説明】
Ｗ … 基板
１ … カセット
３７ … 制御部
３９ … スケジューリング機能部３９（スケジュール作成手段）
４１ … 処理実行指示部
４３ … 実動作所要時間計測機能部（計測手段）
４５ … 動作所要時間データ更新機能部（更新手段）
４７ … データ妥当性チェック機能部（判断手段）
４９ … 表示部
５１ … リモコン操作部（指示手段）
５３ … キーボード
５５ … マウス
５７ … 記憶部（記憶手段）
Claims (3)
- 基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置において、
各動作に要する時間を動作ごとに動作所要時間として記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を参照して、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを決定するスケジュール作成手段と、
タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する計測手段と、
前記計測手段によって計測された実動作所要時間で、前記記憶手段に記憶されている動作所要時間を更新する更新手段と、
前記計測手段による実動作所要時間と第１の閾値及び第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する判断手段と、
動作所要時間が変動したことを報知する報知手段と、
を備え、
前記判断手段は、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値を越える場合には、前記報知手段に異常アラームを報知させ、前記計測手段による実動作所要時間が前記第２の閾値は越えていないが前記第１の閾値を越える場合には、前記報知手段に予備警報を報知させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１に記載の基板処理装置において、
メンテナンス時に各動作を行わせる指示手段を備え、
前記指示手段による動作の際に、前記計測手段による実動作所要時間を計測させ、前記判断手段および前記更新手段を動作させることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対して処理を施す複数個のリソースを使用しながらロットを処理する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
予め記憶されている各動作に要する動作所要時間を参照しつつ、各リソースを使用するタイミングを規定するタイムテーブルを作成する過程と、
タイムテーブルにしたがって各リソースを使用しながら各動作を行ってロットに実際の処理を施す際に、各動作に要した実動作所要時間を計測する過程と、
前記計測された実動作所要時間で当該動作の動作所要時間を更新する過程と、
前記計測する過程または前記更新する過程の後に、実動作所要時間と第１の閾値及び第１の閾値よりも大きい第２の閾値とに基づいて実動作所要時間の妥当性を判断する過程と、
前記妥当性を判断する過程において、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えている場合は、異常アラームを報知し、前記実動作所要時間が前記第２の閾値を越えていないが前記第１の閾値を越えている場合は、予備警報を報知する報知過程と、
を実施することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
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