JP4254445B2 - マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 - Google Patents
マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4254445B2 JP4254445B2 JP2003327496A JP2003327496A JP4254445B2 JP 4254445 B2 JP4254445 B2 JP 4254445B2 JP 2003327496 A JP2003327496 A JP 2003327496A JP 2003327496 A JP2003327496 A JP 2003327496A JP 4254445 B2 JP4254445 B2 JP 4254445B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- output
- input
- output electrode
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
本発明のマイクロ電気機械システムの共振器は、信号を入力する入力電極と、信号を出力する出力電極と、前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子とを備え、前記出力電極は第1出力電極と第2出力電極とからなり、前記入力電極は複数の入力電極からなり、前記第1出力電極は前記複数の入力電極と同数設けられていて前記第1出力電極と前記複数の入力電極とは交互にかつ前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、前記第2出力電極は前記入力電極と前記第1出力電極の配列の最も端に設けられた前記第1出力電極の前記入力電極とは反対側に配置されかつ前記入力電極の位相と同位相の位置に配置されていて、前記第1出力電極からの出力と前記第2出力電極からの出力とが合わされて出力される。
Claims (4)
- 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備え、
前記出力電極は前記入力電極の一方側に間隔を置いて設けた第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記第1出力電極は前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は入力電極の位相と同位相の位置に配置され、
前記第1出力電極は前記第2出力電極の両側に設けられていて、
前記第1出力電極からの出力と前記第2出力電極からの出力とが合わされて出力される
マイクロ電気機械システムの共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備え、
前記出力電極は第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記入力電極は複数の入力電極からなり、
前記第1出力電極は前記複数の入力電極と同数設けられていて前記第1出力電極と前記複数の入力電極とは交互にかつ前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は前記入力電極と前記第1出力電極の配列の最も端に設けられた前記第1出力電極の前記入力電極とは反対側に配置されかつ前記入力電極の位相と同位相の位置に配置されていて、
前記第1出力電極からの出力と前記第2出力電極からの出力とが合わされて出力される
マイクロ電気機械システムの共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備え、
前記出力電極は前記入力電極の一方側に間隔を置いて設けた第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記第1出力電極は前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は入力電極の位相と同位相の位置に配置され、
前記第1出力電極は前記第2出力電極の両側に設けられていて、
前記第1出力電極からの出力と前記第2出力電極からの出力を合わせて出力させる
マイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備え、
前記出力電極は第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記入力電極は複数の入力電極からなり、
前記第1出力電極は前記複数の入力電極と同数設けられていて前記第1出力電極と前記複数の入力電極とは交互にかつ前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は前記入力電極と前記第1出力電極の配列の最も端に設けられた前記第1出力電極の前記入力電極とは反対側に配置されかつ前記入力電極の位相と同位相の位置に配置されていて、
前記第1出力電極からの出力と前記第2出力電極からの出力を合わせて出力させる
マイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003327496A JP4254445B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 |
TW093128108A TWI291450B (en) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | Resonator for micro-electro-mechanical system, (MEMS), its driving method and frequency filter |
CN 200480027070 CN1853345A (zh) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | 微机电系统谐振器及其驱动和制备方法和频率滤波器 |
US10/571,723 US20070010227A1 (en) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | Micro electric machine system resonator, drive method thereof, manufacturing method thereof, and frequency filter |
EP04773394A EP1667323A1 (en) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | Micro electric machine system resonator, drive method thereof, manufacturing method thereof, and frequency filter |
PCT/JP2004/014010 WO2005029700A1 (ja) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法およびその製造方法および周波数フィルタ |
KR1020067005369A KR20060065720A (ko) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | 마이크로 전기 기계 시스템의 공진기 및 그 구동 방법 및그 제조 방법 및 주파수 필터 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003327496A JP4254445B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005094568A JP2005094568A (ja) | 2005-04-07 |
JP4254445B2 true JP4254445B2 (ja) | 2009-04-15 |
Family
ID=34457350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003327496A Expired - Fee Related JP4254445B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4254445B2 (ja) |
CN (1) | CN1853345A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008103777A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Ritsumeikan | マイクロメカニカル共振器 |
CN100434882C (zh) * | 2007-11-20 | 2008-11-19 | 东南大学 | 静电激励谐振器电容拾振结构 |
JP5519326B2 (ja) | 2010-02-25 | 2014-06-11 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置 |
JP2013211650A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Seiko Epson Corp | Mems振動子およびmems振動子の製造方法 |
-
2003
- 2003-09-19 JP JP2003327496A patent/JP4254445B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-17 CN CN 200480027070 patent/CN1853345A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005094568A (ja) | 2005-04-07 |
CN1853345A (zh) | 2006-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7312674B2 (en) | Resonator system with a plurality of individual mechanically coupled resonators and method of making same | |
KR101363533B1 (ko) | 미소 전기 기계 디바이스 | |
JP4908156B2 (ja) | 薄膜圧電振動子及び薄膜圧電バルク波共振器及びそれを用いた高周波フィルタ | |
TWI291450B (en) | Resonator for micro-electro-mechanical system, (MEMS), its driving method and frequency filter | |
EP1658675A2 (en) | Micromechanical resonator device and method of making the micromechanical resonator device | |
JP2004337991A (ja) | マイクロマシンおよびその製造方法 | |
JP4710435B2 (ja) | 微小共振器、バンドパスフィルタ、半導体装置、並びに通信装置 | |
EP2987239B1 (en) | A nanomechanical resonator array and production method thereof | |
JP4206904B2 (ja) | Mems共振器 | |
JP2007013447A5 (ja) | ||
JP4254445B2 (ja) | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 | |
JP2006231489A (ja) | 振動子構造体及びその製造方法 | |
JP4341288B2 (ja) | Mems型共振器及びその製造方法、並びにフィルタ | |
JP2005167546A (ja) | 電気機械フィルタ | |
JP2009088685A (ja) | 電気機械素子および半導体デバイス | |
JP2008177933A (ja) | 電気機械素子、並びに信号処理デバイス、通信装置 | |
JP4333417B2 (ja) | マイクロマシンの製造方法 | |
JP4442158B2 (ja) | マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法 | |
JP4155209B2 (ja) | マイクロ電気機械システムの共振器およびその製造方法および周波数フィルタ | |
JP4389518B2 (ja) | マイクロ電気機械システムの共振器およびその調整方法 | |
JP4487512B2 (ja) | 電気機械共振器およびその動作方法 | |
JP4415616B2 (ja) | マイクロマシン | |
JP2005311568A (ja) | フィルタ装置及び送受信機 | |
JP2005192146A (ja) | Mems共振器及びその作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |