JP4238261B2 - ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ、ホイスト・システム、および輸送システム - Google Patents

ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ、ホイスト・システム、および輸送システム Download PDF

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Description

本発明は、ホイスト装置の分野に関する。より詳細には、本発明は、複数ホイスト・ケーブル、複数取り付け点のホイスト装置に関する。
製造の際、生産部品は、ステーションからステーションへと工場周辺を輸送されることが多い。一部の利用例では、部品は、オーバーヘッド・リフト・システムを使用して輸送される。ホイストは、あるステーションから部品を持ち上げるために使用され、次いでホイストおよび部品は、オーバヘッド・レール・システムによって次のステーションまで移動され、そこで部品は、ホイスト・システムによって降ろされる。ある種類のホイストでは、支持プラットフォームは、部品を把持するように適合されたプラットフォーム上、または部品を保持する容器上の3点に接続された6本のホイスト・ケーブルによって懸架される。これらのホイスト・ケーブルは、同じ距離を同じ速度で、同時に巻き上げられるか、同時に降ろされる。このようなホイスト・システムは、左右揺動(side-to-side sway)およびねじれにさらされることがなく、精密な部品および高い配置精度が必要な所で使用される。しかし、このようなシステムでは、ホイスト・ケーブルは、容易にキンクを生じさせる、または内部の引張疲労破壊によってほつれることがあり、それがプラットフォームを傾かせたり、リールを動かなくさせて、運搬の精度に悪影響を与える、または部品に損傷を与える。また、このようなホイスト・システム内のホイスト・ケーブルの交換は、高価で時間がかかる。
したがって、ホイスト・ケーブルの寿命が向上した改良型のホイスト・ケーブル・ホイスト・システムが必要である。
本発明の第1の態様は、一対のホイスト・ケーブルをペイロード把持機構に取り付けるためのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリであって、第1の軸を中心に枢動可能なプレートと、プレートの両側に配置された、第2の軸を中心に枢動可能な第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリおよび第3の軸を中心に枢動可能な第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリであって、第1、第2、および第3の軸が互いに平行である、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリおよび第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリと、第1のピボット・アセンブリ内の第1のホイスト・ケーブル保持手段であって、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ内の一対のホイスト・ケーブルの第1のホイスト・ケーブルの第1の端部を回転可能に保持するように適合され、第1のホイスト・ケーブルが第4の軸を中心に回転可能である、第1のホイスト・ケーブル保持手段と、第2のピボット・アセンブリ内の第2のホイスト・ケーブル保持手段であって、第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ内の一対のホイスト・ケーブルの第2のホイスト・ケーブルの第1の端部を回転可能に保持するように適合され、第2のホイスト・ケーブルが第5の軸を中心に回転可能である、第2のホイスト・ケーブル保持手段とを備え、第4および第5の軸は互いに平行であり、第4および第5の軸は第1、第2、および第3の軸に対して垂直であり、さらにホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリをペイロード把持機構に取り付けるためのブラケットを備える、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリである。
本発明の第2の態様は、ペイロードを昇降させるホイスト・システムであって、第1のフレーム上に配置された三対のホイスト・ケーブル・ドラムを備える吊り上げ機構であって、この三対のホイスト・ケーブル・ドラムが互いに約120°の角度で配置され、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対の各ホイスト・ケーブル・ドラムが同じ軸に長手方向に整列される、吊り上げ機構と、第2のフレームに取り付けられた3つのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリを有するペイロード把持機構であって、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが互いに約120°の角度で配置され、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが3つの平行軸の第1の組および2つの平行軸の第2の組を有し、軸の第1の組が軸の第2の組に対して垂直であり、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが一対のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリを有する、ペイロード把持機構と、三対のホイスト・ケーブルであって、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第1の端部が第1のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第1の端部が、共に結合された三対のホイスト・ケーブル・ドラムのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第2の端部が、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第2の端部が、三対のピボット・アセンブリのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられる、三対のホイスト・ケーブルとを備え、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが、対応する3つの軸の第1の組の中心軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリの各対の各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリが、対応する3つの軸の第1の組の異なる外側の軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブルの各対の各ホイスト・ケーブルが、対応する2つの軸の第2の組の異なる軸を中心に回転可能である、ホイスト・システムである。
