JP2007288321A - 共振回路、フィルタ回路および発振回路 - Google Patents
共振回路、フィルタ回路および発振回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007288321A JP2007288321A JP2006110825A JP2006110825A JP2007288321A JP 2007288321 A JP2007288321 A JP 2007288321A JP 2006110825 A JP2006110825 A JP 2006110825A JP 2006110825 A JP2006110825 A JP 2006110825A JP 2007288321 A JP2007288321 A JP 2007288321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonance
- circuit
- electrode
- strip electrode
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の一態様としての共振回路は、基板と、帯状電極と、前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備える。
【選択図】図1
Description
101…共振素子(帯状電極)
102…支持部材
103(1)、103(2)…水平方向調整部(押さえ部)
104(1)…入力線路
104(2)…出力線路
105…外部制御装置
106…半導体基板(基板)
107a、107b…突起部
108…垂直方向調整部
108a…突起部
109…MIMキャパシタ
121…絶縁体部分
122…短い金属の電極
201…共振回路
202…増幅器
203…負荷抵抗
204…出力端子
301…入力端子
302…キャパシタ
303…バイアス端子
304…インダクタ
305…トランジスタ
306…バイアス端子
307…インダクタ
308…コンデンサ
309…出力端子
401a、401b…駆動パッド
402a、402b…電圧源
403…絶縁素子
404…支持部材
405a…絶縁体部分
405b…金属電極
405c…絶縁素子
406…制御部
407…金属部材
Claims (6)
- 基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、
各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備え、
前記帯状電極は、前記入力信号に含まれる、前記複数の押さえ部間における帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号で共振して、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記出力線路の一端に与える、共振回路。 - 前記帯状電極の真下に複数の突起部が前記帯状電極の長さ方向に沿って前記基板面に配置され、
前記移動機構は、前記押さえ部を前記突起部の真上に移動させることを特徴とする請求項1に記載の共振回路。 - 外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて前記帯状電極の共振を阻止する共振阻止機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の共振回路。
- 基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面に近接する出力線路と、
外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて、前記帯状電極の共振を阻止する共振阻止機構と、を備え、
前記帯状電極は、前記共振阻止機構によって押さえられていない状態では、前記入力信号に含まれる、前記帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号によって共振し、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記第2の一端に与える、共振回路。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載された、第1および第2の前記共振回路と、
一端が前記第1の共振回路における前記出力線路の前記他端と接続され、他端が前記第2の共振回路における前記入力線路の前記一端と接続されたインピーダンス回路と、
を備えたフィルタ回路。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の共振回路と、
前記共振回路における前記出力線路の前記他端に接続された出力端子と、
前記出力線路の他端に一端が接続されたインピーダンス回路と、
前記インピーダンス回路の他端に一端が接続され、他端が前記共振回路における入力線路の一端に接続された増幅回路と、
を備えた発振回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006110825A JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006110825A JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007288321A true JP2007288321A (ja) | 2007-11-01 |
JP4728866B2 JP4728866B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38759713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006110825A Expired - Fee Related JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4728866B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009272757A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Semiconductor Technology Academic Research Center | Mems共振器、mems発振回路及びmemsデバイス |
JP2010056764A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Seiko Instruments Inc | Mems振動子 |
JP2010268428A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-11-25 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | 改善特性を有する共振装置 |
JP2010268427A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-11-25 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | トランジスタベースのマイクロメータ又はナノメータ共振装置 |
JP2011041179A (ja) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微小共振子およびその製造方法 |
WO2014107399A1 (en) * | 2013-01-02 | 2014-07-10 | Motorola Mobility Llc | Microelectronic machine-based variable resonator |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5533565A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-08 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of attaching antiidewing heater to refrigerator |
WO2002061781A1 (fr) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Advantest Corporation | Commutateur et dispositif de circuit integre |
JP2003530705A (ja) * | 2000-04-06 | 2003-10-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | チューニング可能なフィルタ構成 |
JP2004104799A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Agilent Technol Inc | フィルタ |
WO2004032320A1 (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
JP2004135357A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-30 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 |
WO2005022575A1 (en) * | 2003-08-30 | 2005-03-10 | Qinetiq Limited | Micro electromechanical system switch. |
JP2005167546A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械フィルタ |
