JP2005167546A - 電気機械フィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】差動増幅器に適したフィルタを提供する。
【解決手段】微小な電気機械フィルタを用いて、入力信号の供給される第1および第2の振動子13,14の両側に第1および第2の電極11,12を配置することで、位相が反転した2つの信号をとりだすことができる。
【選択図】 図1
【解決手段】微小な電気機械フィルタを用いて、入力信号の供給される第1および第2の振動子13,14の両側に第1および第2の電極11,12を配置することで、位相が反転した2つの信号をとりだすことができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、電気機械フィルタに係り、特に微小な振動子を備えた小型の電気機械フィルタに関する。
小型化が要求される無線端末において、フィルタなどの受動素子は、そのサイズが無線信号の波長に依存するため、小型化が極めて困難であった。
その中で、次世代フィルタの候補として、MEMS(Micro Electro Mechanical Syst-ems)、NEMS(Nano Electoro Mechanical Systems)技術により微小な電気機械フィルタが作製されている。
その中で、次世代フィルタの候補として、MEMS(Micro Electro Mechanical Syst-ems)、NEMS(Nano Electoro Mechanical Systems)技術により微小な電気機械フィルタが作製されている。
この電気機械フィルタは、従来の電気的共振ではなくメカニカルな共振を利用するため、共振周波数は共振する振動子の質量とバネ定数によって決まり、電気的共振を用いたフィルタよりもサイズを劇的に減少することができる。例えば、1GHz帯で共振する共振子のサイズは、材質、形状、共振モードに依るが、数ミクロン以下の大きさとすることができる。
また製造方法についても従来の半導体プロセスを適用することが可能であるため、増幅器などの他の能動素子との親和性にも優れ、全てバッチプロセスで作成が可能となり、無線部の1チップ化に大きく貢献することが期待されている。
さらにフィルタの損失特性を表すQ値も非常に高く、低損失が期待されるため、無線部の高性能化および低消費電力にも貢献できる。
さらにフィルタの損失特性を表すQ値も非常に高く、低損失が期待されるため、無線部の高性能化および低消費電力にも貢献できる。
従来の微小振動子を用いた電気機械フィルタとして、従来、非特許文献1に記載されたものが知られている。
このフィルタは、図11に示すように、基板上に形成された、入力線路104、出力線路105と、その線路に対して僅かにギャップをもって配置された両端固定の2つの振動梁101、102(共振器)と、その2つの梁を結合する結合梁103とで構成されている。
入力線路104から入力した信号は、信号の周波数に応じた電界を発生させ共振器101に静電力を印加させる。このとき、入力信号の周波数が共振器の共振周波数と一致した場合、共振器は励振され振動する。このため共振周波数を有する信号のみが選択的に電気的信号から機械的振動に変換される。また出力側の共振器102と出力線路105間では、共振器102が振動するため、共振器102と出力線路間の共振周波数の角速度で容量が変化する。共振器102と出力線路間105間に電位が印加されていれば、共振周波数の信号が流れ、つまり共振周波数を有する信号のみが通過することができる。このとき共振周波数は、(数式1)のように示され、共振器の質量とばね定数の関数となる。
このフィルタは、図11に示すように、基板上に形成された、入力線路104、出力線路105と、その線路に対して僅かにギャップをもって配置された両端固定の2つの振動梁101、102(共振器)と、その2つの梁を結合する結合梁103とで構成されている。
入力線路104から入力した信号は、信号の周波数に応じた電界を発生させ共振器101に静電力を印加させる。このとき、入力信号の周波数が共振器の共振周波数と一致した場合、共振器は励振され振動する。このため共振周波数を有する信号のみが選択的に電気的信号から機械的振動に変換される。また出力側の共振器102と出力線路105間では、共振器102が振動するため、共振器102と出力線路間の共振周波数の角速度で容量が変化する。共振器102と出力線路間105間に電位が印加されていれば、共振周波数の信号が流れ、つまり共振周波数を有する信号のみが通過することができる。このとき共振周波数は、(数式1)のように示され、共振器の質量とばね定数の関数となる。
アイ・トリプルイー・ジャーナル・オブ・ソリッド−ステイト・サーキット、35巻、エヌ4頁、2000年(IEEE Journal of Solid-state Circuits,VOL35,N4,April 2000)