本発明の第3の態様は、ペイロードを昇降させる輸送システムであって、オーバーヘッド・レール輸送システムと、オーバーヘッド・レール輸送システムに結合され、第1のフレーム上に配置された三対のホイスト・ケーブル・ドラムを備える吊り上げ機構であって、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対が互いに約120°の角度で配置され、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対の各ホイスト・ケーブル・ドラムが同じ軸に長手方向に整列される、吊り上げ機構と、第2のフレームに取り付けられた3つのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリを有するペイロード把持機構であって、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが互いに約120°の角度で配置され、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが3つの平行軸の第1の組および2つの平行軸の第2の組を有し、軸の第1の組が軸の第2の組に対して垂直であり、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが一対のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリを有する、ペイロード把持機構と、三対のホイスト・ケーブルであって、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第1の端部が第1のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第1の端部が、共に結合された三対のホイスト・ケーブル・ドラムのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第2の端部が、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第2の端部が、三対のピボット・アセンブリのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられる、三対のホイスト・ケーブルとを備え、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが、対応する3つの軸の第1の組の中心軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリの各対の各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリが、対応する3つの軸の第1の組の異なる外側の軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブルの各対の各ホイスト・ケーブルが、対応する2つの軸の第2の組の異なる軸を中心に回転可能である、輸送システムである。
本発明の特徴は、添付の特許請求の範囲に記載されている。しかし、本発明自体は、添付の図面を参照しながら、例示の実施形態の以下の詳細な説明を参照することにより最も理解されるであろう。
図1は、本発明の実施形態によるホイスト・システム100の平面図であり、図2はその側面図である。図1および2図では、ホイスト・システム100は、ホイスト・ケーブル115によって接続された、吊り上げ機構105およびペイロード把持機構110を含む。
ホイスト・システム100の吊り上げ機構105は、中心軸線130を中心に互いに約120°の角度で配置された3つのウインチ125が搭載されたフレーム120を含む。フレーム120は、中心軸線130を中心に回転可能である。各ウインチ125はモータ135を含み、モータ135は、その両側に配置された一対のホイスト・ケーブル・ドラム140を回転させる。ホイスト・ケーブル・ドラム140の各対は、共通の長手方向軸145を有する。対応するホイスト・ケーブル115が通ることができるスロット150が、各ホイスト・ケーブル・ドラム140の下のフレーム120内にある。ホイスト・ケーブル・ドラム140には、ホイスト・ケーブル115がホイスト・ケーブル・ドラム上に巻回される際にそのホイスト・ケーブルを受けるために溝が付けられている。
ホイスト・システム100のペイロード把持機構110は、3つのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160が取り付けられたフレーム155を含む。ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、ウインチ125の配置と同様に互いに約120°の角度で配置される。各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、同じウインチ125からの一対のホイスト・ケーブル115を接続するように適合されている。各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリは、ブラケット165によってフレーム155に取り付けられる。各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、主ピボット・ピン170によって各ブラケットに取り付けられ、フレーム155により画定される平面と平行な長手方向軸を有する主ピボット・ピンを中心に枢動自在である。各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、主ピボット・ピン170を中心とする回転の抵抗を調整するための調整ねじ175を備えている。