JP2005528010A (ja) * | 2002-02-13 | 2005-09-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 同調可能なmemsフィルムバルク音響波マイクロ共振器 |
JP2005341536A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械フィルタ |
JP2006050021A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5533565U (ja) * | 1978-08-25 | 1980-03-04 |
-
2006
- 2006-04-13 JP JP2006110825A patent/JP4728866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5533565A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-08 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of attaching antiidewing heater to refrigerator |
JP2003530705A (ja) * | 2000-04-06 | 2003-10-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | チューニング可能なフィルタ構成 |
WO2002061781A1 (fr) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Advantest Corporation | Commutateur et dispositif de circuit integre |
JP2005528010A (ja) * | 2002-02-13 | 2005-09-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 同調可能なmemsフィルムバルク音響波マイクロ共振器 |
JP2004104799A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Agilent Technol Inc | フィルタ |
JP2004135357A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-30 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 |
WO2004032320A1 (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
WO2005022575A1 (en) * | 2003-08-30 | 2005-03-10 | Qinetiq Limited | Micro electromechanical system switch. |
JP2005167546A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械フィルタ |
JP2005341536A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械フィルタ |
JP2006050021A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009272757A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Semiconductor Technology Academic Research Center | Mems共振器、mems発振回路及びmemsデバイス |
JP4690436B2 (ja) * | 2008-05-01 | 2011-06-01 | 株式会社半導体理工学研究センター | Mems共振器、mems発振回路及びmemsデバイス |
JP2010056764A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Seiko Instruments Inc | Mems振動子 |
JP2010268428A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-11-25 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | 改善特性を有する共振装置 |
JP2010268427A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-11-25 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | トランジスタベースのマイクロメータ又はナノメータ共振装置 |
JP2011041179A (ja) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微小共振子およびその製造方法 |
WO2014107399A1 (en) * | 2013-01-02 | 2014-07-10 | Motorola Mobility Llc | Microelectronic machine-based variable resonator |
US8902010B2 (en) | 2013-01-02 | 2014-12-02 | Motorola Mobility Llc | Microelectronic machine-based ariable |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4728866B2 (ja) | 2011-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4728866B2 (ja) | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 | |
JP3890952B2 (ja) | 容量可変型キャパシタ装置 | |
TWI225034B (en) | Center-mass-reduced microbridge structures for ultra-high frequency MEM resonator | |
US7804382B2 (en) | Tunable resonator using film bulk acoustic resonator (FBAR) | |
US7486002B2 (en) | Lateral piezoelectric driven highly tunable micro-electromechanical system (MEMS) inductor | |
KR101424297B1 (ko) | 전자 소자, 가변 커패시터, 마이크로스위치, 마이크로스위치의 구동 방법, mems형 전자 소자, 마이크로 액추에이터 및 mems 광학 소자 | |
US20070120445A1 (en) | Piezoelectric RF MEMS device and method of fabricating the same | |
US7880364B2 (en) | Parametric resonator and filter using the same | |
US7902942B2 (en) | Resonator and filter using the same | |
US20080001691A1 (en) | MEMS switch and method of fabricating the same | |
JP2007013910A (ja) | 圧電振動子 | |
JP2006238265A (ja) | 振動子構造体及びその製造方法 | |
US8363381B2 (en) | Variable capacitive element, variable capacitive device, and method for driving the variable capacitive element | |
JP2009200157A (ja) | 可変容量素子、整合回路素子、および携帯端末装置 | |
US6870444B1 (en) | Electromechanical resonator and method of operating same | |
JP2004134370A (ja) | スイッチ | |
JP4458081B2 (ja) | フラップ振動子およびフラップ振動子を含む集積回路 | |
JP2011135717A (ja) | ワイヤレス電力伝送システム | |
JP3887662B2 (ja) | 共振周波数可変共振子 | |
US8120015B2 (en) | Resonant structure comprising wire and resonant tunneling transistor | |
CN101740848B (zh) | 天线装置、接收装置以及电波钟表 | |
JP4867007B2 (ja) | Memsスイッチ及び携帯無線端末機器 | |
JP2006252956A (ja) | マイクロマシンスイッチ及び電子機器 | |
US9484880B2 (en) | Variable capacitor, impedance matching device, mobile terminal thereof and method for matching impedance | |
JP2008099042A (ja) | マイクロメカニカル共振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110325 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110415 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |