JP2016510192A - 結合性を低下させた、小型化に適した電気部品 - Google Patents
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Abstract
Description
AP 端子パッド
BU バンプ接合部
CH チップ
DK ビア
EB 電気部品
FS 機能構造物
IE 誘導素子
KE 容量素子
SE 回路素子
SE2 さらなる回路素子
TS 支持基板
WK さらなるコンポーネント
WS さらなる(カバー)膜
WSE さらなる回路素子
Z 電気導線
Claims (11)
- 機能構造物(FS)および回路素子(SE)を備えた電気回路と、
チップ(CH)と、を含み、
前記チップ(CH)が、前記機能構造物(FS)と前記回路素子(SE)の間に配置されており、かつ前記機能構造物(FS)と前記回路素子(SE)の間の絶縁性を高めている、電気部品(EB)。 - 前記機能構造物(FS)が、前記チップ(CH)とカバー(A)の間に配置されている、請求項1に記載の電気部品(EB)。
- 前記カバー(A)が、薄膜カバー、WLPカバー、キャップチップ、プラスチックキャップ、金属キャップから選択されている、請求項2に記載の電気部品(EB)。
- 前記カバー(A)が、1つまたは複数の膜および平らな上面を有する、請求項3に記載の電気部品(EB)。
- 前記機能構造物(FS)が、SAW構造物、BAW構造物、GBAW構造物、MEMS構造物から選択されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。
- 前記回路素子(SE)が、誘導素子、容量素子、抵抗素子から選択されている、請求項1から5のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。
- 前記電気回路が、前記機能構造物(FS)と前記回路素子(SE)の直接的な接続部を含んでいる、請求項1から6のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。
- 前記電気回路が、前記チップ(CH)を貫通するビア(DK)を含んでおり、かつ
前記機能構造物(FS)が、前記ビア(DK)を介して前記回路素子(SE)と接続されている、請求項1から7のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。 - さらに、バンプ接合部(BU)を介して前記チップ(CH)と繋がっており、かつ接続部と接続されている、さらなる基板(TS)を含んでいる、請求項1から8のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。
- 前記さらなる基板(TS)が、絶縁材料から成る複数の絶縁膜を備えた支持基板および前記絶縁膜の間の金属被覆面内で構造化されたインピーダンス素子(IE)を含んでいる、請求項9に記載の電気部品(EB)。
- 前記接続部が、HF回路の少なくとも一部である、請求項1から10のいずれか一項に記載の電気部品(EB)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013102210.3 | 2013-03-06 | ||
DE102013102210.3A DE102013102210B4 (de) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | Zur Miniaturisierung geeignetes elektrisches Bauelement mit verringerter Verkopplung |
PCT/EP2014/051629 WO2014135309A1 (de) | 2013-03-06 | 2014-01-28 | Zur miniaturisierung geeignetes elektrisches bauelement mit verringerter verkopplung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016510192A true JP2016510192A (ja) | 2016-04-04 |
Family
ID=50023578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015560595A Ceased JP2016510192A (ja) | 2013-03-06 | 2014-01-28 | 結合性を低下させた、小型化に適した電気部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160173059A1 (ja) |
JP (1) | JP2016510192A (ja) |
DE (1) | DE102013102210B4 (ja) |
WO (1) | WO2014135309A1 (ja) |
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2014
- 2014-01-28 WO PCT/EP2014/051629 patent/WO2014135309A1/de active Application Filing
- 2014-01-28 JP JP2015560595A patent/JP2016510192A/ja not_active Ceased
- 2014-01-28 US US14/770,977 patent/US20160173059A1/en not_active Abandoned
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161115 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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