ホイスト・ケーブル115は緊張しており、3つの非平行面内で6つの水平分力を提供する。フレーム120に対してフレーム155を上下させるために、6つのホイスト・ケーブル・ドラム140すべてがモータ135によって同時に回転され、それにより各ホイスト・ケーブル115が、そのケーブルに対応するホイスト・ケーブル・ドラムに巻回される、またはそれから解かれる。その代わりに、単一のモータが、6つのドラム140すべてを駆動するように適合されていてもよい。
ホイスト・システム100は、レール輸送システムに関連して示されている。例えば、図示の輸送システムでは、レール180が、工場内のさまざまな場所またはツールへと延びるように配置される。フレーム120は、ブラケット185により、ドリー190を介してレール180に取り付けられる。このようなレール・システムは、特に半導体産業で周知である。
フレーム155には、ペイロードを把持するためのグリッパ195が備え付けられている。一例では、グリッパ195は、半導体ウエハを含むキャリアを把持するように構成されており、ペイロードを探し当て、そのペイロード上にグリッパ195を位置合わせするための位置センサ200もフレーム155に備え付けられている。位置センサは、機械式でも、電気機械式でも、光学機械式でもよい。
一例においては、ホイスト・ケーブル115は、プラスチック・コーティングを有するワイヤ・ロープを含む。このように、ホイスト・ケーブル115は、電気伝導性であり、ホイスト・アセンブリ100の吊り上げ機構105とペイロード把持機構110との間の信号伝送に使用することができる。この目的のために、送受信機205がフレーム155に搭載されており、電線210によって、(プラスチック・コーティングを一部はぎ取った後で)クランプ215を介してホイスト・ケーブル115に電気的に接続される。ホイスト・ケーブル・ドラム140には、ホイスト・ケーブル115を対応する線220に電気的に結合し、そこから送受信機225に電気的に結合するように適合された電気伝導性および絶縁性のリングおよびブラシを備え付けることができる。送受信機225は、工場内のステーションおよびツールに対するホイスト・システム100の位置合わせを制御するために、工場内のコントローラと通信する。ホイスト・ケーブル115に印加される信号は、アナログ信号、デジタル信号、または電力であってもよい。
図3は、本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160の等角図である。図3では、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、スペーサ240よって離間保持される前板230および後板235を含む。主ピボット・ピン170が、前板230、後板235、およびスペーサ240の穴を貫通し、ブラケット165(図2参照)に固定される。一対のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ245は、主ピボット・ピン170の両側で、ホイスト・ケーブル・ピボット・ピン250Aおよび250B(図3では不図示。図4参照)によって前板230と後板245の間に保持される。各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ245は、ホイスト・ケーブル枢支体255およびホイスト・ケーブル保持具260を含む。各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリで、それぞれのホイスト・ケーブル・ピボット・ピン250Aは、前板230の円穴を通ってホイスト・ケーブル枢支体255内に延在し、ホイスト・ケーブル枢支体に固定される。同様に、それぞれのホイスト・ケーブル・ピボット・ピン250B(図3では不図示。図4参照)は、後板235を通ってホイスト・ケーブル枢支体255内に延在し、ホイスト・ケーブル枢支体に固定される。ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160は、ねじ265によって一体に保持される。
主ピボット・ピン170は、長手方向軸265に沿って延在し、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ160全体は、軸265を中心に枢動自在である。ピボット・ピン250Aおよび250Bの各対は、それぞれのホイスト・ケーブル・ピボット・ピン250Aおよび250B(図3では不図示。図4参照)を通る共通の長手方向軸270に沿って整列され、各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ245はそれぞれの軸270を中心に枢動自在である。軸265および両方の軸270は、互いに平行である。一例では、軸265および軸270は同じ平面内にある。
各ホイスト・ケーブル115は、ホイスト・ケーブル保持具260を通るそれぞれの軸275に沿って回転自在である。各軸275は、軸265および両方の軸270に対して垂直である。両方の軸275は互いに平行である。
図4は、本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ245の平面図であり、図5は、図4の線3B−3Bでの断面図である。図4および図5では、ホイスト・ケーブル保持具260は、ホイスト・ケーブル枢支体255内のチャンバ内に装着される。ホイスト・ケーブル保持具260の上部は、ホイスト・ケーブル枢支体255内の円筒穴285を通って延在する。ホイスト・ケーブル保持具260は、チャンバ290も含む。ホイスト・ケーブル115は、ホイスト・ケーブル保持具260の円筒穴295を通り、スラスト・ワッシャ300Aおよび300Bを介して、ホイスト・ケーブル・ストップ305内の円筒穴に入る。スラスト・ワッシャ300Aおよび300Bと、ホイスト・ケーブル・ストップ305とは、ホイスト・ケーブル保持具260のチャンバ310内に含まれる。ホイスト・ケーブル・ストップ305は、ホイスト・ケーブル115に型締められる。ホイスト・ケーブル115およびホイスト・ケーブル・ストップ305は、軸275を中心に回転自在である。一例では、ホイスト・ケーブル保持具260は、軸275に沿って回転自在である。一例では、ホイスト・ケーブル保持具260は、圧入される、ピン留めされる、またはその他の方法で軸275に沿って回転できないようにされる。