しかしながら、非特許文献1をはじめ既に発表されている微小振動子を用いた電気機械フィルタは、1入力1出力の構成となっている。本フィルタは例えば図12のブロック図で示すような形態で使用される。この場合、アンテナ端110から入力した受信信号を送受切り替えスイッチ112で切り替え、バンドパスフィルタ113に入力し、不要な信号を除去したのち、低ノイズアンプ114に入力し増幅する。このとき、一般的に低ノイズアンプ114は雑音特性を良くするため差動増幅器になっているため、低ノイズアンプ114に対して差動入力することが要求される。このためバランBなどを用いて、片相信号の入力信号を両相に変換する必要があり、バランBの変換効率が悪ければ、バンドパスフィルタの低損失特性のメリットを活かすことができないという課題があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、バランなどの変換素子を用いることなくフィルタで片相-両相変換を行う電気機械フィルタを提供することを目的とする。
本発明の電気機械フィルタは、入力信号で励振される振動子と、前記振動子を挟むように、それぞれ所定の間隔を隔てて配設された2つの電極とを具備し、前記2つの電極は、前記振動子の振動方向と交差するように配置される。
この構成により、前記電極と前記振動子との間で、片相―両相変換を実現可能にする。
この構成により、前記電極と前記振動子との間で、片相―両相変換を実現可能にする。
例えば、振動子の固有振動数と一致する入力信号が入力された際、振動子が大きく励振される。このためこれらの電極を出力電極としたとき出力電極側でも、振動子と2つの出力電極間での、共振周波数で容量変化が生じ、直流電位を印加すれば出力信号を取り出せることになり、振動子の固有振動数と一致する入力信号のみを選択的に取り出すことができる。さらに、出力電極は振動子を挟んで対向して2つ配設されているため、2つの出力電極で取り出せる信号は互いに位相が反転した信号となる。これにより、片相で入力した信号を周波数選択し、かつ両相に変換することが可能となる。
一方、2つの電極から逆相の信号を入力すると、共振周波数で振動子が振動し、この振動子と2つの電極間で容量変化が生じ、直流電位を印加することにより、振動子の固有振動数と一致する入力信号のみを片相信号として取り出すことができる。
一方、2つの電極から逆相の信号を入力すると、共振周波数で振動子が振動し、この振動子と2つの電極間で容量変化が生じ、直流電位を印加することにより、振動子の固有振動数と一致する入力信号のみを片相信号として取り出すことができる。
また本発明の電気機械フィルタは、前記振動子には、入力信号が入力され、前記2つの電極は互いに逆相の出力信号を出力する。
この構成により、極めて簡単な構成で、入力電極に入力された信号を効率よく2つの逆相信号として取り出すことができる。振動子への入力信号の入力は直接入力端子に接続することによって実現することができる。また、固定電極への入力信号の供給によって、静電力により振動子を振動させることによって間接的に実現してもよい。
この構成により、極めて簡単な構成で、入力電極に入力された信号を効率よく2つの逆相信号として取り出すことができる。振動子への入力信号の入力は直接入力端子に接続することによって実現することができる。また、固定電極への入力信号の供給によって、静電力により振動子を振動させることによって間接的に実現してもよい。
また本発明の電気機械フィルタは、互いに位相の反転した2つの入力信号が、前記電極にそれぞれ入力され、前記振動子から信号を出力する。
この構成により、逆相の信号を効率よくかつ振幅の大きな片相信号として取り出すことができる。
この構成により、逆相の信号を効率よくかつ振幅の大きな片相信号として取り出すことができる。
また本発明の電気機械フィルタは、前記振動子が互いに信号が伝搬可能な複数個の振動子で構成される。
異なる固有振動数を持つ振動子を複数個設けるようにすれば、フィルタの帯域を広げることができる。また同一の固有振動数を持つ振動子を複数個設けるようにすれば、大きな出力信号を得ることができる。
異なる固有振動数を持つ振動子を複数個設けるようにすれば、フィルタの帯域を広げることができる。また同一の固有振動数を持つ振動子を複数個設けるようにすれば、大きな出力信号を得ることができる。
また本発明の電気機械フィルタは、前記振動子には入力信号が直接印加され、前記振動子に対して相対向するように、固定された2つの電極を配置し、前記電極から位相が反転した信号を出力可能にする。
この構成により、振動子の両側に2つの電極を配するのみで極めて容易に逆相の信号を取り出すことができる。
