JP2009105513A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
SAWデバイスは、圧電基板12の主面にIDT13及び反射器14,15を有しかつその裏面にヒータ電極16を有するSAW素子11を、SAW伝搬方向の一方の端部12aで接着剤17により片持ちに支持する。ヒータ電極16は、SAW素子の平面においてIDTの位置よりもSAW伝搬方向の端部12a側に配置される。SAW伝搬方向の端部12a側の反射器15を、接着剤で浮かせたSAW素子の部分に配置することにより、IDTからより離すようにヒータ電極を配置することができる。
【選択図】図1
Description
図1(A)〜(C)は、本発明を適用したSAWデバイスの第1実施例を示している。本実施例のSAWデバイスは、共振子として使用されるSAW素子11を備える。SAW素子11は、図1(A)に示すように、水晶からなる矩形平板の圧電基板12を有する。圧電基板12の主面には、その略中央に交差指電極対からなるSAW励振用のIDT13が形成されている。IDT13のSAW伝搬方向の両側には、それぞれ各1個の反射器14,15が配置されている。圧電基板12の裏面には、図1(B)に示すように、ヒータ電極16が形成されている。
Claims (8)
- 矩形板状の圧電基板の主面に、弾性表面波(SAW)を励振するIDTと前記IDTの両側に配置した反射器とを有し、かつ前記圧電基板の裏面にヒータ電極を有するSAW素子を、そのSAW伝搬方向の一方の端部で固定手段により支持部に、前記SAW素子の他の部分を浮かせた状態で片持ちに支持する弾性表面波デバイスにおいて、前記ヒータ電極が、前記圧電基板の平面において前記IDTよりも前記一方のSAW伝搬方向端部側に配置されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。
- 前記圧電基板の平面において、前記一方のSAW伝搬方向端部側の前記反射器が前記固定手段と重なるように配置され、かつ前記ヒータ電極が前記SAW素子の浮かせた前記他の部分と重なるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記圧電基板の平面において、前記一方のSAW伝搬方向端部側の前記反射器及び前記ヒータ電極が、前記SAW素子の浮かせた前記他の部分と重なるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記圧電基板の平面において、前記一方のSAW伝搬方向端部側の前記反射器が前記SAW素子の浮かせた前記他の部分に、前記固定手段からSAW伝搬方向に離隔して配置され、かつ前記ヒータ電極が前記一方のSAW伝搬方向端部側の前記反射器よりも前記一方のSAW伝搬方向端部側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記固定手段が接着剤であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 前記固定手段がバンプであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 前記ヒータ電極が前記バンプを介して電源に接続されることを特徴とする請求項6に記載の弾性表面波デバイス。
- 前記圧電基板が水晶基板であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
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JP2007273227A JP2009105513A (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | 弾性表面波デバイス |
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JP2009105513A true JP2009105513A (ja) | 2009-05-14 |
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ID=40706817
Family Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI420507B (zh) * | 2011-03-29 | 2013-12-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 熱致發聲裝置及電子裝置 |
TWI420508B (zh) * | 2011-03-29 | 2013-12-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 熱致發聲裝置及電子裝置 |
JP2016510192A (ja) * | 2013-03-06 | 2016-04-04 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 結合性を低下させた、小型化に適した電気部品 |
-
2007
- 2007-10-19 JP JP2007273227A patent/JP2009105513A/ja not_active Withdrawn
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TWI420508B (zh) * | 2011-03-29 | 2013-12-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 熱致發聲裝置及電子裝置 |
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