ホイスト・ケーブル枢支体255は、有利には、アルミニウムまたはステンレス鋼から製作できる。ホイスト・ケーブル保持具260は、有利には、ナイロン、ポリフルオロエチレン、他のプラスチック、ポリマー、または樹脂から製作できる。スラスト・ワッシャ300Aおよび300Bは、有利には、ステンレス鋼、オイル充填ブロンズ(oil filled bronze)、ナイロン、ポリフルオロエチレン、他のプラスチック、ポリマー、または樹脂から製作できる。図5には2つのスラスト・ワッシャが示されるが、2つ以上のスラスト・ワッシャや、1つのスラスト・ワッシャが使用されてもよく、またはスラスト・ワッシャがなくてもよい。あるいは、ころがりピン軸受(balland roller pin bearing)を含む、他のさまざまなタイプのスラスト軸受を、スラスト・ワッシャ300Aおよび330Bの代わりに、またはそれらと併せて使用することもできる。
このホイスト・ケーブル枢支体255のデサインは、例示的なものであるとみなすことができ、他のデザイン、例えばホイスト・ケーブル115の交換をより容易にするスロットを組み込んだデザインを用いてもよい。
図6は、本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル保持具260のホイスト・ケーブル115の組立図である。図6から明らかなように、ホイスト・ケーブル保持具260は、それぞれの結合面315Aおよび315Bを有する、同一の2つの片割れ260Aおよび260Bを含む。一例では、スラスト・ワッシャ300Aおよび300Bは、ホイスト・ケーブル115の端部320からすべり込ませる。次に、ホイスト・ケーブル・ストップ305をホイスト・ケーブル115の端部320からすべり込ませ、型締めて、ホイスト・ケーブル・ストップに刻み目325をつけ、ホイスト・ケーブル115をホイスト・ケーブル・ストップ305に固定する。次に、ホイスト・ケーブル保持具のそれぞれの片割れ260Aおよび260Bの結合面315Aおよび315Bが接合されて、2つの半円筒状切欠き290Aおよび290Bによって形成されるチャンバ内に、ホイスト・ケーブル115の端部320と、ホイスト・ケーブル・ストップ305と、スラスト・ワッシャ300Aおよび330Bとを封入する。
次いで、組み立てられたホイスト・ケーブル保持具をホイスト・ケーブル枢支体内に配置し、2つのホイスト・ケーブル枢支体のアセンブリをホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ内に配置することができる。
本発明者らによって行われた試験において、ホイスト・ケーブルがホイスト・ケーブル枢支体内でいかなる回転もしないようにされたことを除いては、本発明の実施形態のホイスト・システムに類似した一組のホイスト・システムでは、1年で1システムにつき約1本のホイスト・ケーブルの割合で、または約20,000昇降サイクル(1サイクルは1回の上昇および1回の下降運動)毎にホイスト・ケーブル不良(キンクまたはワイヤーのほつれ)が生じた。ホイスト・ケーブルがホイスト・ケーブル枢支体内で回転自在である本発明の実施形態によるホイスト・システムでは、4年間の試験後、または約150,000昇降サイクル後でもホイスト・ケーブル不良が生じなかった。
したがって、本発明は、ホイスト・ケーブルの寿命が向上した改良型のホイスト・ケーブル・ホイスト・システムを提供する。
以上が、本発明を理解するための本発明の実施形態の説明である。本発明は、本明細書に記載されている特定の実施形態には限定されず、今では当業者には明らかであろうさまざまな修正、再構成、および代用が、本発明の範囲から逸脱することなく可能であることが理解されるであろう。したがって、添付の特許請求の範囲が、本発明の真の趣旨と範囲内で、このような修正および変更すべてを包含することが意図される。
本発明の実施形態によるホイスト・システムの平面図である。 本発明の実施形態によるホイスト・システムの側面図である。 本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル取り付けアセンブリの等角図である。 本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリの平面図である。 図4の線3B−3Bでの断面図である。 本発明の実施形態によるホイスト・ケーブル保持具のホイスト・ケーブルの組立図である。
符号の説明
100 ホイスト・システム
105 吊り上げ機構
110 ペイロード把持機構
115 ホイスト・ケーブル
120 フレーム
125 ウインチ
130 中心軸線
135 モータ
140 ホイスト・ケーブル・ドラム
145 長手方向軸
150 スロット
155 フレーム
160 ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ
165 ブラケット
170 主ピボット・ピン
175 調整ねじ
180 レール
185 ブラケット
190 ドリー
195 グリッパ
200 位置センサ
205 送受信機
210 電線
215 クランプ
220 線
230 前板
235 後板
240 スペーサ
245 ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ
250A ホイスト・ケーブル・ピボット・ピン
250B ホイスト・ケーブル・ピボット・ピン
255 ホイスト・ケーブル枢支体
260 ホイスト・ケーブル保持具
260A ホイスト・ケーブル保持具の片割れ
260B ホイスト・ケーブル保持具の片割れ
265 ねじ
265 長手方向軸
270 長手方向軸
275 軸
285 円筒穴
290 チャンバ
295 円筒穴
300A スラスト・ワッシャ
300B スラスト・ワッシャ
305 ホイスト・ケーブル・ストップ
310 チャンバ
315A 結合面
315B 結合面
320 ホイスト・ケーブルの端部
325 刻み目

Claims (20)

  1. 一対のホイスト・ケーブルをペイロード把持機構に取り付けるためのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリであって、
    第1の軸を中心に枢動可能なプレートと、