この構成により、振動子の両側に2つの電極を配するのみで極めて容易に逆相の信号を取り出すことができる。
また本発明の電気機械フィルタは、逆相の入力信号に対して、振動子の励振方向、および強さが等しくなるように、前記固定電極が、前記振動子に対して並んで配置される。
また本発明の電気機械フィルタは、振動子が、結合梁によって接続された第1および第2の振動子を具備し、前記2つの電極は前記第2の振動子を挟んで対向して配置された第1および第2の電極であり、更に前記第1の振動子から所定の間隔を隔てて配置された第3の電極を有するものを含む。
この構成によれば、振動子の固有振動数と一致する入力信号が入力した際に、振動子が大きく励振される。このため第1および第2の電極を出力側とし、第3の電極を入力側としたとき、第3の電極に信号が入力されると、第1の振動子が振動し、この振動が第2の振動子に伝達され、この第2の振動子と、第1および第2の電極間の共振周波数で容量変化が生じ、直流電位を印加すれば出力信号を取り出せ、振動子の固有振動数と一致する入力信号のみを選択的に取り出すことができる。さらに、第1および第2の電極は振動子を挟んで対向して2つ配置しているため、2つの電極で取り出せる信号は互いに位相が反転した信号となる。これにより、片相で入力した信号を周波数選択し、かつ両相に変換することが可能となる。
一方、第1および第2の電極を入力側とし、第3の電極を出力側としたとき、同様に、、両相で入力した信号を周波数選択し、かつ片相に変換することが可能となる。
この構成によれば、振動子の固有振動数と一致する入力信号が入力した際に、振動子が大きく励振される。このため第1および第2の電極を出力側とし、第3の電極を入力側としたとき、第3の電極に信号が入力されると、第1の振動子が振動し、この振動が第2の振動子に伝達され、この第2の振動子と、第1および第2の電極間の共振周波数で容量変化が生じ、直流電位を印加すれば出力信号を取り出せ、振動子の固有振動数と一致する入力信号のみを選択的に取り出すことができる。さらに、第1および第2の電極は振動子を挟んで対向して2つ配置しているため、2つの電極で取り出せる信号は互いに位相が反転した信号となる。これにより、片相で入力した信号を周波数選択し、かつ両相に変換することが可能となる。
一方、第1および第2の電極を入力側とし、第3の電極を出力側としたとき、同様に、、両相で入力した信号を周波数選択し、かつ片相に変換することが可能となる。
また本発明の電気機械フィルタは、無線受信装置を構成する。
この電気機械フィルタは互いに逆位相の信号を受信して、周波数選択し、かつ両相に変換することができるため、バラン等の変換素子が不要である上、無線受信装置の受信器として適用可能であり、シリコンなどの半導体基板を用いた加工技術で微細加工が可能であり、信頼性の高い無線受信装置を形成することが可能となる。
更にまた本発明の電気機械フィルタは、無線送信装置を構成する。
この電気機械フィルタでは、振動子と2つの出力電極間で、共振周波数において容量変化が生じ、直流電位を印加して出力信号を取り出すことにより、片相で入力した信号を周波数選択し、かつ両相に変換することが可能であるため、無線部送信装置の送信器として適用可能である。この場合もシリコンなどの半導体基板を用いた加工技術で微細加工が可能であり、信頼性の高い無線部送信装置を形成することが可能となる。
この電気機械フィルタは互いに逆位相の信号を受信して、周波数選択し、かつ両相に変換することができるため、バラン等の変換素子が不要である上、無線受信装置の受信器として適用可能であり、シリコンなどの半導体基板を用いた加工技術で微細加工が可能であり、信頼性の高い無線受信装置を形成することが可能となる。
更にまた本発明の電気機械フィルタは、無線送信装置を構成する。
この電気機械フィルタでは、振動子と2つの出力電極間で、共振周波数において容量変化が生じ、直流電位を印加して出力信号を取り出すことにより、片相で入力した信号を周波数選択し、かつ両相に変換することが可能であるため、無線部送信装置の送信器として適用可能である。この場合もシリコンなどの半導体基板を用いた加工技術で微細加工が可能であり、信頼性の高い無線部送信装置を形成することが可能となる。
本発明の電気機械フィルタは、入力信号によって振動する共振部と、前記共振部の振動を互いに逆相信号として検出する2つの検出部とを具備している。
この構成により、極めて簡単な構成で、逆相の信号を取り出すことができる。
本発明の電気機械フィルタは、互いに逆相の2つの入力信号によって振動する共振部と、前記共振部の振動を片相信号として検出する検出部とを具備している。
この構成により、2つの逆相信号から大きな片相信号を取り出すことが可能である。
この構成により、極めて簡単な構成で、逆相の信号を取り出すことができる。
