CN213004787U - 一种用于晶片切割工具检测的夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，包括滑轨和夹紧组件，夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具，夹具滑动设置于滑轨上，夹具包括滑动支架以及转动安装于滑动支架的第一旋转件和第二旋转件，第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行且不重合。本发明在使用时，两组夹具分别设置于轮轴的两侧，两组夹具通过滑轨滑动相向运动，第一旋转件和第二旋转件与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件和第二旋转件转动连接于滑动支架，夹紧轮轴的同时，第一旋转件和第二旋转件可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

Description

一种用于晶片切割工具检测的夹持机构

技术领域

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的夹持机构。

背景技术

钢线卷轴和钢线工字轮是半导体晶体生产中的重要设备，在生产之前，必须对钢线卷轴上的线槽进行检视，以防止钢线卷轴轴槽位缺陷(如线槽峰异位、槽峰丢失等)导致在生产过程中出现断线现象造成晶片损失，另外缠绕钢线的工字轮的绕线状况及钢线表面也需要在来料和使用过程中进行检查，避免绕线压线等异常导致生产过程中的断线

目前，由于钢线卷轴和钢线工字轮轴本身重量较大，很难连续翻动，且为了避免钢线卷轴和钢线工字轮轴的圆周面在水平放置时磨损，因此，通常将钢线卷轴和钢线工字轮轴竖直放置，但是竖直放置时连续转动过程中，钢线卷轴和钢线工字轮轴上端容易晃动，影响检测稳定性。

发明内容

本发明的目的是提供能够在轮轴竖直转动过程中夹持轮轴，放置轮轴晃动，提高轮轴在检测过程中的稳定性的一种镜片切割用轮轴定位机构。

为了实现上述目的，本发明提供一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，包括滑轨和夹紧组件，所述夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具，所述夹具滑动设置于所述滑轨上，所述夹具包括滑动支架以及转动安装于所述滑动支架的第一旋转件和第二旋转件，所述第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行。

可选的，所述滑动支架包括滑块以及连接于所述滑块上的支撑杆，所述滑块滑动连接于所述滑轨，所述第一旋转件和第二旋转件转动连接于所述支撑杆上。

可选的，所述第一旋转件和第二旋转件均包括同轴布置的滚轮和槽轮，所述槽轮圆周侧开设有环形凹槽。

可选的，所述滑块上安装有复位组件，所述支撑杆通过所述复位组件与所述滑块转动连接并可沿支撑杆的长度方向移动，所述滚轮和槽轮分别设置于所述支撑杆的两侧。

可选的，所述复位组件包括弹簧安装轴和弹簧，所述滑块开设有导向孔，所述弹簧安装轴穿设于所述导向孔，所述弹簧套设于弹簧安装轴外侧并抵接于所述滑块背向所述支撑杆的一侧面，所述支撑杆与所述弹簧安装轴连接。

可选的，所述滑块面向所述支撑杆的一侧面开设有限位凹槽，所述支撑杆靠近所述滑块的第一端与限位凹槽配合以限制支撑杆绕长度方向转动。

可选的，所述环形凹槽的宽度为10－15mm。

可选的，所述滚轮和槽轮表面包覆有聚氨酯层。

可选的，所述滑轨为气动滑轨。

实施本发明的实施例，具有以下技术效果：

本发明在使用时，两组夹具分别设置于轮轴的两侧，两组夹具通过滑轨滑动相向运动，第一旋转件和第二旋转件与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件和第二旋转件转动连接于滑动支架，夹紧轮轴的同时，第一旋转件和第二旋转件可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

附图说明

图1是本发明优选实施例的定位机构的结构示意图；

图2是本发明优选实施例的定位机构的剖视图；

图3是本发明优选实施例的定位机构的爆炸图；

图4是本发明优选实施例中滚轮夹持轮轴的结构示意图；

图5是本发明优选实施例中槽轮夹持轮轴的结构示意图。

附图标记说明：

1、滑轨，2、夹紧组件，3、夹具，31、滑动支架，311、滑块，311a、导向孔，311b、限位凹槽，312、支撑杆，32、第一旋转件，33、第二旋转件，34、滚轮，35、槽轮，36、环形凹槽，4、复位组件，41、弹簧安装轴，42、弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，本发明中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本发明范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

参考图1－图3，本实用新型的一个实施例提供了一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，包括滑轨1和夹紧组件2，夹紧组件2包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具3，夹具3滑动设置于滑轨1，夹具3包括滑动支架31以及转动安装于滑动支架31的第一旋转件32和第二旋转件33，第一旋转件32的旋转轴和第二旋转件33的旋转轴平行且不重合。

本发明在使用时，两组夹具3分别设置于轮轴的两侧，两组夹具3通过滑轨1滑动相向运动，第一旋转件32和第二旋转件33与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件32和第二旋转件33转动连接于滑动支架31，夹紧轮轴的同时，第一旋转件32和第二旋转件33可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