    前記プレートの両側に配置された、第2の軸を中心に枢動可能な第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリおよび第3の軸を中心に枢動可能な第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリであって、前記第1、第2、および第3の軸が互いに平行である、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリおよび第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリと、
    前記第1のピボット・アセンブリ内の第1のホイスト・ケーブル保持手段であって、前記第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ内の前記一対のホイスト・ケーブルの第1のホイスト・ケーブルの第1の端部を回転可能に保持するように適合され、前記第1のホイスト・ケーブルが第4の軸を中心に回転可能である、第1のホイスト・ケーブル保持手段と、
    前記第2のピボット・アセンブリ内の第2のホイスト・ケーブル保持手段であって、前記第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリ内の前記一対のホイスト・ケーブルの第2のホイスト・ケーブルの第1の端部を回転可能に保持するように適合され、前記第2のホイスト・ケーブルが第5の軸を中心に回転可能である、第2のホイスト・ケーブル保持手段とを備え、
    前記第4および第5の軸は互いに平行であり、前記第4および第5の軸は前記第1、第2、および第3の軸に対して垂直であり、さらに
    ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリを前記ペイロード把持機構に取り付けるためのブラケットを備える、ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  2. 前記第1および第2のホイスト・ケーブル保持手段がそれぞれ、
    第1のチャンバを有するホイスト・ケーブル枢支体と、
    第2のチャンバを有し、前記第1のチャンバ内に配置されたホイスト・ケーブル保持具と、
    前記一対のホイスト・ケーブルのうちの1つのホイスト・ケーブルの一端部に固定して取り付けられる、前記第2のチャンバ内に回転可能に配置されたホイスト・ケーブル・ストップとを備える、請求項1に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  3. 配置された1つまたは複数のスラスト・ワッシャをさらに含み、前記一対のホイスト・ケーブルのうちの前記1つのホイスト・ケーブルが前記1つまたは複数のスラスト・ワッシャを通過し、前記1つまたは複数のスラスト・ワッシャが前記第2のチャンバ内に収容される、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  4. 前記1つまたは複数のスラスト・ワッシャのそれぞれが、ステンレス鋼、オイル充填ブロンズ、ナイロン、ポリフルオロエチレン、他のプラスチック、ポリマー、または樹脂から別々に製作される、請求項3に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  5. 玉軸受、ピン軸受、またはころ軸受をさらに含み、前記一対のホイスト・ケーブルのうちの前記1つのホイスト・ケーブルが、前記玉軸受、ピン軸受、またはころ軸受を通過し、前記玉軸受、ピン軸受、またはころ軸受が前記第2のチャンバ内に収容される、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  6. 前記ホイスト・ケーブル保持具が、ナイロン、ポリフルオロエチレン、他のプラスチック、ポリマー、または樹脂から製作される、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  7. 前記ホイスト・ケーブル保持具が、前記第4の軸または第5の軸のどちらかを中心に回転可能である、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  8. 前記ホイスト・ケーブル保持具が、前記第1のチャンバ内で固定される、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  9. 前記ホイスト・ケーブル保持具が、前記第4の軸または前記第5の軸を中心に対称形である2つの同一の片割れを含む、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  10. 前記ホイスト・ケーブル枢支体が、ピンによって前記ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ内において回転可能に保持される、請求項2に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  11. 前記第1、第2、および第3の軸が、前記第1の軸を中心に枢動可能な同じ平面内に配置される、請求項1に記載のホイスト・ケーブル取り付けアセンブリ。
  12. ペイロードを昇降させるホイスト・システムであって、
    第1のフレーム上に配置された三対のホイスト・ケーブル・ドラムを備える吊り上げ機構であって、ホイスト・ケーブル・ドラムの前記対が互いに約120°の角度で配置され、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対の各ホイスト・ケーブル・ドラムが同じ軸に長手方向に整列される、吊り上げ機構と、
    第2のフレームに取り付けられた3つのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリを有するペイロード把持機構であって、前記ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが互いに約120°の角度で配置され、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが3つの平行軸の第1の組および2つの平行軸の第2の組を有し、前記軸の第1の組が前記軸の第2の組に対して垂直であり、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが一対のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリを有する、ペイロード把持機構と、