本発明の電気機械フィルタは、互いに逆相の2つの入力信号によって振動する共振部と、前記共振部の振動を片相信号として検出する検出部とを具備している。
この構成により、2つの逆相信号から大きな片相信号を取り出すことが可能である。
以上説明したように、本発明によれば、バランなどの変換素子を使用することなくフィルタ内で片相―両相変換を行うためにより低損失のバンドパスフィルタを得ることが可能となるため、より高性能でかつ低損失の電気機械フィルタを得ることが可能となる。
以下、本発明の各実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は、本実施の形態1における電気機械フィルタの構成を示す斜視図であり、図2平面図、図3,4にそれぞれ断面A-A'とB-B'の断面図である。
この電気機械フィルタは、図1に示すように、基板10表面に両持ち梁状をなすように形成された2つの振動子(第1の振動子13,第2の振動子14)と1つの入力電極となる第3の電極16と、出力電極となる2つの(第1および第2の電極11,12)とで構成されており、第3の電極16からの信号による第2の振動子14の共振を、結合梁15を介して接続された第1の振動子13に伝え、この第1の振動子13の振動によって誘起される誘起起電力を第1及び第2の電極11,12で出力するように構成されている。
ここで、入力電極である第3の電極16は第2の振動子14と僅かなギャップを介して配置されている。第1及び第2の振動子13、14は図3のB−B'面の断面図に示すようにポスト部18、19により基板に固定されている。また第1の振動子13と第2の振動子14は結合梁15により機械的に結合している。また図4のA-A'面の断面図に示すように、第1の振動子13の振動によって誘起される誘起起電力を出力できるように第1の振動子13を挟んで第1および第2の電極11,12が僅かなギャップを介して対向して配置されている。
図1は、本実施の形態1における電気機械フィルタの構成を示す斜視図であり、図2平面図、図3,4にそれぞれ断面A-A'とB-B'の断面図である。
この電気機械フィルタは、図1に示すように、基板10表面に両持ち梁状をなすように形成された2つの振動子(第1の振動子13,第2の振動子14)と1つの入力電極となる第3の電極16と、出力電極となる2つの(第1および第2の電極11,12)とで構成されており、第3の電極16からの信号による第2の振動子14の共振を、結合梁15を介して接続された第1の振動子13に伝え、この第1の振動子13の振動によって誘起される誘起起電力を第1及び第2の電極11,12で出力するように構成されている。
ここで、入力電極である第3の電極16は第2の振動子14と僅かなギャップを介して配置されている。第1及び第2の振動子13、14は図3のB−B'面の断面図に示すようにポスト部18、19により基板に固定されている。また第1の振動子13と第2の振動子14は結合梁15により機械的に結合している。また図4のA-A'面の断面図に示すように、第1の振動子13の振動によって誘起される誘起起電力を出力できるように第1の振動子13を挟んで第1および第2の電極11,12が僅かなギャップを介して対向して配置されている。
第1および第2の振動子13、14は同じ形状、同じ材料を用いて作成し、2つの振動子の共振周波数を一致させてもよく、また僅かに共振周波数をずらしてもよい。このときの共振周波数は、前記式1から求められ、材料定数(ヤング率と密度)、形状(長さ)で決まる。
以下、この電気機械フィルタの具体的な動作について説明する。
第1の回路21から入力電極である第3の電極16に入力された入力信号は、入力信号が有する静電力により第2の振動子14を励振させる。このとき第2の振動子14の固有振動数と入力信号の周波数が一致した場合、振動子14は強く励振され、振動する。第2の振動子14と第1の振動子13は結合梁15によって結合されているため、図5(a)および(b)に示す2つのモードで振動する。このとき本構成では、水平方向に振動子が振動するモードが励起されるような振動子の形状にする。
第1の回路21から入力電極である第3の電極16に入力された入力信号は、入力信号が有する静電力により第2の振動子14を励振させる。このとき第2の振動子14の固有振動数と入力信号の周波数が一致した場合、振動子14は強く励振され、振動する。第2の振動子14と第1の振動子13は結合梁15によって結合されているため、図5(a)および(b)に示す2つのモードで振動する。このとき本構成では、水平方向に振動子が振動するモードが励起されるような振動子の形状にする。
第2の振動子14には制御端子20から直流電位が印加されているため、直流電位により第2の振動子14と第3の電極16のギャップが変化し、スプリングソフニング現象を起こすこともできる。
