JP4213540B2 - 振動発電用振動子 - Google Patents
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- 238000010248 power generation Methods 0.000 claims description 43
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 21
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
IEEE Trans.VLSI Systems、pp.64−76,Vol.9、no.1,2001.
図1は、本発明の実施の形態1による可変容量型振動子の構成を示す側面図、図2は、図1の可変容量型振動子における上面図、図3は、本発明の実施の形態1による可変容量型振動子の他の構成を示す側面図、図4は、本発明の実施の形態1による振動発電機の一例を示すブロック図である。
図5は、本実施の形態2による可変容量型振動子の構成を示す側面図、図6は、図5の
可変容量型振動子における上面図である。
図7は、本実施の形態3による可変容量振動子の構成を示す側面図、図8は、図7の可変容量振動子における上面図である。
図9は、本実施の形態4による可変容量型振動子の構成を示す側面図、図10は、図9の可変容量型振動子を用いて構成された振動発電機のブロック図である。
図11は、本実施の形態5による可変容量型振動子の構成を示す側面図、図12は、図11の可変容量型振動子に設けられた振動子の底面図である。
1a〜1e 可変容量型振動子(振動発電用振動子)
2 おもり
21 〜2n-1 おもり
3 スペーサ
31 〜3n-1 スペーサ
4 振動板
41 〜4n 振動板
5 振動板
51 〜5n 振動板
6 電極(第1の電極)
6a 電極(第3の電極)
7 電極(第2の電極)
7a 電極(第4の電極)
8 対向電極用台座
8a 対向電極用台座
9 振動子支持台座
9a 振動子支持台座
10 電極用配線端子(電極用端子)
10a 電極用配線端子(電極用端子)
11 電極用配線端子(電極用端子)
11a 電極用配線端子(電極用端子)
12 振動子
13,14 ストッパ(接触防止突起)
15,16 ストッパ(振動抑制用突起)
17 容量型振動発電機制御回路
181 〜18n 振動板
19,20 ストッパ(接触防止突起)
21,22 ストッパ(接触防止突起)
23 容量型振動発電機制御回路
24 タイミングモニタ回路
25 電極(第1の電極)
26 電極(第3の電極)
27 電極(第2の電極)
28 電極(第4の電極)
29〜32 電極用配線端子(電極用端子)
Claims (10)
- 第1の容量を構成する第1、および第2の電極と、
第2の容量を構成する第3、および第4の電極と、
前記第1、および第3の電極を設けた振動子と、
前記第2、および第4の電極を設けた電極用台座と、
前記振動子を前記電極用台座に固定する振動子支持台座と、
前記第1〜第4の電極にそれぞれ接続され、外部から電荷の出し入れを行う電極用端子とを備え、
前記振動子は、
自由振動を行うおもりと、
前記おもりを支持する2枚の振動板とよりなり、
前記振動板は、互いに平行をなすように、前記おもりの第1の面、およびそれに対向する第2の面を挟み込んで支持し、
前記振動子は、振動エネルギーで動作することによって前記振動子に設けられた第1、および第3の電極と、前記第2、および第4の電極との距離がそれぞれ変化することで容量を変化させることを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項1記載の振動発電用振動子において、
前記第1の電極は、前記振動子の第1の面に設けられ、
前記第3の電極は、前記第1の面に対向する前記振動子の第2の面に設けられ、
前記第2の電極は、前記第1の電極に対向するように前記電極用台座に設けられ、
前記第4の電極は、前記第3の電極に対向するように前記電極用台座に設けられたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項1記載の振動発電用振動子において、
前記第1、および第3の電極は、前記振動子の第1の面に設けられ、
前記第2、ならびに第4の電極は、前記第1の電極と前記第3の電極とにそれぞれ対向するように前記電極用台座に設けられたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項1記載の振動発電用振動子において、
前記第1の電極は、前記振動子の第1の面に設けられ、
前記第3の電極は、前記第1の面に対向する前記振動子の第2の面に設けられ、
前記第2の電極は、前記第1の電極に対向するように前記電極用台座に設けられ、
前記第4の電極は、前記第3の電極に対向するように前記電極用台座に設けられ、
前記電極用台座は、前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記第1、および第3の電極と前記第2、ならびに第4の電極との接触を防止する接触防止突起を設けたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項1記載の振動発電用振動子において、
前記第1、および第3の電極は、前記振動子の第1の面に設けられ、
前記第2、ならびに第4の電極は、前記第1の電極と前記第3の電極とにそれぞれ対向するように前記電極用台座に設けられ、
前記電極用台座は、
前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記第1、および第3の電極と前記第2、ならびに第4の電極との接触を防止する接触防止突起と、
前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記振動板の過振動を抑制する振動抑制用突起とを備えたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 第1の容量を構成する第1、および第2の電極と、
前記第1、および第2の電極を設けた振動子と、
前記振動子を電極用台座に固定する振動子支持台座と、
前記第1、ならびに第2の電極にそれぞれ接続され、外部から電荷の出し入れを行う電極用端子とを備え、
前記振動子は、
自由振動を行うおもりと、
前記おもりを支持する2枚の振動板とよりなり、
前記振動板は、互いに平行をなすように、前記おもりの第1の面、およびそれに対向する第2の面を挟み込んで支持し、
前記振動子は、振動エネルギーで動作することによって前記振動子に設けられた第1、および第2の電極との距離がそれぞれ変化することで容量を変化させることを特徴とする振動発電用振動子。 - 第1の容量を構成する第1、および第2の電極と、
前記第1、および第2の電極を設けた振動子と、
前記振動子を電極用台座に固定する振動子支持台座と、
前記第1、ならびに第2の電極にそれぞれ接続され、外部から電荷の出し入れを行う電極用端子とを備え、
前記振動子は、
自由振動を行うn−1個のおもりと、
前記n−1個のおもりを支持するn枚の振動板とよりなり、
前記n個の振動板は、互いに平行をなすように、前記n−1個のおもりにおける第1の面、およびそれに対向する第2の面をそれぞれ挟み込んで支持し、
前記振動子は、振動エネルギーで動作することによって前記振動子に設けられた第1、および第2の電極との距離がそれぞれ変化することで容量を変化させることを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項6または7記載の振動発電用振動子において、
前記電極用台座は、前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記第1の電極と前記第2の電極との接触を防止する接触防止突起を備えたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項6または7記載の振動発電用振動子において、
前記電極用台座は、
前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記第1の電極と前記第2の電極との接触を防止する接触防止突起と、
前記振動子が振動エネルギーで動作する際に、前記振動板の過振動を抑制する振動抑制用突起とを備えたことを特徴とする振動発電用振動子。 - 請求項6、8、または9のいずれか1項に記載の振動発電用振動子において、
前記振動板は、
前記おもりの第1の面を支持する2枚以上からなる第1の振動板と、
前記おもりの第2の面を支持する2枚以上からなる第2の振動板とから構成されていることを特徴とする振動発電用振動子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295806A JP4213540B2 (ja) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 振動発電用振動子 |
US10/767,438 US7112911B2 (en) | 2003-08-20 | 2004-01-30 | Vibrational power generation device vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295806A JP4213540B2 (ja) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 振動発電用振動子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005065463A JP2005065463A (ja) | 2005-03-10 |
JP2005065463A5 JP2005065463A5 (ja) | 2005-12-22 |
JP4213540B2 true JP4213540B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=34191127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003295806A Expired - Fee Related JP4213540B2 (ja) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 振動発電用振動子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7112911B2 (ja) |
JP (1) | JP4213540B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100524870C (zh) * | 2004-10-21 | 2009-08-05 | 米其林技术公司 | 具有可调共振频率的能量收集器 |
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FR2887936B1 (fr) * | 2005-06-30 | 2007-08-17 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de recuperation d'energie mecanique a raideur variable |
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US8519595B2 (en) | 2010-09-02 | 2013-08-27 | Ut-Battelle, Llc | MEMS based pyroelectric thermal energy harvester |
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US8759990B2 (en) * | 2011-04-19 | 2014-06-24 | Eastman Kodak Company | Energy harvesting device including MEMS composite transducer |
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JP2021197830A (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-27 | 株式会社デンソー | 電界駆動型の機能素子、および、機能素子システム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2003
- 2003-08-20 JP JP2003295806A patent/JP4213540B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-01-30 US US10/767,438 patent/US7112911B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005065463A (ja) | 2005-03-10 |
US20050040654A1 (en) | 2005-02-24 |
US7112911B2 (en) | 2006-09-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |