JP2009200157A - 可変容量素子、整合回路素子、および携帯端末装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1の表面にグランド電極3と信号が流れる信号線路2とを設け、当該信号線路2およびグランド電極3に対向し、当該信号線路2およびグランド電極3に対して接離する方向に変位可能に可動電極4を設ける。可動電極4に駆動電圧を印加することにより、信号線路2およびグランド電極3との間に静電引力を生じさせ、可動電極4を当該駆動電圧の大きさに応じて変位させる。
【選択図】図2
Description
を備える可変容量素子。
(付記2)前記可動電極は、当該可動電極に駆動電圧が印加されることによって前記信号線路および前記グランド電極との間に生じる静電引力で変位し、その変位量は駆動電圧の大きさに応じて変化する、付記1に記載の可変容量素子。
(付記3)前記可動電極は、両端部およびその間の所定の部分が前記基板の表面に支持部によって固定されている、付記1または2に記載の可変容量素子。
(付記4)前記信号線路および/または前記グランド電極は、前記基板の表面に対して垂直方向に可動自在に設けられている、付記1ないし3のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記5)前記信号線路および前記グランド電極はCPW構造で形成されている、付記1ないし4のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記6)前記信号線路および/または前記グランド電極と前記可動電極との間には、誘電体層が設けられている、付記1ないし5のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記7)基板と、前記基板の表面に設けられた、信号が入力される入力電極と、前記基板の表面に設けられ、前記入力電極と電気的に接続されていない、前記信号を出力する出力電極と、前記入力電極および前記出力電極に対向し、当該信号線路および前記グランド電極に対して接離する方向に変位可能に設けられた可動電極と、を備る可変容量素子。
(付記8)前記可動電極は、当該可動電極に駆動電圧が印加されることによって前記入力電極および前記出力電極との間に生じる静電引力で変位し、その変位量は駆動電圧の大きさに応じて変化する、付記7に記載の可変容量素子。
(付記9)前記可動電極は、両端部およびその間の所定の部分が前記基板の表面に中間支持部によって固定されている、付記7または8に記載の可変容量素子。
(付記10)前記入力電極および/または前記出力電極は、前記基板の表面に対して垂直方向に可動自在に設けられている、付記7ないし9のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記11)前記入力電極および前記出力電極との間でCPW構造を形成するグランド電極を更に備えている、付記7ないし10のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記12)前記入力電極および/または前記出力電極と前記可動電極との間には、誘電体層が設けられている、付記7ないし11のいずれかに記載の可変容量素子。
(付記13)付記1ないし12のいずれかに記載の可変容量素子を用いている整合回路素子。
(付記14)付記1ないし12のいずれかに記載の可変容量素子または付記13に記載の整合回路素子を用いている携帯端末装置。
1a 凹部
2,2’ 信号線路
3,3’ グランド電極
4,4’ 可動電極
5 誘電体層
6,6’ 支持部
11,11’,12,12’ 可変コンデンサ
13 DC電源
14 インダクタ
Claims (14)
- 基板と、
前記基板の表面に設けられた、信号が流れる信号線路と、
前記基板の表面に設けられたグランド電極と、
前記信号線路および前記グランド電極に対向し、当該信号線路および前記グランド電極に対して接離する方向に変位可能に設けられた可動電極と、
を備える可変容量素子。 - 前記可動電極は、当該可動電極に駆動電圧が印加されることによって前記信号線路および前記グランド電極との間に生じる静電引力で変位し、その変位量は駆動電圧の大きさに応じて変化する、請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記可動電極は、両端部およびその間の所定の部分が前記基板の表面に支持部によって固定されている、請求項1または2に記載の可変容量素子。
- 前記信号線路および/または前記グランド電極は、前記基板の表面に対して垂直方向に可動自在に設けられている、請求項1ないし3のいずれかに記載の可変容量素子。
- 前記信号線路および前記グランド電極はCPW構造で形成されている、請求項1ないし4のいずれかに記載の可変容量素子。
- 前記信号線路および/または前記グランド電極と前記可動電極との間には、誘電体層が設けられている、請求項1ないし5のいずれかに記載の可変容量素子。
- 基板と、
前記基板の表面に設けられた、信号が入力される入力電極と、
前記基板の表面に設けられ、前記入力電極と電気的に接続されていない、前記信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対向し、当該信号線路および前記グランド電極に対して接離する方向に変位可能に設けられた可動電極と、
を備る可変容量素子。 - 前記可動電極は、当該可動電極に駆動電圧が印加されることによって前記入力電極および前記出力電極との間に生じる静電引力で変位し、その変位量は駆動電圧の大きさに応じて変化する、請求項7に記載の可変容量素子。
- 前記可動電極は、両端部およびその間の所定の部分が前記基板の表面に支持部によって固定されている、請求項7または8に記載の可変容量素子。
- 前記入力電極および/または前記出力電極は、前記基板の表面に対して垂直方向に可動自在に設けられている、請求項7ないし9のいずれかに記載の可変容量素子。
- 前記入力電極および前記出力電極との間でCPW構造を形成するグランド電極を更に備えている、請求項7ないし10のいずれかに記載の可変容量素子。
- 前記入力電極および/または前記出力電極と前記可動電極との間には、誘電体層が設けられている、請求項7ないし11のいずれかに記載の可変容量素子。
- 請求項1ないし12のいずれかに記載の可変容量素子を用いている整合回路素子。
- 請求項1ないし12のいずれかに記載の可変容量素子または請求項13に記載の整合回路素子を用いている携帯端末装置。
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