    三対のホイスト・ケーブルであって、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第1の端部が第1のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第1の端部が、共に結合された前記三対のホイスト・ケーブル・ドラムのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の前記第1のホイスト・ケーブルの第2の端部が、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の前記第2のホイスト・ケーブルの第2の端部が、前記三対のピボット・アセンブリのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられる、三対のホイスト・ケーブルとを備え、
    各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが、対応する前記3つの軸の第1の組の中心軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリの各対の各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリが、前記対応する前記3つの軸の第1の組の異なる外側の軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブルの各対の各ホイスト・ケーブルが、対応する前記2つの軸の第2の組の異なる軸を中心に回転可能である、ホイスト・システム。
  13. 前記ペイロード把持機構が、半導体ウエハを収容するキャリアを把持するように構成される、請求項12に記載のホイスト・システム。
  14. 前記ペイロード把持機構が位置センサを含む、請求項12に記載のホイスト・システム。
  15. 前記吊り上げ機構および前記ペイロード把持機構がそれぞれ、前記三対のホイスト・ケーブルのうちの1つまたは複数のホイスト・ケーブルを介してアナログ信号、デジタル信号、または電力信号を送信および受信のための送受信機を含む、請求項12に記載のホイスト・システム。
  16. 前記各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリが、
    第1のチャンバを有するホイスト・ケーブル枢支体と、
    第2のチャンバを有し、前記第1のチャンバ内に配置されたホイスト・ケーブル保持具と、
    前記三対のホイスト・ケーブルのうちの1つのホイスト・ケーブルの一端部に固定して取り付けられる、前記第2のチャンバ内に回転可能に配置されたホイスト・ケーブル・ストップとを備える、請求項12に記載のホイスト・システム。
  17. ペイロードを昇降させる輸送システムであって、
    オーバーヘッド・レール輸送システムと、
    前記オーバーヘッド・レール輸送システムに結合され、第1のフレーム上に配置された三対のホイスト・ケーブル・ドラムを備える吊り上げ機構であって、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対が互いに約120°の角度で配置され、ホイスト・ケーブル・ドラムの各対の各ホイスト・ケーブル・ドラムが同じ軸に長手方向に整列される、吊り上げ機構と、
    第2のフレームに取り付けられた3つのホイスト・ケーブル取り付けアセンブリを有するペイロード把持機構であって、前記ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが互いに約120°の角度で配置され、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが3つの平行軸の第1の組および2つの平行軸の第2の組を有し、前記軸の第1の組が前記軸の第2の組に対して垂直であり、各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが一対のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリを有する、ペイロード把持機構と、
    三対のホイスト・ケーブルであって、ホイスト・ケーブルの各対の第1のホイスト・ケーブルの第1の端部が第1のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の第2のホイスト・ケーブルの第1の端部が、共に結合された前記三対のホイスト・ケーブル・ドラムのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ドラムに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の前記第1のホイスト・ケーブルの第2の端部が、第1のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられ、ホイスト・ケーブルの各対の前記第2のホイスト・ケーブルの第2の端部が、前記三対のピボット・アセンブリのうちの一対の第2のホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリに取り付けられる、三対のホイスト・ケーブルとを備え、
    各ホイスト・ケーブル取り付けアセンブリが、対応する前記3つの軸の第1の組の中心軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリの各対の各ホイスト・ケーブル・ピボット・アセンブリが、前記対応する前記3つの軸の第1の組の異なる外側の軸を中心に枢動可能であり、ホイスト・ケーブルの各対の各ホイスト・ケーブルが、対応する前記2つの軸の第2の組の異なる軸を中心に回転可能である、輸送システム。
  18. 前記ペイロード把持機構が、半導体ウエハを収容するキャリアを把持するように構成される、請求項17に記載の輸送システム。
  19. 前記ペイロード把持機構が位置センサを含む、請求項17に記載の輸送システム。
  20. 前記吊り上げ機構および前記ペイロード把持機構がそれぞれ、前記三対のホイスト・ケーブルのうちの1つまたは複数のホイスト・ケーブルを介してアナログ信号、デジタル信号、または電力信号を送信および受信のための送受信機を含む、請求項17に記載の輸送システム。
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