参考图1，本实施例中的滑动支架31包括滑块311以及连接于滑块311上的支撑杆312，滑块311滑动连接于滑轨1，第一旋转件32和第二旋转件33转动连接于支撑杆312上，具体的，滑轨1为气动滑轨，便于进行两组夹具3移动的自动化控制。

其中，第一旋转件32和第二旋转件33均包括同轴布置的滚轮34和槽轮35，槽轮35圆周侧开设有环形凹槽36，使滚轮34和槽轮35分别对应不同结构类型的轮轴，例如，参考图5，工字型的轮轴，通过槽轮35圆周侧开设的环形凹槽36，在两组夹具3夹紧轮轴时，工字型的轮轴的一端的轮沿嵌入环形凹槽36内，提高夹紧时相对位置的稳定性；参考图4，而圆柱形轮轴在夹持时，通过第一旋转件32和第二旋转件33的滚轮34与圆柱形轮轴的圆周面抵接，使轮轴设置于第一旋转件32和第二旋转件33的滚轮34之间的位置。

参考图2和图3，进一步的，为了方便变换滚轮34和槽轮35的位置以适应不同结构类型的轮轴，本实施例的滑块311上安装有复位组件4，支撑杆312通过复位组件4与滑块311转动连接并可沿支撑杆312的长度方向移动，滚轮34和槽轮35分别设置于支撑杆312的两侧，使用时，通过将支撑杆312向长度方向拉出并旋转180°，并在复位组件4的作用下，支撑杆312复位，将滚轮34和槽轮35调换位置。

具体的，本实施例中的复位组件4包括弹簧安装轴41和弹簧42，滑块311开设有导向孔311a，弹簧安装轴42穿设于导向孔311a，弹簧42套设于弹簧安装轴41外侧并抵接于滑块311背向支撑杆312的一侧面，支撑杆312与弹簧安装轴41连接。

进一步的，滑块311面向支撑杆312的一侧面开设有限位凹槽311b，支撑杆312靠近滑块311的一端与限位凹槽311b配合以限制支撑杆312绕长度方向转动，使支撑杆312靠近滑块311的一端与嵌入限位凹槽311b中时，无法绕支撑杆312的长度方向转动，当将支撑杆312沿长度方向拉出后，支撑杆312一端离开限位凹槽311b，可进行转动变换滚轮34和槽轮35的位置，避免了支撑杆312在夹紧轮轴过程中位置的稳定性，同时，有助于通过弹簧43降低夹具3夹紧轮轴时，轮轴运动产生的振动，更好的确保检测输出结果的准确。

优选的，限位凹槽311b的宽度为10－15cm，适用于现有技术中的绝大部分轮轴。

进一步的，滚轮34和槽轮35表面包覆有聚氨酯层，以确保滚轮34和槽轮35与轮轴圆周面接触造成的磨损降低至最小，同时有助于减少轮轴转动时产生的振动，提高检测的准确性和有效性。

综上，本发明有助于提高轮轴在检测过程中绕竖直方向旋转时的稳定性，使用时，两组夹具3分别设置于轮轴的两侧，两组夹具3通过滑轨1滑动相向运动，第一旋转件32和第二旋转件33与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件32和第二旋转件33转动连接于滑动支架31，夹紧轮轴的同时，第一旋转件32和第二旋转件33可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，包括滑轨和夹紧组件，所述夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具，所述夹具滑动设置于所述滑轨上，所述夹具包括滑动支架以及转动安装于所述滑动支架的第一旋转件和第二旋转件，所述第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行。

2.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述滑动支架包括滑块以及连接于所述滑块上的支撑杆，所述滑块滑动连接于所述滑轨，所述第一旋转件和第二旋转件转动连接于所述支撑杆上。

3.根据权利要求2所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述第一旋转件和第二旋转件均包括同轴布置的滚轮和槽轮，所述槽轮圆周侧开设有环形凹槽。

4.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述滑块上安装有复位组件，所述支撑杆通过所述复位组件与所述滑块转动连接并可沿支撑杆的长度方向移动，所述滚轮和槽轮分别设置于所述支撑杆的两侧。

5.根据权利要求4所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述复位组件包括弹簧安装轴和弹簧，所述滑块开设有导向孔，所述弹簧安装轴穿设于所述导向孔，所述弹簧套设于弹簧安装轴外侧并抵接于所述滑块背向所述支撑杆的一侧面，所述支撑杆与所述弹簧安装轴连接。

6.根据权利要求5所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述滑块面向所述支撑杆的一侧面开设有限位凹槽，所述支撑杆靠近所述滑块的第一端与限位凹槽配合以限制支撑杆绕长度方向转动。

7.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述环形凹槽的宽度为10－15mm。

8.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述滚轮和槽轮表面包覆有聚氨酯层。

9.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构，其特征在于，所述滑轨为气动滑轨。

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