次にこの電気機械フィルタを用いて信号を出力する方法について説明する。
第2の振動子14によって励起された第1の振動子13は、水平方向に振動を行うため、振動子と出力電極間の容量が共振周波数の周波数で変化することになる。さらに第1および第2の電極11と12は、第1の振動子13を挟んで対向して配置されているため、第1の振動子13と第2の電極12間の容量変化と、第1の振動子13と第1の出力電極11の容量変化は互いに位相が反転した状態となる。
第2の振動子14によって励起された第1の振動子13は、水平方向に振動を行うため、振動子と出力電極間の容量が共振周波数の周波数で変化することになる。さらに第1および第2の電極11と12は、第1の振動子13を挟んで対向して配置されているため、第1の振動子13と第2の電極12間の容量変化と、第1の振動子13と第1の出力電極11の容量変化は互いに位相が反転した状態となる。
第1の振動子13には制御端子20から直流電位が印加されているため、共振周波数で容量が変化することで、図6に示すように第1および第2の電極11、12からは互いに位相が反転した信号が出力端子22、23から出力される。実線は第1の電極11から出力される出力端子23の信号、破線は第2の電極12から出力される出力端子22の信号を示す。
すなわち、本実施の形態1によれば、バランなどを用いることなく、所望の周波数だけの互いに位相が反転した2つの信号をとりだすことができる。
なお第1および第2の振動子13、14は両持ち梁でなくてもよく、片持ち梁でもよい。
なお振動子の振動方向は水平方向である必要はなく、2つの出力電極に対して、位相が反転するような振動および出力電極の配置になっていればよい。
なお第1および第2の振動子13、14は両持ち梁でなくてもよく、片持ち梁でもよい。
なお振動子の振動方向は水平方向である必要はなく、2つの出力電極に対して、位相が反転するような振動および出力電極の配置になっていればよい。
ここで、電気機械フィルタの製造方法について説明する。
シリコン基板を用いて電気機械フィルタを形成する工程の一例を図7の工程断面図を用いて説明する。
まず、高抵抗シリコン基板81を熱酸化することで、この高抵抗シリコン基板81上に300nm程度の膜厚のシリコン酸化膜82を形成する。次に、減圧CVD法を用いて200nmの膜厚でシリコン窒化膜83を堆積する。さらにこの上層に減圧CVD法を用いてシリコン酸化膜84を50nmの膜厚で堆積する(図7(a)参照)。
シリコン基板を用いて電気機械フィルタを形成する工程の一例を図7の工程断面図を用いて説明する。
まず、高抵抗シリコン基板81を熱酸化することで、この高抵抗シリコン基板81上に300nm程度の膜厚のシリコン酸化膜82を形成する。次に、減圧CVD法を用いて200nmの膜厚でシリコン窒化膜83を堆積する。さらにこの上層に減圧CVD法を用いてシリコン酸化膜84を50nmの膜厚で堆積する(図7(a)参照)。
しかる後、シリコン酸化膜84にフォトレジストからなる犠牲層を膜厚2μmでスピンコート、露光、現像したのち、ホットプレートで140℃10分のベークを行うことで犠牲層85を形成する(図7(b)参照)。
しかる後、図7(c)に示すごとく、スパッタリング法により基板全面にAl86を2μmの膜厚で堆積し、所定の領域にレジストが残るようにフォトレジストによるパターン87の形成を行う。
しかる後、図7(c)に示すごとく、スパッタリング法により基板全面にAl86を2μmの膜厚で堆積し、所定の領域にレジストが残るようにフォトレジストによるパターン87の形成を行う。
次に、前記フォトレジストからなるパターンをマスクとしてAlのドライエッチングを行うことで、梁88および固定電極89を形成し、さらに酸素プラズマによりフォトレジストからなるパターン87ならびに犠牲層85を除去する。前記工程により、梁を振動子とした固定電極89を有するフィルタが形成される(図7(d)参照)。
なお本実施の形態では基板として、高抵抗シリコン基板を用いたが、他の回路素子と集積化する際には他の素子に必要とされる特性に応じて通常のシリコン基板、化合物半導体基板、絶縁材料基板を用いても良い。
また、高抵抗シリコン基板81上に絶縁膜としてシリコン酸化膜82、シリコン窒化膜83、シリコン酸化膜84を形成したが、基板の抵抗が十分高い場合これら絶縁性膜の形成を省略しても良い。
また、高抵抗シリコン基板81上に絶縁膜としてシリコン酸化膜82、シリコン窒化膜83、シリコン酸化膜84を形成したが、基板の抵抗が十分高い場合これら絶縁性膜の形成を省略しても良い。
なお、本実施の形態では梁を形成する材料としてAlを用いたが、他の金属材料Mo、Ti、Au、Cu、ならびに高濃度に不純物導入のなされた半導体材料例えばアモルファスシリコン、導電性を有する高分子材料などを用いても良い。さらに成膜方法としてスパッタリング法を用いたがCVD法、メッキ法などを用いて形成しても良い。
(実施の形態2)
図8は、本発明の実施の形態2における電気機械フィルタの構成を示す斜視図である。
基本的な構成は実施の形態1と同じであるが、実施の形態1では受信部のバンドパスフィルタに適用したのに対し、本実施の形態では送信部に適用した例について説明する。
図8は、本発明の実施の形態2における電気機械フィルタの構成を示す斜視図である。
基本的な構成は実施の形態1と同じであるが、実施の形態1では受信部のバンドパスフィルタに適用したのに対し、本実施の形態では送信部に適用した例について説明する。
この電気機械フィルタでは、パワーアンプ117から出力した差動信号41、43を第3および第1の電極16,11に入力させる。41と43は差動信号であるが、静電力の大きさは電位差の絶対値で決まるため、第1の振動子13と第2の振動子14は常に同じ向きに同じ大きさで励振される。一方第2の電極12からは第1の振動子13と出力電極12との容量変化に応じて、片相の信号が出力される。
また、第1の振動子13と第2の振動子14の信号の結合を回避するために、結合梁15のインピーダンスを入力信号に対して十分高くしてもよい。
また、第1の振動子13と第2の振動子14の信号の結合を回避するために、結合梁15のインピーダンスを入力信号に対して十分高くしてもよい。
(実施の形態3)
図9は、本発明の実施の形態3における電気機械フィルタの構成を示す斜視図である。
基板上に振動子54が配置されており、この振動子の両側に僅かなギャップを介して第1および第2の55、56が配置されている。第1および第2の出力電極55,56はそれぞれ出力端子51,52に、振動子54は入力端子53に接続されている。
図9は、本発明の実施の形態3における電気機械フィルタの構成を示す斜視図である。
基板上に振動子54が配置されており、この振動子の両側に僅かなギャップを介して第1および第2の55、56が配置されている。第1および第2の出力電極55,56はそれぞれ出力端子51,52に、振動子54は入力端子53に接続されている。
実施の形態1では入力電極が励振する振動子と、出力側で容量を検出する振動子を分けていたが、本実施の形態では直接振動子54に信号を入力する。同様に信号の周波数が振動子の固有振動数と一致した場合、信号は振動子を強く励振させる。このとき振動子の振動モードを水平方向に振動するモードが励起されるようにしておけば、振動子54と第1および第2の出力電極55、56間の容量が変化するため、振動周波数に応じて電流が出力される。
このとき、第1および第2の出力電極55と56は振動子を挟んで互いに対向しているため、出力信号は互いに位相が反転している。
このとき、第1および第2の出力電極55と56は振動子を挟んで互いに対向しているため、出力信号は互いに位相が反転している。
前記各実施の形態における、微小な振動子を用いた電気機械フィルタにより、バランなどの変換素子などを用いることなく、片相と両相を変換する機能を有したフィルタを実現することができる。このため図10に示すようにアンテナ端側には片相、アンプ側には両相で出力するフィルタBPF116、BPF113を実現できるため、低損失でかつ簡便な無線部を容易に実現することができる。
また送信側では逆に両相入力、片相出力のフィルタが必要となるため、励振側に2つの電極を用い、検出側に1つの電極を用いる。
なお、本発明の電気機械フィルタは、片相-両相変換可能であって、小型かつ消費電力の少ない電気機械フィルタを提供することができるもので、ディスクリート素子として有効であることはいうまでもないが、他の回路素子とともに集積化可能であり、伝送損失が少なく小型で信頼性の高いフィルタを備えた半導体集積回路装置を提供することも可能である。
また、前記各実施の形態では基板表面に梁を形成し、可動電極を形成する例について説明したが、いずれにおいても、基板に所望の断面形状のトレンチを形成し、このトレンチ上に梁を残しこれを可動部とするなどの構成も可能である。このような構成は、シリコンの異方性エッチングを用いて形成するなどにより容易に実現可能である。
さらにまた、電気機械フィルタであるため、シリコン基板のみならず、GaAsなどの化合物半導体基板など、使用する基板に適合するように電極材料を選択すればよく、他の回路素子との集積化は極めて容易である。
さらにまた、電気機械フィルタであるため、シリコン基板のみならず、GaAsなどの化合物半導体基板など、使用する基板に適合するように電極材料を選択すればよく、他の回路素子との集積化は極めて容易である。
本発明に係る電気機械フィルタは、バランなどの変換素子を用いることなく片相入力両相出力もしくは両相入力片相出力が可能なフィルタを提供するものであり、差動入力、差動出力に適した能動素子と、片相出力に適したアンテナ間に入れる電気機械フィルタとして有用である。
