JP2010245276A - 可変容量素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可変容量素子は、基板10と、基板10上に設けられる信号線路1と、基板10上に設けられる固定電極7と、信号線路1を跨いで固定電極7の上方まで延び、前記固定電極7に対して可動である可動部と、固定電極7に誘電体層9を挟んで固定される固定部と、を含む可動電極3aとを備える。
【選択図】図4
Description
[可変容量素子の構成]
図3は、第1の実施形態に係る可変容量素子の上面図、図4は、図3におけるA−A線面図、図5は、図3に示す可変キャパシタの等価回路図である。本実施形態は、3つの可変容量素子2a、2b、2cを信号線路1に対して並列に接続する場合の例である。
図6は、本実施形態にかかる可変容量素子の変形例を示す断面図である。図6に示す例では、グランド電極7上面の基板10からの高さが、信号線路1上面の基板10から高さより大きくなっている。そのため、可動電極3a、3b、3cとグランド電極7との電極間距離は、信号線部可変容量Csにおける信号線路1と可動電極3a、3b、3cとの電極間距離よりも短くなっている。すなわち、端部可変容量Ceの電極間距離は、信号線部可変容量Csの電極間距離より短い。これより、端部可変容量Ceの電極間に発生する静電引力が大きくなり、端部可変容量Ceにおいては、より低電圧での駆動が可能となる。
図7は、本実施形態にかかる可変容量素子の他の変形例を示す断面図である。図7に示す例では、端部可変容量Ceにおける可動電極3a、3b、3cとグランド電極7との電極間距離は、信号線路1と可動電極3a、3b、3cとの電極間距離よりも短くなっている。すなわち、グランド電極7上面の基板10からの高さが、信号線路1上面の基板10から高さより小さくなっている。これより、信号線部可変容量Csの電極間に発生する静電引力が大きくなり、信号線部可変容量Csにおいては、より低電圧での駆動が可能となる。また、信号線路1と可動電極との距離が近くなることにより、より低い駆動電圧でも、可動電極3a、3b、3cを誘電体層5a、5b、5cと接触させることができるようになる。図7に示す構造は、例えば、信号線部可変容量Csの駆動効率を優先する場合に好適である。
図8は、比較のための可変容量素子の上面図である。図9は、図8に示す可変容量素子の等価回路図である。図8に示す例では、信号線路31に固定容量34を介して接続される線路を跨ぐ位置に可動電極32a、32b、32cが設けられている。可動電極32a、32b、32cの両端はグランド電極37に接続される。これらの可動電極32a、32b、32cが跨ぐ線路の一端である固定電極36a、36b、36cには、RFブロック11を介して、電源12が接続される(図9参照)。このようにして、可動電極32a、32b、32cにより3つの可変容量素子が形成される。
図10は、第2の実施形態にかかる可変容量素子の平面図である。図11Aは、図10におけるA−A線の断面図である。図11Bは、図10におけるA−A線の断面構成の変形例を示す図である。図10、図11Aおよび図11Bにおいては、図3および図4と同じ部材には同じ番号が付されている。
図12は、第3の実施形態にかかる可変容量素子の平面図である。図13は、図12におけるA−A線の断面図である。図14は、図12に示す可変容量素子の等価回路図である。図12〜図14においては、図3〜図5と同じ部材には同じ番号が付されている。
本実施形態は、上記第1〜3いずれかの実施形態における可変容量素子を用いたモジュールの例である。図15は、可変容量素子を用いた通信モジュールの構成例を示す回路図である。図15に示す通信モジュール20は、通信機器のRFフロントエンド部のモジュールである。この通信モジュール20は、受信信号および送信信号の周波数帯域を調整することができる通信モジュールである。なお、図15中の矢印は信号の流れる向きを示している。
上記実施形態では、可動電極は、信号線路を跨いで固定電極の上方まで延びる可動部と、固定電極に誘電体層を挟んで固定される固定部とを含む。これにより、信号線路に対向する位置に可動電極を配置することが可能になる。そのため、信号線路と可変容量素子との距離が短くなり、デバイスの小型化が可能になる。また、固定電極の上方まで可動部が延びているので、可動電極と固定電極間にも静電気力が生じさせることが可能な構成となる。そのため、可変容量素子を効率よく駆動することができる。
2a、2b、2c 可変容量素子
3a、3b、3c 可動電極
4 導電体
5a、5b、5c、9 誘電体層
6a バイアス線路
6b 配線
7 グランド電極(固定電極の一例)
10 基板
11 RFブロック
12 電源
13 保護膜
14 SiCr膜(抵抗膜の一例)
20 通信モジュール
50 通信機器
51 モジュール基板
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に設けられる信号線路と、
前記基板上に設けられる固定電極と、
前記信号線路を跨いで前記固定電極の上方まで延び、前記固定電極に対して可動である可動部と、前記固定電極に誘電体層を挟んで固定される固定部と、を含む可動電極と、
を備える、可変容量素子。 - 請求項1に記載の可変容量素子であって、
前記固定電極の少なくとも一部の上方で前記固定電極と前記可動部との間には間隙が存在する、可変容量素子。 - 請求項1又は2に記載の可変容量素子であって、
前記基板の表面から前記固定電極の上面までの距離は、前記基板の表面から前記信号線路の上面までの距離よりも小さい、可変容量素子。 - 請求項1又は2に記載の可変容量素子であって、
前記基板の表面から前記信号線路の上面までの距離は、前記基板の表面から前記固定電極の上面までの距離よりも小さい、可変容量素子。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の可変容量素子であって、
前記誘電体層は、前記可動部の下方まで延びている、可変容量素子。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の可変容量素子であって、
前記固定電極は、前記信号線路の両側に設けられ、
前記可動電極は、前記信号線路を含む基板に垂直な面について面対称である、可変容量素子。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の可変容量素子であって、
前記固定電極はグランド線路である、可変容量素子。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の可変容量素子であって、
前記可動電極を前記基板上に引き出す引き出し線路を備え、
前記引き出し線路は、前記誘電体を介して前記固定電極と絶縁されていることを特徴とする可変容量素子。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の可変容量素子であって、
前記可動電極を前記基板へ引き出すバイアス線路を備え、
バイアス線路には、抵抗膜が挿入され、前記抵抗膜は保護膜で覆われている、可変容量素子。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の可変容量素子を備えた通信機器。
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