以上説明してきたように、本発明は、無線部のフロントエンド部のバンドパスフィルタに微小な電気機械フィルタを適用し、さらに、特別の変換素子を用いることなく、その微小な電気機械フィルタに接続される他の素子に最適な信号形態での信号の入出力を実現可能とするものである。
また本発明の電気機械フィルタでは、振動子がメカニカルに共振するため、共振する振動子が互いに対向する位置に検出側の電極を2つ設けておけば、互いに位相が反転した信号を取り出すことができる。つまり入力信号は片相信号で振動子を励振させ、振動の検出側には互いに対向した位置に2つ以上の電極を設けることで、片相入力―両相出力となるバンドパスフィルタが実現可能となる。
11:第1の電極
12:第2の電極
13:第1の振動子
14:第2の振動子
15:結合梁
16:第3の電極
18,19:梁のポスト部
20:制御端子
21:入力端子
22、23:出力端子
12:第2の電極
13:第1の振動子
14:第2の振動子
15:結合梁
16:第3の電極
18,19:梁のポスト部
20:制御端子
21:入力端子
22、23:出力端子
Claims (11)
- 入力信号で励振される振動子と、
前記振動子を挟むように、それぞれ所定の間隔を隔てて配設された2つの電極とを備え、
前記2つの電極は、前記振動子の振動方向と交差するように配置されている電気機械フィルタ。 - 請求項1に記載の電気機械フィルタであって、
前記振動子には、入力信号が入力され、
前記2つの電極は、互いに逆相の出力信号を出力する電気機械フィルタ。 - 請求項1に記載の電気機械フィルタであって、
前記2つの電極に、互いに位相の反転してなる2つの入力信号が、それぞれ入力され、
前記振動子から、出力信号を出力するようにした電気機械フィルタ。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の電気機械フィルタであって、
前記振動子は互いに振動が伝搬可能な複数個の振動子で構成される電気機械フィルタ。 - 請求項2に記載の電気機械フィルタであって、
前記振動子には入力信号が直接印加され、前記振動子に対して相対向するように固定された2つの電極を配置し、前記電極から位相が反転した出力信号を出力可能にした電気機械フィルタ。 - 請求項3に記載の電気機械フィルタであって、
逆相の入力信号に対して、振動子の励振方向、および強さが等しくなるように、前記電極が、前記振動子に対して並んで配置された電気機械フィルタ。 - 請求項1に記載の電気機械フィルタであって、
前記振動子は結合梁によって接続された第1および第2の振動子を具備し、前記2つの電極は前記第2の振動子を挟んで対向して配置された第1および第2の電極であり、
さらに前記第1の振動子から所定の間隔を隔てて配置された第3の電極を具備した電気機械フィルタ。 - 請求項2記載の電気機械フィルタを備えた無線受信装置。
- 請求項3記載の電気機械フィルタを備えた無線送信装置。
- 入力信号によって振動する共振部と、前記共振部の振動を互いに逆相信号として検出する2つの検出部とを具備した電気機械フィルタ。
- 互いに逆相の2つの入力信号によって振動する共振部と、前記共振部の振動を片相信号として検出する検出部とを具備した電気機械フィルタ。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007037150A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 共振器及びこれを用いたフィルタ |
JP2007288321A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Toshiba Corp | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
JP2008099042A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Ritsumeikan | マイクロメカニカル共振器 |
JP2008099020A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器 |
JP2009060457A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振器 |
JP2009060172A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2009060173A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2009088854A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器およびその製造方法 |
JP2009100009A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2010011134A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Seiko Instruments Inc | 共振周波数可変mems振動子 |
WO2013142527A1 (en) * | 2012-03-19 | 2013-09-26 | Qualcomm Incorporated | Limited q factor tunable front end using tunable circuits and microelectromechanical system (mems) |
-
2003
- 2003-12-02 JP JP2003402703A patent/JP2005167546A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7902942B2 (en) | 2005-09-27 | 2011-03-08 | Panasonic Corporation | Resonator and filter using the same |
CN101223692B (zh) * | 2005-09-27 | 2012-05-09 | 松下电器产业株式会社 | 共振器及使用其的滤波器 |
WO2007037150A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 共振器及びこれを用いたフィルタ |
JP2007288321A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Toshiba Corp | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
JP4728866B2 (ja) * | 2006-04-13 | 2011-07-20 | 株式会社東芝 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
JP2008099020A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器 |
JP2008099042A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Ritsumeikan | マイクロメカニカル共振器 |
JP2009060173A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2009060172A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2009060457A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Seiko Instruments Inc | 発振器 |
JP2009088854A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器およびその製造方法 |
JP2009100009A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Seiko Instruments Inc | 発振子及び該発振子を有する発振器 |
JP2010011134A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Seiko Instruments Inc | 共振周波数可変mems振動子 |
WO2013142527A1 (en) * | 2012-03-19 | 2013-09-26 | Qualcomm Incorporated | Limited q factor tunable front end using tunable circuits and microelectromechanical system (mems) |
US8977216B2 (en) | 2012-03-19 | 2015-03-10 | Qualcomm Incorporated | Limited Q factor tunable front end using tunable circuits and microelectromechanical system (MEMS) |
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